JPH06105605B2 - 電子顕微鏡の像観察装置 - Google Patents
電子顕微鏡の像観察装置Info
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- JPH06105605B2 JPH06105605B2 JP62227994A JP22799487A JPH06105605B2 JP H06105605 B2 JPH06105605 B2 JP H06105605B2 JP 62227994 A JP62227994 A JP 62227994A JP 22799487 A JP22799487 A JP 22799487A JP H06105605 B2 JPH06105605 B2 JP H06105605B2
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- electron microscope
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡の像観察装置に係り、特に像観察中
に得られる電子顕微鏡像等と、これに対応するシミュレ
ーション像とを同一または別々のCRTに同時に表示でき
るようにした、電子顕微鏡の像観察装置に関する。
に得られる電子顕微鏡像等と、これに対応するシミュレ
ーション像とを同一または別々のCRTに同時に表示でき
るようにした、電子顕微鏡の像観察装置に関する。
近年、電子顕微鏡にテレビカメラを取付けて電子顕微鏡
像をモニタCRTにて観察できる構成とした電子顕微鏡や
これを応用・拡張した（透過形）電子顕微鏡が製品化さ
れている。（Proceedings of the 43rd Annual Meeting
of the Electron Microscopy Society of America,198
5,第140〜141頁やProc.XIth Cong.on Electron Microsc
opy,Kyoto,1986,第453〜454頁など） しかし、上記のような従来装置は観察像の表示・記憶だ
けの機能しか備えていなかった。
像をモニタCRTにて観察できる構成とした電子顕微鏡や
これを応用・拡張した（透過形）電子顕微鏡が製品化さ
れている。（Proceedings of the 43rd Annual Meeting
of the Electron Microscopy Society of America,198
5,第140〜141頁やProc.XIth Cong.on Electron Microsc
opy,Kyoto,1986,第453〜454頁など） しかし、上記のような従来装置は観察像の表示・記憶だ
けの機能しか備えていなかった。
原子レベルまで観察できるように、その倍率が拡大され
た電顕像では、観察条件を僅かに変化しただけでも（例
えば、焦点を数100Åずらしただけでも）観察している
像が全く異なって見えることが、しばしばである。ま
た、電子回折像においても、僅かな観察条件の変化によ
って回折強度が変化したり回折パターンが変化する場合
がある。
た電顕像では、観察条件を僅かに変化しただけでも（例
えば、焦点を数100Åずらしただけでも）観察している
像が全く異なって見えることが、しばしばである。ま
た、電子回折像においても、僅かな観察条件の変化によ
って回折強度が変化したり回折パターンが変化する場合
がある。
このために、電顕像等の解釈（原子配列や電子回折の状
態の）は非常に難しいものとなっている。
態の）は非常に難しいものとなっている。
その対策として、従来より、或る観察条件のもとで電顕
像を撮影すると共に、同一観察条件によるシミュレーシ
ョンを行ない、その結果得られたシミュレーション像と
比較して電顕像等の像解釈を行っている。
像を撮影すると共に、同一観察条件によるシミュレーシ
ョンを行ない、その結果得られたシミュレーション像と
比較して電顕像等の像解釈を行っている。
しかし、従来は、電顕像等のシミュレーションと実際の
電顕像等の観察、撮影を夫々、単独に行なうため、手数
がかかり、効率が悪いという問題があるのみならず、シ
ミュレーションのための設定入力に誤りを生じ、観察条
件と異なる条件下でのシミュレーション像を演算してし
まうことがあるという問題もあった。
電顕像等の観察、撮影を夫々、単独に行なうため、手数
がかかり、効率が悪いという問題があるのみならず、シ
ミュレーションのための設定入力に誤りを生じ、観察条
件と異なる条件下でのシミュレーション像を演算してし
まうことがあるという問題もあった。
本発明の目的は、上記のような問題点を解決し、電子顕
微鏡の操作性・機能および信頼性を向上させた（透過
形）電子顕微鏡の像観察装置を提供することにある。
微鏡の操作性・機能および信頼性を向上させた（透過
形）電子顕微鏡の像観察装置を提供することにある。
上記目的には、観察像をCRT上に表示させるだけでな
く、シミュレーションによる像も同時に、共通または、
なるべく近傍に配置された別々のCRT上に表示させるこ
とにより達成することができる。
く、シミュレーションによる像も同時に、共通または、
なるべく近傍に配置された別々のCRT上に表示させるこ
とにより達成することができる。
電顕像等をTVカメラで撮像し、これをモニタCRT上に表
示させると同時に、前記撮像時と同一観察条件のもとで
電顕像等のシミュレーションを行ない、これを別のCRT
または、同一CRT上の一部分に、画面分割などの手法で
表示させるように構成する。
示させると同時に、前記撮像時と同一観察条件のもとで
電顕像等のシミュレーションを行ない、これを別のCRT
または、同一CRT上の一部分に、画面分割などの手法で
表示させるように構成する。
これにより、電顕像等を観察しながら、同時にシミュレ
ーションによる像（理論値）が観察可能となるので、電
顕像等の解釈を容易に、かつ効率よく行うことができる
ようになる。
ーションによる像（理論値）が観察可能となるので、電
顕像等の解釈を容易に、かつ効率よく行うことができる
ようになる。
