JPH0610702B2 - カラー液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
カラー液晶表示装置およびその製造方法Info
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- JPH0610702B2 JPH0610702B2 JP29167787A JP29167787A JPH0610702B2 JP H0610702 B2 JPH0610702 B2 JP H0610702B2 JP 29167787 A JP29167787 A JP 29167787A JP 29167787 A JP29167787 A JP 29167787A JP H0610702 B2 JPH0610702 B2 JP H0610702B2
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、カラーフイルタを有しカラー表示が行えるカ
ラー液晶表示装置およびその製造方法に関する。
ラー液晶表示装置およびその製造方法に関する。
［従来の技術］ 一般に、液晶表示装置は、対向配置されたガラス基板の
対向面に多数の画素を構成するように透明電極を形成
し、これら電極の内側に液晶組成物を挟持させた構造を
有する。
対向面に多数の画素を構成するように透明電極を形成
し、これら電極の内側に液晶組成物を挟持させた構造を
有する。
ところで、このような液晶表示装置においては、高コン
トラストを得るために、画素間に遮光部材を設け、隣接
する画素からの光漏れを防止することが行われている。
トラストを得るために、画素間に遮光部材を設け、隣接
する画素からの光漏れを防止することが行われている。
たとえば特開昭59-188690号公報には、基板上に真空蒸
着またはスパッタリング法により遮光性金属層を全面に
施し、この金属層をフォトエッチング法により所要形状
とし、次いでその上に保護層を全面に形成し、この保護
層の上に透明電極を設ける技術が開示されている。
着またはスパッタリング法により遮光性金属層を全面に
施し、この金属層をフォトエッチング法により所要形状
とし、次いでその上に保護層を全面に形成し、この保護
層の上に透明電極を設ける技術が開示されている。
特開昭60-43631号公報には、カラー・フイルタ間に金属
薄膜からなる非透光性部材を形成した表示パネルが開示
されている。
薄膜からなる非透光性部材を形成した表示パネルが開示
されている。
一方、カラー液晶表示装置の各画素に対応する位置にＲ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のカラーフイルタを形成す
る方法として、従来からフォトリングラフイの応用技術
である染色法、オフセット印刷やスクリーン印刷の応用
技術である印刷法等がある。
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のカラーフイルタを形成す
る方法として、従来からフォトリングラフイの応用技術
である染色法、オフセット印刷やスクリーン印刷の応用
技術である印刷法等がある。
しかしながら染色法では、スループットやイールドの低
下により製造コストに影響を与える虞れがある。また、
印刷法では、精度上で問題がある。
下により製造コストに影響を与える虞れがある。また、
印刷法では、精度上で問題がある。
このため近年、電着法によってカラーフイルタを形成す
る技術が開発され、製造コスト上の問題や精度上の問題
が解決されつつある。すなわち、電着法では、大画面を
実現でき、プロセス時間が短く、耐熱、耐光および耐化
学性に優れ、膜厚も自由且つ正確に制御できる。
る技術が開発され、製造コスト上の問題や精度上の問題
が解決されつつある。すなわち、電着法では、大画面を
実現でき、プロセス時間が短く、耐熱、耐光および耐化
学性に優れ、膜厚も自由且つ正確に制御できる。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、この電着法によってカラーフイルタを形
成する場合において、上述したように高コントラストを
得るために、画素間に遮光層を設けようとしたとき、す
でに開示されている特開昭59-188690号公報、特開昭60-
43631号公報等の技術の応用では、種々の問題を生じ
る。
成する場合において、上述したように高コントラストを
得るために、画素間に遮光層を設けようとしたとき、す
でに開示されている特開昭59-188690号公報、特開昭60-
43631号公報等の技術の応用では、種々の問題を生じ
る。
すなわち、特開昭59-188690号公報の技術では、フイル
タが積層される電極と金属からなる不遮光層とが保護層
により電気的に絶縁されているため、不透光層を電着用
電極として利用できず、電着法でフイルタを形成しよう
とすれば、不透光層、保護層および透明電極を形成した
後に、透明電極に電着用電極を接続し、電着法によりフ
イルタを形成し、その後電着用電極を除去しなければな
らず、プロセス性が多大なものとなってしまう。
タが積層される電極と金属からなる不遮光層とが保護層
により電気的に絶縁されているため、不透光層を電着用
電極として利用できず、電着法でフイルタを形成しよう
とすれば、不透光層、保護層および透明電極を形成した
後に、透明電極に電着用電極を接続し、電着法によりフ
イルタを形成し、その後電着用電極を除去しなければな
らず、プロセス性が多大なものとなってしまう。
また、特開昭60-43631号公報の技術では、フイルタが積
層される対向電極が画素領域だけでなく基板全体に設け
られているので、電着法により画素領域のみにフイルタ
材を積層することはできない。
層される対向電極が画素領域だけでなく基板全体に設け
られているので、電着法により画素領域のみにフイルタ
材を積層することはできない。
本発明は、画素間の遮光機能を有するカラー液晶表示装
置を電着法により且つ少いステップ数で製造可能にする
ことを目的とする。
置を電着法により且つ少いステップ数で製造可能にする
ことを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 本発明のカラー液晶表示装置は、少なくとも一方が透明
な一対の基板を平行配置し、これら基板間に液晶組成物
を挟持させたカラー液晶表示装置において、前記一方の
透明基板が、複数の画素領域に対応して配設された複数
の透明導電性膜と、前記画素領域のうちの同一色の画素
領域に配設された透明導電性膜の複数と電気的に接続さ
れ、他の色の画素領域に配設された透明導電性膜とは絶
縁領域により電気的に絶縁されて前記画素領域間に延在
する複数の導電性遮光層と、前記複数の透明導電性膜上
に電着法に基づき積層された各画素領域の色に対応する
色のカラーフイルターとを有し、前記他方の基板が、該
基板上に、前記液晶組成物を駆動するための半導体回路
の電極配線が形成され、かつ前記一方の透明基板の複数
の導電性遮光層を互いに絶縁するための前記絶縁領域が
前記他方の基板の電極配線と対向配置されていることを
特徴としており、また本発明のカラー液晶表示装置の製
造方法は、少なくとも一方が透明な一対の基板を平行配
置し、これら基板間に液晶組成物を挟持させるカラー液
晶表示装置を製造するにあたり、前記一方の透明基板上
に導電性遮光層を形成する工程と、この導電性遮光層が
形成された透明基板からカラーフイルターが形成される
べき画素に対応する領域と異なる色の画素に対応する遮
光層を電気的に絶縁する絶縁領域とが形成されるように
前記導電性遮光層を除去する工程と、前記カラーフイル
ターが形成されるべぎ画素に対応する領域に透明導電性
膜を形成する工程と、この透明導電性膜の表面に各画素
の色に対応する色の膜を電着法に基づき形成する工程と
を具備することを特徴としている。
な一対の基板を平行配置し、これら基板間に液晶組成物
を挟持させたカラー液晶表示装置において、前記一方の
透明基板が、複数の画素領域に対応して配設された複数
の透明導電性膜と、前記画素領域のうちの同一色の画素
領域に配設された透明導電性膜の複数と電気的に接続さ
れ、他の色の画素領域に配設された透明導電性膜とは絶
縁領域により電気的に絶縁されて前記画素領域間に延在
する複数の導電性遮光層と、前記複数の透明導電性膜上
に電着法に基づき積層された各画素領域の色に対応する
色のカラーフイルターとを有し、前記他方の基板が、該
基板上に、前記液晶組成物を駆動するための半導体回路
の電極配線が形成され、かつ前記一方の透明基板の複数
の導電性遮光層を互いに絶縁するための前記絶縁領域が
前記他方の基板の電極配線と対向配置されていることを
特徴としており、また本発明のカラー液晶表示装置の製
造方法は、少なくとも一方が透明な一対の基板を平行配
置し、これら基板間に液晶組成物を挟持させるカラー液
晶表示装置を製造するにあたり、前記一方の透明基板上
に導電性遮光層を形成する工程と、この導電性遮光層が
形成された透明基板からカラーフイルターが形成される
べき画素に対応する領域と異なる色の画素に対応する遮
