JPH06104289B2

JPH06104289B2 - 電磁チャック用消磁装置

Info

Publication number: JPH06104289B2
Application number: JP63181307A
Authority: JP
Inventors: 尚治池原; 貫福島; 弘岩崎
Original assignee: フジ磁工株式会社
Priority date: 1988-07-20
Filing date: 1988-07-20
Publication date: 1994-12-21
Anticipated expiration: 2009-12-21
Also published as: JPH0230448A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はワーク等を保持するための電磁チャックに用い
られる消磁装置に関するものである。

（従来の技術）電磁チャックは、電磁力を利用してワークを保持し、ワ
ークに傷を付けずにすむというメリットがあるため、機
械加工を行う際に広く用いられる。しかし、反面、ワー
クが磁化されてしまうため、ワークに残留磁気が生ずる
というデメリットがある。この残留磁気は、チャックか
らの円滑な取外し作業を困難にし、また、その後の工程
に悪影響を及ぼすので、機械加工終了時にはワークに対
して消磁を行う必要がある。そして、この消磁は、ワー
クを保持した状態のチャックに対し、減衰交番磁界の印
加することにより行なわれる。

このような減衰交番磁界をチャックに発生させる方式の
ひとつとして、いわゆる電圧制御方式と呼ばれるものが
ある。すなわち、第10図（ａ）の波形図に示すように、
一定時間たとえばＴ秒毎に、チャックの励磁コルに印加
される電圧の極性を反転させ、しかも、その電圧値を反
転毎に小さくして、減衰交番磁界を発生させるための電
流を得ようとするものである。なお、図中ｔは極性反転
時のサージ電圧を抑制したり回路中のトランジスタの動
作遅れに起因するショート電流を防止するためのオフ時
間である。

ところが、このような電圧制御方式にあっては、入力電
圧を減少させる方式であるため、電圧が低い場合電流の
立上り時間が遅くなり、常に同じ励磁時間を必要とす
る。そして、その分だけ消磁時間が増大する結果となっ
ている。

ここで、例えばＴ＝１〜２秒、反転回数ｎを10〜20回と
すると、消磁時間は10〜40秒となり、最大消磁時間は約
40秒の大きな値となる。連続する機械加工工程の途中
に、このように長い消磁のための時間を要することは生
産効率の向上を阻害する大きな要因となる。つまり、電
圧制御方式は、消磁時間を適当に設定すれば、ワークの
保持状態及びチャックの容量の如何にかかわらず安定し
た消磁性能を発揮できるという長所を有する反面、消磁
時間を一定以上短縮することが難しいという欠点を有し
ている。

そこで、近時は上記の電圧制御方式に代わり、時間制御
方式と呼ばれる消磁方式が多く行なわれる傾向がある。

これは、電流ｉ、電圧Ｖ、励磁コイルの抵抗Ｒの間に近
似的に、の関係があることから、電圧Ｖの値を一定にした状態
で、電圧の極性が反転する毎に、その電圧印加時間を短
くしていこうとするものである。なお、上記関係式にお
いて、αは時定数であり、 α＝L/R（L:励磁コイルのインダクタンス）で示されるものである。通常、このαの値は、0.1〜１
秒程度のものである。

第10図（ｂ）は、このような時間制御方式により得られ
る電流の特性図である。励磁コイルに対する電圧印加時
間T₁,…,T₄,…が漸次短くなっているため、電流の値も
徐々に小さくなっていることがわかる。

（発明が解決しようとする課題）上述した消磁装置の動作により、一定時間内にワークの
消磁を終えることができ、第10図（ｂ）に示すような特
性を得ることができる。

しかし、このような時間制御方式の消磁の場合、消磁時
間の短縮を図ることは可能になったものの、時定数のバ
ラツキに起因して、消磁性能が大きく変化してしまうと
いう別の問題がある。

例えば、第10図（ｂ）において、３回目の反転（T₃）で
は、時定数が小のとき、適度のとき、大のときのそれぞ
れの電流はｉ_ａ,i_ｂ,i_ｃとなり、大きな差を有するもの
となっている。そして、時定数のバラツキは、チャック
がワークが小さい状態とワークが大きい状態とでは、数
倍以上になることもあるため、電流の差は一層大きなも
のとなる場合がある。

そのため、機械加工終了時のワークの消磁作業を完全に
行うことができず、チャックからのワークの円滑な取外
しを阻害するおそれ、あるいは、残留磁気が後工程に悪
影響を与えるおそれがあったのである。

本発明はかかる事情に鑑みなされたものであり、その目
的は、消磁を行う場合に、時定数のバラツキにかかわら
ず、常に安定した消磁性能を発揮することが可能な電磁
チャック用消磁装置を提供することにある。

（課題を解決するための手段）本発明は、上記課題を解決するため、チャックに供給さ
れる電流の電流値を検出する電流検出回路と、極性のそ
れぞれの反転毎に供給されるべき電流について次第に小
さくなる設定値信号を出力する電流設定回路と、この検
出による検出信号と設定値信号とが一致したときに、極
性が反転されるようスイッチング回路の制御を行う極性
反転回路とを備え、スイッチング回路を介して電磁チャ
ックに通電を行うような構成としてある。

（作用）上記構成において、ワークの消磁を行うときは、電流設
定値回路が、極性のそれぞれの反転毎に供給されるべき
電流について次第に小さくなる設定値信号を出力する。
そして、チャックに実際に供給されている電流を電流検
出回路が検出し、その検出値のレベルと設定値のレベル
とが等しくなった時点で極性反転回路が働き、極性が反
転されるようにスイッチング回路を制御する。

したがって、たとえ時定数がバラついていたとしても、
検出値と設定値とが一致するまでは極性が反転すること
はなく、極性のそれぞれの反転毎について一定した電流
を得ることができる。換言すれば、時定数の変動分に対
応してそれぞれの反転毎の励磁時間を自動的に調整し、
これにより安定した消磁性能を発揮し得るようになる。

（実施例）以下、本発明の実施例を第１図乃至第６図に基づき説明
する。

第１図は本発明に係る消磁装置における主回路の一例を
示す回路構成図である。この図において、1a,1bは入力
端子、２は入力端子1a,1bからの支流入力を直流に変換
する整流回路、３は整流回路２からの直流をスイッチン
グ動作により任意の平均値の出力として出力するスイッ
チング回路、4a,4bはスイッチング回路３の出力を取出
す出力端子、５は出力端子4a,4bからの出力が与えられ
るチャック、６はスイッチング回路３におけるトランジ
スタＴ_r1,T_r2,T_r3およびＴ_r4をオンオフ制御する制御回
路、７はサージ吸収回路、８は電流検出用抵抗Ｒ_Ｄを含
む電流検出回路である。

入力端子1a,1bに供給される交流電力は、ダイオードD₁,
D₂,D₃,D₄をブリッジに接続した整流回路２に与えられ、
ここで全波整流されてサージ吸収回路に与えられる。さ
らに、直流電力はnpnトランジスタ（以下「トランジス
タ」という）Ｔ_r1,T_r2,T_r3,T_r4をブリッジ接続したスイ
ッチング回路３に与えられる。これらトランジスタ
Ｔ_r1,T_r2,T_r3,T_r4にはそれぞれ逆並列にダイオードD₅,D
₆,D₇,D₈が接続され、トランジスタＴ_r1のコレクタ端子
及びトランジスタＴ_r2のエミッタ端子は出力端子4a,4b
に接続される。出力端子4a,4bにはチャック５が接続さ
れる。交流電力は制御回路６にも与えられ、制御回路６
は抵抗Ｒ_Ｄの両端の電位差によってチャック通電電流を
検出し、また外部入力で指定された動作モードに従って
トランジスタＴ_r1〜Ｔ_r4をドライブするようになってい
る。

上記のように構成される消磁装置の動作を説明すると、
まず、正励磁の状態ではトランジスタＴ_r1,T_r4が時間T₁
だけONし、電流はトランジスタＴ_r1から出力端子4a、チ
ャック５及び出力端子4bを介してトランジスタＴ_r4に流
れる。

励磁を止めるときは、トランジスタＴ_r1・Ｔ_r2をオフし
次の逆励磁に備える。

逆励磁の状態では、トランジスタＴ_r2,T_r3について上記
と同様の動作をさせる。そして、以後の正励磁及び逆励
磁において、トランジスタＴ_r1,T_r4及びトランジスタＴ
_r2,T_r3のON時間T₂,T₃,T₄,…が漸次短くなるように制御
回路６によって制御される。

チャック５の励磁コイルに供給される電流は、正励磁，
逆励磁いずれの場合においても抵抗Ｒ_Ｄを同一方向に流
れるため、この抵抗Ｒ_Ｄにおける電圧降下分が消磁のた
めの電流として検出されることになる。そして、抵抗Ｒ
_Ｄにおける電圧降下分すなわちe₁,e₂間の電圧は、制御
回路６に送られる。

第２図はその制御回路の構成を示す回路図である。この
図及び第１図を参照しつつ、チャック５を流れる電流の
極性の反転動作につき説明する。

まず、当初はスイッチング回路３内のトランジスタ
Ｔ_r2,T_r3のみがオンの状態となってチャック５がワーク
を保持しているものとする。そして、この状態で機械加
工が終了し、ワークの消磁を行うべく、作業員が図示を
省略してある消磁ボタンを押す。

すると、モード信号発生回路９からドライバ回路10に出
力信号が発せられ（極性反転回路15等に発してもよ
い）、出力端子b₁,b₂及びｃの出力がＬとなり、出力端
子a₁,a₂及びｄの出力がＨとなる。すなわち、それまで
オンになっていたトランジスタＴ_r2,T_r3がオフ、トラン
ジスタＴ_r1,T_r4がオンとなって消磁動作が開始される。

また、電流設定回路12にもモード信号発生回路９からの
信号が入力される。これにより、電流設定回路12は、第
１回目の反転時にチャック５へ供給されるべき電流につ
いての設定値信号を出力する。

一方、電流検出回路８は、トランジスタＴ_r1,T_r4のオン
による第１回目の反転時の電流を検出し、その検出信号
を検出電流増幅回路13に出力する。そして、検出電流増
幅回路13は、この入力された検出信号を比較判定回路14
に出力する。

比較判定回路14には、既に、電流設定回路12からの設定
値信号が入力されている。そして、検出出電流増幅回路
13からの検出信号のレベルが増加し、設定値信号と一致
したときに、比較判定回路14から反転指令信号が極性反
転回路15に向けて発せられる。すると、極性反転回路15
は反転信号をドライバ回路10に出力する。これにより、
ドライバ回路10は、それまでＬとなっていた出力端子
b₁,b₂及びｃをＨにすると共に、Ｈとなっていた出力端
子a₁,a₂及びｄをＬとし、第２回目の反転動作に入る。
このとき、極性反転回路15からは反転報告信号がモード
信号発生回路９に出力される。これによりモード信号発
生回路９は、第２回目の反転時に供給されるべき電流に
ついての設定値信号を、電流設定回路12に向けて出力す
る。以後、このような反転動作が複数回繰り返され、電
流がほぼゼロになった時点で終了信号が電流設定回路12
からモード信号発生回路９に向けて発せられる。これに
よって、消磁動作が終了したことになる。

上記のような、電流制御方式の消磁にあっては、たとえ
時定数にバラツキが生じたとしても、電流が設定値のレ
ベルに達するまでは反転動作を行なわないため、常に安
定した消磁性能を発揮し得ることになる。もっとも、時
定数のバラツキにより消磁時間が変動することになる
が、この変動分は消磁性能を一定に保つうえで必要最小
限の変動となっており、効率的な消磁動作が行なわれて
いることに変りはない。

なお、第１図において、電流検出回路８は、チャック５
の付近ではなく、整流回路２とスイッチング回路３との
間に設けられているため、抵抗Ｒ_Ｄを流れる電流の方向
が同一となり、検出電流増幅回路13について、オフセッ
トによる検出電圧のかたよりを防止できる。

次に、第２図における電流設定回路12についてより具体
的に説明する。この電流設定回路には、電流の極性の反
転回数を設定することが可能な反転回数設定型のもの
と、消磁開始から消磁終了までの消磁時間を設定するこ
とが可能な消磁時間設定型のものとがある。

まず、反転回数設定型電流設定回路12Aを用いた例を第
３図に基づき説明する。この電流設定回路12Aは、それ
ぞれの反転毎に供給されるべき電流の値が記憶されたRO
M16と、ROM16から出力されるデジタル量をアナログ量に
変換して比較判定回路14に出力するD/Aコンバータ17
と、設定された回数だけ反転されたことを条件に消磁終
了信号を出力するゲート回路18とから構成されている。
なお、チャック５がワークを保持している状態では、RO
M16の設定値Ｓ_ｏがD/Aコンバータ17を介して比較判定回
路14に入力され、トランジスタＴ_r2,T_r3がオンになって
いるものとする。また、比較判定回路14の前段側に接続
されている抵抗Ｒ_ａ，コンデンサＣ_ａの積分回路は、RO
M16の番地切換時にD/Aコンバータ17の出力側に発生する
所謂「ヒゲ」の影響をなくすためのものである。

作業者がワークの加工を終了し、図示を省略した消磁ボ
タンを押すと、モード信号発生回路９内に設けられたカ
ウンタ19のリセット端子に、消磁信号としてのＬ信号が
入力される（このリセット端子には、動作モードが消磁
モード以外のときは常時Ｈ信号が入力されている）。Ｌ
信号によりリセットが解除されるため、カウンタ19の出
力Q₁が極性反転回路15内の単安定マルチバイブレータ20
に入力される。マルチバイブレータ20は出力Q₁の立下が
り（反転指令信号）をとらえて作動し、パルスをＤフリ
ップフロップ回路21のクロック端子に出力する。Ｄフリ
ップフロップ回路21は、このパルス入力により反転信号
をドライバ回路10に出力する。ドライバ回路10はこの反
転信号により、それまでオンになっていたトランジスタ
Ｔ_r2,T_r3をオフにし、オフになっていたトランジスタＴ
_r1,T_r4をオンにする。ここで、マルチバイブレータ20か
らパルスが出力される時間は、抵抗Ｒ_Ｔ，コンデンサＣ
_Ｔによって決まるが、この時間はトランジスタＴ_r2,T_r3
及びトランジスタＴ_r1,T_r4が同時にオンとなる状態を防
止するためのオフ時間ｔとなるように設定されている。
つまり、マルチバイブレータ20の出力は、図示を省略し
てあるインバータ等の素子を介し、オフ信号としてドラ
イバ回路10に入力される。

一方、カウンタ19からの出力Q₁はROM16に入力され、第
１回目の反転時に供給されるべき電流の設定値S₁が指定
される。この設定値S₁の信号はD/Aコンバータ17でアナ
ログ量に変換され、比較判定回路14の一方の入力端子に
入力される。そして、検出電流増幅回路13は、電流検出
回路８で検出された第１回目の反転信号に基づく電流を
増幅し、これを比較判定回路14の他方の端子に出力す
る。比較判定回路14は、検出電流増幅回路13の出力信号
が小さいうちはＨ信号を出力しているが、増幅回路13の
出力信号が増加し、電流設定回路12Aの出力信号と一致
したときに、反転指令信号としてのＬ信号を出力する。
マルチバイブレータ20は、このＨ信号からＬ信号に変る
ときの立下がりをとらえて、Ｄフリップフロップ回路21
にパルスを出力し、Ｄフリップフロップ回路21は第２回
目の反転信号をドライバ回路10に出力する。なお、これ
以前にマルチバイブレータ20からの第１回目のパルス
（カウンタ19の出力Q₁に基づくもの）がカウンタ19のク
ロック端子に入力されており、出力Q₂によって第２回目
の反転時に供給されるべき電流の設定値S₂が既にROM16
において指定されている。

以後、このような反転動作が所定設定回数（ｎ回）だけ
行なわれている。そして、ROM16から最後の設定値信号
Ｓ_ｎがD/Aコンバータ17に発せられたときに、ゲート回
路18の条件が成立して消磁終了信号がモード信号発生回
路９に出力される。これにより、それまでＬ信号が入力
されていたカウンタ19のリセット端子にはＨ信号が入力
されることになり、全ての動作が停止する。

第４図は、このような反転回数設定型電流設定回路12A
を用いたとき（反転回数は20回）の特性図であり、第４
図（ａ）は時定数大の場合、第４図（ｂ）は時定数小の
場合である。

この図から明らかなように、時定数のバラツキにより消
磁時間に相違は生ずるものの、それぞれの反転毎の電流
は、いずれの場合も、設定値通りS₁,S₂…Ｓ_ｎとなって
いるため、安定した消磁性能となる。

次に、電流設定回路として、消磁時間設定型電流設定回
路12Bを用いた例を第５図に基づき説明する。

この電流設定回路12Bは、消磁時間を設定するための抵
抗Ｒ_ｂ、コンデンサＣ_ｂと、比較器22と、増幅器23と、
消磁信号を出力するための比較器24と、スイッチSW₂と
から構成されている。

モード信号発生回路９内に設けられているアナログスイ
ッチSW₁は消磁モード以外のときは電圧V₁側に接続して
おり、スイッチSW₂は閉じている。したがって、比較器
３のａ点の電位がV₁よりも高い場合は、比較器22の出力
がＨとなり増幅器23の出力によりａ点の電位が下降す
る。逆に、ａ点の電位がV₁よりも低い場合には比較器22
の出力がＬとなり、増幅器23の出力によりａ点の電位が
上昇する。つまり、スイッチSW₁が電位V₁側に接続され
ているときは、比較器22のａ点の電位も常にV₁となり、
これがそのまま比較判定回路14の一方の入力端子に入力
される。なお、このときコンデンサＣ_ｂはV₁の電圧まで
充電されている。

そして、消磁モードに入ると、スイッチSW₁が電圧−V₂
側に切換えられ、スイッチSW₂は開放される。そのた
め、ｂ点の電位が大きく低下し、比較器22の出力はICの
プラス側電源電圧Ｖ_ccまで急速に上昇する。この比較器
22の出力は抵抗Ｒ_ｂを通って増幅器23に入力され、増幅
器23の出力によりａ点の電位もｂ点の電位までいち早く
低下しようとする。しかし、増幅器23,コンデンサ
Ｃ_ｂ，抵抗Ｒ_ｂによりミラー積分回路が構成されてお
り、時定数にしたがってコンデンサＣ_ｂが放電するた
め、それほど急速にａ点の電位は低下しない。結局、こ
のときのａ点の電位が低下する速度は、比較器22の電源
電圧Ｖ_cc，コンデンサＣ_ｂ，抵抗Ｒ_ｂ，増幅器23の出力
により決定され、その速度変化は時間軸に対して一定勾
配を有する状態で直線的に下降する。

このことは、消磁モードに入ると、コンデンサＣ_ｂ，抵
抗Ｒ_ｂ等で決定される所定時間内に、電位がV₁から−V₂
まで直線的に減衰される信号が、比較判定回路14の一方
の入力端子に入力されることを意味している。

このように漸次減衰された信号が比較判定回路14の一方
の入力端子に入力されている間に、検出電流増幅回路13
からの出力信号が、比較判定回路14の他方の入力端子に
入力される。そして、両者のレベルが一致したときに、
比較判定回路14からは反転指令信号としてのＬ信号が極
性反転回路15に出力され、極性反転回路15は第３図の場
合と同様の過程で、ドライバ回路10に反転信号を出力す
る。

検出電流増幅回路13からは、さらに、反転した電流に係
る信号が、再度比較判定回路14の他方の入力端子に入力
される。しかし、電流設定回路12Bからの設定値信号す
なわちａ点の電位は、時間軸に対し漸次下降しているた
めに、両者の信号のレベルが一致するまでの時間は前回
よりも短くなっている。したがって、電流は反転が繰返
される毎に次第に小さくなっていく。そして、ａ点の電
位が次第に低くなり、接地電位とほぼ等しくなった時点
で、比較器24から消磁終了信号がモード信号発生回路９
（第２図）に発せられる。モード信号発生回路９は、こ
の消磁終了信号によって、スイッチSW₁をV₁側に戻し、
スイッチSW₂を閉じさせる。すると、ａ点の電位は、ス
イッチSW₂,増幅器23の作用により、急速にV₁まで上昇
し、次の消磁動作の準備がなされることになる。

第６図は、上記のような消磁時間設定型電流設定回路12
Bを用いたときの波形図であり、同図の（ａ），
（ｂ），（ｃ）はそれぞれ時定数小の場合、時定数適度
の場合、時定数大の場合である。

この図から明らかなように、時定数が小さいほど反転回
数が多く、初期の反転時の電流の値が大きなものとなっ
ている。したがって、やはり時定数が小さなものほど消
磁性能が優れたものとなっている。しかしながら、第１
回目の反転時における時定数小の場合と時定数大の場合
との励磁電流差ｉ_ｄ−ｉ_ｅはそれほど大きなものではな
く、実用上殆んど問題のない消磁性能を発揮し得るもの
である。

以上説明したことから、反転回数設定型電流設定回路12
Aは、消磁時間を短縮するよりも、より安定した消磁性
能が要求される場合に好適であり、消磁時間設定型電流
設定回路12Bは、自動化された工程ライン等において、
消磁時間を常に一定にしておきたい場合に好適といえ
る。

なお、消磁を行うときのチャック５（第１図）に印加さ
れる電圧は、従来から、チャック５がワークを保持する
ときの同一の電圧となっていた。しかし、本願の発明者
達は、種々実験を試みた結果、消磁を行うときの電圧
と、ワークを保持するときより大きくすることによっ
て、さらに、消磁時間を短縮できることを見出した。こ
のような電圧調整を行うため、消磁装置の入力電圧は高
くしておき、デューティ制御して低い平均電圧でワーク
の吸着を行い、消磁時にはデューティ100％として通電
する。そして、このように電圧を上昇させることは、反
転回数設定型電流回路12A及び消磁時間設定型電流設定
回路12Bのいずれを使用した場合にも適用可能である。

第７図ないし第９図は本発明に用いる主回路構成の例を
示したものである。第７図は第１図のトランジスタスイ
ッチング回路における電流検出抵抗の挿入位置を示した
もので、スイッチング回路３の入力および出力のA,B,C,
Dの４個所の何れに挿入してもよい。Ｃはサージ吸収用
コンデンサである。第８図はトランジスタスイッチング
回路に代えてリレー切換回路を用いたもので、この場合
もリレー切換回路３′の入力、出力の４個所のいずれか
に挿入すればよい。この回路ではトランジスタのスイッ
チングによる電圧調整が行えないから電圧調整器を設け
ている。第９図は電圧調整用にトランジスタＴ_r5を設け
ており、この関係で抵抗挿入位置がトランジスタＴ_r5よ
りも整流回路２寄りの位置Ｅでもよい。D₁₀はトランジ
スタＴ_r5保護用ダイオードである。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように本発明によれば、消磁を行った
ときにチャックに流れる電流を検出し、その検出値を設
定値と比較して消磁電流を制御するようにしたので、時
定数のバラツキにかかわらず、常に安定した消磁を行う
ことができるという効果がある。

また、消磁時間内の無駄時間をなくすこととなり、短時
間での消磁が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る実施例の主回路を示す回路構成
図、第２図は第１図の主回路用の制御回路を示すブロッ
ク図、第３図は反転回数設定型電流設定回路を用いた場
合の制御回路を示す回路構成図、第４図（ａ），（ｂ）
は第３図のものの波形図、第５図は消磁時間設定型電流
設定回路を用いた場合の制御回路を示す回路構成図、第
６図（ａ），（ｂ），（ｃ）は第５図のものの波形図、
第７図ないし第９図は本発明に用いる電磁チャック用主
回路構成例を示す図、第10図は従来の消磁装置について
の波形図である。３……スイッチング回路、５……チャック、８……電流
検出回路、11……電圧調整回路、12,12A,12B……電流設
定回路、15……極性反転回路。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワーク保持用チャックに対し消磁用電流を
供給するためのスイッチング回路を有し、前記ワークの消磁を行うときには、前記スイッチング回
路を制御することにより、前記チャックに対する電流の
極性を複数回反転させ、しかもその反転が繰り返される
毎に前記チャックに対する電流供給時間を漸減すること
によって、前記ワークを消磁するための減衰交番磁界を
発生させるようにした電磁チャック用消磁装置におい
て、前記チャックに供給される電流の電流値を検出する電流
検出回路と、前記極性のそれぞれの反転毎に供給されるべき電流につ
いて次第に小さくなる設定値信号を出力する電流設定回
路と、前記検出による検出信号と前記設定値信号とが一致した
ときに、前記極性が反転されるよう前記スイッチング回
路の制御を行う極性反転回路と、を備えたことを特徴とする電磁チャック用消磁装置。
【請求項２】電流設定回路は、励磁電流の極性の反転回
数を設定することが可能なものであることを特徴とする
請求項１記載の電磁チャック用消磁装置。
【請求項３】電流設定回路は、予め設定された消磁時間
内に所定値まで漸次減衰される設定値信号を出力可能な
ものであることを特徴とする請求項１記載の電磁チャッ
ク用消磁装置。
【請求項４】前記チャックに与える電圧を調整する電圧
調整手段を有し、ワーク吸着時は低い電圧を与え、消磁
時は高い電圧を与えるようにした請求項１記載の電磁チ
ャック用消磁装置。