また、電顕像等の観察、撮像条件を操作者が設定するの
に伴なって、これらの条件のうち、シミュレーションに
必要なものを、別途入力することなしに、シミュレーシ
ョン装置（例えば、コンピュータ）に転送するようにす
れば、入力の手数を無くするばかりでなく、誤入力が無
くなるので、信頼性と能率を向上することができる。
に伴なって、これらの条件のうち、シミュレーションに
必要なものを、別途入力することなしに、シミュレーシ
ョン装置（例えば、コンピュータ）に転送するようにす
れば、入力の手数を無くするばかりでなく、誤入力が無
くなるので、信頼性と能率を向上することができる。
第１図は本発明の一実施例を表す構成ブロック図であ
る。
る。
電子顕微鏡１は通常の構成を有するものであり、これに
よって結像された電顕像等はTVカメラ２によって電気的
画像信号に変換され、TVコントローラ４を介して像フレ
ームメモリ5aに記憶される。また同時に、像フレームメ
モリ5aに記憶された画像信号は、所定のタイミングで出
力され、像CRT9cにその画像を表示する。
よって結像された電顕像等はTVカメラ２によって電気的
画像信号に変換され、TVコントローラ４を介して像フレ
ームメモリ5aに記憶される。また同時に、像フレームメ
モリ5aに記憶された画像信号は、所定のタイミングで出
力され、像CRT9cにその画像を表示する。
プロセッサ３はキーボード８からの設定入力にしたがっ
て電子顕微鏡１の動作制御を行うとともに、電子顕微鏡
１の観察条件のうち、シミュレーションに必要な情報−
例えば倍率、加速電圧、フォーカス状態などを、絶えず
コンピュータ６に送信している。
て電子顕微鏡１の動作制御を行うとともに、電子顕微鏡
１の観察条件のうち、シミュレーションに必要な情報−
例えば倍率、加速電圧、フォーカス状態などを、絶えず
コンピュータ６に送信している。
コンピュータ６は、電顕像等のシミュレーションを行な
うためのもので、プロセッサ３からの転送情報の外に必
要とする情報（例えば、試料名、結晶構造、ビーム入射
方向など）がキーボード８より入力され、観察中の電顕
像等に対応するシミュレーション像を理論計算する。
うためのもので、プロセッサ３からの転送情報の外に必
要とする情報（例えば、試料名、結晶構造、ビーム入射
方向など）がキーボード８より入力され、観察中の電顕
像等に対応するシミュレーション像を理論計算する。
コンピュータ６によるシミュレーションの結果は、シミ
ュレーション・フレームメモリ5bに送られて記憶され
る。フレームメモリ5bの記憶内容は、所定のタイミング
で読出されてシミュレーションCRT9aに送られ、その画
面上にシミュレーションによる画像が表示される。
ュレーション・フレームメモリ5bに送られて記憶され
る。フレームメモリ5bの記憶内容は、所定のタイミング
で読出されてシミュレーションCRT9aに送られ、その画
面上にシミュレーションによる画像が表示される。
ここで記述しているシミュレーションとは、電子回折理
論に基づく計算値であり、例えば、従来からよく知られ
ているMulti−Slice法を用いてのシミュレーションであ
ることができる。もちろん、本発明においては、シミュ
レーションを行うための理論を特に限定する必要もない
ので、他の方法によるシミュレーションも当然可能であ
る。
論に基づく計算値であり、例えば、従来からよく知られ
ているMulti−Slice法を用いてのシミュレーションであ
ることができる。もちろん、本発明においては、シミュ
レーションを行うための理論を特に限定する必要もない
ので、他の方法によるシミュレーションも当然可能であ
る。
画面分割器７は、内部にフレームメモリを内蔵してお
り、像フレームメモリ5aおよびシミュレーション・フレ
ームメモリ5bの出力を取り込み、像フレームメモリ5aの
記憶内容、すなわち電顕像等の一部を除いた画像信号を
その内蔵フレームメモリに記憶させると共に、除いた画
像部分に、シミュレーション・フレームメモリ5bの記憶
画像すなわちシミュレーション像の該当部分を入れ込
み、１つのフレーム（画像）として合成し、これを合成
像CRT9bに出力して映出表示する。
り、像フレームメモリ5aおよびシミュレーション・フレ
ームメモリ5bの出力を取り込み、像フレームメモリ5aの
記憶内容、すなわち電顕像等の一部を除いた画像信号を
その内蔵フレームメモリに記憶させると共に、除いた画
像部分に、シミュレーション・フレームメモリ5bの記憶
画像すなわちシミュレーション像の該当部分を入れ込
み、１つのフレーム（画像）として合成し、これを合成
像CRT9bに出力して映出表示する。
以上により、像CRT9cには実際の電顕像等が、またシミ
ュレーションCRT9aにはシミュレーションによる像が同
時表示されることになる。
ュレーションCRT9aにはシミュレーションによる像が同
時表示されることになる。
このようにして、操作者は、電子顕微鏡１を操作して電
顕像等の観察を像CRT9cによって行ないながら、同時に
そのシミュレーション像をシミュレーションCRT9aで見
ることができるので、像解釈を迅速に、かつ誤りなく行
なうことができ、焦点合せなどの操作性を改善して観察
撮影等の能率を向上することができる。
顕像等の観察を像CRT9cによって行ないながら、同時に
そのシミュレーション像をシミュレーションCRT9aで見
ることができるので、像解釈を迅速に、かつ誤りなく行
なうことができ、焦点合せなどの操作性を改善して観察
撮影等の能率を向上することができる。
また、合成像CRT9bには、実際の電顕像の一部とシミュ
レーション像の一部が、画面分割されて同一CRT上に１
つの合成像として映出される。
レーション像の一部が、画面分割されて同一CRT上に１
つの合成像として映出される。
したがって、操作者は、合成像CRT9bの画面を観察する
だけで、その上の映像が完全な１つの画面として映出さ
れておれば、正しい電顕像等が得られていると判断する
ことができるので、前の場合と同様に像解釈を迅速に、
かつ誤りなく行なうことができ、焦点合せなどの操作性
を改善して、観察撮影等の能率を向上することができ
る。
だけで、その上の映像が完全な１つの画面として映出さ
れておれば、正しい電顕像等が得られていると判断する
ことができるので、前の場合と同様に像解釈を迅速に、
かつ誤りなく行なうことができ、焦点合せなどの操作性
を改善して、観察撮影等の能率を向上することができ
る。
なお、以上の説明から容易に分るように、合成像CRT9b
は、必ずしもシミュレーションCRT9a、合成像CRT9bと共
に装備される必要はなく、これらのCRT対に代り得るも
のである。
は、必ずしもシミュレーションCRT9a、合成像CRT9bと共
に装備される必要はなく、これらのCRT対に代り得るも
のである。
また、シミュレーション像（および電顕像など）と共
に、その観察条件（試料名、結晶構造、加速電圧、ビー
ムの入射角や照射角、レンズ電流、加速電圧、試料傾斜
角など）を同一画面に表示することも有用である。
に、その観察条件（試料名、結晶構造、加速電圧、ビー
ムの入射角や照射角、レンズ電流、加速電圧、試料傾斜
角など）を同一画面に表示することも有用である。
本発明によれば、実際に観察している電顕像と、これと
同じ条件下でのシミュレーションによる像とを同時に表
示することができるので、電子顕微鏡における像解釈お
よびその操作性が容易となり、その効果は大いなるもの
である。
同じ条件下でのシミュレーションによる像とを同時に表
示することができるので、電子顕微鏡における像解釈お
よびその操作性が容易となり、その効果は大いなるもの
である。
第１図は本発明の一実施例を示す構成ブロック図であ
る。 １…電子顕微鏡、２…TVカメラ、３…CRU、４…TVコン
トローラ、5a…像フレームメモリ、5b…シミュレーショ
ン・フレームメモリ、６…コンピュータ、７…画面分割
器、８…キーボード、9a…シミュレーションCRT、9b…
合成像CRT、9c…像CRT
る。 １…電子顕微鏡、２…TVカメラ、３…CRU、４…TVコン
トローラ、5a…像フレームメモリ、5b…シミュレーショ
ン・フレームメモリ、６…コンピュータ、７…画面分割
器、８…キーボード、9a…シミュレーションCRT、9b…
合成像CRT、9c…像CRT
Claims (3)
- 【請求項１】電子顕微鏡の結像レンズ系によって結像さ
れる像を電気信号に変換する手段と、該電気信号に基づ
いて電子顕微鏡像等を表示するための像表示手段と、前
記電子顕微鏡像等に対応するシミュレーション像を導出
するための手段と、該シミュレーション像を表示する手
段とを具備した電子顕微鏡の像観察装置において、 前記電子顕微鏡像と該電子顕微鏡像に対応するシミュレ
ーション像との、少なくとも各一部を同時に表示するこ
とを特徴とする電子顕微鏡の像観察装置。 - 【請求項２】上記特許請求の範囲の第１項において、シ
ミュレーション像を導出するために必要な観察条件が、
電子顕微鏡を制御する手段より該シミュレーション像を
導出するための手段へ伝送されることを特徴とする電子
顕微鏡の像観察装置。 - 【請求項３】上記特許請求の範囲の第１項において、シ
ミュレーション像を表示する手段と、実際の観察像を表
示する手段とを同一のものとし、その表示画面を任意の
大きさ，形状に分割し、両該像を各々分割された画面に
同時に表示することを特徴とする電子顕微鏡の像観察装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62227994A JPH06105605B2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 電子顕微鏡の像観察装置 |
| US07/242,129 US4866273A (en) | 1987-09-11 | 1988-09-09 | Electron-microscopic image viewing system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62227994A JPH06105605B2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 電子顕微鏡の像観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6472449A JPS6472449A (en) | 1989-03-17 |
| JPH06105605B2 true JPH06105605B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=16869507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62227994A Expired - Fee Related JPH06105605B2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 電子顕微鏡の像観察装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4866273A (ja) |
| JP (1) | JPH06105605B2 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0245734A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 自動組織解析処理装置 |
| JP2686492B2 (ja) * | 1988-12-12 | 1997-12-08 | 株式会社日立製作所 | 透過形電子顕微鏡の照射位置決め方法 |
| US5034903A (en) * | 1989-01-30 | 1991-07-23 | Alfano Robert R | Apparatus and method for measuring the time evolution of carriers propogating within submicron and micron electronic devices |
| JPH0773038B2 (ja) * | 1989-12-19 | 1995-08-02 | 株式会社日立サイエンスシステムズ | 走査電子顕微鏡の画像処理装置 |
| US5321988A (en) * | 1991-03-14 | 1994-06-21 | Synkinetics, Inc. | Oscillatory motion speed converter having drive and driven cams with balls and retainer |
| US5514045A (en) * | 1991-03-14 | 1996-05-07 | Synkinetics, Inc. | Speed converter with zero backlash |
| US5866905A (en) * | 1991-05-15 | 1999-02-02 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
| JP3287858B2 (ja) * | 1991-05-15 | 2002-06-04 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡装置及び電子顕微方法 |
| JP3230911B2 (ja) * | 1993-11-04 | 2001-11-19 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡及びその画像形成方法 |
| JP3485707B2 (ja) * | 1996-01-09 | 2004-01-13 | 沖電気工業株式会社 | 透過型電子顕微鏡用の平面サンプルの作製方法及びその透過型電子顕微鏡による欠陥測定方法 |
| US6186922B1 (en) | 1997-03-27 | 2001-02-13 | Synkinetics, Inc. | In-line transmission with counter-rotating outputs |
| JPH11135046A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP2002150987A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-24 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡および電子顕微鏡における透過電子像撮影方法 |
| JP2003331773A (ja) * | 2002-05-13 | 2003-11-21 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
| US20060008178A1 (en) * | 2004-07-08 | 2006-01-12 | Seeger Adam A | Simulation of scanning beam images by combination of primitive features extracted from a surface model |
| US20060137270A1 (en) * | 2004-12-10 | 2006-06-29 | Parvis Daftari | Magnetic toy construction modules with side-mounted magnets |
| US7804981B2 (en) * | 2005-01-13 | 2010-09-28 | Sensis Corporation | Method and system for tracking position of an object using imaging and non-imaging surveillance devices |
| EP1987489A1 (en) * | 2006-02-17 | 2008-11-05 | Sidec Technologies AB | Apparatus, method and simulation objetcs for simulation of the image formation in a transmission electron microscope |
| JP7672351B2 (ja) * | 2022-01-25 | 2025-05-07 | 株式会社日立ハイテク | 観察システム、観察方法およびプログラム |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7609574A (nl) * | 1975-09-03 | 1977-03-07 | Siemens Ag | Werkwijze voor de beeldweergave van de uit- gangsinformaties van een toestel dat een objekt aftast. |
| US4146788A (en) * | 1977-12-12 | 1979-03-27 | Mirkin Georgy R | Method and apparatus for quantitative structural analysis of solids |
-
1987
- 1987-09-11 JP JP62227994A patent/JPH06105605B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-09-09 US US07/242,129 patent/US4866273A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6472449A (en) | 1989-03-17 |
| US4866273A (en) | 1989-09-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |