JPH0610653B2 - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0610653B2 JPH0610653B2 JP4454089A JP4454089A JPH0610653B2 JP H0610653 B2 JPH0610653 B2 JP H0610653B2 JP 4454089 A JP4454089 A JP 4454089A JP 4454089 A JP4454089 A JP 4454089A JP H0610653 B2 JPH0610653 B2 JP H0610653B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- sample
- mirror
- measurement
- atr prism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は試料台上部に反射対物鏡を備え、試料測定部位
の可視光観察と赤外分光分析の機能を備えた赤外顕微鏡
に関するものである。
の可視光観察と赤外分光分析の機能を備えた赤外顕微鏡
に関するものである。
（従来の技術） 赤外顕微鏡には、赤外線を試料に透過させて赤外分光分
析を行なう赤外透過測定モード、赤外線を試料表面で反
射させて赤外分光分析を行なう赤外反射測定モード、可
視光を試料に透過させて顕微鏡観察を行なう可視透過観
察モード、及び可視光を試料表面で反射させて顕微鏡観
察を行なう可視透過観察モードの４つのモードを切り替
えて使用できるようにしたものがある。
析を行なう赤外透過測定モード、赤外線を試料表面で反
射させて赤外分光分析を行なう赤外反射測定モード、可
視光を試料に透過させて顕微鏡観察を行なう可視透過観
察モード、及び可視光を試料表面で反射させて顕微鏡観
察を行なう可視透過観察モードの４つのモードを切り替
えて使用できるようにしたものがある。
赤外分光分析は、物質の同定分析のために広く利用され
ている。例えば化学物質、医薬品を初め、電子材料な
ど、有機物が中心ではあるが、無機物に対しても広く利
用されつつある分析法である。
ている。例えば化学物質、医薬品を初め、電子材料な
ど、有機物が中心ではあるが、無機物に対しても広く利
用されつつある分析法である。
（発明が解決しようとする課題） 試料表面に付着した物質の赤外分光分析を行なおうとし
た場合、もし試料が赤外線を透過する物質であれば赤外
透過測定モードで測定することができ、また、もし試料
が赤外線をよく反射する物質、例えば金属や半導体など
であれば赤外反射測定モードで測定することができる。
た場合、もし試料が赤外線を透過する物質であれば赤外
透過測定モードで測定することができ、また、もし試料
が赤外線をよく反射する物質、例えば金属や半導体など
であれば赤外反射測定モードで測定することができる。
しかし、試料が赤外線をよく透過せず、かつ、よく反射
もしない物質、例えばポリマーや無機材料などの場合に
は、赤外透過測定モードと赤外反射測定モードの何れの
測定モードによっても試料表面上の付着物の赤外分光分
析を行なうことはできない。
もしない物質、例えばポリマーや無機材料などの場合に
は、赤外透過測定モードと赤外反射測定モードの何れの
測定モードによっても試料表面上の付着物の赤外分光分
析を行なうことはできない。
本発明は、赤外線に対する試料の透過特性に関係なく、
試料表面上の付着物の赤外分光分析を行なうことのでき
る赤外顕微鏡を提供することを目的とするものである。
試料表面上の付着物の赤外分光分析を行なうことのでき
る赤外顕微鏡を提供することを目的とするものである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、従来の赤外顕微鏡の反射対物鏡と試料台の間
に、支持棒の下端に取りつけられたＡＴＲ（全反射）プ
リズムと、このＡＴＲプリズムを前記支持棒を介して視
野中心軸上で上下方向に移動させる移動機構とを設けた
ものである。
に、支持棒の下端に取りつけられたＡＴＲ（全反射）プ
リズムと、このＡＴＲプリズムを前記支持棒を介して視
野中心軸上で上下方向に移動させる移動機構とを設けた
ものである。
（作用） 赤外線をよく透過せず、かつ、よく反射もしない物質か
らなる試料の表面上の付着物を測定する場合に、ＡＴＲ
プリズムを視野中心軸上で下降させて測定対象物上に密
着させ、赤外反射測定モードで測定を行なう。入射赤外
線はＡＴＲプリズムによって測定対象物の表面で全反射
され、測定対象物の赤外分光分析が行なわれる。
らなる試料の表面上の付着物を測定する場合に、ＡＴＲ
プリズムを視野中心軸上で下降させて測定対象物上に密
着させ、赤外反射測定モードで測定を行なう。入射赤外
線はＡＴＲプリズムによって測定対象物の表面で全反射
され、測定対象物の赤外分光分析が行なわれる。
赤外線透過物質や赤外線反射物質の試料の表面上の付着
物を測定する場合は、ＡＴＲプリズムを視野中心軸上で
上方に引き上げておく。それによりＡＴＲプリズムが試
料上の焦点位置からずれて、測定の妨げにならなくな
る。
物を測定する場合は、ＡＴＲプリズムを視野中心軸上で
上方に引き上げておく。それによりＡＴＲプリズムが試
料上の焦点位置からずれて、測定の妨げにならなくな
る。
（実施例） 第１図は一実施例を表わす。図の状態は、ＡＴＲプリズ
ムを使用する赤外反射測定モードを示している。
ムを使用する赤外反射測定モードを示している。
２は赤外測定を行なう際の測定モードを切り替える透過
／反射切替え鏡、４は平面鏡、６は球面鏡、８は平面
鏡、１０は反射対物鏡である。反射対物鏡１０の下部に
は試料台１２が設けられている。１４は試料上の焦点位
置である。反射対物鏡１０で試料上に照射された赤外線
による反射赤外線は再び反射対物鏡１０で集光される。
１６は反射対物鏡１０で集光された赤外線を通す可変ア
パーチャ、１８は赤外測定と可視観察を切り替える切替
え鏡、２０，２２は平面鏡、２４は軸外し楕円面鏡、２
６は赤外検出器であるＭＣＴ検出器である。
／反射切替え鏡、４は平面鏡、６は球面鏡、８は平面
鏡、１０は反射対物鏡である。反射対物鏡１０の下部に
は試料台１２が設けられている。１４は試料上の焦点位
置である。反射対物鏡１０で試料上に照射された赤外線
による反射赤外線は再び反射対物鏡１０で集光される。
１６は反射対物鏡１０で集光された赤外線を通す可変ア
パーチャ、１８は赤外測定と可視観察を切り替える切替
え鏡、２０，２２は平面鏡、２４は軸外し楕円面鏡、２
６は赤外検出器であるＭＣＴ検出器である。
赤外透過測定モードで赤外線を試料の下面から透過させ
るために、下部に平面鏡２８、球面鏡３０、ピンホール
３１，平面鏡３２及びコンデンサ鏡３４が設けられてい
る。
るために、下部に平面鏡２８、球面鏡３０、ピンホール
３１，平面鏡３２及びコンデンサ鏡３４が設けられてい
る。
可視反射観察モードで試料に可視光を照射するために、
上部にハロゲンランプ３６、レンズ系３８、反射照明光
導入用平面鏡４０が設けられている。
上部にハロゲンランプ３６、レンズ系３８、反射照明光
導入用平面鏡４０が設けられている。
また、可視透過観察モードで試料に可視光を透過するた
め、下部にハロゲンランプ４２、透過照明光導入用平面
鏡４３が設けられている。
め、下部にハロゲンランプ４２、透過照明光導入用平面
鏡４３が設けられている。
可視光による観察を行なうために、反射対物鏡１０で集
光された光は平面鏡８、アパーチャ１６、切替え鏡１
８、平面鏡４０及びプリズム４４などを経て接眼レンズ
４６，４８に導かれる。
光された光は平面鏡８、アパーチャ１６、切替え鏡１
８、平面鏡４０及びプリズム４４などを経て接眼レンズ
４６，４８に導かれる。
試料台１２と反射対物鏡１０の間には、第２図に拡大し
て示されるように、支持棒５０の先端に取りつけられた
ＡＴＲプリズム５２が設けられている。支持棒５０は移
動機構５４によって上下方向に移動できるように支持さ
れている。５８は試料台１２上に載置された試料、６０
は試料５８上に付着した測定対象物である。
て示されるように、支持棒５０の先端に取りつけられた
ＡＴＲプリズム５２が設けられている。支持棒５０は移
動機構５４によって上下方向に移動できるように支持さ
れている。５８は試料台１２上に載置された試料、６０
は試料５８上に付着した測定対象物である。
移動機構５４は、具体的にはＸＹＺステージであり、上
下方向だけでなく水平面内方向にも移動できる。移動機
構５４により支持棒５０及びＡＴＲプリズム５２を顕微
鏡の視野中心軸上に位置決めしておき、測定モードによ
って上下方向に移動させる。
下方向だけでなく水平面内方向にも移動できる。移動機
構５４により支持棒５０及びＡＴＲプリズム５２を顕微
鏡の視野中心軸上に位置決めしておき、測定モードによ
って上下方向に移動させる。
ＡＴＲプリズム５２は円錐台状をしており、底面の直径
が１mm程度のものである。ＡＴＲプリズム５２の材質と
しては、ＫＲＳ−５，ＫＲＳ−６，ＺｎＳｅ，Ｇｅなど
を使用することができる。支持棒５０は例えばステンレ
ス棒である。しかし、支持棒５０やＡＴＲプリズム５２
の大きさ、形状材質などは例示のものに限定されない。
が１mm程度のものである。ＡＴＲプリズム５２の材質と
しては、ＫＲＳ−５，ＫＲＳ−６，ＺｎＳｅ，Ｇｅなど
を使用することができる。支持棒５０は例えばステンレ
ス棒である。しかし、支持棒５０やＡＴＲプリズム５２
の大きさ、形状材質などは例示のものに限定されない。
次に、本実施例の動作について説明する。
まず、ＡＴＲプリズム５２を用いた赤外反射測定モード
を説明する。
を説明する。
ＡＴＲプリズム５２を測定対象物から離して上に上げた
状態で、測定対象物の測定したい部位を顕微鏡の視野中
心に移動させる。このときの可視光による観察モードは
可視反射観察モードである。
状態で、測定対象物の測定したい部位を顕微鏡の視野中
心に移動させる。このときの可視光による観察モードは
可視反射観察モードである。
次に、ＡＴＲプリズム５２を視野中心軸上で下降させて
測定対象物上に密着させ、第１図に示される赤外反射測
定モードで測定を行なう。赤外線は切替え鏡２から平面
鏡４、球面鏡６、平面鏡８を経て反射対物鏡１０によっ
て測定対象物上に照射される。赤外入射光はＡＴＲプリ
ズム５２によって第２図で記号５５で示されるように測
定対象物６０に入射し、記号５６で示されるように反射
する。反射光５６は再び反射対物鏡１０で集光され、平
面鏡８、アパーチャ１６、切替え鏡１８、平面鏡２０，
２２、軸外し楕円面鏡２４を経てＭＣＴ検出器２６で検
出される。
測定対象物上に密着させ、第１図に示される赤外反射測
定モードで測定を行なう。赤外線は切替え鏡２から平面
鏡４、球面鏡６、平面鏡８を経て反射対物鏡１０によっ
て測定対象物上に照射される。赤外入射光はＡＴＲプリ
ズム５２によって第２図で記号５５で示されるように測
定対象物６０に入射し、記号５６で示されるように反射
する。反射光５６は再び反射対物鏡１０で集光され、平
面鏡８、アパーチャ１６、切替え鏡１８、平面鏡２０，
２２、軸外し楕円面鏡２４を経てＭＣＴ検出器２６で検
出される。
赤外測定では、可変アパーチャ１６によって測定したい
部位だけの赤外スペクトルを測定できるように、マスキ
ングすることも可能である。
部位だけの赤外スペクトルを測定できるように、マスキ
ングすることも可能である。
ＡＴＲ測定以外の測定モードのときは、ＡＴＲプリズム
５２を測定対象物上から離して上下方向に移動させてお
く。ＡＴＲプリズム５２が測定対象物上の焦点位置１４
からずれることにより、ＡＴＲプリズム５２を備えてい
ない赤外顕微鏡と同じ測定モードでの測定を行なうこと
ができる。
５２を測定対象物上から離して上下方向に移動させてお
く。ＡＴＲプリズム５２が測定対象物上の焦点位置１４
からずれることにより、ＡＴＲプリズム５２を備えてい
ない赤外顕微鏡と同じ測定モードでの測定を行なうこと
ができる。
（発明の効果） 本発明では、反射対物鏡と試料台の間に、ＡＴＲプリズ
ムを上下動可能に取りつけたので、赤外線をよく透過せ
ず、かつ、よく反射もしない物質であっても、その表面
上の付着物などの赤外スペクトル測定が可能になる。
ムを上下動可能に取りつけたので、赤外線をよく透過せ
ず、かつ、よく反射もしない物質であっても、その表面
上の付着物などの赤外スペクトル測定が可能になる。
また、１mm以下というような微小な測定対象物のＡＴＲ
法による赤外スペクトル測定が可能になる。
法による赤外スペクトル測定が可能になる。
【図面の簡単な説明】 第１図は一実施例をＡＴＲ法による赤外反射測定モード
で示す断面図、第２図はＡＴＲプリズム部分を拡大して
示す断面図である。 １０……反射対物鏡、１２……試料台、１４……試料上
焦点位置、５０……支持棒、５２……ＡＴＲプリズム、
５４……移動機構。
で示す断面図、第２図はＡＴＲプリズム部分を拡大して
示す断面図である。 １０……反射対物鏡、１２……試料台、１４……試料上
焦点位置、５０……支持棒、５２……ＡＴＲプリズム、
５４……移動機構。
Claims (1)
- 【請求項１】試料台上部に反射対物鏡を備え、試料測定
部位の可視光観察と赤外分光分析の機能を備えた赤外顕
微鏡において、反射対物鏡と試料台の間に、支持棒の下
端に取りつけられたＡＴＲプリズムと、このＡＴＲプリ
ズムを前記支持棒を介して視野中心軸上で上下方向に移
動させる移動機構とを備えたことを特徴とする赤外顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4454089A JPH0610653B2 (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4454089A JPH0610653B2 (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 赤外顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02223847A JPH02223847A (ja) | 1990-09-06 |
| JPH0610653B2 true JPH0610653B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=12694344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4454089A Expired - Lifetime JPH0610653B2 (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610653B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03233166A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-17 | Suzuki Motor Corp | 内燃機関の酸素富化装置 |
| JPH03117749U (ja) * | 1990-03-15 | 1991-12-05 | ||
| JPH0572120A (ja) * | 1991-03-08 | 1993-03-23 | Shimadzu Corp | 赤外顕微測定装置 |
| US6141100A (en) * | 1997-08-15 | 2000-10-31 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Imaging ATR spectrometer |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP4454089A patent/JPH0610653B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02223847A (ja) | 1990-09-06 |
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