JPH0610160A - 枚葉式エッチング装置 - Google Patents
枚葉式エッチング装置Info
- Publication number
- JPH0610160A JPH0610160A JP4166498A JP16649892A JPH0610160A JP H0610160 A JPH0610160 A JP H0610160A JP 4166498 A JP4166498 A JP 4166498A JP 16649892 A JP16649892 A JP 16649892A JP H0610160 A JPH0610160 A JP H0610160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- pure water
- substrate
- water
- chamber
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】エッチングの進行を均一に停止し且つ水洗いを
十分に行なうことができる枚葉式エッチング装置を提供
する。 【構成】水洗室６に純水がオーバーフローする浸漬槽11
を純水スプレー吐出ノズル７の上手側位置に設け、エッ
チングの進行を均一に停止し且つ十分に水洗いすること
ができるようにした。
十分に行なうことができる枚葉式エッチング装置を提供
する。 【構成】水洗室６に純水がオーバーフローする浸漬槽11
を純水スプレー吐出ノズル７の上手側位置に設け、エッ
チングの進行を均一に停止し且つ十分に水洗いすること
ができるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子の製造に用
いられる枚葉式エッチング装置に関するものである。
いられる枚葉式エッチング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近のウェットエッチング装置は、楢
岡、二瓶；「フォトエッチングと微細加工」、綜合電子
出版社、Ｐ．１１７〜１１９、Ｐ．１３１〜１３５に記
載されているように、スプレー方式が主流を占めてい
る。
岡、二瓶；「フォトエッチングと微細加工」、綜合電子
出版社、Ｐ．１１７〜１１９、Ｐ．１３１〜１３５に記
載されているように、スプレー方式が主流を占めてい
る。
【０００３】以下図面を参照しながら、上述した従来の
エッチング装置の一例について説明する。図２は従来の
枚葉式におけるスプレー方式のエッチング装置の構成図
を示すもので、図２において、１は基板、２は基板１を
矢印Ａ方向へ水平搬送するように連設された搬送ロー
ラ、３は基板１の表面にノズル４からエッチング液を供
給してエッチングを行なうエッチング室、５は基板１に
付着するエッチング液の液切り部材、６はエッチング処
理の進行を停止するとともに、ノズル７から出る純水に
より基板１の表裏両面を洗浄する水洗室である。８は基
板１に付着する純水チング液の液切り部材である。９は
前記エッチング室３内の下部に溜ったエッチング液を前
記ノズル４に供給するポンプ、10は前記水洗室６内の下
部に溜った純水を前記ノズル７に供給するポンプであ
る。
エッチング装置の一例について説明する。図２は従来の
枚葉式におけるスプレー方式のエッチング装置の構成図
を示すもので、図２において、１は基板、２は基板１を
矢印Ａ方向へ水平搬送するように連設された搬送ロー
ラ、３は基板１の表面にノズル４からエッチング液を供
給してエッチングを行なうエッチング室、５は基板１に
付着するエッチング液の液切り部材、６はエッチング処
理の進行を停止するとともに、ノズル７から出る純水に
より基板１の表裏両面を洗浄する水洗室である。８は基
板１に付着する純水チング液の液切り部材である。９は
前記エッチング室３内の下部に溜ったエッチング液を前
記ノズル４に供給するポンプ、10は前記水洗室６内の下
部に溜った純水を前記ノズル７に供給するポンプであ
る。
【０００４】上記構成において、基板１はローダ（図示
せず）によって搬送ローラ２に供給され、順次エッチン
グ室３へ供給される。エッチング室３内には、エッチン
グ液をスプレー状に吐出する複数のノズル４が設けら
れ、基板１は所定の時間エッチング処理が行なわれる。
せず）によって搬送ローラ２に供給され、順次エッチン
グ室３へ供給される。エッチング室３内には、エッチン
グ液をスプレー状に吐出する複数のノズル４が設けら
れ、基板１は所定の時間エッチング処理が行なわれる。
【０００５】エッチング処理後、基板１はエッチング液
が液切り部材５で液切りされ、その後搬送ローラ２によ
り、順次水洗室６へ搬送される。水洗室６内には、純水
をスプレー状に吐出する複数のノズル７が上下に設けら
れ、所定時間基板１の表裏を水洗処理する。
が液切り部材５で液切りされ、その後搬送ローラ２によ
り、順次水洗室６へ搬送される。水洗室６内には、純水
をスプレー状に吐出する複数のノズル７が上下に設けら
れ、所定時間基板１の表裏を水洗処理する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、エッチング処理の進行を停止する水洗室
６内で基板１に対し純水を均一な面積で且つ流量で吐出
することが困難で、エッチング液を均一に且つ十分に水
洗いすることができず、エッチングの進行が基板１内で
不均一になるという問題があった。
うな構成では、エッチング処理の進行を停止する水洗室
６内で基板１に対し純水を均一な面積で且つ流量で吐出
することが困難で、エッチング液を均一に且つ十分に水
洗いすることができず、エッチングの進行が基板１内で
不均一になるという問題があった。
【０００７】本発明はこのような課題を解決するもの
で、エッチングの進行を均一に停止し且つ水洗いを十分
に行なうことができる枚葉式エッチング装置を提供する
ことを目的とするものである。
で、エッチングの進行を均一に停止し且つ水洗いを十分
に行なうことができる枚葉式エッチング装置を提供する
ことを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の枚葉式エッチング装置は、水洗室に純水がオ
ーバーフローする浸漬槽を純水スプレー吐出ノズルの上
手側位置に設けたものである。
に本発明の枚葉式エッチング装置は、水洗室に純水がオ
ーバーフローする浸漬槽を純水スプレー吐出ノズルの上
手側位置に設けたものである。
【０００９】
【作用】上記した構成によって、エッチング処理後の基
板を純水がオーバーフローする浸漬槽で処理し、続いて
純水スプレー吐出ノズルで水洗いすることにより、エッ
チング処理の進行を均一に停止し且つ十分に水洗いする
ことができる。
板を純水がオーバーフローする浸漬槽で処理し、続いて
純水スプレー吐出ノズルで水洗いすることにより、エッ
チング処理の進行を均一に停止し且つ十分に水洗いする
ことができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、枚葉式エ
ッチング装置の構成図を示す図１を参照しながら説明す
る。なお図中、前記従来例と同一符号は同一部材を示
し、その詳細説明は省略する。
ッチング装置の構成図を示す図１を参照しながら説明す
る。なお図中、前記従来例と同一符号は同一部材を示
し、その詳細説明は省略する。
【００１１】図１において、11は水洗室６内におけるノ
ズル７による純水の吐出部の上手側位置に設けた浸漬槽
であり、搬送ローラ２の高さで純水がオーバーフローす
るように設けられている。12は前記浸漬槽11を設けた水
洗室６内の空間とノズル７による純水の吐出部の空間と
の間を水洗室６の底部で仕切る仕切板である。13は前記
水洗室６内の下部に溜った純水を前記浸漬槽11に供給す
るポンプである。
ズル７による純水の吐出部の上手側位置に設けた浸漬槽
であり、搬送ローラ２の高さで純水がオーバーフローす
るように設けられている。12は前記浸漬槽11を設けた水
洗室６内の空間とノズル７による純水の吐出部の空間と
の間を水洗室６の底部で仕切る仕切板である。13は前記
水洗室６内の下部に溜った純水を前記浸漬槽11に供給す
るポンプである。
【００１２】以上のように構成された枚葉式エッチング
装置について、以下動作を説明する。基板１は、ローダ
（図示せず）によって搬送ローラ２へ供給され、順次エ
ッチング室３へ供給される。
装置について、以下動作を説明する。基板１は、ローダ
（図示せず）によって搬送ローラ２へ供給され、順次エ
ッチング室３へ供給される。
【００１３】エッチング室３内には、エッチング液をス
プレー状に吐出する複数のノズル４が設けられ、基板１
は所定の時間エッチング処理が行なわれる。エッチング
処理後、基板１はエッチング液が液切り部材５で液切り
され、その後搬送ローラ２により、順次水洗室６へ搬送
される。
プレー状に吐出する複数のノズル４が設けられ、基板１
は所定の時間エッチング処理が行なわれる。エッチング
処理後、基板１はエッチング液が液切り部材５で液切り
され、その後搬送ローラ２により、順次水洗室６へ搬送
される。
【００１４】水洗室６内で基板１は、純水がオーバーフ
ローする浸漬槽11を通過し、続いて上下に設けられた複
数のノズル７より純水がスプレー状に吐出され、所定時
間表裏が水洗処理される。
ローする浸漬槽11を通過し、続いて上下に設けられた複
数のノズル７より純水がスプレー状に吐出され、所定時
間表裏が水洗処理される。
【００１５】以上のように本実施例によれば、純水がオ
ーバーフローする浸漬槽11を純水をスプレー状に吐出す
るノズル７の手前に設けることにより、エッチングの進
行を均一に停止し且つ十分に水洗いすることができる。
ーバーフローする浸漬槽11を純水をスプレー状に吐出す
るノズル７の手前に設けることにより、エッチングの進
行を均一に停止し且つ十分に水洗いすることができる。
【００１６】なお、本実施例においてエッチング室３内
にエッチング液をスプレー状に吐出する複数のノズル４
を設けたが、エッチング室３は水洗室６の浸漬槽11同様
エッチング液がオーバーフローする浸漬槽を設けても良
い。
にエッチング液をスプレー状に吐出する複数のノズル４
を設けたが、エッチング室３は水洗室６の浸漬槽11同様
エッチング液がオーバーフローする浸漬槽を設けても良
い。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、水洗室内
に純水がオーバーフローする浸漬槽を設けることによ
り、エッチングの進行を均一に停止し且つ十分に水洗い
することができるため、その実用上の効果は大きい。
に純水がオーバーフローする浸漬槽を設けることによ
り、エッチングの進行を均一に停止し且つ十分に水洗い
することができるため、その実用上の効果は大きい。
【図１】本発明の一実施例における枚葉式エッチング装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図２】従来例における枚葉式スプレー方式のエッチン
グ装置の構成図である。
グ装置の構成図である。
１ 基板 ２ 搬送ローラ ３ エッチング室 ４ ノズル ５ 液切り部材 ６ 水洗室 ７ ノズル ８ 液切り部材 11 浸漬槽
Claims (1)
- 【請求項１】 水洗室に純水がオーバーフローする浸漬
槽を純水スプレー吐出ノズルの上手側位置に設けたこと
を特徴とする枚葉式エッチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4166498A JPH0610160A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 枚葉式エッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4166498A JPH0610160A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 枚葉式エッチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0610160A true JPH0610160A (ja) | 1994-01-18 |
Family
ID=15832481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4166498A Pending JPH0610160A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 枚葉式エッチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610160A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997000739A1 (en) * | 1995-06-23 | 1997-01-09 | George Koch Sons, Inc. | Housing for industrial finishing equipment |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP4166498A patent/JPH0610160A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997000739A1 (en) * | 1995-06-23 | 1997-01-09 | George Koch Sons, Inc. | Housing for industrial finishing equipment |
| US5755246A (en) * | 1995-06-23 | 1998-05-26 | George Koch Sons, Inc. | Housing for industrial finishing equipment |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040412 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040420 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041026 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |