JPH06101826A - ごみ厚検出方法 - Google Patents
ごみ厚検出方法Info
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- JPH06101826A JPH06101826A JP27074592A JP27074592A JPH06101826A JP H06101826 A JPH06101826 A JP H06101826A JP 27074592 A JP27074592 A JP 27074592A JP 27074592 A JP27074592 A JP 27074592A JP H06101826 A JPH06101826 A JP H06101826A
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- Japan
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Links
- 239000002699 waste material Substances 0.000 title abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 28
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001085205 Prenanthella exigua Species 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 235000012745 brilliant blue FCF Nutrition 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Incineration Of Waste (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】クリンカによる誤動作の発生しないごみ厚自動
検出方法を提供する。 【構成】焼却炉内をカラーテレビカメラ2で撮像し、前
記カラーテレビカメラ2から得られたカラー画像信号を
三原色分離回路にて赤色、緑色、青色の三原色の信号に
分離して、それぞれの色の強さに対して多値化し、前記
画像信号を三原色の強さの比率に対して予め設定した複
数の色の何れかに分類し、予め設定した燃焼領域9、非
燃焼領域10、炉壁領域11の各領域の色のいずれに該
当するかを決定し、燃焼領域9から非燃焼領域10への
色変化の生ずる燃え切りレベル16を検出し、このレベ
ル16と炉壁領域11との第1交点13を検出し、予め
設定した火格子と炉壁との境界線14と前記第1交点1
3からの垂線が交わる第2交点14を検出し、前記第1
交点13から第2交点14までの距離を求めて、炉壁と
接するごみの燃焼終了点における厚み15を検出する。
検出方法を提供する。 【構成】焼却炉内をカラーテレビカメラ2で撮像し、前
記カラーテレビカメラ2から得られたカラー画像信号を
三原色分離回路にて赤色、緑色、青色の三原色の信号に
分離して、それぞれの色の強さに対して多値化し、前記
画像信号を三原色の強さの比率に対して予め設定した複
数の色の何れかに分類し、予め設定した燃焼領域9、非
燃焼領域10、炉壁領域11の各領域の色のいずれに該
当するかを決定し、燃焼領域9から非燃焼領域10への
色変化の生ずる燃え切りレベル16を検出し、このレベ
ル16と炉壁領域11との第1交点13を検出し、予め
設定した火格子と炉壁との境界線14と前記第1交点1
3からの垂線が交わる第2交点14を検出し、前記第1
交点13から第2交点14までの距離を求めて、炉壁と
接するごみの燃焼終了点における厚み15を検出する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、焼却炉内の火格子上の
燃え切り点におけるごみ厚を自動的に検出する方法に関
するものである。
燃え切り点におけるごみ厚を自動的に検出する方法に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】ごみ焼却炉の操業においては、ごみ厚の
制御を行うことは重要な操業要因である。火格子上のご
み厚みが適正な範囲にあれば、燃焼は順調に行われる
が、ごみ厚みが適正な範囲より厚くなった場合には、燃
焼が順調に行われない。ごみ厚みが厚くなる原因として
は、ごみの投入量が多すぎる、燃焼用空気が少ない、火
格子のインターバルの調整が悪いなどの原因があり、こ
れを適正に調整する必要がある。そこで、適正な調整を
するために、ごみ厚の測定をすることが必要不可欠であ
り、この測定に従来は炉壁部にマイクロ波を利用したご
み厚計を設け、マイクロ波の透過量によりごみ厚を測定
していた。
制御を行うことは重要な操業要因である。火格子上のご
み厚みが適正な範囲にあれば、燃焼は順調に行われる
が、ごみ厚みが適正な範囲より厚くなった場合には、燃
焼が順調に行われない。ごみ厚みが厚くなる原因として
は、ごみの投入量が多すぎる、燃焼用空気が少ない、火
格子のインターバルの調整が悪いなどの原因があり、こ
れを適正に調整する必要がある。そこで、適正な調整を
するために、ごみ厚の測定をすることが必要不可欠であ
り、この測定に従来は炉壁部にマイクロ波を利用したご
み厚計を設け、マイクロ波の透過量によりごみ厚を測定
していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、マイク
ロ波を利用したごみ厚計は、前記ごみ厚計を設置した炉
壁部に発生するクリンカにより誤動作してごみの厚さが
不当に大きな値となるという欠点があった。
ロ波を利用したごみ厚計は、前記ごみ厚計を設置した炉
壁部に発生するクリンカにより誤動作してごみの厚さが
不当に大きな値となるという欠点があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明のごみ厚検出方法
は、焼却炉内をカラーテレビカメラで撮像し、前記カラ
ーテレビカメラから得られたカラー画像信号を三原色分
離回路にて赤色、緑色、青色の三原色の信号に分離し
て、それぞれの色の強さに対して多値化し、前記画像信
号を三原色の強さの比率に対して予め設定した複数の色
の何れかに分類し、予め設定した燃焼領域、非燃焼領
域、炉壁領域の各領域の色のいずれに該当するかを決定
し、燃焼領域から非燃焼領域への色変化の生ずる燃え切
りレベルを検出し、このレベルと炉壁領域との第1交点
を検出し、予め設定した火格子と炉壁との境界線と前記
第1交点からの垂線が交わる第2交点を検出し、前記第
1交点から第2交点までの距離を求めて、炉壁と接する
ごみの燃焼終了点における厚みを検出することを特徴と
するものである。
は、焼却炉内をカラーテレビカメラで撮像し、前記カラ
ーテレビカメラから得られたカラー画像信号を三原色分
離回路にて赤色、緑色、青色の三原色の信号に分離し
て、それぞれの色の強さに対して多値化し、前記画像信
号を三原色の強さの比率に対して予め設定した複数の色
の何れかに分類し、予め設定した燃焼領域、非燃焼領
域、炉壁領域の各領域の色のいずれに該当するかを決定
し、燃焼領域から非燃焼領域への色変化の生ずる燃え切
りレベルを検出し、このレベルと炉壁領域との第1交点
を検出し、予め設定した火格子と炉壁との境界線と前記
第1交点からの垂線が交わる第2交点を検出し、前記第
1交点から第2交点までの距離を求めて、炉壁と接する
ごみの燃焼終了点における厚みを検出することを特徴と
するものである。
【0005】
【作用】本発明に従えば、カラーテレビカメラによって
炉内の燃焼部を撮像し、そのカラー画像信号の全部また
は一部を赤色、緑色、青色の各信号に分離し、それぞれ
の色の強さに対して多値化し、前記画像信号を三原色の
強さの比率に対して予め設定した複数の色の何れかに分
類し、予め設定した燃焼領域、非燃焼領域、炉壁領域の
各領域の色のいずれに該当するかを決定することによ
り、燃焼領域、非燃焼領域、炉壁領域の各領域を目視と
ほぼ同様の正確さで、しかも迅速に分類することがで
き、これに基づいて燃焼領域から非燃焼領域への色変化
の生ずる燃え切りレベルを検出し、このレベルと炉壁領
域との第1交点を検出し、予め設定した火格子と炉壁と
の境界線と前記第1交点からの垂線が交わる第2交点を
検出し、前記第1交点から第2交点までの距離を求め
て、炉壁部上の燃焼終了部におけるごみ厚を検出するの
で、正確にごみ厚を容易に検出できる。
炉内の燃焼部を撮像し、そのカラー画像信号の全部また
は一部を赤色、緑色、青色の各信号に分離し、それぞれ
の色の強さに対して多値化し、前記画像信号を三原色の
強さの比率に対して予め設定した複数の色の何れかに分
類し、予め設定した燃焼領域、非燃焼領域、炉壁領域の
各領域の色のいずれに該当するかを決定することによ
り、燃焼領域、非燃焼領域、炉壁領域の各領域を目視と
ほぼ同様の正確さで、しかも迅速に分類することがで
き、これに基づいて燃焼領域から非燃焼領域への色変化
の生ずる燃え切りレベルを検出し、このレベルと炉壁領
域との第1交点を検出し、予め設定した火格子と炉壁と
の境界線と前記第1交点からの垂線が交わる第2交点を
検出し、前記第1交点から第2交点までの距離を求め
て、炉壁部上の燃焼終了部におけるごみ厚を検出するの
で、正確にごみ厚を容易に検出できる。
【0006】
【実施例】以下、本発明を図示の一実施例に従って詳細
に説明する。
に説明する。
【0007】図1、図2において、1はごみ焼却炉にし
て、該ごみ焼却炉1の出口付近には工業用カラーテレビ
カメラ2が設置されており、ごみ焼却炉1の炉内、特に
火格子8上のごみの燃え切り点(燃焼領域9から非燃焼
領域10への変化点)付近を撮像する。工業用カラーテ
レビカメラ2からの画像信号はアナログ信号で、監視用
テレビにて炉内とほぼ同様のカラー画像を再現できるも
のである。この画像信号は三原色分離回路3にて赤色、
緑色、青色の三原色の信号に分離され、コンピューター
4にて三原色のそれぞれ色の強さに対して多値化した信
号に変換される。この変換は、例えば256段階の信号
をさらに所望の段階の多値化信号に変換する。この多値
化信号としては、例えば0,1,2の3段階の信号に変
換され、前記画像信号を三原色の強さの比率に対して予
め設定した複数の色の何れかに分類する。画像信号は全
部を用いることなく、適宜の間隔(例えば8ドットご
と)をおいて一部を取り出して用いることも可能であ
る。この三原色の組合せによる色の変化は図7に示す通
りであるが、ここで採用する複数の色としては、色相の
相違のみならず、明度の相違を考慮したものが望まし
く、例えば次の16色とすることが望ましい。
て、該ごみ焼却炉1の出口付近には工業用カラーテレビ
カメラ2が設置されており、ごみ焼却炉1の炉内、特に
火格子8上のごみの燃え切り点(燃焼領域9から非燃焼
領域10への変化点)付近を撮像する。工業用カラーテ
レビカメラ2からの画像信号はアナログ信号で、監視用
テレビにて炉内とほぼ同様のカラー画像を再現できるも
のである。この画像信号は三原色分離回路3にて赤色、
緑色、青色の三原色の信号に分離され、コンピューター
4にて三原色のそれぞれ色の強さに対して多値化した信
号に変換される。この変換は、例えば256段階の信号
をさらに所望の段階の多値化信号に変換する。この多値
化信号としては、例えば0,1,2の3段階の信号に変
換され、前記画像信号を三原色の強さの比率に対して予
め設定した複数の色の何れかに分類する。画像信号は全
部を用いることなく、適宜の間隔(例えば8ドットご
と)をおいて一部を取り出して用いることも可能であ
る。この三原色の組合せによる色の変化は図7に示す通
りであるが、ここで採用する複数の色としては、色相の
相違のみならず、明度の相違を考慮したものが望まし
く、例えば次の16色とすることが望ましい。
【0008】16色は、例えば明るい白色、少し暗い白
色、灰色、黒色、明るい赤色、少し暗い赤色、明るい緑
色、少し暗い緑色、明るい青色、少し暗い青色、明るい
黄色、少し暗い黄色、明るい水色、少し暗い水色、明る
い紫色、少し暗い紫色の16色である。
色、灰色、黒色、明るい赤色、少し暗い赤色、明るい緑
色、少し暗い緑色、明るい青色、少し暗い青色、明るい
黄色、少し暗い黄色、明るい水色、少し暗い水色、明る
い紫色、少し暗い紫色の16色である。
【0009】三原色をそれぞれ0,1,2の3段階表示
で表し、この組合せをすべてをとると、次のような27
の組合せとなるが、このうち、明白色、灰色、暗黄色、
暗水色、暗紫色については、複数の組合せを包含するも
のとして、これを一つの色として表現することとする
と、前記の16色となる。この色の決定は、ごみの燃焼
の色と人間の目に感じる色とを考慮して決定する。な
お、この色の決定には、コンピューターに表示可能な色
を採用することが望ましい。
で表し、この組合せをすべてをとると、次のような27
の組合せとなるが、このうち、明白色、灰色、暗黄色、
暗水色、暗紫色については、複数の組合せを包含するも
のとして、これを一つの色として表現することとする
と、前記の16色となる。この色の決定は、ごみの燃焼
の色と人間の目に感じる色とを考慮して決定する。な
お、この色の決定には、コンピューターに表示可能な色
を採用することが望ましい。
【0010】 赤 緑 青 赤 緑 青 赤 緑 青 *2 1 2 明白色 *2 0 0 明赤色 0 1 1 暗水色 *2 2 1 明白色 1 0 0 暗赤色 0 1 2 暗水色 *2 2 2 明白色 *0 2 0 明緑色 0 2 1 暗水色 *1 2 2 暗白色 0 1 0 暗緑色 *0 2 2 明水色 *1 1 1 灰色 *0 0 2 明青色 *2 0 2 明紫色 *1 1 2 灰色 0 0 1 暗青色 1 0 1 暗紫色 *1 2 1 灰色 *2 2 0 明黄色 1 0 2 暗紫色 *2 1 1 灰色 2 1 0 暗黄色 2 0 1 暗紫色 0 0 0 黒色 1 1 0 暗黄色 1 2 0 暗黄色
【0011】このようにして、予め三原色の比率の組合
せを複数の色に対応させてコンピューターの記憶部に記
憶させておき、これを画像信号と対比することにより、
画像信号をそれぞれ例えば上記の16色に分類すること
ができ、図5に示すようにコンピューターモニター5の
画面に画像信号に近似した16色のカラー画像を表示す
ることができる。
せを複数の色に対応させてコンピューターの記憶部に記
憶させておき、これを画像信号と対比することにより、
画像信号をそれぞれ例えば上記の16色に分類すること
ができ、図5に示すようにコンピューターモニター5の
画面に画像信号に近似した16色のカラー画像を表示す
ることができる。
【0012】ごみの燃焼領域9から非燃焼領域10に変
わる点が燃え切り点であるが、この区分は、前記の16
色を予め燃焼領域の色と非燃焼領域の色とに区分して設
定しておき、画像信号がいずれの色に該当するかを決定
することにより行う。燃焼領域9の色は前記16色のう
ち、白色、暗白色、灰色、明赤色、明緑色、明青色、明
黄色、明水色、明紫色(前記の表において*印で表す)
とし、その他の色を非燃焼領域10の色とする。すなわ
ち、燃焼領域7の色は三原色のいずれかが明色(2)で
あるものと、三原色の総和が原則として4以上の色をい
うものとする。このようにして、燃焼領域9の色から非
燃焼領域10の色に変わる最後の位置を検出することに
より、燃え切りレベル16を知ることができる。なお、
画面下より順次走査させ、非燃焼領域10から燃焼領域
9へと最初に変化した位置を燃え切りレベルとすること
もできる。最初または最後に変化した位置が1点の場合
には燃え切りレベルとせず、2点またはそれ以上の特定
の点になった場合に燃え切りレベルとする処理をするこ
とができる。
わる点が燃え切り点であるが、この区分は、前記の16
色を予め燃焼領域の色と非燃焼領域の色とに区分して設
定しておき、画像信号がいずれの色に該当するかを決定
することにより行う。燃焼領域9の色は前記16色のう
ち、白色、暗白色、灰色、明赤色、明緑色、明青色、明
黄色、明水色、明紫色(前記の表において*印で表す)
とし、その他の色を非燃焼領域10の色とする。すなわ
ち、燃焼領域7の色は三原色のいずれかが明色(2)で
あるものと、三原色の総和が原則として4以上の色をい
うものとする。このようにして、燃焼領域9の色から非
燃焼領域10の色に変わる最後の位置を検出することに
より、燃え切りレベル16を知ることができる。なお、
画面下より順次走査させ、非燃焼領域10から燃焼領域
9へと最初に変化した位置を燃え切りレベルとすること
もできる。最初または最後に変化した位置が1点の場合
には燃え切りレベルとせず、2点またはそれ以上の特定
の点になった場合に燃え切りレベルとする処理をするこ
とができる。
【0013】図3ないし図5において、11は炉壁領域
であって、この色は予め炉壁領域の色を測定しておき、
この色をコンピューター4の記憶部に入力しておくこと
により、画像信号中の炉壁領域の色を識別することがで
きる。このようにして、前記燃え切りレベル16と炉壁
領域11との第1交点13をコンピューターモニター5
の画面上での色の変化をコンピューターなどにより識別
することにより決定することができる。図3ないし図5
における12は火格子8と炉壁領域11との境界線であ
って、ごみの燃焼時にはごみがあるため、見ることがで
きないが、図6に示すように予めごみの存在しない状態
で撮像し、これをコンピューター4の記憶部に入力して
おけば、この位置を知ることができる。前記第1交点1
3からの垂線と火格子8と炉壁11との境界線12との
第2交点14を調べ、前記第1交点13と第2交点14
との距離を検出することにより、燃え切りレベルでのご
み厚を求めることができる。
であって、この色は予め炉壁領域の色を測定しておき、
この色をコンピューター4の記憶部に入力しておくこと
により、画像信号中の炉壁領域の色を識別することがで
きる。このようにして、前記燃え切りレベル16と炉壁
領域11との第1交点13をコンピューターモニター5
の画面上での色の変化をコンピューターなどにより識別
することにより決定することができる。図3ないし図5
における12は火格子8と炉壁領域11との境界線であ
って、ごみの燃焼時にはごみがあるため、見ることがで
きないが、図6に示すように予めごみの存在しない状態
で撮像し、これをコンピューター4の記憶部に入力して
おけば、この位置を知ることができる。前記第1交点1
3からの垂線と火格子8と炉壁11との境界線12との
第2交点14を調べ、前記第1交点13と第2交点14
との距離を検出することにより、燃え切りレベルでのご
み厚を求めることができる。
【0014】
【発明の効果】本発明は、以上の説明から明らかなよう
に、炉内の燃焼領域の色、未燃焼領域の色、炉壁の色を
検出することにより、炉壁部における燃え切り点を検出
し、その点におけるごみ厚を検出するので、クリンカの
影響を受けない正確なごみ厚を検出することができる。
に、炉内の燃焼領域の色、未燃焼領域の色、炉壁の色を
検出することにより、炉壁部における燃え切り点を検出
し、その点におけるごみ厚を検出するので、クリンカの
影響を受けない正確なごみ厚を検出することができる。
【図1】本発明の実施例を示す概略説明図である。
【図2】ごみ厚測定部分の拡大図である。
【図3】火格子上でのごみの燃焼領域、非燃焼領域およ
び炉壁領域を示す斜面図である。
び炉壁領域を示す斜面図である。
【図4】ごみのない状態での火格子と炉壁との斜面図で
ある。
ある。
【図5】燃焼中のごみの画像をコンピューターモニター
にて表示した概略図である。
にて表示した概略図である。
【図6】ごみのない状態での火格子と炉壁領域との画像
をコンピューターモニターにて表示した概略図である。
をコンピューターモニターにて表示した概略図である。
【図7】三原色と他の色との関係を示す概略図である。
1 ごみ焼却炉 2 工業用カラーテレビカメラ 3 三原色分離回路 4 コンピューター 5 コンピューターモニター 6 監視用カラーテレビ 7 ごみ 8 火格子 9 燃焼領域 10 非燃焼領域 11 炉壁領域 12 火格子と炉壁領域との境界線 13 第1交点 14 第2交点 15 ごみ厚 16 燃え切りレベル
Claims (1)
- 【請求項1】 焼却炉内をカラーテレビカメラで撮像
し、前記カラーテレビカメラから得られたカラー画像信
号を三原色分離回路にて赤色、緑色、青色の三原色の信
号に分離して、それぞれの色の強さに対して多値化し、
前記画像信号を三原色の強さの比率に対して予め設定し
た複数の色の何れかに分類し、予め設定した燃焼領域、
非燃焼領域、炉壁領域の各領域の色のいずれに該当する
かを決定し、燃焼領域から非燃焼領域への色変化の生ず
る燃え切りレベルを検出し、このレベルと炉壁領域との
第1交点を検出し、予め設定した火格子と炉壁との境界
線と前記第1交点からの垂線が交わる第2交点を検出
し、前記第1交点から第2交点までの距離を求めて、炉
壁と接するごみの燃焼終了点における厚みを検出するこ
とを特徴とするごみ厚検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27074592A JPH06101826A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | ごみ厚検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27074592A JPH06101826A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | ごみ厚検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06101826A true JPH06101826A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17490390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27074592A Pending JPH06101826A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | ごみ厚検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101826A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017187228A (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 日立造船株式会社 | ストーカ式焼却炉 |
-
1992
- 1992-09-16 JP JP27074592A patent/JPH06101826A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017187228A (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 日立造船株式会社 | ストーカ式焼却炉 |
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