JPH06100564B2 - ガス検出器 - Google Patents
ガス検出器Info
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- JPH06100564B2 JPH06100564B2 JP61153418A JP15341886A JPH06100564B2 JP H06100564 B2 JPH06100564 B2 JP H06100564B2 JP 61153418 A JP61153418 A JP 61153418A JP 15341886 A JP15341886 A JP 15341886A JP H06100564 B2 JPH06100564 B2 JP H06100564B2
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- metal oxide
- gas detector
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ガス成分又はその濃度を検出するためのガス
検出器に関するものである。
検出器に関するものである。
［従来の技術］ 従来より大気中のガスの存在、あるいはその濃度を検出
するためのガス検出器として、酸素ガス検出器、可燃性
ガス検出器、湿度検出器等が実用化されている。
するためのガス検出器として、酸素ガス検出器、可燃性
ガス検出器、湿度検出器等が実用化されている。
これらはガスが接触した場合に、その電気抵抗が変化す
る特性を持った金属酸化物感応体を使用するものが多
い。
る特性を持った金属酸化物感応体を使用するものが多
い。
そして、この種のガス検出器においては、絶縁材料から
なる基板上に金属酸化物感応体、その電極及びそのリー
ド線を厚膜印刷するといった、ハイブリッド技術を応用
したものが多く使われている。
なる基板上に金属酸化物感応体、その電極及びそのリー
ド線を厚膜印刷するといった、ハイブリッド技術を応用
したものが多く使われている。
［発明が解決しようとする問題点］ ところが、上記の如く、厚膜印刷で形成されたガス検出
器は、金属酸化物感応体が被測定ガスに露出している
か、薄い保護層に覆われているのみである。そのため、
被測定ガスの温度によって、金属酸化物感応体自体の温
度も変化してしまう。
器は、金属酸化物感応体が被測定ガスに露出している
か、薄い保護層に覆われているのみである。そのため、
被測定ガスの温度によって、金属酸化物感応体自体の温
度も変化してしまう。
ところで、上記金属酸化物感応体には温度依存性があ
る。そのため、被測定ガスの温度変化によってガス検出
器の出力も変化してしまう。例えば、内燃機関の排ガス
中のO2測定は、排ガス温度の変化が激しいため、安定し
た測定は難しい。
る。そのため、被測定ガスの温度変化によってガス検出
器の出力も変化してしまう。例えば、内燃機関の排ガス
中のO2測定は、排ガス温度の変化が激しいため、安定し
た測定は難しい。
また、上述した従来のガス検出器の製造には手間がかか
るという問題があり、更に、耐熱衝撃性や耐久性の問題
もあった。
るという問題があり、更に、耐熱衝撃性や耐久性の問題
もあった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上記問題点を解決するために次の手段を採用し
た。
た。
即ち、本発明の要旨は、 周囲のガス成分及び／又はその濃度に応じて電気抵抗が
変化する金属酸化物感応体を用いたガス検出器におい
て、 周囲から密閉状とされた空間を有する耐熱性電気絶縁性
セラミックの箱体と、 一端側を上記空間を形成する上記箱体の壁面上に被着せ
しめて該箱体内に設けられた１対の耐熱性金属の電極
と、 上記箱体に設けられて上記空間と周囲とを連通する連通
孔と、 該連通孔から上記空間内に注入後焼成されて上記一対の
電極と接触する上記金属酸化物感応体と を備えたことを特徴とするガス検出器にある。
変化する金属酸化物感応体を用いたガス検出器におい
て、 周囲から密閉状とされた空間を有する耐熱性電気絶縁性
セラミックの箱体と、 一端側を上記空間を形成する上記箱体の壁面上に被着せ
しめて該箱体内に設けられた１対の耐熱性金属の電極
と、 上記箱体に設けられて上記空間と周囲とを連通する連通
孔と、 該連通孔から上記空間内に注入後焼成されて上記一対の
電極と接触する上記金属酸化物感応体と を備えたことを特徴とするガス検出器にある。
ここで、金属酸化物感応体としては、従来金属酸化物感
応体として使用される種々のものが使用できる。例え
ば、酸素ガス検出器とするならば、SnO2,TiO2,Nb2O5,V2
O5,Cr2O3,CoO,NiO等の遷移金属元素の酸化物等が使用で
きる。可燃性ガス検出器とするならば、ZnO,Fe2O3等が
使用できる。湿度検出器とするならば、Cr2O3,Fe2O3,Mg
Cr2O4,Fe2O3−K2O等を用いることができる。
応体として使用される種々のものが使用できる。例え
ば、酸素ガス検出器とするならば、SnO2,TiO2,Nb2O5,V2
O5,Cr2O3,CoO,NiO等の遷移金属元素の酸化物等が使用で
きる。可燃性ガス検出器とするならば、ZnO,Fe2O3等が
使用できる。湿度検出器とするならば、Cr2O3,Fe2O3,Mg
Cr2O4,Fe2O3−K2O等を用いることができる。
さらに、測定時の金属酸化物感応体の温度変動の減少を
目的として、あるいは湿度検出器では金属酸化物感応体
表面の水を蒸発させて金属酸化物感応体の活性化すると
を目的として、発熱体を金属酸化物感応体の近傍に設け
ても良い。つまり、金属酸化物感応体近傍に配置される
とともに、箱体内に全部又は大部分を埋設して設けられ
る発熱体を採用することができる。
目的として、あるいは湿度検出器では金属酸化物感応体
表面の水を蒸発させて金属酸化物感応体の活性化すると
を目的として、発熱体を金属酸化物感応体の近傍に設け
ても良い。つまり、金属酸化物感応体近傍に配置される
とともに、箱体内に全部又は大部分を埋設して設けられ
る発熱体を採用することができる。
又、この発熱体の一部と金属酸化物感応体の一方の電極
とを連結して金属酸化物感応体の電源とし、測定回路を
簡単にしてもよい。
とを連結して金属酸化物感応体の電源とし、測定回路を
簡単にしてもよい。
［作用］ 本発明のガス検出器では、金属酸化物感応体を収容する
容器として、周囲から密閉された箱体を使用しており、
しかも、この箱体は、耐熱性電気絶縁性セラミックから
構成されている。従って、箱体は隙間なく強固に接合さ
れており、耐熱衝撃性や耐久性が優れている。
容器として、周囲から密閉された箱体を使用しており、
しかも、この箱体は、耐熱性電気絶縁性セラミックから
構成されている。従って、箱体は隙間なく強固に接合さ
れており、耐熱衝撃性や耐久性が優れている。
また、本発明における金属酸化物感応体は、この様なセ
ラミックの箱体の空間内に、連通孔を介して注入後焼成
されるので、製造時に、金属酸化物感応体の材料が他に
漏れたり付着することがなく、しかも、望みの場所に確
実に金属酸化物感応体を配置できるので、その製造が簡
易化される。
ラミックの箱体の空間内に、連通孔を介して注入後焼成
されるので、製造時に、金属酸化物感応体の材料が他に
漏れたり付着することがなく、しかも、望みの場所に確
実に金属酸化物感応体を配置できるので、その製造が簡
易化される。
更に、この箱体の連通孔は、単に金属酸化物感応体を注
入するために用いられるだけでなく、測定時には、金属
酸化物感応体と周囲の被測定ガスとを接触させる役割も
果たす。
入するために用いられるだけでなく、測定時には、金属
酸化物感応体と周囲の被測定ガスとを接触させる役割も
果たす。
また、金属酸化物感応体は周囲から密閉された空間内に
注入後焼成されるが、この空間を構成している壁は緻密
であり、かつ厚くなるので断線効果を有する。そして
又、金属酸化物感応体は連続孔によってのみ周囲の被測
定ガスと接触しているので、金属酸化物感応体の周囲被
測定ガスに晒される面積が従来のガス金属酸化物感応体
より少ない。従って、本発明のガス検出器出力は、周囲
被測定ガスの温度変化の影響を受け難い。
注入後焼成されるが、この空間を構成している壁は緻密
であり、かつ厚くなるので断線効果を有する。そして
又、金属酸化物感応体は連続孔によってのみ周囲の被測
定ガスと接触しているので、金属酸化物感応体の周囲被
測定ガスに晒される面積が従来のガス金属酸化物感応体
より少ない。従って、本発明のガス検出器出力は、周囲
被測定ガスの温度変化の影響を受け難い。
［実施例］ 本発明の第１実施例を第１図の斜視図、第２図の分解斜
視図を用いて説明する。尚、説明上各図の縮尺は異な
る。
視図を用いて説明する。尚、説明上各図の縮尺は異な
る。
本実施例は、金属酸化物感応体10としてTiO2を使用した
酸素ガス検出器20である。
酸素ガス検出器20である。
酸素ガス検出器20は、第１図に示される如く、アルミナ
を主成分とする幅4mm×長さ35mm×厚さ1.5mmの箱体30
と、箱体30内部に設けられた幅2mm×長さ5mm×厚さ50μ
ｍの空間40と、空間40と周囲とを連通する二つの孔50a,
50bと、上記空間内に上記孔50a,50bを介して注入後焼成
されたTiO2からなる金属酸化物感応体10と、を有する。
を主成分とする幅4mm×長さ35mm×厚さ1.5mmの箱体30
と、箱体30内部に設けられた幅2mm×長さ5mm×厚さ50μ
ｍの空間40と、空間40と周囲とを連通する二つの孔50a,
50bと、上記空間内に上記孔50a,50bを介して注入後焼成
されたTiO2からなる金属酸化物感応体10と、を有する。
又、本酸素ガス検出器20は、第２図に示される如く、金
属酸化物感応体10の周囲に発熱体60を有し、金属酸化物
感応体10の一対の電極70a,70bの内電極70aは発熱体60の
途中に接続されている。
属酸化物感応体10の周囲に発熱体60を有し、金属酸化物
感応体10の一対の電極70a,70bの内電極70aは発熱体60の
途中に接続されている。
尚、説明の都合上第１図では、発熱体60、電極70a,70b
及びこれらとスルーホールを介して接続される端子80a,
80b,80cは省略した。
及びこれらとスルーホールを介して接続される端子80a,
80b,80cは省略した。
この酸素ガス検出器20は、次の様にして製造される。
アルミナ92wt％、マグネシア3wt％、及び焼結助剤
（シリカ、カルシア等）5wt％をポットミルにて20時間
混合した。その後、該混合物に有機バインダーとしてポ
リビニールブチラール12wt％、フタル酸ジブチル4wt％
を添加し、溶剤としてメチルエチルケトン、トルエン等
を加えた。更にポットミルで15時間混合し、ドクターブ
レード法を用いて、酸素ガス検出器20の箱体30を形成す
る厚さ0.8mmのアルミナシートを作った。
（シリカ、カルシア等）5wt％をポットミルにて20時間
混合した。その後、該混合物に有機バインダーとしてポ
リビニールブチラール12wt％、フタル酸ジブチル4wt％
を添加し、溶剤としてメチルエチルケトン、トルエン等
を加えた。更にポットミルで15時間混合し、ドクターブ
レード法を用いて、酸素ガス検出器20の箱体30を形成す
る厚さ0.8mmのアルミナシートを作った。
次に、白金黒とスポンジ状白金とを、2:1の比率に
調合し、他に上記で用いたアルミナシートの原料混合
物を10wt％添加し、ブチルカルビドール、エトセル等の
溶剤を加えて、電極用ペーストとした。
調合し、他に上記で用いたアルミナシートの原料混合
物を10wt％添加し、ブチルカルビドール、エトセル等の
溶剤を加えて、電極用ペーストとした。
上記アルミナシートを適当な大きさに切断して、箱
体形成部材90a、90bとした。
体形成部材90a、90bとした。
上記箱体形成部材90aに上記電極用ペーストを22μ
ｍの厚みで、スクリーン印刷し、発熱体60、電極70a,70
bを形成した。
ｍの厚みで、スクリーン印刷し、発熱体60、電極70a,70
bを形成した。
上記で調整した上記アルミナシートの材料混合物
をスクリーン印刷することにより、上記電極等が印刷さ
れた箱体形成部材90a上に、空間40を形成する約70μｍ
のスペーサ100を形成した。
をスクリーン印刷することにより、上記電極等が印刷さ
れた箱体形成部材90a上に、空間40を形成する約70μｍ
のスペーサ100を形成した。
次に、箱体形成部材90bの、空間40と対応する位置
に、1.0mmφの貫通孔50a,50bを開け、次いで、該箱体形
成部材90bを上記スペーサ100に積層圧着した。
に、1.0mmφの貫通孔50a,50bを開け、次いで、該箱体形
成部材90bを上記スペーサ100に積層圧着した。
上記積層体を乾燥後、有機バインダー等を除去する
ために300℃に加熱した。さらに、1520℃で２時間焼成
し、箱体30を形成した。
ために300℃に加熱した。さらに、1520℃で２時間焼成
し、箱体30を形成した。
次に、チタニアに塩化白金酸を含浸させ（約0.7mol
％）、200℃で乾燥後、1300℃の窒素雰囲気中で仮焼し
た。このチタニアに白金黒2mol％、ポリビニルブチラー
ル等の有機バインダーを5wt％添加し、溶剤としてブチ
ルカルビドール等をポットミルで混合し、チタニアペー
ストを得た。
％）、200℃で乾燥後、1300℃の窒素雰囲気中で仮焼し
た。このチタニアに白金黒2mol％、ポリビニルブチラー
ル等の有機バインダーを5wt％添加し、溶剤としてブチ
ルカルビドール等をポットミルで混合し、チタニアペー
ストを得た。
上記チタニアペーストを箱体30の一方の孔50aか
ら、他方の孔50bからチタニアペーストが出るまで注入
した。このチタニアペーストを注入した箱体30を1200℃
大気中で焼成することにより、酸素ガス検出器20を得
た。この焼成によりチタニアペーストは、多孔質焼結体
となった。
ら、他方の孔50bからチタニアペーストが出るまで注入
した。このチタニアペーストを注入した箱体30を1200℃
大気中で焼成することにより、酸素ガス検出器20を得
た。この焼成によりチタニアペーストは、多孔質焼結体
となった。
尚、本実施例の酸素ガス検出器20の効果を調べるため、
金属酸化物感応体が被測定ガスに直接晒される酸素ガス
検出器を比較例として製造した。この比較例は上述の箱
体形成部材90a上に直接チタニアペーストを塗布して製
造した。
金属酸化物感応体が被測定ガスに直接晒される酸素ガス
検出器を比較例として製造した。この比較例は上述の箱
体形成部材90a上に直接チタニアペーストを塗布して製
造した。
実験１ 被測定ガス温度とガス検出器の出力との関係について、
調べた。
調べた。
本実施例、比較例ともに発熱体端子間に12Vをかける。
次いで金属酸化物感応体端子と発熱体端子のアース側端
子との間に負荷抵抗を設け、該負荷抵抗に生じた電圧を
もって、酸素ガス検出器の出力とした。この負荷抵抗は
本実施例は50KΩ、比較例は20KΩとした。又、被測定ガ
スは内燃機関の排ガスであり、空燃比λ≒0.9とλ≒1.1
で測定した。
次いで金属酸化物感応体端子と発熱体端子のアース側端
子との間に負荷抵抗を設け、該負荷抵抗に生じた電圧を
もって、酸素ガス検出器の出力とした。この負荷抵抗は
本実施例は50KΩ、比較例は20KΩとした。又、被測定ガ
スは内燃機関の排ガスであり、空燃比λ≒0.9とλ≒1.1
で測定した。
結果を第３図に示す。尚、図中において○及び実線は本
実施例を表し、●及び破線は比較例を表す。
実施例を表し、●及び破線は比較例を表す。
第３図から明らかなように、本実施例の出力は、比較例
に比べ排ガス温度の影響を受けない。特にリッチ域（λ
≒0.9）において、本実施例は優れた効果を示してい
る。
に比べ排ガス温度の影響を受けない。特にリッチ域（λ
≒0.9）において、本実施例は優れた効果を示してい
る。
これは、箱体30の壁が厚く、また緻密であるために断熱
効果が大きいためであると考えられる。
効果が大きいためであると考えられる。
実験２ 金属酸化物感応体を一定温度に保つのに必要な発熱体の
消費電力について調べた。
消費電力について調べた。
本実施例、比較例ともに発熱体端子間に電圧をかける。
次いで金属酸化物感応体温度及び上記発熱体端子間に流
れる電流を測定する。上記電圧と電流から発熱体の消費
電力を算出した。被測定ガスはプロパンガスバーナの排
ガスである。又、被測定ガス温度は、350℃と900℃で測
定した。
次いで金属酸化物感応体温度及び上記発熱体端子間に流
れる電流を測定する。上記電圧と電流から発熱体の消費
電力を算出した。被測定ガスはプロパンガスバーナの排
ガスである。又、被測定ガス温度は、350℃と900℃で測
定した。
結果を第４図に示す。尚、図中において○及び実線は本
実施例を表し、●及び破線は比較例を表す。尚、測定に
あたっては、本実施例、比較例共にハウジング内に設置
している。そのため、発熱体電力が０であっても、金属
酸化物感応体温度は被測定ガス温度と同一にならない。
実施例を表し、●及び破線は比較例を表す。尚、測定に
あたっては、本実施例、比較例共にハウジング内に設置
している。そのため、発熱体電力が０であっても、金属
酸化物感応体温度は被測定ガス温度と同一にならない。
第４図から明らかなように、本実施例の金属酸化物感応
体温度は、比較例に比べ、より少ない消費電力で所定温
度となる。特に低温域（被測定ガス温度350℃）におい
て、本実施例は優れた効果を示している。
体温度は、比較例に比べ、より少ない消費電力で所定温
度となる。特に低温域（被測定ガス温度350℃）におい
て、本実施例は優れた効果を示している。
これも実験１と同じく、箱体30の断熱効果が大きいため
と思われる。
と思われる。
本発明の第２実施例を第５図の斜視図、第６図の分解斜
視図を用いて説明する。尚、説明上各図の縮尺は異な
る。
視図を用いて説明する。尚、説明上各図の縮尺は異な
る。
本実施例は、金属酸化物感応体110としてTiO2を使用し
た酸素ガス検出器120である。
た酸素ガス検出器120である。
酸素ガス検出器120は、第５図に示される如く、アルミ
ナを主成分とする幅4mm×長さ35mm×厚さ1.5mmの箱体13
0と、箱体130内部に設けられたＴ字形の空間140と、空
間140と周囲とを連通する３つの孔150a,150b,150cと、
上記空間内に注入後焼成されたTiO2からなる金属酸化物
感応体体110と、を有する。
ナを主成分とする幅4mm×長さ35mm×厚さ1.5mmの箱体13
0と、箱体130内部に設けられたＴ字形の空間140と、空
間140と周囲とを連通する３つの孔150a,150b,150cと、
上記空間内に注入後焼成されたTiO2からなる金属酸化物
感応体体110と、を有する。
又、本酸素ガス検出器120は、第６図に示される如く、
発熱体160、金属酸化物感応体110の一対の電極170a,170
bを有する。
発熱体160、金属酸化物感応体110の一対の電極170a,170
bを有する。
尚、説明の都合上第５図では、発熱体160、電極170a,17
0bは省略した。
0bは省略した。
この酸素ガス検出器120は、次の様にして製造される。
第１実施例と同様の方法で、酸素ガス検出器120の
箱体130を形成するアルミナシートを作った。
箱体130を形成するアルミナシートを作った。
次に、第１実施例と同様の方法で、電極用ペースト
を調整した。
を調整した。
上記アルミナシートを適当な大きさに切断して、箱
体形成部材190a,190bとした。
体形成部材190a,190bとした。
上記箱体形成部材190aに上記電極用ペーストを22μ
ｍの厚みで、スクリーン印刷し、発熱体160を形成し、
上記箱体形成部材190bに同じく上記電極用ペーストを22
μｍの厚みで、スクリーン印刷し、電極70a,70bを形成
した。
ｍの厚みで、スクリーン印刷し、発熱体160を形成し、
上記箱体形成部材190bに同じく上記電極用ペーストを22
μｍの厚みで、スクリーン印刷し、電極70a,70bを形成
した。
第１実施例と同様の方法で、箱体形成部材190a上
に、空間140を形成する約70μｍの３つのスペーサ200a,
200b,200cを形成した。
に、空間140を形成する約70μｍの３つのスペーサ200a,
200b,200cを形成した。
次に箱体形成部材190bを上記スペーサ200に積層圧
着した。
着した。
以下、第１実施例と同様にして、チタニアペースト
を調整し、チタニアペーストを箱体130の空間140に注入
し1200℃大気中で焼成することにより、酸素ガス検出器
120を得た。
を調整し、チタニアペーストを箱体130の空間140に注入
し1200℃大気中で焼成することにより、酸素ガス検出器
120を得た。
本実施例についても、第１実施例と同様の効果があっ
た。
た。
［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明のガス検出器では、金属酸化
物感応体を収容する容器として、周囲から密閉された箱
体を使用しており、しかも、この箱体は、耐熱性電気絶
縁性セラミックから構成されている。従って、箱体は隙
間なく強固に接合されており、耐熱衝撃性や耐久性が優
れているので、厳しい環境下で使用しても故障等が生じ
にくい。
物感応体を収容する容器として、周囲から密閉された箱
体を使用しており、しかも、この箱体は、耐熱性電気絶
縁性セラミックから構成されている。従って、箱体は隙
間なく強固に接合されており、耐熱衝撃性や耐久性が優
れているので、厳しい環境下で使用しても故障等が生じ
にくい。
また、本発明における金属酸化物感応体は、この様なセ
ラミックの箱体の空間内に、連通孔を介して注入後焼成
される。従って、製造時に、金属酸化物感応体の材料が
他に漏れたり付着することがなく、しかも、望みの場所
に確実に金属酸化物感応体を配置できるので、その製造
が容易である。
ラミックの箱体の空間内に、連通孔を介して注入後焼成
される。従って、製造時に、金属酸化物感応体の材料が
他に漏れたり付着することがなく、しかも、望みの場所
に確実に金属酸化物感応体を配置できるので、その製造
が容易である。
しかも、この箱体の連通孔は、単に金属酸化物感応体を
注入するために用いられるだけでなく、測定時には、金
属酸化物感応体と周囲の被測定ガスとを接触させる役割
も果たす。
注入するために用いられるだけでなく、測定時には、金
属酸化物感応体と周囲の被測定ガスとを接触させる役割
も果たす。
また、本発明における金属酸化物感応体は、周囲から密
閉された空間内に注入後焼成されていて連通孔によって
のみ周囲の被測定ガスと接触している。従って、本発明
のガス検出器出力は、周囲被測定ガスの温度変化の影響
を受け難い。
閉された空間内に注入後焼成されていて連通孔によって
のみ周囲の被測定ガスと接触している。従って、本発明
のガス検出器出力は、周囲被測定ガスの温度変化の影響
を受け難い。
そのために、周囲被測定ガスの温度が非常に変化する場
所でも、周囲被測定ガスのガス成分、濃度を正しく測定
することができる。
所でも、周囲被測定ガスのガス成分、濃度を正しく測定
することができる。
さらに、発熱体を設けた場合には、より少ない消費電力
で、金属酸化物感応体の温度を所定温度に維持できるの
で、省エネルギーに貢献し、又発熱体の寿命も長くな
る。
で、金属酸化物感応体の温度を所定温度に維持できるの
で、省エネルギーに貢献し、又発熱体の寿命も長くな
る。
第１図は本発明の第１実施例の斜視図、 第２図はその製造を説明する分解斜視図、 第３図はその被測定ガス温度とガス検出器の出力との関
係を示す線図、 第４図はその金属酸化物感応体を一定温度に保つのに必
要な発熱体の消費電力と被測定ガス温度との関係を示す
線図、 第５図は本発明の第２実施例の斜視図、 第６図はその製造を説明する分解斜視図である。 10、110……金属酸化物感応体 20、120……酸素ガス検出器 30、130……箱体 40、140……空間 50a、50b、50c、150a、150b、150c……孔 60、160……発熱体 70a、70b、170a、170b……電極 90a、90b、190a、190b……箱体形成部材 100、200a、200b、200c……スペーサ
係を示す線図、 第４図はその金属酸化物感応体を一定温度に保つのに必
要な発熱体の消費電力と被測定ガス温度との関係を示す
線図、 第５図は本発明の第２実施例の斜視図、 第６図はその製造を説明する分解斜視図である。 10、110……金属酸化物感応体 20、120……酸素ガス検出器 30、130……箱体 40、140……空間 50a、50b、50c、150a、150b、150c……孔 60、160……発熱体 70a、70b、170a、170b……電極 90a、90b、190a、190b……箱体形成部材 100、200a、200b、200c……スペーサ
Claims (2)
- 【請求項１】周囲のガス成分及び／又はその濃度に応じ
て電気抵抗が変化する金属酸化物感応体を用いたガス検
出器において、 周囲から密閉状とされた空間を有する耐熱性電気絶縁性
セラミックの箱体と、 一端側を上記空間を形成する上記箱体の壁面上に被着せ
しめて該箱体内に設けられた１対の耐熱性金属の電極
と、 上記箱体に設けられて上記空間と周囲とを連通する連通
孔と、 該連通孔から上記空間内に注入後焼成されて上記一対の
電極と接触する上記金属酸化物感応体と を備えたことを特徴とするガス検出器。 - 【請求項２】上記金属酸化物感応体近傍に配置されると
ともに、上記箱体内に全部又は大部分を埋設して設けら
れた発熱体を有する特許請求の範囲第１項記載のガス検
出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61153418A JPH06100564B2 (ja) | 1986-06-28 | 1986-06-28 | ガス検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61153418A JPH06100564B2 (ja) | 1986-06-28 | 1986-06-28 | ガス検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638547A JPS638547A (ja) | 1988-01-14 |
| JPH06100564B2 true JPH06100564B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=15562066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61153418A Expired - Fee Related JPH06100564B2 (ja) | 1986-06-28 | 1986-06-28 | ガス検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06100564B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20250087855A (ko) * | 2023-12-08 | 2025-06-17 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제조 방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7648118B2 (ja) * | 2020-03-31 | 2025-03-18 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 | 金属酸化物薄膜還元検知センサ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6214048A (ja) * | 1985-07-11 | 1987-01-22 | Figaro Eng Inc | 排ガスセンサ |
-
1986
- 1986-06-28 JP JP61153418A patent/JPH06100564B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20250087855A (ko) * | 2023-12-08 | 2025-06-17 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치의 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS638547A (ja) | 1988-01-14 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |