JPH06103519A - 複合磁気ヘッド装置及びその製造方法 - Google Patents

複合磁気ヘッド装置及びその製造方法

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JPH06103519A
JPH06103519A JP31688892A JP31688892A JPH06103519A JP H06103519 A JPH06103519 A JP H06103519A JP 31688892 A JP31688892 A JP 31688892A JP 31688892 A JP31688892 A JP 31688892A JP H06103519 A JPH06103519 A JP H06103519A
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core
magnetic head
head
heads
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JP31688892A
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Susumu Okada
将 岡田
Yuichiro Murata
雄一郎 村田
Shinichiro Eguchi
信一郎 江口
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高記録密度で量産性に優れ、安価に製造可能
な複合磁気ヘッド装置を得る。 【構成】 2個の磁気ヘッドをガラスボンディングによ
り一体形成し、ギャップ27,28がインライン上に配
置された構造の複合磁気ヘッドであって、読み出し・書
き込みギャップ長及びギャップ深さが等しく、Cコア半
体対のみにコイルが巻回された2個の磁気ヘッドが薄膜
形成された厚さ5μm以下の非磁性絶縁層を介して平行
かつ対称に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、プロッピーディスク
装置、VTR等の磁気記録再生装置で用いられる磁気記
録媒体の複数のデータトラックに対して磁気的な情報の
記録再生を行う複合磁気ヘッド装置及びその製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】図17は例えば高橋昇司著「フロッピー
ディスク装置のすべて」(CQ出版社、1989年11
月15日発行)に記載された、従来のFDD(フロッピ
ーディスクドライブ)に搭載されているトンネルイレー
ズ方式の複合磁気ヘッド装置の斜視図であり、複合磁気
ヘッドはリードライトコア11と、イレーズライトコア
12と、リードライトギャップ13とイレーズギャップ
14と、リードライトコア11に巻回されたリードライ
トコイル15と、イレーズコア12に巻回されたイレー
ズコイル16とから構成されている。また、リードライ
トコア11とリードライトコイル15によりリードライ
トヘッドが構成され、イレーズコア12とイレーズコイ
ル16によりイレーズヘッドが構成されている。
【0003】図18は複合磁気ヘッド装置のディスク対
接面の拡大図であり、3.5インチ1メガバイト仕様の
複合磁気ヘッド装置のリードライトギャップ13とイレ
ーズギャップ14について、フロッピーディスク装置の
1データトラックに対比させて、読出し・書込みギャッ
プ長1.5μm、イレーズギャップ長2.5μm、読出
し・書込みヘッドのトラック幅131μm、イレーズヘ
ッドのトラック幅71μm×2、ギャップ間距離590
μm等の寸法例を示している。
【0004】図19(A)、19(B)、20(A)、
20(B)は図17に示したトンネルイレーズ方式とは
異なるVTR装置の磁気ヘッドとして用いられる複合磁
気ヘッド装置、例えばトリケップス社の「磁気ヘッド技
術」に記載されているダブルアジマス方式(二つの磁気
ヘッドのギャップ面が非平行でアジマス角を有する。)
の複合磁気ヘッド装置の構成を示し、図19(A)、2
0(A)はテープ摺動面側から見た平面図、図19
(B)、20(B)は正面図である。17は長時間記録
用(EPモード)磁気ヘッド、18は短時間記録用(S
Pモード)磁気ヘッドであり、19a、19bはリード
ライトギャップである。磁気ヘッド17、18の大きな
相違点は、EPモードの磁気ヘッド17の記録再生用ト
ラック幅がSPモードの磁気ヘッド18のトラック幅よ
り狭いことである。
【0005】次に、図17、図18に示したトンネルイ
レーズ方式の複合磁気ヘッド装置の動作について説明す
る。複合磁気ヘッド装置は、フロッピーディスク装置の
磁気記録媒体の複数のデータトラックに対して磁気的な
情報の記録再生を行う電気−磁気変換器、又は磁気−電
気変換器として動作する。
【0006】まず、電気−磁気変換器として動作する書
込み時には、フロッピーディスク装置は複合磁気ヘッド
装置に対して書込み情報のデータ信号に対応する電流を
リードライトコイル15に流し、その電流値に従ってリ
ードライトギャップ13の近傍に強い磁界を発生させ
る。この磁界により磁気ディスク面の磁気記録媒体は磁
化され、データ信号の書込みが行われる。
【0007】次に、磁気−電気変換器として動作する読
出し時には、上記のように磁化された磁気記録媒体の磁
束がリードライトコイル15と鎖交し、これによりリー
ドライトコイル15に電圧が誘起され、この際リードラ
イトコイル15に流れる電流を取り出すことにより記録
情報の読取りを行う。
【0008】上記読出し処理において、磁気ヘッドがデ
ータトラックの中心に常に位置し、磁気ヘッドの位置ず
れ(オフトラック)がないと仮定した場合には、磁気ヘ
ッドの構成はリードライトヘッドのみでよく、イレーズ
ヘッドは不要である。しかし、現実には、磁気ヘッドは
トラックの中心から多少のオフトラックを有するのが通
常である。そのため、オフトラックが発生したときにも
当該データトラックに記録されたデータと隣接データト
ラックに記録されたデータの間のガードバンドを保証す
るため、リードライトヘッドの後方にイレーズヘッドを
設けている。又、最初にデータトラックにリードライト
ギャップ13で書き込んだ後、イレーズギャップ14で
トリミング消去するようにしている。
【0009】ところで、フロッピーディスク装置の大容
量化(高密度化)を図る技術として、(1)磁気記録媒
体面上のトラック密度を高くしてトラック数を多くする
方法と、(2)線記録密度(ビット密度)を高くして1
トラックに記録するビット数を多くする方法、の2つの
方法がある。
【0010】トラック密度を高くするためには、磁気ヘ
ッドがトラックの中心から多少ずれるオフトラック対策
として、従来のフロッピーディスク装置が用いたステッ
ピングモータによるオープンループ方式によるヘッドの
位置決めでは不十分である。そこで、磁気ヘッドの位置
決めのために用いられる特別の信号であるサーボ信号を
磁気記録媒体上に書き込んでおき、そのサーボ信号を磁
気記録媒体から読み出し、これによってヘッドの位置を
常時補正し、磁気ヘッドが常に正しい位置にあるように
制御するクローズドループ(トラックサーボ)方式が用
いられる。
【0011】このような方式のフロッピーディスク装置
では、当然イレーズヘッドは用いられない。もっとも、
フロッピーディスク装置のオーバーライト特性を重視す
る場合、例えばオーバーライト性能の悪いバリウムフェ
ライト媒体を用いる場合には、リードライトヘッドの前
方にイレーズヘッドを設けることがある。
【0012】又、トラック密度を高くした大容量のフロ
ッピーディスク装置を実現する場合には、既存の低密度
仕様のフロッピーディスク装置との互換性の問題が生じ
る。大容量のフロッピーディスク装置の磁気ヘッドは、
トラック密度の高低に対応できる必要があるからであ
る。この問題を解決するためには、例えば特開昭63−
103408号公報に記載されているフロッピーディス
ク装置では、低密度仕様の磁気ヘッドと高密度仕様の磁
気ヘッドを所定の間隔を設けて平行に配置した構成の複
合磁気ヘッドを用いている。
【0013】次に、フロッピーディスク装置と同様に磁
気記録媒体に画像データを記録再生するVTR(ビデオ
テープレコーダ)で用いられるVTRヘッドについて
も、電気−磁気変換器、磁気−電気変換器としての基本
的な動作原理は、フロッピーディスク装置の磁気ヘッド
と同様である。現在広く普及している一般的なVTRで
は、広狭2個の磁気ヘッドを用いており、質のよい画像
を記録する場合にはトラック幅が広い磁気ヘッドで書込
み・読出し(記録再生)を行い、テープ消費量が少ない
長時間記録再生の場合にはトラック幅が狭い磁気ヘッド
でトラック密度が高い記録再生が行われる。
【0014】そして、VTRでもオフトラック対策はも
ちろん取られており、前述した大容量のフロッピーディ
スク装置に採用されているようなクローズドループ方式
が多く用いられ、ヘッドの位置決め用のサーボ信号がビ
デオテープ上の画像記録エリアの外に記録されている。
【0015】また、本発明の先行技術として図45に示
す特開昭63−231711号公報に開示されているフ
ェライトコアからなるツインコアヘッド、図46に示す
特開昭63−20709号公報に開示されているフェラ
イトコアからなるツインコアヘッド、図47に示す特開
平3−71407号公報に開示されている金属磁性多層
膜コアからなるツインコアヘッド、また図50に示す特
開平2−187909号公報に開示されているフェライ
トコアからなるトリプルコアヘッドが提案されている。
これらのヘッドはすべて図48の従来技術の磁気ヘッド
の記録磁化パターンに示すごとく、複数のヘッドでガー
ドバンド(非記録エリア)を介して複数の記録トラック
に同時記録する磁気記録方式に用いる複合磁気ヘッドで
ある。このうち図45〜47のヘッドは各明細書に記載
されているごとく電子スチルカメラ(ビデオフロッピ
ー)への適用を想定して提案されたもので、電子スチル
カメラのガードバンド幅は例えば、磁気記録研究会資料
MR84−31“メタルシート用インラインギャップ薄
膜ヘッド”に記載されているごとく、40μmであり、
図45に示すヘッドを例に取ると、図中、符号W0 によ
り示されている幅がガードバンド幅40μmに相当す
る。
【0016】又、一体に形成された3個の磁気ヘッドか
らなる複合磁気ヘッド装置として前述の特開平2−18
7909号公報が開示されているが、この特許に開示さ
れているヘッドは図51(A)の従来技術の記録磁化パ
ターンに示すごとく、非記録エリアであるガードバンド
を介して複数のトラックに同時記録する記録方式のため
に提案されたものである。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のフロッピーディスク装置のオープンループ方式で
用いられるリードライトヘッドとイレーズヘッドからな
る複合磁気ヘッドによる磁気記録方式では、トラック密
度及び線記録密度が高い大容量のフロッピーディスク装
置の実現が困難であるという課題があった。
【0018】逆に、リードライトヘッドのみからなるク
ローズドループ型の磁気記録方式では、位置決め用のサ
ーボ信号を記録するエリアを特別に設ける必要があり、
データエリアがその分狭くなるという課題があった。
【0019】又、大容量のフロッピーディスク装置にお
いて下位互換を可能にするために、低密度仕様の磁気ヘ
ッドと高密度仕様の磁気ヘッドを所定の間隔を設けて平
行に配置した複合磁気ヘッドを用いた磁気記録方式で
は、低密度仕様の磁気ヘッドと高密度仕様の磁気ヘッド
を各々独立に製造して結合させなければならず、量産性
が悪く高価になるという課題があった。
【0020】さらに、VTRヘッドについても、長時間
記録用(EPモード)の磁気ヘッドと、短時間記録用
(SPモード)の磁気ヘッドを各々独立に製造して結合
させなければならず、量産性が悪く高価になるという課
題があった。
【0021】また電子スチルカメラ等のマルチトラック
ヘッドもガードバンドを介してのマルチトラック記録と
なるため、トラック記録密度の高い記録ができないとい
う課題があった。
【0022】さらに、3個の磁気ヘッドでガードバンド
を介して3個の記録トラックに同時に記録する方式では
トラック密度の高い記録ができないという課題があっ
た。
【0023】また、コア部材として、飽和磁束密度が低
く、高周波磁気特性に劣るフェライトを採用している現
行の磁気ヘッドでは、高密度の記録に適したメタル媒体
に代表される高保磁力の媒体への記録が不十分であり、
高周波磁気記録が困難であるという課題があった。
【0024】この発明は上記のような課題を解決するた
めに成されたものであり、高密度記録が可能であるとと
もに、量産性に優れ、低価格で製造できるツイン構造及
びトリプル構造の複合磁気ヘッド装置及びこれに適した
製造方法を得ることを目的とする。
【0025】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
わる複合磁気ヘッド装置は、読み出し・書き込みギャッ
プ長及びギャップ深さが等しく、Cコア半体対のみにコ
イルが巻回された2個の磁気ヘッドが薄膜形成された厚
さ5μm以下の非磁性絶縁層を介して平行かつ対称に配
置し、かつ磁気ヘッドの各ギャップをインライン上に配
置し、さらに磁気ヘッドの各トラック幅を前記非磁性絶
縁層と各ギャップに隣接してIコア半体とCコア半体に
設けたガラス溝により規制し、Cコア半体対の側部から
Iコア半体とCコア半体の接合面にかけて切り欠いたガ
ラス溝を設けた構成とし、片側のヘッドのトラック幅
(ヘッドのトラック幅が異なる場合、狭い方のトラック
幅)と非磁性絶縁層の厚みの積をギャップ長と非磁性絶
縁層部の長さの積で除した値が10以上にしたものであ
る。
【0026】請求項2に係わる複合磁気ヘッド装置は、
読出し・書込みギャップ長及びギャップ深さが等しく、
Iコア半体は一体構造とし、コイルが巻回されるCコア
半体対を半体対間に設けられる薄膜形成された厚さ5μ
m以下の非磁性絶縁層を介して平行かつ対称に配置し、
かつ磁気ヘッドの各ギャップをインライン上に配置し、
さらに磁気ヘッドの各トラック幅を前記非磁性絶縁層と
各ギャップに隣接してIコア半体とCコア半体に設けた
ガラス溝により規制し、Cコア半体対の側部からIコア
半体とCコア半体の接合面にかけて切り欠いたガラス溝
を設けた構造とし、片側のヘッドのトラック幅(ヘッド
のトラック幅が異なる場合、狭い方のトラック幅)と非
磁性絶縁層の厚みの積をギャップ長と非磁性絶縁層部の
長さの積で除した値を10以上にしたものである。
【0027】請求項3に係る複合磁気ヘッド装置は、磁
気ヘッド間に設けられる非磁性体をガラスと導電性金属
の2層構造としたものである。
【0028】請求項4に係る複合磁気ヘッド装置は、ツ
イン構造の磁気ヘッドの一方をトラック幅が広い下位用
のヘッドとし、他方をトラック幅が狭い上位用のヘッド
としたものである。
【0029】請求項5に係る複合磁気ヘッド装置は、記
録再生時には2個の磁気ヘッドを1個の磁気ヘッドとし
て用い、トラック位置決め時には2個の磁気ヘッドから
の出力により位置決めを行うものである。
【0030】請求項6に係る複合磁気ヘッド装置は、高
密度の記録再生時には一方の磁気ヘッドのトラックを使
用するとともに、低密度の記録再生時には両磁気ヘッド
のトラックを使用し、かつ高密度の記録再生時には一方
の磁気ヘッドの動作中に他方の磁気ヘッドのコイルを短
絡させるものである。
【0031】請求項7に係る複合磁気ヘッド装置は、記
録時には各磁気ヘッドのトラックを使用するとともに、
再生時には2個の磁気ヘッドを1個の磁気ヘッドとして
用いるものである。
【0032】請求項8又は請求項9に係る複合磁気ヘッ
ド装置は、両磁気ヘッドの前方に一方の磁気ヘッドのト
ラック幅又は2個の磁気ヘッドのトラック幅の和の約2
倍のトラック幅を有する消去ヘッドを設けたものであ
る。
【0033】請求項10に係る複合磁気ヘッド装置は、
両磁気ヘッドに対して間隔をおいてトンネルイレーズ方
式または先行消去方式の複合ヘッドを平行に配置したも
のである。
【0034】請求項11に係る複合磁気ヘッド装置の製
造方法は、一方の面に非磁性膜を形成された複数のフェ
ライトピースをこの非磁性膜を介してガラスボンディン
グ法により一体に形成してフェライトピースブロックを
形成するとともに、一対のフェライトピースブロックを
ガラスボンディング法により一体に形成してフェライト
ピースブロック対を形成し、これにコイル溝等を加工し
てコイルを巻回するものである。
【0035】請求項12に係る複合磁気ヘッド装置の製
造方法は、フェライトピースにCコア分離溝を設けて、
この溝にガラスをモールドし、一対のフェライトピース
のガラスモールド側を非磁性膜を介してガラスボンディ
ング法により一体に形成してCコアブロック対を形成
し、このCコアブロック対にIコア用フェライトピース
をガラスボンディング法により一体に合体し、Cコアブ
ロック対にコイル溝を形成してコイルを巻回するもので
ある。
【0036】請求項13から請求項15に係る複合磁気
ヘッドは作動ギャップをインライン上に配列した3個の
独立した磁気ヘッドからなるトリプル構成の磁気ヘッド
とし、さらにこのヘッドの前方に消去ヘッドを一体的に
配置し、しかもこれらの磁気ヘッドをガラスボンディン
グにより一体形成するようにした。
【0037】請求項16に係る複合磁気ヘッド装置の製
造方法は、非磁性絶縁層を介して、平行に配置される3
個の磁気ヘッドのうち、両側に位置する2個の磁気ヘッ
ドの部材を構成するフェライトピースにCコア分離溝を
設けて該溝にガラスをモールドし、前記フェライトピー
スと、前記フェライトピースのガラスモールド側を非磁
性膜を介して、前記3個の磁気ヘッドのうち中央に位置
する磁気ヘッドの部材を構成するフェライトピースとを
ガラスボンディング法により一体に合体してCコアブロ
ックを形成し、このCコアブロックに両側に位置する2
個の磁気ヘッドのトラック幅を規制する溝を設け、溝を
設けられたIコア用フェライトピースと前記Cコアブロ
ックとをガラスボンディングにより一体に合体し、前記
Cコアブロックにコイル溝を設けてこのコイル溝にコイ
ルを巻回するものである。
【0038】請求項17に係る複合磁気ヘッド装置は、
読出し・書込みギャップ長及びギャップ深さが等しく、
ギャップがインライン上に配置され、金属多層磁性膜で
形成されIコア脚部とCコア脚部とを対称に配置した2
個のコア半体対により構成されたツインタイプの2個の
磁気ヘッドを設けたものである。
【0039】請求項18に係る複合磁気ヘッド装置は、
2個の磁気ヘッドのトラック幅が等しく、2個の磁気ヘ
ッドのCコア脚部の半体対を分離する非磁性絶縁層を境
に形状が対称でかつ二つの磁気ヘッドのコイルの巻回数
を等しく、二つの磁気ヘッドの再生感度差が10%以下
としたものである。
【0040】請求項19に係る複合磁気ヘッド装置は、
隣接するヘッドの一方のトラック幅(トラック幅が異な
る場合、狭いトラック幅)と非磁性層の厚みの積をギャ
ップ長と非磁性絶縁層の長さの積で除した値が10以上
としたものである。
【0041】請求項20に係る複合磁気ヘッド装置は、
高密度仕様の記録動作にはトラック幅の狭い方の磁気ヘ
ッドを単独で用い、低密度仕様の記録動作時に二つの磁
気ヘッドを1個の磁気ヘッドとして動作させるようにし
たものである。
【0042】請求項21に係る複合磁気ヘッド装置は、
Iコア脚部は、分離絶縁層のない一体構造のMn−Zn
フェライトまたはNi−Znフェライトで形成したもの
である。
【0043】請求項22に係る複合磁気ヘッド装置は、
ツインタイプの2個の磁気ヘッドの後方にトンネル消去
ヘッドを設けたものである。
【0044】請求項23に係る複合磁気ヘッド装置の製
造方法は、分離溝を形成したセラミックピース基板に絶
縁膜を介して金属多層磁性膜を形成した後分離溝にガラ
スをモールドしかつ絶縁膜を形成してツインコアブロッ
クを形成する工程と、このツインコアブロックをCコア
脚部とIコア脚部とに分離して、Cコア脚部とIコア脚
部にそれぞれにガラス溝を形成するとともにIコア脚部
にギャップ材を形成する工程と、Cコア脚部にU形状の
溝とL形状の溝を順次形成した後に前記ガラス溝側の面
にギャップ材を形成する工程と、Iコア脚部とCコア脚
部とを合体して両者のガラス溝にガラス棒を挿入して熔
着により一体化する工程とを導入したものである。
【0045】請求項24に係る複合磁気ヘッド装置の製
造方法は、両磁気ヘッドを分離する溝を一対の非磁性の
セラミック基板に設けた後、溝を設けた面に金属磁性多
層膜を形成し、次いで該溝にガラスをモールドし、ガラ
スモールド側を非磁性膜を介してガラスボンディングに
より合体し、該ブロックを非磁性膜を介して金属磁性多
層膜が対向する部分の中間の位置で、対向する面に垂直
に切断することによりIコア半体とCコア半体を作製
し、Cコア半体にコイルを巻回するための溝を設けると
共に両コア半体を合体するガラス溝を設け、最後に両コ
アをガラスボンディングにより一体にするものである。
【0046】請求項25から請求項27に係る複合磁気
ヘッド装置は作動ギャップをインライン上に配列した3
個の独立した磁気ヘッドからなるトリプル構成の磁気ヘ
ッドとし、さらにこのヘッドの前方に消去ヘッドを一体
的に配置し、しかもこれらの磁気ヘッドをガラスボンデ
ィングにより一体形成するようにした。。
【0047】請求項28に係る複合磁気ヘッド装置の製
造方法は、中央に位置する磁気ヘッドと両側に位置する
磁気ヘッドを分離する溝を2個の非磁性のセラミックピ
ースに設けた後、溝を設けた面に金属磁性多層膜を形成
し、次いで該溝にガラスをモールドし、この後ガラスモ
ールド面に非磁性膜を形成した2個のピースのうち1個
のピースについてはさらに非磁性膜の上に金属磁性多層
膜を形成してからこれらのピースをガラスボンディング
により合体し、該合体ブロックを非磁性膜を介して金属
磁性多層膜が対向する部分の中間の位置で、対向する面
に垂直に切断することにより、Iコア半体とCコア半体
を作製し、Cコア半体にコイルを巻回するための溝を設
けると共に両コア半体を合体するガラス溝を設け、最後
に両コアをガラスボンディングにより一体にするもので
ある。
【0048】
【作用】請求項1においては、読出し・書込みギャップ
長とギャップ深さが等しい2個の磁気ヘッドが非磁性体
を介して平行に配置され、かつ磁気ヘッドの各ギャップ
がインライン上に配置されたツイン構造とされ、しかも
ヘッド間の絶縁層が薄く、絶縁層長が短い構成を採用し
ているのでヘッド間のクロストークが少なく、しかも図
49の本発明になるヘッドの記録磁化パターンに示すガ
ードバンドレスに近い高密度の記録が可能なヘッドが安
価に提供できる。
【0049】請求項2においては、読出し・書込みギャ
ップ長及びギャップ深さが等しい2個の磁気ヘッドにお
けるコイルが巻回される各Cコア部が非磁性体を介して
一体に形成され、またコイルが巻回されない一体構造の
Iコア部がギャップ部を介してCコア部と一体に形成さ
れるのでさらにヘッドの生産性が改善される。しかも各
Cコア間の絶縁層厚が薄く、絶縁層長が短い構造の実現
が容易であるのでヘッド間のクロストークが少なく、し
かもトラック密度の高い高密度記録が可能となる。
【0050】請求項3においては、磁気ヘッド間の非磁
性体がガラスと導電性金属から形成され、渦電流反作用
が生じて磁気ヘッド間のクロストークが抑制される。
【0051】請求項4においては、一方の磁気ヘッドが
トラック幅が広い下位用のヘッドとされ、他方の磁気ヘ
ッドがトラック幅が狭い上位用のヘッドとされ、下位互
換機能を有する。
【0052】請求項5においては、記録再生時には2個
の磁気ヘッドが1個として用いられ、トラック位置決め
時には2個の磁気ヘッドからの出力信号を比較信号とし
て使用し、両磁気ヘッドからの信号レベルが同一となる
ように磁気ヘッドの位置決めを行う。
【0053】請求項6においては、高密度の記録再生時
には一方の磁気ヘッドのトラックのみ使用され、このと
き他方の磁気ヘッドのコイルは短絡される。
【0054】請求項7においては、記録時には2個の磁
気ヘッドで分割記録し、再生時には2個の磁気ヘッドが
1個の磁気ヘッドとして動作し、より線密度が高い記録
が可能となる。
【0055】請求項8又は請求項9においては、両磁気
ヘッドの前方に2倍のトラック幅を有する消去ヘッドが
設けられ、先行消去が可能となる。
【0056】請求項10においては、両磁気ヘッドと平
行に間隔をおいてトンネルイレーズ又は先行消去方式の
複合ヘッドが設けられる。
【0057】請求項11、12においては、ツイン構造
の複合磁気ヘッドがガラスボンディング法等により一体
に形成される。
【0058】請求項13から請求項16においては、3
個のヘッドを独立したヘッドとして用いることができる
ので、トラック密度の高い高密度仕様の記録が可能とな
り、3個のヘッドのコイルをシリーズに接続することに
より、トラック幅の広い低密度仕様のヘッドとして兼用
することも可能であり、また3個のヘッドのうち、外側
の2個のヘッドを比較信号用に用いることにより、高精
度のトラッキングサーボが実現でき、しかもこれらのヘ
ッドを一体形成により作製するので装置が安価に実現で
きる。
【0059】請求項17においては、フェライトより高
周波透磁率および飽和磁束密度が高く、摺動ノイズが低
い金属多層磁性層膜をCコア脚部とIコア脚部に使用す
ることにより、高保磁力のメタル媒体への高密度記録お
よび転送速度の高い高周波記録に適したS/N比に優れ
た磁気記録再生装置を実現する。
【0060】請求項18においては、2個の磁気ヘッド
のトラック幅が等しく、両磁気ヘッドのCコア脚部の半
体対を分離する非磁性体層を境に形状が対称で両磁気ヘ
ッドのコイルの巻回数が同数であるから、2個の磁気ヘ
ッドの再生信号を比較するサーボ方式を用いた高密度記
録を実現できる。
【0061】請求項19においては、隣接するヘッドの
一方のヘッドのトラック幅(トラック幅が異なる場合、
狭いトラック幅)と非磁性層の厚みの積をギャップ長と
非磁性絶縁層の長さの積で除した値が10以上とするこ
とにより、両磁気ヘッド間のクロストークを抑制する。
【0062】請求項20においては、高密度仕様の記録
動作時には、トラック幅の狭い方の磁気ヘッドを単独で
用い、低密度仕様の記録動作時には、両磁気ヘッドを1
個の磁気ヘッドとして動作させることにより、現行機種
との完全下位互換機能を有する大容量のFDDを実現す
る。
【0063】請求項21においては、Iコア脚部をフェ
ライトとしても、Cコア脚部に金属多層磁性膜を形成さ
れているから、高保磁力のメタル媒体への高密度記録お
よび転送速度の高い高周波記録を可能とし、S/N比に
優れた磁気記録再生装置を実現できる。
【0064】請求項22においては、ツインタイプの2
個の磁気ヘッドの後にトンネル消去ヘッドを設けること
により、現行機との完全下位互換機能をもった高記録密
度の磁気記録再生装置に適用できる。
【0065】請求項23及び請求項24においては、ヘ
ッドの一体形成により、装置を安価に製作できる。
【0066】請求項25から請求項28においては、3
個のヘッドを独立したヘッドとして用いることができる
ので、トラック密度の高い高密度仕様の記録が可能とな
り、3個のヘッドのコイルをシリーズに接続することに
より、トラック幅の広い低密度仕様のヘッドとして兼用
することも可能であり、また3個のヘッドのうち、外側
の2個のヘッドを比較信号用に用いることにより、高精
度のトラッキングサーボが実現でき、しかもこれらのヘ
ッドを一体形成により作製するので装置が安価に実現で
きる。
【0067】
【実施例】
実施例1 以下、この発明の実施例を図面とともに説明する。図1
は実施例1によるツイン構造の複合磁気ヘッド装置の斜
視図である。図1に示すように、複合磁気ヘッド装置
は、磁気回路を構成するMn−Znフェライト、Ni−
Znフェライト等の単結晶または多結晶の金属酸化物か
らなる磁性体(磁気コア)21と、2個の磁気ヘッドを
磁気的に分離するための高融点ガラス22と、2個の磁
気ヘッドの磁気コア半体対を一体形成するための低融点
ガラス23と、2個の磁気ヘッドのトラック幅を規制す
る溝に充填される低融点ガラス24と、2個の磁気ヘッ
ドのコイルを挿入する溝31の磁気ディスク対接面側に
充填される低融点ガラス25と、磁気ギャップに強い磁
界を発生させるためにスパッタリング等の薄膜形成技術
により形成されたセンダスト(Fe−Si−Al)合金
やCo−Zr−Nbアモルファス合金などに代表される
金属磁性体26と、2個の磁気ヘッドのリードライトギ
ャップ27、28と、2個の磁気ヘッドのリードライト
コイル29、30と、コイル挿入後に添付されるシャン
ト用の磁気コアと同種の材料からなるバックコア32
a、32bから構成されている。
【0068】図1及び他の実施例において、高融点ガラ
ス22からなる分離層、ギャップ27、28等は、理解
を容易にするため実際の幅よりも広く表現している。
【0069】又、金属磁性体26は、磁気ディスクの進
入方向に対して後方に配置するIコア半体対のギャップ
面に形成される。磁気的に分離されたCコア半体対のギ
ャップ面に金属磁性体を形成するのはクロストークの観
点から望ましくない。なお、金属磁性体26を形成しな
いフェライトヘッドに関してはCコア半体対を磁気ディ
スクの進入方向に対して後方に配置しても支障はない。
又、リードライトギャップ27、28には、SiO2
Al2 3 等の非磁性体膜がスパッタリングなとにより
薄膜形成されている。
【0070】次に、図1の構成の複合磁気ヘッド装置の
製造方法を図2〜図13に基づいて説明する。まず、図
2は研削加工、ラップ加工などにより所望の寸法に仕上
げられた単結晶又は多結晶の金属酸化物Mn−Znフェ
ライトピース33の斜視図であり、Mn−Znフェライ
トピース33の高融点ガラスまたは結晶化ガラスが薄膜
形成される面は鏡面状に仕上げられる。
【0071】図3はMn−Znフェライトピース33の
一面に10分の1ミクロンから数10ミクロンの厚さの
高融点ガラス(あるいは融着後軟化温度が融着温度より
高くなる結晶化ガラス)34を形成したものの斜視図を
示し、高融点ガラス34は粒径が小さいガラスパウダー
を用いる印刷法、沈降法、スパッタリング、あるいは蒸
着法等により形成される。
【0072】図4は表面に高融点ガラス34を形成され
た複数のMn−Znフェライトピース33を一体融着形
成したものの斜視図を示し、各Mn−Znフェライト3
3は図示のように配列されて矢印で示す方向に荷重が加
えられ、その状態で温度を上げることにより融着一体形
成されてフェライトピースブロック37が形成される。
図5はこのように融着一体形成されたMn−Znフェラ
イトピースブロック37を縦方向に2分の1の大きさに
切断し、これにより形成されたハーフフェライトピース
ブロック35の斜視図を示す。
【0073】図6は2分の1に切断されたハーフMn−
Znフェライトピースブロック35の片面を鏡面研磨し
た後、この鏡面35aにガラス棒を挿入するためのガラ
ス溝35bを形成したものの斜視図を示し、ガラス棒3
5bはダイヤモンドホイールを用いた切削加工などによ
り形成される。
【0074】図7は、ハーフMn−Znフェライトピー
スブロック35のガラス溝35bが設けられた面に厚さ
が数ミクロンのセンダスト等の金属磁性膜36を形成
し、次いでギャップ長の2分の1相当の厚さのSi
2 、Al2 3 等の非磁性膜(図示せず)をスパッタ
リングなどにより薄膜形成したものの斜視図を示す。
又、図8は図5の工程で得られたもう一方のハーフMn
−Znフェライトピースブロック35にガラス溝35b
とギャップ深さを規制するためのアペックス溝35cと
を切削加工により設け、次いで溝35b、35cを設け
た面に図7と同様にギャップ長の2分の1相当の厚さの
SiO2 、Al2 3 等の非磁性体膜(図示せず)をス
パッタリングなどにより薄膜形成したものの斜視図を示
す。
【0075】図9は図7、図8の工程で得られた各ハー
フMn−Znフェライトピースブロック35を図示のよ
うに合体配置し、図3の工程で用いた高融点ガラス34
より低融点のガラス棒38をガラス溝35b、35bと
アペックス溝35cに挿入して融着一体形成したものの
斜視図を示し、2つのハーフMn−Znフェライトピー
ス35は矢印方向に荷重が加えられ、その状態で温度を
上げることにより融着一体形成され、ハーフMn−Zn
フェライトピースブロック対39が形成される。
【0076】図10はハーフMn−Znフェライトピー
スブロック対39にトラック幅規制溝40とヘッドチッ
プ分離予備溝41を切削加工したものの斜視図を示し、
ハーフMn−Znフェライトピースブロック対39はト
ラック幅規制溝40を設ける側の面が所定の寸法になる
ように切削加工され、次いで複数のトラック幅規制溝4
0が切削加工される。その後、トラック幅規制溝40と
反対側にヘッドチップ分離予備溝41を切削加工により
設ける。42は各溝35b、35cにモールドされたガ
ラスである。
【0077】図11は各溝40、41に図9の工程で用
いたガラス棒38と同様のガラス棒を用いてモールド形
成したものの斜視図を示し、ハーフMn−Znフェライ
トピースブロック対39は各溝40、41にガラス棒が
挿入され、矢印の方向に荷重が加えられた状態で温度を
上げることにより、各溝40、41にガラス42をモー
ルドされて形成される。図12はハーフMn−Znフェ
ライトピースブロック対39にコイル挿入溝43、44
を形成したものの斜視図を示し、コイル挿入溝43、4
4は切削加工により形成される。
【0078】図13は図12に示すハーフMn−Znフ
ェライトピースブロック対39を薄切りにしたヘッドチ
ップ45の斜視図であり、このヘッドチップにリードラ
イトコイルを巻回し、磁気回路をシャントするバックコ
アを形成することにより、図1の複合磁気ヘッド装置が
形成される。
【0079】次に、上記のように製造された複合磁気ヘ
ッド装置の動作について説明する。まず、該ヘッド装置
を特開昭50−15520号公報に記載されているよう
な磁気記録再生装置(すなわち、新しいデータ位置決め
方式を採用したトラッキングサーボを用いる大容量のフ
ロッピーディスク装置や固定磁気ディスク装置)に適し
たものとして用いた場合には、以下のような動作とな
る。
【0080】フロッピーディスク装置の磁気記録媒体の
データトラックに情報を記録再生する場合には、ツイン
構造の複合磁気ヘッドの2つの記録再生コイルを直列に
接続し、単一の磁気ヘッドとして用いる。従って、この
場合は記録されたトラック幅は両磁気ヘッドのトラック
幅の和となる。
【0081】一方、クローズドループ方式によるトラッ
キングサーボを行う複合磁気ヘッド装置のヘッド位置決
め動作は、両磁気ヘッドをそれぞれ独立した再生ヘッド
として用い、この両ヘッドから読み出されるデータトラ
ックの再生信号を比較回路で比較することによって行
う。なお、再生信号を比較信号として用いる場合、比較
信号回路に利得が異なる増幅器を用いるときは、2個の
磁気ヘッドのトラック幅は異なってもよい。
【0082】又、上記トラッキングサーボ制御において
ヘッドの位置決めを高精度で行うためには、両磁気ヘッ
ドの記録再生性能が同じであることが望ましい。例え
ば、トラッキングサーボ制御で一方の磁気ヘッドの記録
トラック幅の10分の1のオフトラックを実現するため
には、図42(図中、縦軸はオフトラック幅を2個のヘ
ッドのトラック幅の和で除した値、横軸は2個のヘッド
の再生出力差を感度の高いヘッドの再生出力で除した
値)に示すごとく、両磁気ヘッドの感度比を0.9以下
にする必要がある。そのためには、磁気ギャップ長、図
15に示すギャップ深さGd、全体のディメンジョンの
それぞれについて、両ヘッドによる違いを数%以下に抑
える必要がある。実施例1の複合磁気ヘッド装置の場合
は、上記した製造方法の説明から明らかなようにその条
件を容易に満足させることができる。さらに、トラッキ
ングサーボ制御の精度に関係するものとして、両磁気ヘ
ッド間のクロストークすなわち磁気的干渉をあげること
ができる。
【0083】本記録方式では記録時は2個のヘッドを1
個のヘッドとして動作させる。この場合、2個の磁気ヘ
ッドの実効透磁率が同じであれば2個の磁気ヘッドによ
る記録磁化状態及び再生感度とも同じとなり、クロスト
ークによるオフトラックは生じない。クロストークが深
刻な問題となるのは後述の2個の磁気ヘッドを各々独立
させて動作させる記録方式に用いる場合である。この場
合、2個のヘッドの感度が同じでも、隣接したトラック
の磁化状態が異なるため、特に再生系のクロストークが
大きい課題となる。このクロストークを小さくするに
は、電子スチルカメラ用のヘッドのごとく、両磁気ヘッ
ドのコア間の間隔を広くすることが有効であるが、間隔
を広くすると、データトラックエリアにデータが記録さ
れないデッドゾーンが増えることになるので、記録密度
が低下し、望ましくない。従って、本発明になるヘッド
では両ヘッドを極力接近させ、両ヘッドを厚さ5μm以
下の薄膜形成した絶縁層により分離し、さらにCコア部
の絶縁長を短くし、片側のヘッドのトラック幅(ヘッド
のトラック幅が異なる場合、狭い方のトラック幅)と非
磁性絶縁層の厚みの積をギャップ長と非磁性絶縁層部の
長さの積で除した値を10以上に設定し、クロストーク
の小さい、ガードバンドレスにほぼ近い記録を実現して
いる。後に説明する図43に示すクロストークとコアデ
ィメンジョンの関係を計算した結果から明らかな如く、
実用領域の約0.1以下のクロストークが得られる。さ
らに両ヘッド間の渦電流反作用を利用するために、それ
ぞれの磁気ヘッドの絶縁層に導電性の金属非磁性膜を設
けるのが効果的である。具体的には、高融点ガラス22
に代って、ガラスと導電性金属の2層構造からなるもの
を用いればよい。
【0084】上記のように大容量化に適したトラッキン
グサーボ方式を採用すれば、前述した「フロッピィーデ
ィスク装置のすべて」に記載される従来のセクターサー
ボ方式の磁気ヘッド装置により記録再生される従来の記
録トラックに比較し、データトラックエリアの一部に特
別なサーボデータエリアを設ける必要がないので、線記
録密度(ビット密度)の向上が図れ、しかも周辺回路を
簡略化できるので、磁気記録再生装置の低価格化が実現
される。
【0085】実施例2 次に、特開昭63−103408号公報に記載されて低
密度仕様のヘッドと高密度仕様のヘッドを間隔を設けて
平行に配置した複合磁気ヘッド装置のように、下位互換
の機能を有する大容量のフロッピーディスク装置の磁気
ヘッドとして用いたときの動作について説明する。前述
のように、既存の低密度仕様のフロッピーディスク装置
との互換性を保った大容量のフロッピーディスク装置を
実現する場合には、トラック密度の高低に対応できる必
要がある。ツイン構造の複合磁気ヘッドの前方(磁気記
録媒体の回転方向に対して)に先行消去ヘッドを設けた
図16に示す実施例2の複合磁気ヘッド装置がそのよう
な目的を達成するために最適な構造を有する。
【0086】図16において、先行消去ヘッド付きイン
ライン2ギャップ磁気ヘッドは、複合磁気ヘッド装置4
6と、イレーズギャップ48を有する消去ヘッド47
と、ツイン構造の複合磁気ヘッド装置46と消去ヘッド
47を磁気的に絶縁分離するためのガラスなどからなる
非磁性体のセンタースペーサ49とから構成されてい
る。
【0087】ところで、フロッピーディスク装置では、
データの互換性を保証することがユーザーの要求を満足
させる上で非常に重要となる。そのため、具体的に現在
の3.5インチの2MB(メガバイト)フロッピーディ
スク装置を例にとると、下位互換のために1MBフロッ
ピーディスクの磁気記録媒体を読出し・書込みする機能
を持たせている。このように、従来機とはトラック密度
が異なる大容量のフロッピーディスク装置の普及を図る
ためには下位機との互換性を持たせる必要があり、互換
性を実現するためには高密度仕様のトラック幅が狭い上
位磁気ヘッドと低密度仕様のトラック幅が広い下位磁気
ヘッドからなる複合磁気ヘッド構造を採用しなければな
らない。
【0088】リードライトヘッドの前方に配置される消
去ヘッド47は、トラッキングサーボを採用していない
下位フロッピーディスク装置のオフトラック対策用の先
行消去ヘッドとして用いられる。先行消去ヘッドのトラ
ック幅は、リードライトヘッドのトラック幅の約2倍に
設定されている。なお、先行消去ヘッド方式は最近JI
S化され、2MB/1MB機との下位互換機能を有する
4MBフロッピーディスク装置に実用化されるようにな
った。
【0089】図16において、ツイン構造の複合磁気ヘ
ッド装置の一方の磁気ヘッドは前述のように上位ヘッド
として用いる。この場合、トラッキングサーボは従来の
セクターサーボ方式を用いる。また、トラック幅が異な
る2個の磁気ヘッドが隣接する場合、両ヘッド間のクロ
ストークが問題となる。実施例2では、片方のリードラ
イトヘッドを動作させているときは、他方のリードライ
トコイルを電気的に短絡させて漏れ磁束が還流しないよ
うにする。クロストークの抑制をさらに効果的にするた
めには、ツインコア間の絶縁層厚を薄くすると共にCコ
ア部の絶縁層部の長さを短くし、さらにツイン構造の2
個の磁気ヘッドの間の絶縁層間に、渦電流反作用を利用
するための銅などの導電性を有する金属非磁性膜を設け
るのが望ましい。
【0090】実施例1、2による複合磁気ヘッド装置
は、特開昭63−103408号公報に記載された独立
に作製されている低密度仕様と高密度仕様のヘッドを平
行に配置した複合磁気ヘッド装置に比べ、ツイン構造の
2個の磁気ヘッドを一体形成するので安価に製造でき、
しかも両ヘッドのギャップ位置がインライン上に配置で
きるという長所がある。
【0091】VTRヘッドについては、従来技術で説明
したように長時間モードと短時間モードのトラック幅が
異なる磁気ヘッドを用いるダブルアジマスヘッド方式は
ヘッド価格が高くなり、また2個の磁気ヘッドの相対位
置合せがむずかしいという課題があったが、実施例1、
2のツイン構造の複合磁気ヘッド装置はヘッド価格が安
価に製造でき、また2個の磁気ヘッドの相対位置合せが
不要であるなどの長所がある。
【0092】実施例1、2の複合磁気ヘッド装置をVT
Rヘッドとして用いる場合は、まずツイン構造の複合磁
気ヘッドの一方の磁気ヘッドのトラック幅を長時間記録
再生用のトラック幅に設定する。さらに、他方の磁気ヘ
ッドのトラック幅を、長時間記録再生用のトラック幅と
の和が丁度短時間記録再生用のトラック幅になるように
設定する。
【0093】そして、長時間記録再生で使用する場合は
長時間用のトラック幅に設定した方の磁気ヘッドのみを
用いる。この場合、両ヘッドが近接しているので、両ヘ
ッド間のクロストークが問題になる。すなわち、記録時
には、一方のリードライトコイルにデータ信号に対応す
る電流を流すと他方の磁気ヘッドに漏れ磁束が還流し、
他方の磁気ヘッドからもギャップ磁界で磁気記録媒体に
対して記録が行われることになる。また再生時には、同
様に一方の磁気ヘッドで再生した磁束が他方のヘッドコ
アに還流するので画質の低下を招く。この現象を避ける
ためには、一方の磁気ヘッドが動作しているときは他方
の磁気ヘッドのコイルを電気的に短絡させておく。そう
すると、短絡による誘導電流によって反作用磁束が発生
し、記録再生時とも両ヘッドが近接することによる磁束
の還流を防止することができる。
【0094】次に、短時間記録再生時には、ツイン構造
の2個の磁気ヘッドを単一の磁気ヘッドとして作動させ
る。この場合、両ヘッドのコイルを直列につないでもよ
いが、長時間記録再生の磁気ヘッドのインダクタンスと
の整合性を必要とするときは、別にコイルを設ける方が
よい。なお、両磁気ヘッド間の非磁性体層は無記録層と
なるので、非磁性体層は5ミクロン以下にするのが望ま
しい。
【0095】なお、実施例1では図1に示すように消去
ヘッドがない構造のものを示したが、オーバライト特性
の悪いバリウム媒体を使用する場合、リードライトヘッ
ドの前方に消去ヘッド47を設けて図14に示す構造の
複合磁気ヘッド装置としてもよい。
【0096】実施例3 図21は実施例3による複合磁気ヘッド装置の斜視図で
あり、50、51は各々Mn−Znフェライト、Ni−
Znフェライト等の単結晶または多結晶の高透磁率の金
属酸化物やセンダスト(Fe−Al−Si合金)に代表
される高透磁率金属磁性体からなるツインコアを構成す
るリードライトコアのCコア部、52はCコア部50、
51と同一の部材からなる磁気的に一体構造のリードラ
イトコアのIコア部、53、54は各コア部50〜52
と同一部材からなり、各コア部50〜52を磁気的にシ
ャントするバックコア、55〜57は鉛ガラスに代表さ
れる作業温度が500〜1000℃のガラス、58はS
iO2 、Al2 3 、鉛系ガラス等からなり、スパッタ
リングや蒸着により薄膜形成されるリードライトギャッ
プ、59はリードライトギャップ58と同一部材からな
るツイン構造のCコア部50、51を磁気的に分離する
絶縁層、60、61はCコア部50、51にそれぞれ独
立して巻回されるリードライトコイルである。
【0097】また、図21のAの部分の詳細を図22に
示す。
【0098】次に、上記構成の実施例3による複合磁気
ヘッド装置の製造方法について説明する。まず、図23
に示すように、単結晶又は多結晶のMn−Znフェライ
ト材を研削加工、ラップ加工等により所定の寸法に仕上
げてフェライトピース62を形成する。次に、図24に
示すように、フェライトピース62にCコア分離溝63
及びガラス挿入溝64、65を形成する。
【0099】次に、図25に示すように、Cコア分離溝
63に高融点ガラス66をモールドし、その余剰分を除
去するとともに、高融点ガラス66の表面を平坦研磨す
る。次に、図26に示すように、高融点ガラス66の表
面にCコア間の磁気的クロストークを防止するための非
磁性の絶縁膜67を形成し、Cコアブロック68を形成
する。次に、図27に示すように、複数のCコアブロッ
ク(図では10個)68を合体させ、矢印の方向に荷重
を加えた状態で高融点ガラス66の表面が溶融する程度
の温度で溶融する中融点のガラス棒69をガラス挿入溝
64、65に挿入し、温度を上げて全てのCコアブロッ
ク68を一体熔着させる。
【0100】次に、図28に示すように、ツイン構造の
Cコア部50、51を形成するためにCコアブロック対
75にU溝70を形成する(本工程から作図を簡単にす
るために1ブロックのみを示す)。次に、図29に示す
ように、ツインヘッドのギャップ深さGdを規定するア
ペックスV溝71をCコアブロック対75に形成する。
図35はトラック幅の中心を結ぶ面(図34のX−X
線)で切断したときのツインヘッドの正面図を示し、ギ
ャップ深さGdを明示する図である。
【0101】次に、図30に示すように、ツインヘッド
のCコア部50、51のトラック幅を規制する溝72を
Cコアブロック対75に形成するとともに、ギャップ面
にギャップ材を形成する。次に、図31に示すように、
単結晶または多結晶のMn−Znフェライト材を研削加
工、ラップ加工等により所定の寸法に仕上げ、Iコア部
52の加工用フェライトピース73を形成する。次に、
図32に示すように、フェライトピース73にツインヘ
ッドのIコア部52のトラック幅を規制する溝74を形
成するとともに、ギャップ面にギャップ材を形成する。
【0102】次に、図33に示すように、フェライトピ
ース73とCコアブロック対75を合体させ、トラック
幅規制溝72、74に中融点ガラス76をモールドして
一体化し、その後一点鎖線A、A´、Cに沿って切断
し、さらに一点鎖線B−B´に沿ってU溝77を形成す
る。図34はこのようにして得られたツインヘッドチッ
プを示し、該チップにリードライトコイル60、61を
巻回し、シャント用のバックコア53、54を付加すれ
ば、図21に示すツイン構造の複合磁気ヘッド装置が得
られる。
【0103】次に、上記のように製造された複合磁気ヘ
ッド装置の動作について説明する。まず、該ヘッド装置
を特開昭50−15520号公報に記載されている新し
いデータ位置付け方式によるトラッキングサーボ技術を
採用した大容量のフロッピーディスク装置(FDD)や
固定ディスク装置(HDD)に適したものとして用いる
場合には、以下の動作となる。データ情報を磁気記録媒
体に記録再生する場合には、ツイン構造の複合磁気ヘッ
ドの二つの記録再生コイル60、61をシリーズに接続
し、一個の磁気ヘッドとして用いる。従って、記録トラ
ック幅は両ヘッドの各トラック幅の和となる。
【0104】一方、トラッキングサーボ技術によるヘッ
ドの位置決め動作時は、両ヘッドを独立した再生ヘッド
として用い、両ヘッドによるデータトラックの再生信号
を比較することにより行う。この際、ヘッドの位置決め
動作を高精度で行うには、両ヘッドの記録再生性能が同
一であることが望ましい。例えば、片方のヘッドの記録
トラック幅の10分の1のオフトラック性能を実現する
ためには、両ヘッドの感度比を0.9以下にする必要が
あり、そのためにはギャップ長、ギャップ深さその他の
ディメンジョンをそろえ、その違いを数%以下に抑える
必要がある。実施例3では、その製法から明らかなよう
にこの条件を容易に達成することができる。
【0105】図44(A)に2分割記録時の記録磁化パ
ターンを、図44(B)に再生出力波形を示す。図44
(A)は2個のヘッドを個別に用い、2分の1ビット長
ずらして記録した磁化パターンであり、遷移領域間の距
離をビット長と称するが、最短ビット長はヘッドのギャ
ップ長に依存し、短ビット記録のためにはヘッドのギャ
ップ長を短くする必要がある。図44(B)は2個のヘ
ッドを1個のヘッドとして動作させた時の再生出力波形
であり、ツインヘッドでこうした記録方式を採用するこ
とにより、ギャップ長が同じシングルヘッドによる従来
の記録方式に比して実効記録ビット長を2分の1にする
ことができ、従来の低密度記録用媒体とヘッドギャップ
長はそのままでデータの転送レートを2倍にすることが
できる。
【0106】このように大容量化に適したトラッキング
サーボ方式を採用すれば、前述した「フロッピーディス
ク装置のすべて」に記載されている従来の記録トラック
のデータエリアの一部に特別にサーボデータエリアを設
けるセクターサーボ方式に比べ、データ記録量の向上が
図れ、しかも周辺回路が簡略化され、磁気記録再生装置
の低価格化が実現される。
【0107】実施例4 次に、オープンループ方式の従来機(1、2、4メガバ
イトの各FDD)との互換機能を有し、かつ大容量FD
Dを実現するため、一つのヘッドスライダにツイン構造
の複合磁気ヘッドに対して所要の間隔をおいて従来の2
MBまたは1MBのトンネルイレーズ方式のヘッドを平
行配置したものを図36に示す。図示していないが、低
密度仕様のヘッドとして4MBのFDDに採用されてい
る先行消去方式のヘッドを平行配置したものも当然含ま
れる。図36において、78は図21に示したツイン構
造の高記録密度の複合磁気ヘッド装置、79は図17、
図18に示した従来の低密度使用のトンネルイレーズ型
の複合磁気ヘッド装置である。80〜82はチタン酸カ
ルシウム、チタン酸バリウム等の高硬度のセラミックか
らなるスライダ材である。なお、ヘッドコイルは図示省
略してある。
【0108】オープンループ方式の従来機では、容量が
異なる機種間の互換機能を保証するため、トラック密度
は同じで線記録密度が異なる方式を採用しており、高ト
ラック密度のFDDを実現するためには、互換保証の観
点から図36の構成となる。この場合、低密度仕様の記
録はトンネルイレーズ方式または先行消去方式の複合磁
気ヘッド装置79を用い、高密度仕様の記録はツイン構
造の複合磁気ヘッド装置78を用いる。
【0109】実施例5 図37は実施例5による複合磁気ヘッド装置の構成を示
し、図19に示した複合磁気ヘッド装置78の前方に磁
気的絶縁層(センタースペーサ)を介してツインヘッド
の2つのトラック幅の和の約2倍のトラック幅を有する
先行消去ヘッドを設けたものである。図において、83
は複合磁気ヘッド装置78の前方にガラス、セラミック
などからなる磁気的絶縁物84を介して一体に設けられ
た消去ヘッドであり、磁気的絶縁物84はガラスの場合
にはガラス熔着され、セラミック等の場合には有機接着
される。また、85はリードライトコア50〜52と同
一部材の磁性体からなる消去ヘッド83のIコア部、8
6はリードライトヘッドと消去ヘッド83の間の磁気的
クロストークを防止するために設けられたガラスなどか
らなる磁気的絶縁物、87、88はガラス55、56と
同一部材のガラス、89はリードライトコア50〜52
と同一部材の磁性体からなる消去ヘッドのCコア部、9
0はCコア部89に巻回される消去コイル、91、92
は各コア材と同一の磁性体からなるバックコア、93は
消去ギャップ(イレーズギャップ)である。実施例5で
は、記録時は2個の磁気ヘッドで分割記録し、再生時は
2個の磁気ヘッドを1個の磁気ヘッドとして動作させ
る。このような記録方式を採用することにより、磁気記
録の線密度を左右するのは磁気媒体の磁気特性(主とし
て保磁力)とヘッドのギャップ長であるが、従来の磁気
ヘッドと同一のギャップ長でより線密度の高い(2倍)
記録ができる大容量のFDDやHDDがインラインギャ
ップのツイン構造の磁気ヘッドで実現することができ
る。さらに、ツインヘッドの前方に消去ヘッド83を設
けたことにより、2個のヘッドのトラック幅の和を下位
機のトラック幅に合わせると、さらに大容量のオープン
ループ方式の下位互換機能を有する安価なFDDを実現
することができる。
【0110】実施例6 図38は実施例6による複合磁気ヘッド装置の構成を示
し、94はリードライトコアのIコア部と消去コアのI
コア部を兼用するセンターコアであり、他の構成は実施
例5と同様であり、実施例5と同様な効果を有する。
【0111】センターコア間に絶縁層のないセンターコ
ア一体型のヘッドはセンターコアの磁気抵抗が小さく、
読出し・書込みヘッドの再生効率が高いという長所を有
する。この構造のヘッドで問題となる消去ギャップで拾
う磁束が読出し・書込みコアに還流するイレーズクロス
トークに対しては、消去コアの磁気抵抗とセンターコア
の磁気抵抗をほぼ同じにするヘッド構造を採用すること
により、このクロストークの抑制が可能である。
【0112】実施例7 図39は実施例7による複合磁気ヘッド装置の構成を示
し、この例では複合磁気ヘッド装置95は図21のもの
と若干異なり、Cコア部50a、51aのトラック幅が
相互に異なる。また、各トラックの中点を結ぶ線はギャ
ップ56、93のラインに対して垂直である。他の構成
は図37と同様である。
【0113】次に、図39に示した上記装置を特開昭6
3−103408号に記載された下位互換の機能を有す
る大容量のFDDヘッドとして用いたときの動作を説明
する。この場合、ツイン構造のヘッドの一方をトラック
幅が従来の1、2、4MBのトラック幅と同じ下位用の
ヘッドとして設定するとともに、他方のヘッドを高密度
仕様のトラック幅の狭い上位用のヘッドとして用い、し
かも下位磁気ヘッドの前方にそのトラック幅の約2倍の
トラック幅を有する消去ヘッド83を設けており、トラ
ック位置決め動作は従来のセクターサーボ方式を用い
る。
【0114】この記録方式のヘッドとして用いる場合
は、前記した2分割記録方式のヘッドとして用いる場合
と同様両ヘッド間の記録時及び再生時のクロストーク
(記録時のクロストークとは一方のヘッドで励磁した時
の他方のヘッドのギャップで再生した磁束のうち他方の
ヘッドで再生した磁束の一方のヘッドのコイルへの漏れ
鎖交量と一方のヘッドで再生した磁束の一方のヘッドの
コイルへの鎖交量の比を言う)の抑制が課題となる。磁
気ディスクに保磁力の大きい媒体を使用する場合、僅か
な漏れ磁束では十分に記録できないので、記録系よりむ
しろ再生系のクロストークの低減が大きい課題となる。
【0115】実施例3は実施例1と同様クロストーク低
減のための類似の最適なヘッド構造を採用している。実
施例3ではIコアは絶縁層厚が薄いのでクロストーク低
減効果がさほど期待できないのでむしろ生産性の向上と
いう観点から一体構造としているが、Cコアに関しては
Cコア半体対間の絶縁層厚を薄くし、絶縁層部の長さを
短くする構造を採用している。具体的には絶縁層を薄膜
形成により、5μm以下とし、しかも片側のヘッドのト
ラック幅(ヘッドのトラック幅が異なる場合、狭い方の
トラック幅)と非磁性絶縁層の厚みの積をギャップ長と
非磁性絶縁層部の長さの積で除した値を10以上に構成
している。例えば、図22に示すように、2個のヘッド
のトラック幅の和が115μm、ギャップ長が0.5μ
m、絶縁層59の厚みが2μm、絶縁層の長さが8μ
m、ヘッドコア材の透磁率が5000の時、後に説明す
る図43の計算結果に示すように、クロストークを−2
4dBとすることができる。
【0116】また、長時間(EPモード)及び短時間
(SPモード)の記録再生に二つの個別に作製したトラ
ック幅が異なる2種類のヘッドを用いるVTRの画像の
記録再生のためのダブルアジマスヘッド方式は高価とな
り、また二つのヘッドの相対位置合せが難しかったが、
ツイン構造の磁気ヘッドは安価でヘッドの相対位置合せ
が不要となる。VTRヘッドとして用いる場合、一方の
磁気ヘッドのトラック幅を長時間用のトラック幅に設定
するとともに、両磁気ヘッドのトラック幅の和を短時間
用の広いトラック幅になるように設定し、長時間記録時
は一方のヘッドを用い、クロストークを防止するために
他方の磁気ヘッドのコイルを短絡する。また、短時間記
録時は二つのヘッドのコイルを直列に接続して一つのヘ
ッドとして用いる。
【0117】実施例8 図40は実施例8による複合磁気ヘッド装置の構成を示
し、図39に示した複合磁気ヘッド装置95のIコア部
52と消去ヘッド83のIコア部85に兼用するセンタ
ーコア94を設けたものであり、他の構成は実施例7と
同様である。このような構成により構造を簡単にするこ
とができる。
【0118】なお、センターコアを共用したときの電磁
性能との関連については実施例6に記したのと同じであ
る。
【0119】実施例9 図41は実施例9による複合磁気ヘッド装置の構成を示
し、図21に示した複合磁気ヘッド装置78とトンネル
イレーズ型消去ヘッド96を一体にしたものであり、そ
れぞれのIコア部52、98を磁気的絶縁物84を介し
て接続するとともに、バックコア53、54とバックコ
ア99、100を磁気的絶縁物86を介して接続してお
り、効果は上記実施例と同様である。
【0120】なお、Mn−Znフェライト、Ni−Zn
フェライト等の金属酸化物を用いるツインヘッドにおい
て、Iコア部のギャップ面にギャップ材形成前にCo−
Nb−Zrアモルファス合金やセンダスト(Fe−Si
−Al)等のフェライトより飽和磁束密度の高い金属磁
性体を薄膜形成した高保磁力媒体に対し優れた記録性能
を有するいわゆるMIG(メタルインギャップ)タイプ
のツイン構造ヘッドも本発明に含まれる。ただし、Cコ
ア部にギャップ材形成前に磁性膜を形成するのは、二つ
のコア部が磁性膜を介して磁気的に短絡されるので好ま
しくない。
【0121】実施例10 図52は本発明になるトリプル構造の複合磁気ヘッド装
置の斜視図である。
【0122】同図において、111、112、113は
各Mn−Zn、Ni−Znフェライト等の単結晶または
多結晶の高透磁率の金属酸化物やセンダスト(Fe−A
l−Si合金)に代表される金属磁性体からなるトリプ
ルコアを構成するR/WコアのCコア部、121は11
1、112、113と同一の部材からなる磁気的に一体
構造のR/WコアのIコア部、131、132、133
は前記R/Wコアと同一部材からなるR/WコアのCコ
ア部とIコア部を磁気的にシャントするためのバックコ
ア、141、142、143、144は500〜100
0℃の作業温度で充填されるガラス、151、152、
153はスパッタリングや蒸着等により薄膜形成される
SiO2 、Al2 3 などからなるR/Wギャップ、1
61、162は151、152、153と同一部材から
なるトリプルコアの各Cコア部を磁気的に分離するため
の絶縁層、なお各Cコア脚に巻回されるR/Wコイルの
図示は省略されている。
【0123】本実施例の複合磁気ヘッドは、特開昭50
−15520号に記載されている新しいデータ位置付け
方式によるトラッキング・サーボ技術を採用したトラッ
ク密度の高い大容量のフロッピーディスク装置(FD
D)や固定ディスク装置(HDD)に適した磁気ヘッド
として用いることができる。
【0124】すなわち、データ情報を磁気媒体に記録
し、そして再生する際には、個別にコイルが巻回された
トリプル構造の3個の磁気ヘッドを各々独立したヘッド
として用い、並列した3つのデータ・トラックに情報を
分割記録する。
【0125】一方、トラッキング・サーボを用いたヘッ
ドの位置決め動作はトリプル構造の3個の磁気ヘッドの
うち、両側の2個の磁気ヘッドによる。この際、中央の
トラックにはデータ情報のみを記録するが、両側の2個
のデータ・トラックの一部にインライン上にトラックサ
ーボのための信号比較用の情報を記録しておく。
【0126】この際、ヘッドの位置決め動作を高精度で
行うには、両ヘッドの記録・再生性能が同一であること
が必要である。1個のヘッドのトラック幅の10分の1
のオフ・トラック性能を実現するためには両ヘッドの感
度比を0.9以上にする必要がある。このためには、ギ
ャップ長(ギャップの幅のことでヘッド用語)Gl(図
67参照)、ギャップ深さGd(図66参照)、トラッ
ク幅Tw(図67参照)の差を数%以下にする必要があ
る。
【0127】図51(B)に示す本発明になる記録磁化
パターンに示すごとき、トラック密度の高い記録を実現
するため、ヘッド間の間隔が非常に小さい3個の磁気ヘ
ッドで3個のトラックに異なった情報を記録する際、ヘ
ッド間の漏れ磁束に起因するクロストークの抑制が大き
い課題となる。この課題を解決するため、本発明になる
ヘッドはクロストークの低減という観点からはメリット
がないので、むしろ生産性の向上という観点からIコア
を一体構造とし、一方、Cコアに関しては各Cコア半体
間の絶縁層を薄くし、絶縁層部の長さを短くする構造を
採用している。具体的には絶縁層を薄膜形成により、5
μm以下とし、しかも隣接する2個の磁気ヘッドの片側
のヘッドのトラック幅と非磁性絶縁層の厚みTtの積を
ギャップ長と非磁性絶縁層部の長さ(切り込み深さ)T
lの積で除した値を10以上に構成している。このよう
な構成を採用することにより、図43(縦軸のクロスト
ークは漏れ磁束を主磁束で除した値、横軸の値は1個の
ヘッドのトラック幅と絶縁層の厚みの積をギャップ長と
絶縁層の長さの積で除した値)に示すごとく、漏れ磁束
を10%以下に抑えることができる。例えば、図67に
示すように、3個のヘッドのトラック幅の和が115μ
m、ギャップ長が0.4μm、絶縁層の厚みが2μm、
絶縁層の長さが8μm、ヘッドコア材の透磁率が500
0の時、図43の計算結果に示すように、クロストーク
を−23dBとすることができる。
【0128】次に本発明の第一実施例になる複合磁気ヘ
ッドの特徴的な製造方法を加工プロセスを示す図53か
ら図65により説明する。
【0129】図53、図54は研削加工、ラップ加工等
により所要の寸法に仕上げた単結晶または多結晶のMn
−ZnフェライトからなるCコア加工に用いるフェライ
トピース111または113及びフェライトピース11
2である。
【0130】図55はフェライトピース111にCコア
分離溝171及びガラス挿入溝172、173が形成さ
れる工程を示す。
【0131】図56はCコア分離溝に高融点ガラス14
1をモールドし、余剰ガラスを除去し、モールドガラス
面を平坦研磨する工程を示す。
【0132】図57はモールドガラス面にCコア間の磁
気的クロストークを防止するための非磁性の絶縁膜を形
成する工程を示す。
【0133】図58は前工程で作製した複数のCコア及
びIコアブロックを図の如く合体させ、矢印の方向に荷
重を印加した状態で、モールドガラス141の表面が溶
融する程度の作業温度のガラス棒143、144を用
い、温度を上げて、全てのCコア、Iコアを一体熔着す
る工程を示す。
【0134】以降の工程では作図を簡便にするため、I
ブロックのみでの工程を示す。
【0135】図59はトリプルコアの各Cコアを分離
し、R/Wコイルを挿入するU溝174、175を施す
加工工程を示す。
【0136】図60はトリプルコアヘッドのギャップ深
さ(図66に示すGd)を規定するアペックスV溝17
6加工及びトラック幅を規制するための溝177、17
8を施す工程を示す。
【0137】この加工が終った後、図では省略されてい
るが、作動ギャップ面にギャップ材が形成される。
【0138】図61は研削加工、ラップ加工等により所
要の寸法に仕上げた単結晶または多結晶のMn−Znフ
ェライトからなるIコア加工に用いるフェライトピース
120である。
【0139】図62はIコア用のフェライトピース12
0を研削加工によりガラスをモールドするための溝17
9、180を施す工程を示す。この加工が終った後、図
では省略されているが、作動ギャップ面にギャップ材が
形成される。
【0140】図63は図60に示したコアと図62に示
したコアを図の如く合体させ、矢印の方向に荷重を印加
した状態で、179、180をモールドし両コアを一体
熔着する工程を示す。
【0141】図64は図63に示す一点鎖線Aに沿って
のU溝研削加工、一点鎖線Bに沿っての切断加工を施す
工程を示す。
【0142】図65は図64に示すコアにシャント用の
バックバー131、132、133を添付する工程を示
す。
【0143】実施例11 また、上記実施例では消去ヘッドを持たない構造のもの
について説明したが、図68に示す消去ヘッドのCコア
部を第一の実施例のヘッド前方、すなわち、媒体の流入
側に併設した消去ヘッド付きトリプル構造ヘッドも本発
明に含まれる。本ヘッドのIコア脚はR/WコアとEコ
アのIコア脚を併用する。図中の各符号のうち、図52
に示した符号と同一のものは同一相当部分を示す。従っ
て、ここでは図52に記していない符号部分についての
み説明する。145、146は141〜144と同一の
充填ガラス、154は151〜153と同一の部材から
なる消去(E)ギャップ、170は111〜113、1
20と同一部材からなるEコアのCコア脚である。
【0144】本ヘッドを用いることにより、オープン・
ループ方式の現行機種(1、2、4メガバイトの各FD
D)に使用される各種フロッピーディスクを読書きでき
る互換機能を有する前記実施例10で説明した大容量の
FDDが実現できる。下位互換機として使用する場合は
各下位機の記録トラックの幅は同じであるので、トラッ
ク幅の等しい3個のヘッドのトラック幅の和を下位機に
合わせ、かつギャップ長を4MB機のそれに合わせ、各
ヘッドのコイルをシリーズに接続し、トリプル構造のヘ
ッドを一体型の1個のヘッドとして用いる(4MB機は
1/2MB機との下位互換機能を有する)尚、この場
合、消去ヘッドのトラック幅を3個のR/Wヘッドのト
ラック幅の和の約2倍に設定する。
【0145】実施例12 図69はこの発明の一実施例の構成を示す斜視図であ
る。図69において、201、202はそれぞれCコア
脚部を構成するセンダスト(Fe−Al−Si合金)や
Co−Zr−Nb系アモルファス合金に代表される高透
磁率の金属多層磁性膜である。
【0146】また、203、204はそれぞれIコア脚
部を構成し、上記Cコア脚部と同一材料による金属多層
磁性膜である。
【0147】205、206はCコア脚にR/Wコイル
(図では省略)を挿入後、Cコア脚部とIコア脚部とを
磁気的にシャントするためのMn−Znフェライトに代
表される高透磁率磁性体からなるバックバーである。
【0148】207、208、212はツインコアのC
コア脚部、Iコア脚部とをギャップ材を介して一体化の
工程でモールドされるガラスである。210、211は
それぞれCコア脚部とIコア脚部の金属多層磁性膜から
なる両コア間にモールドされるガラスである。
【0149】213、214はSiO2 、Al2 3
どの非磁性絶縁膜からなるツインコアヘッドのR/Wギ
ャップである。
【0150】215はツインコアヘッドの両ヘッドを磁
気的に分離するためのSiO2 などからなる絶縁スペー
サである。
【0151】さらに、216、217、218、220
は金属多層磁性膜がスパッタリングなどにより薄膜形成
されるチタン酸カルシウムなどに代表されるセラミック
基板である。
【0152】(A)ところで、特開昭50−15520
号に記載されている新しいデータ位置付け方式によるト
ラッキング・サーボ技術を採用した大容量のFDDやH
DDに適した新構造の磁気ヘッドとしてこの発明の磁気
ヘッド装置を用いる場合には、以下に記載するように動
作する。
【0153】データ情報を磁気媒体に記録し、再生する
際には、トラック幅の等しいツインコアヘッドの二つの
記録・再生コイルをシリーズに接続し、1個の磁気ヘッ
ドとして動作させる。
【0154】従って、記録されたデータエリアは両ヘッ
ドの各トラック幅の和となる。
【0155】一方、トラッキングサーボをかけ、ヘッド
の位置決めを行うときは、両ヘッドを独立した再生ヘッ
ドとして用い、両ヘッドによるデータトラックの再生信
号の大小を比較し、信号のレベルが同一の位置にヘッド
を位置付け、動作させる。
【0156】この際、ヘッドの位置決め動作を高精度で
行うには、両ヘッドの記録、再生性能が同一であること
が望ましい。
【0157】片方のヘッドの記録トラック幅の10分の
1のオフ・トラック性能を実現するためには、両ヘッド
の感度比を0.9以下にする必要がある。
【0158】このためには、R/Wギャップ長、トラッ
ク幅をはじめ、ヘッド各部のデイメンションを揃え、そ
の違いを数%以下に抑える必要がある。後に詳述するこ
の発明の磁気ヘッドの製造方法から見て、明らかなごと
く、これは容易に実現できる数値である。
【0159】このようなトラッキングサーボ方式を採用
すれば、前記著書「フロッピーディスク装置のすべて」
に記載されている従来の記録トラックのデータエリアの
一部に特別にサーボデータエリアを設けるセクタサーボ
方式に比べ、データ記録量の向上が図れ、しかも周辺回
路が簡略化され、装置の低価格化が実現できる。
【0160】さらに、現在ヘッド部材として広く使用さ
れているフェライトに比べ、高周波磁気特性(10MH
z以上)が格段に優れ、飽和磁束密度が2倍以上の金属
多層磁性膜を採用しているので、現行の磁気記録装置よ
り、さらに高周波で使用でき、一層の大容量磁気記録装
置が実現できる。
【0161】(B)次に、オーンループ方式の3.5イ
ンチの現行機{1、2、4MB(メガバイト)}との互
換機能(現行のフロッピーディスクに読書きできる機
能)を有し、かつ前記(A)に記した磁気記録方式の大
容量のFDDを実現するため、一つのヘッドライダに図
69に示すツインコアヘッドと現行機種に採用されてい
る4MB用先行消去方式の複合ヘッドを所要の間隔をお
いて、並行配置した図73に示した複合磁気ヘッド装置
が使用できる。
【0162】また、図示していないが、低密度仕様ヘッ
ドとして、1、2MB機に採用されている図17に示す
トンネル消去方式の複合ヘッドをツインヘッドに対して
並行配置した複合磁気ヘッド装置もこの発明に含まれ
る。
【0163】オープンループ方式の現行機種では、容量
の異なる機種間の前記した互換機能を保証するため、ト
ラック密度は同じで、線記録密度の異なる方式を採用し
ている。
【0164】互換保証の観点から高トラック密度で高線
密度のFDDを実現するためには、このように構成した
複合磁気ヘッドが創案される。
【0165】これらの磁気記録方式では、明らかに低密
度仕様の記録には、トンネルイレーズ方式または先行消
去方式のヘッドを用い、高密度仕様の記録には、ツイン
構造のヘッドを用いる。
【0166】(C)特別に作製された現行の先行消去ヘ
ッド付きR/Wヘッドまたはトンネル消去ヘッド付きR
/Wヘッドをこの発明におけるツインコアヘッドに対
し、所要の間隔をおいて、並行配置するのではなく、ツ
インコアヘッドの前方または後方に先行消去ヘッドまた
はトンネル消去ヘッドを一体配置した図71および図7
2に示す複合磁気ヘッドを用いることにより、現行機種
との完全下位互換機能を有する大容量のFDDが実現で
きる。
【0167】これに関して、以下に説明するトラック幅
のディメンションの設定に特徴がある2種類の複合ヘッ
ドが考えられる。
【0168】(a)第1の複合ヘッドはツインコアの一
方のトラック幅を現行機種である1、2、4MB機のト
ラック幅に設定し、他方のトラック幅を高密度仕様のヘ
ッドのトラック幅に設定する。
【0169】1、2MB機との互換機に関しては、図7
2に示す下位ヘッドの後方にトンネル消去ヘッドを一体
配置した複合ヘッドを用いる。
【0170】1、2、4MB機との互換機に関しては、
図71に示す下位ヘッドの前方に消去ヘッドを一体配置
した複合ヘッドを用いる。
【0171】なお、下位ヘッドのトラック幅、トラック
の相対位置に関しては、現行機に合わせる。そして、ツ
インコアヘッドの他方のトラック幅の広いR/Wヘッド
と消去ヘッドからなる複合ヘッド系を現行の低密度仕様
の記録に使用する。高密度記録時のトラッキングサーボ
は現行のセクタサーボ方式による。
【0172】(b)第2の複合ヘッドは、ツインコアの
一方のトラック幅を高密度仕様のヘッドのトラック幅に
設定し、このトラック幅と他方のトラック幅の和を現行
機種である1、2、4MB機のトラック幅に設定する。
【0173】高密度記録時は高密度仕様のトラック幅に
設定された一方のツインコアヘッドの前方または後方に
先行消去ヘッドまたはトンネル消去ヘッドを一体配置し
た複合ヘッド系として用い、ツインコアヘッドの2個の
ヘッドを1個のR/Wヘッドとして一体動作させる。
【0174】なお、高密度記録時のトラッキングサーボ
は現行のセクタサーボ方式による。トラック幅の仕様を
このように設定すれば、VTRに用いられているダブル
アジマス方式のトラック幅の広い短時間記録用のヘッド
とトラック幅の狭い長時間記録用のヘッドからなる複合
ヘッドに代替できる。
【0175】すなわち、短時間記録用としては、ツイン
ヘッドを1個のヘッドとして動作させ、長時間記録用と
しては、トラック幅の狭い方のヘッドを用いる。
【0176】現行のダブルアジマス方式のヘッドは2個
のヘッドを個別に作製する必要があり、また、両ヘッド
の位置合わせが難しいが、ツインコアヘッドでは、この
ような問題点が解消される。
【0177】実施例13 次に、上記実施例1の複合磁気ヘッドの特徴的な製造方
法を図74〜図86により説明する。
【0178】まず、図74に示すように、研削加工、ラ
ップ加工などにより、所要の寸法に仕上げたたとえばチ
タン酸カルシウムに代表されるセラミックピース基板2
00を用意する。
【0179】次に、図75に示すように、セラミックピ
ース基板200にツインコア間に設ける分離溝235を
ダイヤモンドホイールを用いた研削加工により設ける。
【0180】次に、図76に示すように、分離溝235
にスパッタリングなどの薄膜形成技術を用い、SiO2
などの非導電性の絶縁膜236を介して、高飽和磁束密
度で高透磁率のセンダスト、アモルファス合金の多層磁
性膜237、238を形成する。
【0181】次に、図77に示すように、多層磁性膜2
37、238で形成した分離溝235上にガラス240
をモールドする。モールドした余剰ガラスをラッピング
加工により、除去する。すなわち、分離溝235上にの
みガラス240を残す。
【0182】次に、図78に示すように、2個のツイン
コアを磁気的に分離するために、SiO2 などの絶縁膜
242をスパッタリングなどにより、薄膜形成する。
【0183】次に、図79に示すように、両ツインコア
を合体させる。この場合、上側のツインコアの絶縁膜2
42と下側のツインコアの絶縁膜242とが接合するよ
うに、上側のツインコアの表裏を逆方向にして下側のツ
インコア上に載置する。
【0184】次に、この図79において、矢印A1、A
2方向に荷重を印加し、一体熔着してツインコアブロッ
クを形成する。
【0185】次に、図80に示すように、上記の一体熔
着により作製したツインコアブロックをCコア脚部24
1とIコア脚部242に分離するための切断を行う。
【0186】この切断処理の後、図81に示すように、
Cコア脚部241とIコア脚部242の各ブロックにガ
ラスを充填するためのガラス溝243、244を形成す
る。Iコア脚部242のブロックについては、この後、
矢印A3面にSiO2 などのギャップ材(図示せず)を
形成する。
【0187】次に、図82に示すように、ガラス溝24
3、244の加工の済んだCコア脚部241のブロック
に「U」形状の溝245を研削加工により矢印A4の方
向に施す。
【0188】次に、図83に示すように、U形状の溝2
45の加工を終えたCコア脚部241のブロックに
「L」形状の溝246を研削加工により設ける。
【0189】次に、この「L」形状の溝246の形成
後、図84に示すように、Cコア脚部241のブロック
に、テーパ部247を形成するために、テーパ研削加工
を施し、次いで、矢印A5の面にSiO2 などのギャッ
プ材(図示せず)を形成する。これにより、Cコア脚部
241のブロックおよびIコア脚部242のブロックの
両方にギャップ材が形成されたことになる。
【0190】次に、前記加工が終わった後、図85に示
すように、Cコア脚部241のブロックとIコア脚部2
42のブロックを合体させて、矢印A6、A7の方向
に、荷重を印加し、ガラス棒248を用いて、温度を上
げ、このガラス棒248を溶融させて、Cコア脚部24
1とIコア脚部242とを一体熔着する。
【0191】この一体熔着されたツインコアブロック
に、破線250、251で示す面まで、ラッピング加工
を行い、この後、2個のコイル(図示せず)を巻回し、
2個のバックバーリア部に接続することにより、図92
に示すごとき、ツインコアヘッドが完成する。図92中
の266、267はバックバーを示す。
【0192】実施例14 また、図87〜図91は、図70に示す実施例の複合磁
気ヘッドの製造方法の工程説明図である(製造方法の第
2実施例)。
【0193】まず、図87に示すように、セラミック基
板にツインコアのCコア間の分離溝253を研削加工に
より形成する。
【0194】次いで、この分離溝253の加工終了後、
図88に示すように、セラミック基板252に金属多層
磁性膜254〜256をスパッタリングなどにより、薄
膜形成して、ツインコアブロック257を形成する。
【0195】上述のように、金属多層磁性薄膜254〜
256の形成後、次に、図89に示すように、これらの
金属多層磁性膜254〜256の段丘の上部にSi
2 、Alなどの非磁性のスペーサ258をスパッタリ
ング、蒸着、イオンプレーティングなどにより形成し
て、ツインコアブロック260を形成する。
【0196】次に、上記図88で示した一方のツインコ
アブロックと非磁性のスペーサ258が薄膜形成された
図89に示す他方のツインコアブロックを図90に示す
ように、合体させ、矢印A8、A9の方向に荷重をか
け、温度を上昇させながら、ガラスの角棒261を用い
て、一体的に熔着する。
【0197】この後、上記実施例13の第1の製造方法
で述べた図81以降の工程の処理を行うことにより、図
92に示すツインコアヘッドが得られる。
【0198】実施例15 図91はさらに量産性をよくするための実施例の工程説
明図であり、ガラスの丸棒262を用いて、複数のツイ
ンコアブロック263〜265(図示の場合は3個)を
得ることもできる。
【0199】実施例16 また、図93はフェライト部材からなるIコア脚部24
2にガラス溝243、244を形成する工程説明図であ
り、上記図81で示したIコア脚部242の部材がセラ
ミックであるのに対して、この実施例16では、磁性材
による場合を示している。
【0200】さらに、図94はツインコアのIコア脚部
242がフェライト部材からなるツインコアヘッドの完
成例を示す斜視図である。
【0201】実施例17 また、上記実施例では、Cコア脚部241とIコア脚部
242がともに金属多層磁性膜254〜256で構成さ
れたツインコアヘッドについて説明したが、図70(複
合磁気ヘッドの第13実施例)に示すように、Iコア脚
部201を磁気的に分離層のない一体構造とし、コア部
材には、金属酸化物であるMn−Znフェライト、Ni
−Znフェライトで構成したツインヘッドも上記図69
の実施例と同様の効果を奏する。
【0202】この図70中におけるIコア脚部209が
フェライトで構成されている以外は図69の実施例12
と同じであり、図69と同一部分には、同一符号のみに
とどめ、再度の説明を避ける。
【0203】この図70に示す複合磁気ヘッドを各種高
記録密度装置への適用例に示すごとく、R/Wヘッドと
して用いる場合は、飽和磁束密度の高い金属性膜でコア
の主要部が構成されているCコア脚部を媒体の流出側に
配置する。
【0204】この理由は媒体に記録される磁化の強さは
ギャップのトレーリングエッジ(媒体の流出端)部の磁
界の強さにより定まるからである。
【0205】実施例18 また、上記図69の実施例12および図70の実施例1
7では、消去ヘッドを持たないツインコアヘッドについ
て説明したが、図71の実施例18では、ツインコアヘ
ッドのIコア脚部に隣接して、しかもIコア脚部をツイ
ンコアヘッドと共用する消去ヘッドを有するこの複合磁
気ヘッドは、すでに上述したごとく、いくつかの特徴の
ある大容量磁気記録装置が実現できる。
【0206】この図3における221、223は消去ヘ
ッドのトラック幅を規制し、かつIコア脚部と消去ヘッ
ドのCコア脚部とを一体化するためのモールドガラス、
222は図69に記したのと同一の材質からなる消去ギ
ャップ、224は図70に示すIコア脚部209と同一
部材からなる消去ヘッドのCコア脚部である。
【0207】この図71の実施例18では、ツインコア
R/Wヘッドと消去ヘッドのIコア脚部を共用する構造
のものを示したが、両ヘッド間のクロストークを低減す
るために、図示しないが、Iコア脚部の中央に磁気的な
絶縁スペーサを設けた構成の磁気ヘッドもこの発明に含
まれる。
【0208】実施例19 図71の実施例18に示した先行消去ヘッド付きツイン
コアヘッドに対して、ツインコアヘッドの後方に磁気的
絶縁スペーサを介して、トンネル消去ヘッドを一体的に
配置した複合磁気ヘッドを適用すれば、実施例12の動
作の欄で述べたごとく、いくつかの特徴のある大容量磁
気記録装置を作成でき、この発明に含まれる。
【0209】この図72において、221、223、2
26は消去ヘッドのトラック幅を規制し、かつCコア脚
部とIコア脚部を一体化するためのモールドガラス、2
25、227はトリミング消去のための図69に記した
R/Wギャップと同一部材からなる消去ギャップであ
る。
【0210】また、209および224は図69で述べ
たIコア脚部と同一材質からなるトンネル消去ヘッドの
Iコア脚部およびCコア脚部である。
【0211】228は両ヘッド間のクロストークを防止
するために設けられる結晶化ガラス、セラミックスなど
からなる磁気的絶縁スペーサである。
【0212】実施例20 図69に示した実施例12によるツインコアヘッドと現
行の4MB機に採用されている先行消去ヘッド付きR/
Wヘッド、またはトンネル消去ヘッド付きR/Wヘッド
を1個のスライダに並行配置した図73に示す複合磁気
ヘッドを使用すれば、現行機種との完全下位互換機能を
有する高記録密度の大容量FDDが実現できる。
【0213】この図73における230は図69に示し
た実施例12におけるツインコアヘッド、231は先行
消去ヘッド付きR/Wヘッド、232〜234はスライ
ダ部材である。
【0214】このスライダ部材232〜234はチタン
酸カルシウムなどからなるものである。
【0215】2個の磁気ヘッドを別個に使用する記録方
式に用いる場合、各ヘッド間の磁束の漏れに起因するク
ロストークが問題となる。この課題を解決するため、本
ヘッドでは漏れ磁束と主磁束の比が0.1(−20d
B)以下を実現するため、隣接するヘッドの一方のヘッ
ドのトラック幅(トラック幅が異なる場合、狭いトラッ
ク幅)と非磁性層の厚みの積をギャップ長と非磁性絶縁
層の長さの積で除した値が10以上である構造を採用し
ている。例えば、図95の実施例に示すごとく、トラッ
ク幅が57μm、絶縁層厚2μm、絶縁層長(切り込み
深さ)8μmでヘッドコア材の透磁率5000以上のと
き、−20dB以下のクロストークが得られる。クロス
トークをさらに小さくするには切り込み深さがゼロに近
い図96に示す構造のヘッドを用いるとよい。
【0216】実施例21 図97は本発明になる主コア部が金属磁性多層膜からな
るトリプル構造の複合磁気ヘッドの斜視図である。
【0217】同図において、301〜303は各々セン
ダスト合金(Fe−Si−Al)、アモルファス合金
(Co−Zr−Nb)等を用い、非磁性絶縁膜を介して
多層(図では3層)に形成された高透磁率で、高飽和磁
束密度の金属磁性体からなるCコア磁性体部、321〜
323は前記301〜303と同一部材からなるIコア
磁性体部、331〜333は前記301〜303と同一
部材またはMn−Znフェライト等の金属酸化物からな
るCコア部とIコア部を磁気的にシャントするためのバ
ックバー、341〜347は鉛系のガラスに代表される
充填ガラス、351〜353はスパッタリングや蒸着等
により薄膜形成されるSiO2 、Al2 3 などからな
る読出し・書込み(R/W)ギャップ、361、362
は3個の磁気ヘッド間に設けられる、前記R/Wギャッ
プと同一の手法により形成され、同一の部材からなる磁
気的絶縁層、311、312はトリプル構造の複合ヘッ
ドの両側ヘッドのCコア部の、324、325はIコア
部の構成部材であるチタン酸カルシウム、チタン酸バリ
ウムなどからなるセラミックス部材である。なお、同図
では、各ヘッドのCコア脚に巻回されるR/Wコイルは
省略されている。
【0218】トラッキング・サーボ技術を用いたヘッド
の位置決め動作はトリプル構造の3個の磁気ヘッドのう
ち、両側に位置する2個の磁気ヘッドを用い、両ヘッド
によるデータ・トラックの再生信号を比較し、両ヘッド
の信号レベルが同一である位置にヘッドを移動させて、
オン・トラック動作をさせる。
【0219】この際、中央のトラックにはデータ情報の
み記録するが、両側の2個のデータトラックの一部にイ
ンライン上にトラッキングサーボのための再生信号比較
用の情報を記録しておくデータ情報を磁気媒体に記録
し、そして再生する際には、個別にR/Wコイルが巻回
されたトリプル構造の3個の磁気ヘッドを各々独立した
ヘッドとして用い、並列した3つのデータ・トラックに
情報を分割・記録再生する。この時、クロストーク(ヘ
ッド間の漏れ磁束による磁気的干渉)があると読出しエ
ラーが起こるので好ましくない。このため、本発明にな
るヘッドでは、3個のヘッドのうち、1個のヘッドのト
ラック幅(トラック幅が異なる場合、狭いトラック幅)
と非磁性絶縁層の厚みの積をギャップ長と絶縁層の長さ
の積で除した値を10以上になる構成としている。ヘッ
ドコアの透磁率が5000以上の時−20dB以下のク
ロストークが得られる。
【0220】次に本発明の実施例21になる複合磁気ヘ
ッドの特徴的な製造方法を加工プロセスを示す図98〜
115を用いて説明する。
【0221】図98は研削加工、ラップ加工等により所
要の寸法に仕上げたチタン酸カルシウム、チタン酸バリ
ウムなどからなるセラミックピースを示す。
【0222】図99は前図に示したセラミックピースに
研削加工により隣接ヘッド間の分離溝を設けるための加
工工程を示す。
【0223】図100は分離溝加工を施したセラミック
ピースにスパッタリング等の薄膜形成技術によりMn−
Znフェライトより高周波磁気特性に優れ、高飽和磁束
密度の金属磁性多層膜を形成する工程を示す。
【0224】図101は金属磁性多層膜を形成した分離
溝にガラスをモールドし、余剰ガラスをラッピング加工
により除去する工程を示す。
【0225】図102はガラスをモールドした前記ピー
スに隣接ヘッドとの磁気的絶縁層となる非磁性膜を形成
する工程を示す。
【0226】図103は非磁性膜を形成した面にさらに
金属磁性多層膜を形成し、磁性膜の上にさらに隣接ヘッ
ドとの磁気的絶縁層となる非磁性膜を形成する工程を示
す。
【0227】図104は図101と図103に示した各
ピースを図のごとく合体させ、温度を上げてガラスを溶
融させ両ピースを一体にする工程を示す。
【0228】図105は前記工程で一体熔着させたブロ
ックを図104に示した破線Aに沿って切断し、次いで
切断した両ブロックに345、346に示すガラス充填
溝の加工を施す工程を示す。
【0229】図106は図105に示したブロックを別
の角度から見た斜視図である。
【0230】図107は前工程に続いてR/Wコイルを
挿入する溝371、372の加工を施す工程を示す。
【0231】図108は図107に示したブロックを別
の角度から見た斜視図である。
【0232】図109は図107に示した加工ブロック
にガラス棒を挿入するためのV溝380の加工を施す工
程を示す。
【0233】図110は図107に示した加工ブロック
と図109に示した加工ブロックを図の如く合体する工
程を示す。
【0234】図111は前記合体ブロックに矢印の方向
に荷重を加え、ガラス棒381を用い、温度を上げて、
両者を一体熔着する。
【0235】図112は図111に示した一点鎖線Bに
沿って、R/Wコイルを挿入するための溝390加工を
施す工程を示す。次いで、R/Wコイル(図では省略)
を挿入後、Iコア脚とCコア脚を磁気的にシャントする
ためのバックバー331、332、333を添付する工
程を示す。
【0236】以上の工程により、実施例21に示した磁
気ヘッドが得られる。
【0237】図113は図116に示した実施例22に
なる複合磁気ヘッドのIコア脚となるMn−Znフェラ
イトに代表される所定の寸法に加工された金属酸化物か
らなるコアピースを示す。
【0238】図114は前記したフェライトピースにガ
ラスを充填する溝345、346の加工を施す工程を示
す。
【0239】図115は前図に示したコアブロックと図
109に示したコアブロックを合体させ図110、図1
11に示したのと同種の加工を施すことにより得られる
実施例22になる複合磁気ヘッドの完成斜視図である。
【0240】実施例22 なお、上記実施例ではIコア、Cコアともにその主コア
部を金属磁性多層膜で構成したものについて示したが、
図116に示すごとく、Iコア部300に金属酸化物の
フェライトを用い、しかもIコア部を一体構造にしたも
のも本発明に含まれる。
【0241】この場合、記録効率は媒体の流出側のヘッ
ドギャップ部の磁界の大きさに依存するので飽和磁束密
度の高い金属磁性多層膜で構成されるCコア部を媒体の
流出側に配置する。
【0242】実施例23 なお、上記実施例21、22ではR/Wヘッドのみのも
のについて示したが、図116に示す如くR/Wコアの
前方に金属酸化物のフェライトからなり、しかも前記3
個のR/Wヘッドのトラック幅の和の約2倍のトラック
幅を有する消去コア391を設けた図117に示す消去
ヘッド付きトリプル構造の複合ヘッドも本発明に含まれ
る。
【0243】この場合、3個のR/Wヘッドのトラック
幅の和を現行の低密度仕様の1/2/4メガバイト機の
ヘッドのトラック幅に設定し、各ヘッドのR/Wコイル
をシリーズに接続し、3個のヘッドを1個のヘッドとし
て動作させれば、下位互換機としての機能を持たせるこ
とができる。
【0244】
【発明の効果】以上のようにこの発明の請求項1によれ
ば、読出し・書込みギャップ長とギャップ深さが等しい
2個の磁気ヘッドを非磁性体を介して並行に配置し、2
個の磁気ヘッドのCコア間の隙間を小さくし、磁気抵抗
を大きくする構成とし、かつ磁気ヘッドの各ギャップを
インライン上に配置したツイン構造としたので、高密度
の記録が可能で生産を容易とすることができる。従っ
て、トラッキングサーボ技術を用いた線記録密度の高い
高性能のフロッピーディスク装置、磁気ディスク装置等
が安価に実現できる。
【0245】又、請求項2によれば、2個の磁気ヘッド
のCコア部を非磁性体を介してツイン構造としたので、
トラッキングサーボ技術を用いた線記録密度及びトラッ
ク密度が高い高性能のフロッピーディスク装置等がさら
に安価に実現できる。
【0246】請求項3によれば、磁気ヘッド間の非磁性
体をガラスと導電性金属により形成したので、この導電
性金属により渦電流反作用が生じ、磁気ヘッド間のクロ
ストークを防止することができる。
【0247】請求項4によれば、一方の磁気ヘッドの下
位ヘッドとされ、他方の磁気ヘッドが上位ヘッドとされ
るので、下位互換機能を有する高性能大容量のフロッピ
ーディスク装置が得られる。
【0248】請求項5によれば、記録再生時には2つの
コイルを直列に接続して2個の磁気ヘッドを一体形成さ
れた1つの磁気ヘッドとして用いると共に、トラッキン
グサーボ時には2個の磁気ヘッドのデータ再生信号を比
較信号としてそれぞれ独立に用いるようにしたので、磁
気記録媒体のデータトラックエリアに記録されたサーボ
信号を用いてトラッキングサーボを行うことができる。
【0249】請求項6によれば、高密度の記録再生時に
は一方の磁気ヘッドのトラックのみ使用され、この際に
他方の磁気ヘッドのコイルは短絡され、クロストークを
防止することができる。
【0250】請求項7によれば、記録時には各磁気ヘッ
ドのトラックを使用し、再生時には2個の磁気ヘッドを
1個の磁気ヘッドとして用いているので、より線密度の
高い記録が可能な大容量のフロッピーディスク装置等を
実現することができる。
【0251】請求項8又は9によれば、ツイン構造の磁
気ヘッドの前方に消去ヘッドを設けたので、先行消去が
可能となり、オーバライト性能の悪い媒体の記録がで
き、かつ下位互換機能をも有する大容量のフロッピーデ
ィスク装置等を実現することができる。
【0252】請求項10によれば、両磁気ヘッドとは間
隔をおいて並行にトンネルイレーズ又は先行消去ヘッド
を設けたので、従来機との互換機能を有するとともに、
大容量のフロッピーディスク装置等を実現することがで
きる。
【0253】請求項11、12によれば、ツイン構造の
複合磁気ヘッドをガラスボンディング技術等により一体
に形成するので、高精度で高性能の複合磁気ヘッド装置
を安価に製造することができる。
【0254】また、請求項13から請求項16によれ
ば、ガラスボンディング技術を用いた一体形成法による
トリプル構造の複合磁気ヘッド装置を採用するようにし
たので、ヘッド装置自体が安価に製造できると共に、ト
ラッキングサーボ技術を用いたトラック密度の高い、高
性能のFDD及びHDDが安価に実現でき、しかも現行
FDDとの下位互換機能を有する高性能の大容量FDD
が安価に実現できるという効果がある。
【0255】請求項17によれば、読出し・書込みギャ
ップ長およびギャップ深さが等しく、ギャップがインラ
イン上に配置され主要なコア部を金属多層磁性膜で形成
した2個の磁気ヘッドで構成するとともに、2個の磁気
ヘッドの境界線に対して両磁気ヘッドの各コア半体対を
構成するIコア脚部とCコア脚部を対称に配置し、Cコ
ア脚部に読出し・書込みコイルを巻装することにより、
高保磁力のメタル媒体への高密度記録および転送速度の
高い高周波記録に適したS/N比に優れた磁気記録再生
装置に適用できる。
【0256】請求項18によれば、2個の磁気ヘッドの
トラック幅が等しく、両磁気ヘッドのCコア脚部の半体
対を分離する非磁性体層を境に形状が対称で両磁気ヘッ
ドのコイルの巻回数が同数とすることにより、記録され
たデータエリアは両ヘッドの各トラックの和となり、2
個の磁気ヘッドの再生信号の大きさを比較する新サーボ
方式を用いた高密度記録が可能となる。
【0257】請求項19によれば、隣接するヘッドの一
方のヘッドのトラック幅(トラック幅が異なる場合、狭
いトラック幅)と非磁性層の厚みの積をギャップ長と非
磁性絶縁層の長さの積で除した値が10以上とすること
により、小型にでき、しかも両磁気ヘッド間のクロスト
ークを抑制することができる。
【0258】請求項20によれば、高密度仕様の記録動
作時には、トラック幅の狭い方の磁気ヘッドを単独で用
い、低密度仕様の記録動作時には、両磁気ヘッドを1個
の磁気ヘッドとして動作させることにより、現行機種と
の完全下位互換機能を有する大容量のFDDに適用する
ことができる。
【0259】請求項21によれば、Iコア脚部を分離絶
縁層のない一体構造のフェライトで形成しても、Cコア
脚部に高周波透磁率および飽和磁束密度の高い金属多層
磁性膜で形成しているから、高保磁力のメタル媒体への
高密度記録および高い高周波記録を可能とし、S/N比
の優れた磁気記録再生装置を実現できる。
【0260】請求項22によれば、ツインタイプの2個
の磁気ヘッドの後にトンネル消去ヘッドを設けることに
より、現行機との完全下位互換機能をもった高記録密度
の磁気記録再生装置に適用できる。
【0261】請求項23及び請求項24においては、ヘ
ッドの一体形成により、装置を安価に製作できる。
【0262】請求項25から請求項28によれば、ガラ
スボンディング技術を用いた一体形成法によるトリプル
構造の複合磁気ヘッド装置を採用するようにしたので、
ヘッド装置自体が安価に提供できると共に、高保磁力媒
体対応の線記録密度の高い、高周波特性の優れた複合磁
気ヘッド装置が実現できると共に、トラッキングサーボ
技術を用いたトラック密度の高い、高性能のFDD及び
HDDが安価に実現でき、しかも現行FDDとの下位互
換機能を有する高性能の大容量FDDが安価に実現でき
るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例1による複合磁気ヘッド装置
の斜視図である。
【図2】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図3】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図4】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図5】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図6】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図7】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図8】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図9】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過程
の説明図である。
【図10】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図11】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図12】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図13】実施例1による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図14】複合磁気ヘッド装置の外観図である。
【図15】図14のY−Y線断面図であって、磁気ヘッ
ドのギャップ深さの説明図である。
【図16】実施例2による複合磁気ヘッド装置の斜視図
である。
【図17】従来のFDDに搭載されているトンネルイレ
ーズ方式の複合磁気ヘッド装置の斜視図である。
【図18】図15の複合磁気ヘッド装置のディスク対接
面の拡大図である。
【図19】従来のFDDに搭載されているダブルアジマ
ス方式の複合磁気ヘッド装置の平面図及び正面図であ
る。
【図20】従来のFDDに搭載されているダブルアジマ
ス方式の複合磁気ヘッド装置の平面図及び正面図であ
る。
【図21】実施例3にる複合磁気ヘッド装置の斜視図で
ある。
【図22】図21のAの部分の詳細図である。
【図23】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図24】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図25】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図26】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図27】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図28】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図29】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図30】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図31】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図32】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図33】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図34】実施例3による複合磁気ヘッド装置の製造過
程の説明図である。
【図35】図34のX−X線断面図であって、磁気ヘッ
ドのギャップ深さの説明図である。
【図36】実施例4による複合磁気ヘッド装置の斜視図
である。
【図37】実施例5による複合磁気ヘッド装置の斜視図
である。
【図38】実施例6による複合磁気ヘッド装置の斜視図
である。
【図39】実施例7による複合磁気ヘッド装置の斜視図
である。
【図40】実施例8による複合磁気ヘッド装置の斜視図
である。
【図41】実施例9による複合磁気ヘッド装置の斜視図
である。
【図42】ツインコアヘッドの再生感度差とオフトラッ
クの関係を計算した結果である。
【図43】ツインコアヘッドのクロストークとコアディ
メンジョンの関係を計算した結果である。
【図44】ツインコアヘッド及び再生出力波形の2分割
記録時の記録磁化パターンの説明図である。
【図45】従来技術になるフェライトコアからなるツイ
ンコアヘッド(1)の斜視図である。
【図46】従来技術になるフェライトコアからなるツイ
ンコアヘッド(2)の斜視図である。
【図47】従来技術になる金属磁性多層膜コアからなる
ツインコアヘッドの斜視図である。
【図48】従来技術になるツインコアヘッドによる記録
磁化パターンの説明図である。
【図49】本発明になるツインコアヘッドによる記録磁
化パターンの説明図である。
【図50】従来技術になるフェライトコアからなるトリ
プルコアヘッドの斜視図である。
【図51】従来技術及び本発明になるトリプルコアヘッ
ドによる記録磁化パターンを説明する図である。
【図52】実施例10によるインラインギャップ・トリ
プル構造の複合磁気ヘッドの斜視図である。
【図53】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図54】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図55】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図56】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図57】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図58】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図59】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図60】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図61】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図62】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図63】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図64】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図65】実施例10による複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図66】ギップ深さGdの説明図である。
【図67】実施例10による磁気ヘッドの寸法諸元の一
実施例である。
【図68】実施例11による先行消去ヘッド付きのトリ
プル構造の複合磁気ヘッドの斜視図である。
【図69】実施例12による複合磁気ヘッド装置の斜視
図である。
【図70】実施例17による複合磁気ヘッド装置の斜視
図である。
【図71】実施例18による複合磁気ヘッド装置の斜視
図である。
【図72】実施例19による複合磁気ヘッド装置の斜視
図である。
【図73】実施例20による複合磁気ヘッド装置の斜視
図である。
【図74】実施例13による複合磁気ヘッド装置の製造
方法に適用されるセラミック基板の斜視図である。
【図75】同上実施例13のツインコア間の分離溝の加
工工程の説明図である。
【図76】同上実施例13の金属多層磁性膜の形成工程
の説明図である。
【図77】同上実施例13のツインコア間の分離溝への
ガラスモールドの形成工程の説明図である。
【図78】同上実施例13の絶縁膜の成膜工程の説明図
である。
【図79】同上実施例13のツインコアのガラス一体熔
着工程の説明図である。
【図80】同上実施例13のCコア脚部とIコア脚部の
作製のためのツインコア切断工程の説明図である。
【図81】同上実施例13のIコア脚部のガラス溝の加
工工程の説明図である。
【図82】同上実施例13のCコア脚部のU形状の溝の
加工工程の説明図である。
【図83】同上実施例13のCコア脚部のL形状の溝の
加工工程の説明図である。
【図84】同上実施例13のCコア脚部のL形状の溝へ
のテーパ加工の工程説明図である。
【図85】同上実施例13のCコア脚部とIコア脚部の
一体ガラス熔着工程の説明図である。
【図86】同上実施例13の余剰セラミックのラッピン
グ除去加工の工程の説明図である。
【図87】実施例14による複合磁気ヘッド装置の製造
方法に適用させるセラミック基板のツインコア間の分離
溝の加工工程の説明図である。
【図88】同上実施例14の金属多層磁性膜の形成工程
の説明図である。
【図89】同上実施例14のスペーサ成膜工程の説明図
である。
【図90】同上実施例14のツインコアのガラス一体熔
着工程の説明図である。
【図91】実施例15による複合磁気ヘッド装置の製造
方法の複数のツインコアのガラス一体熔着工程の説明図
である。
【図92】同上実施例13による複合磁気ヘッド装置の
製造方法により製造されたツインコアヘッドの完成状態
を示す斜視図である。
【図93】実施例16による複合磁気ヘッド装置の製造
方法のフェライトによるIコア脚部のガラス溝の加工工
程の説明図である。
【図94】同上実施例16によるフェライトのIコア脚
部を有するツインコアヘッドの完成状態を示す斜視図で
ある。
【図95】同上実施例12の複合磁気ヘッド装置のギャ
ップ部の磁気抵抗を説明するためのCコア脚部間の絶縁
スペースのある場合のディスク対接面のギャップ部拡大
図である。
【図96】同上実施例12の複合磁気ヘッド装置のギャ
ップ部の磁気抵抗を説明するためのCコア脚部の絶縁ス
ペーサ無しの場合のディスク対接面のギャップ部拡大図
である。
【図97】実施例21になるインラインギャップ・トリ
プル構造の複合磁気ヘッドの斜視図である。
【図98】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図99】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方法
の説明図である。
【図100】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図101】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図102】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図103】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図104】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図105】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図106】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図107】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図108】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図109】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図110】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図111】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図112】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図113】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図114】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図115】実施例21になる複合磁気ヘッドの製造方
法の説明図である。
【図116】実施例22になる複合磁気ヘッドの斜視図
である。
【図117】実施例23になる先行消去ヘッド付きのイ
ンラインギャップ・トリプル構造の複合磁気ヘッドの斜
視図である。
【符号の説明】
21 磁性体 22、34 高融点ガラス 23〜25 低融点ガラス 27、28、58、151〜153、213、214、
351〜353 リードライトギャップ 29、30、60、61、 リードライトコイル 33、62 フェライトピース 37 フェライトピースブロック 39 ハーフMn−Znフェライトピースブロック対 40 トラック幅規制溝 41 ヘッドチップ分離予備溝 42、55〜57、141〜146、341〜347
ガラス 50、50a、51、51a、111、112、11
3、301、302、303 Cコア部 52、85、120、321、322、323 Iコア
部 59、161、162 絶縁層 67、236、242 絶縁膜 201、202、203、204、237、238 金
属多層磁性膜 207、208、210、211、212、240 ガ
ラス 209 Iコア脚部 221、223 モールドガラス 224 Cコア脚部 235 分離溝

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気記録再生装置で用いられ、磁気記録
    媒体のデータトラックに対して磁気的な情報を記録再生
    する複合磁気ヘッド装置であって、読出し・書込みギャ
    ップ長及びギャップ深さが等しく、Cコア半体対のみに
    コイルが巻回された2個の磁気ヘッドが薄膜形成された
    厚さ5μm以下の非磁性絶縁層を介して平行かつ対称に
    配置され、かつ磁気ヘッドの各ギャップがインライン上
    に配置され、さらに磁気ヘッドの各トラック幅が前記非
    磁性絶縁層と各ギャップに隣接してIコア半体とCコア
    半体に設けたガラス溝により規制され、Cコア半体対の
    側部からIコア半体とCコア半体の接合面にかけて切り
    欠いたガラス溝を設け、前記各ヘッドのトラック幅のう
    ち最小のトラック幅と非磁性絶縁層の厚みの積をギャッ
    プ長とギャップ面からギャップの後方に設けられたガラ
    ス溝の先端までの距離である非磁性絶縁層部の長さの積
    で除した値が10以上であることを特徴とする複合磁気
    ヘッド装置。
  2. 【請求項2】 磁気記録再生装置で用いられ、磁気記録
    媒体のデータトラックに対して磁気的な情報を記録再生
    する複合磁気ヘッド装置であって、読出し・書込みギャ
    ップ長及びギャップ深さが等しく、Iコア半体は一体構
    造で、コイルが巻回されるCコア半体対が半体対間に設
    けられる薄膜形成された厚さ5μm以下の非磁性絶縁層
    を介して平行かつ対称に配置され、かつ磁気ヘッドの各
    ギャップがインライン上に配置され、さらに磁気ヘッド
    の各トラック幅が前記非磁性絶縁層と各ギャップに隣接
    してIコア半体とCコア半体に設けたガラス溝により規
    制され、Cコア半体対の側部からIコア半体とCコア半
    体の接合面にかけて切り欠いたガラス溝を設け、各ヘッ
    ドのトラック幅のうち最小のトラック幅と非磁性絶縁層
    の厚みの積をギャップ長とギャップ面からギャップの後
    方に設けられたガラス溝の先端までの距離である非磁性
    絶縁層部の長さの積で除した値が10以上であることを
    特徴とする複合磁気ヘッド装置。
  3. 【請求項3】 前記非磁性体をガラスと導電性金属の2
    層構造としたことを特徴とする請求項1記載の複合磁気
    ヘッド装置。
  4. 【請求項4】 一方の磁気ヘッドをトラック幅が広い下
    位用のヘッドとし、他方の磁気ヘッドをトラック幅が狭
    い上位用のヘッドとしたことを特徴とする請求項1〜3
    項のいずれかに記載の複合磁気ヘッド装置。
  5. 【請求項5】 両磁気ヘッドは各々独立にコイルを巻回
    され、記録再生時にはコイルを直列に接続して2個の磁
    気ヘッドを1個の磁気ヘッドとして用いると共に、トラ
    ック位置決め時には2個の磁気ヘッドからそれぞれ独立
    に読み出された電圧を利用して位置決めを行うことを特
    徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の複合磁気ヘッ
    ド装置。
  6. 【請求項6】 高密度が要求される記録再生時には一方
    の磁気ヘッドのトラックを使用するとともに、低密度が
    要求される記録再生時には両磁気ヘッドのトラックを使
    用し、かつ高密度の記録再生時には一方の磁気ヘッドの
    動作中に他方の磁気ヘッドの記録再生コイルを短絡させ
    るようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか
    に記載の複合磁気ヘッド装置。
  7. 【請求項7】 記録時には各磁気ヘッドのトラックを使
    用するとともに、再生時にはコイルを直列に接続して2
    個の磁気ヘッドを1個の磁気ヘッドとして用い、データ
    の転送レートを2倍にすることを特徴とする請求項1〜
    3のいずれかに記載の複合磁気ヘッド装置。
  8. 【請求項8】 両磁気ヘッドの前方に、一方の磁気ヘッ
    ドのトラック幅の約2倍のトラック幅を有する消去ヘッ
    ドを設けたことを特徴とする請求項1〜7に記載の複合
    磁気ヘッド装置。
  9. 【請求項9】 両磁気ヘッドの前方に、2個の磁気ヘッ
    ドのトラック幅の和の約2倍のトラック幅を有する消去
    ヘッドを設けたことを特徴とする請求項1〜7のいずれ
    かに記載の複合磁気ヘッド装置。
  10. 【請求項10】 両磁気ヘッドに対して間隔をおいてト
    ンネルイレーズ方式または先行消去方式の複合ヘッドを
    平行に配置したことを特徴とする請求項1〜7のいずれ
    かに記載の複合磁気ヘッド装置。
  11. 【請求項11】 一方の面に非磁性膜を形成された複数
    のフェライトピースをこの非磁性膜を介してガラスボン
    ディング法により一体に形成してフェライトピースブロ
    ックを形成し、一対のフェライトピースブロックをガラ
    スボンディング法により一体に形成してフェライトピー
    スブロック対を形成した後、必要な溝を切削加工し、こ
    の溝にガラスをモールドするとともに、フェライトピー
    スブロック対にコイル溝を設けてコイルを巻回すること
    を特徴とする複合磁気ヘッド装置の製造方法。
  12. 【請求項12】 フェライトピースにCコア分離溝を設
    けて該溝にガラスをモールドし、一対のフェライトピー
    スのガラスモールド側を非磁性膜を介してガラスボンデ
    ィング法により一体に合体してCコアブロック対を形成
    し、このCコアブロック対に各溝を設け、溝を設けられ
    たIコア用フェライトピースとCコアブロック対をガラ
    スボンディングにより一体に合体し、Cコアブロック対
    にコイル溝を設けてこのコイル溝にコイルを巻回するこ
    とを特徴とする複合磁気ヘッド装置の製造方法。
  13. 【請求項13】 磁気記録再生装置で用いられ、磁気記
    録媒体のデータトラックに対して磁気的な情報を記録再
    生する複合磁気ヘッド装置であって、読出し・書込みギ
    ャップ長及びギャップ深さが等しく、各Cコア半体のみ
    にコイルが巻回された3個の磁気ヘッドの各Cコア半体
    が薄膜形成された厚さ5μm以下の非磁性絶縁層を介し
    て平行で、しかも中央に位置するCコア半体に対して両
    側に隣接する2個のCコア半体が対称に配置され、かつ
    磁気ヘッドの各ギャップがインライン上に配置され、さ
    らに中央の磁気ヘッドのトラック幅が前記非磁性絶縁層
    により、又両側の磁気ヘッドのトラック幅が前記磁気絶
    縁層と各ギャップに隣接してIコア半体と両側のCコア
    半体に設けたガラス溝により規制され、Cコア半体対の
    側部からIコア半体とCコア半体の接合面にかけて切り
    欠いたガラス溝を設け、隣接するヘッドの一方のヘッド
    のトラック幅と非磁性絶縁層の厚みの積をギャップ長
    と、ギャップ面からギャップ後方に設けられガラス溝の
    先端までの距離である非磁性絶縁層部の長さの積で除し
    た値が10以上であることを特徴とする複合磁気ヘッド
    装置。
  14. 【請求項14】 トリプル構造の3個の磁気ヘッドのト
    ラック幅が等しく、かつ磁気ヘッドのコイルの巻き回数
    が等しく、しかも各ヘッドの再生感度差が10%以下で
    あることを特徴とする請求項13記載の複合磁気ヘッド
    装置。
  15. 【請求項15】 ヘッドのトラック位置決めには外側の
    2個の磁気ヘッドの読出し電圧を比較信号として用いる
    トラッキングサーボ方式の磁気記録装置に適用すること
    を特徴とする請求項13記載の複合磁気ヘッド装置。
  16. 【請求項16】 非磁性絶縁層を介して、平行に配置さ
    れる3個の磁気ヘッドのうち、両側に位置する2個の磁
    気ヘッドの部材を構成するフェライトピースにCコア分
    離溝を設けて該溝にガラスをモールドし、前記フェライ
    トピースと、前記フェライトピースのガラスモールド側
    を非磁性膜を介して、前記3個の磁気ヘッドのうち中央
    に位置する磁気ヘッドの部材を構成するフェライトピー
    スとをガラスボンディング法により一体に合体してCコ
    アブロックを形成し、前記Cコアブロックの両側に位置
    する2個の磁気ヘッドのトラック幅を規制する溝を設
    け、溝を設けられたIコア用フェライトピースと前記C
    コアブロックとをガラスボンディングにより一体に合体
    し、前記Cコアブロックにコイル溝を設けてこのコイル
    溝にコイルを巻回することを特徴とする複合磁気ヘッド
    装置の製造方法。
  17. 【請求項17】 Iコア脚部とCコア脚部が対称に配置
    され金属多層磁性膜からなり、読出し・書込みギャップ
    長及びギャップ深さが等しくかつギャップがインライン
    上に配置されて構成された2個のコア半体対と、この各
    コア半体対の上記各Cコア脚部に巻装され前記2個のコ
    ア半体対とともにツインタイプの2個の磁気ヘッドを構
    成する読出し・書込みコイルとを備えた複合磁気ヘッド
    装置。
  18. 【請求項18】 前記2個の磁気ヘッドのトラック幅が
    等しくかつ前記2個の磁気ヘッドのCコア脚部の半体対
    を分離する非磁性絶縁層を境に形状が対称であり、かつ
    前記2個の磁気ヘッドの読出し・書込みコイルの巻回数
    が等しく、前記2個の磁気ヘッドの再生感度差が10%
    以下であることを特徴とする請求項17に記載の複合磁
    気ヘッド装置。
  19. 【請求項19】 隣接するヘッドのトラック幅のうち最
    小のトラック幅と非磁性層の厚みの積をギャップ長と、
    ギャップ面からギャップ後方に設けられガラス溝の先端
    までの距離である非磁性絶縁層の長さの積で除した値が
    10以上であることを特徴とする複合磁気ヘッド装置。
  20. 【請求項20】 前記2個の磁気ヘッドのうちトラック
    幅の狭い方の磁気ヘッドは高密度仕様の記録動作には単
    独で使用し、かつ低密度仕様の記録動作時に2個の磁気
    ヘッドを1個の磁気ヘッドとして使用することを特徴と
    する請求項17に記載の複合磁気ヘッド装置。
  21. 【請求項21】 前記Iコア脚部は分離絶縁層のない一
    体構造のMn−ZnフェライトまたはNi−Znフェラ
    イトからなることを特徴とする請求項17に記載の複合
    磁気ヘッド装置。
  22. 【請求項22】 前記ツインタイプの2個の磁気ヘッド
    の後方にトンネル消去ヘッドを設けたことを特徴とする
    請求項18に記載の複合磁気ヘッド装置。
  23. 【請求項23】 ツインコア間に設ける分離溝を加工し
    たセラミックピースに非導電性の絶縁膜を介して金属多
    層磁性膜を形成する工程と、前記金属多層磁性膜を形成
    した前記分離溝にガラスをモールドした後に前記ツイン
    コアを磁気的に分離するための絶縁膜を成膜する工程
    と、この絶縁膜を成膜した両ツインコアを合体させて一
    体熔着することによりツインコアブロックを形成する工
    程と、このツインコアブロックをIコア脚部とCコア脚
    部に分離切断してそれぞれにガラス溝を形成する工程
    と、前記Cコア脚部にU形状の溝とL形状の溝を順次形
    成した後に前記ガラス溝側の面にギャップ材を形成する
    工程と、前記Iコアブロック脚部の前記ガラス溝側の面
    にギャップ材形成後、前記Cコア脚部のギャップ材と前
    記Iコア脚部のギャップ材を接合させるとともに前記各
    ガラス溝内にガラス棒を挿入して前記Iコア脚部とCコ
    ア脚部とを一体的に熔着する工程と、からなる複合磁気
    ヘッド装置の製造方法。
  24. 【請求項24】 両磁気ヘッドを分離する溝を一対の非
    磁性のセラミック基板に設けた後、溝を設けた面に金属
    磁性多層膜を形成し、次いで該溝にガラスをモールド
    し、ガラスモールド側を非磁性膜を介してガラスボンデ
    ィングにより合体し、該ブロックを非磁性膜を介して金
    属磁性多層膜が対向する部分の中間の位置で、対向する
    面に垂直に切断することによりIコア半体とCコア半体
    を作製し、Cコア半体にコイルを巻回するための溝を設
    けると共に両コア半体を合体するガラス溝を設け、最後
    に両コアをガラスボンディングにより一体にすることを
    特徴とする複合磁気ヘッド装置の製造方法。
  25. 【請求項25】 読出し・書込みギャップ長及びギャッ
    プ深さが同じである3個の磁気ヘッドのバックバーを除
    くコア部が金属磁性体からなる多層膜で構成され、3個
    の磁気ヘッドが非磁性体層を介して磁気的に絶縁され、
    3個の磁気ヘッドのギャップがインライン上に配列さ
    れ、3個の磁気ヘッドのCコア部及びIコア部が各々同
    一コア半体側に配置され、各Cコア脚に読出し・書込み
    コイルが巻回されたことを特徴とするトリプル構造の複
    合磁気ヘッド。
  26. 【請求項26】 1個のヘッドのトラック幅のうち最小
    のトラック幅と非磁性層の厚みの積をギャップ長と、ギ
    ャップ面からギャップ後方に設けられたガラス溝の先端
    までの距離である非磁性絶縁層の長さの積で除した値が
    10以上であることを特徴とする請求項25記載の複合
    磁気ヘッド装置。
  27. 【請求項27】 トリプル構造の複合磁気ヘッドの各ト
    ラック幅の和より広いトラック幅を有する消去ヘッドを
    上記ヘッドの前方、すなわち、媒体の流入側に設けたこ
    とを特徴とする請求項25記載の複合磁気ヘッド装置。
  28. 【請求項28】 中央に位置する磁気ヘッドと両側に位
    置する磁気ヘッドを分離する溝を2個の非磁性のセラミ
    ックピースに設けた後、溝を設けた面に金属磁性多層膜
    を形成し、次いで該溝にガラスをモールドし、この後ガ
    ラスモールド面に非磁性膜を形成した2個のピースのう
    ち1個のピースについてはさらに非磁性膜の上に金属磁
    性多層膜を形成してからこれらのピースをガラスボンデ
    ィングにより合体し、該合体ブロックを非磁性膜を介し
    て金属磁性多層膜が対向する部分の中間の位置で、対向
    する面に垂直に切断することにより、Iコア半体とCコ
    ア半体を作製し、Cコア半体にコイルを巻回するための
    溝を設けると共に両コア半体を合体するガラス溝を設
    け、最後に両コアをガラスボンディングにより一体にす
    ることを特徴とする複合磁気ヘッド装置の製造方法。
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