光層を電気的に絶縁する絶縁領域とが形成されるように
前記導電性遮光層を除去する工程と、前記カラーフイル
ターが形成されるべぎ画素に対応する領域に透明導電性
膜を形成する工程と、この透明導電性膜の表面に各画素
の色に対応する色の膜を電着法に基づき形成する工程と
を具備することを特徴としている。
［作用］ 本発明では、カラー・フイルタが積層される導電性膜に
導電性の遮光層が電気的に接続されているので、遮光層
を電着用短絡電極として利用することにより、従来の電
着法に対してプロセス数を増加させずに、カラー・フイ
ルタと遮光層の形成を可能にする。
導電性の遮光層が電気的に接続されているので、遮光層
を電着用短絡電極として利用することにより、従来の電
着法に対してプロセス数を増加させずに、カラー・フイ
ルタと遮光層の形成を可能にする。
［実施例］ 以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例に係るカラー液晶表示装置の
縦断正面図である。
縦断正面図である。
第１図に示すカラー液晶表示装置は、カラー・フイルタ
が形成されるガラス基板１と、このガラス基板１と対向
するように配置され半導体駆動回路が配設されるガラス
基板２との間にＴＮ（twisted-nematic）液晶５を挟持
させた基本構成を有する。
が形成されるガラス基板１と、このガラス基板１と対向
するように配置され半導体駆動回路が配設されるガラス
基板２との間にＴＮ（twisted-nematic）液晶５を挟持
させた基本構成を有する。
ガラス基板２上には、縦横に多数の画素を有する画面を
構成するために透明電極である画素電極（すなわち表示
電極）４Ｒ，４Ｇ等と非晶質シリコン薄膜トランジスタ
（a-SiTFT、図示せず）とを有する各画素に対する回路
が画面全体に縦横に配置され、薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）のゲートおよびソースには各々横と縦に走るたとえ
ばＴａ、Ａｌからなり幅が50μｍ程度のゲート電極配線
６および幅が20μｍ程度のソース電極配線（図示せず）
が行単位、列単位で接続され、そしてこれらを覆うよう
に配向膜７が形成されている。
構成するために透明電極である画素電極（すなわち表示
電極）４Ｒ，４Ｇ等と非晶質シリコン薄膜トランジスタ
（a-SiTFT、図示せず）とを有する各画素に対する回路
が画面全体に縦横に配置され、薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ）のゲートおよびソースには各々横と縦に走るたとえ
ばＴａ、Ａｌからなり幅が50μｍ程度のゲート電極配線
６および幅が20μｍ程度のソース電極配線（図示せず）
が行単位、列単位で接続され、そしてこれらを覆うよう
に配向膜７が形成されている。
第２図は、第１図のガラス基板１に配設される透明導電
性膜と導電性膜遮光層の配列パターンを示す。
性膜と導電性膜遮光層の配列パターンを示す。
第１図および第２図に示されたカラー液晶表示装置で
は、１つの表示要素が４色の画素すなわち正方形の赤画
素、正方形の緑画素、正方形の青画素および正方形の白
（透明）画素を１つの正方形の左上四半部、右上四半
部、右下四半部および左下四半部に配置することによっ
て構成される。なお、第１図は第２図のＡ−Ａ′線に沿
って切断した断面の一部に相当する。第３図はガラス基
板１側の青画素領域を示す部分断面図である。
は、１つの表示要素が４色の画素すなわち正方形の赤画
素、正方形の緑画素、正方形の青画素および正方形の白
（透明）画素を１つの正方形の左上四半部、右上四半
部、右下四半部および左下四半部に配置することによっ
て構成される。なお、第１図は第２図のＡ−Ａ′線に沿
って切断した断面の一部に相当する。第３図はガラス基
板１側の青画素領域を示す部分断面図である。
第１図ないし第３図に示された液晶表示装置は、赤、緑
および青画素（すなわち、赤画素電極４Ｒ、緑画素電極
４Ｇおよび青画素電極（図示せず））に対応するガラス
基板１の領域にそれぞれ透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｇお
よび１９Ｂを配設し、これら透明導電性膜１９Ｒ、１９
Ｇおよび１９Ｂにそれぞれ電気的に接続され且つ赤、
緑、青および白画素の間の領域に延長される導電性膜遮
光層１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂを形成し、透明導電性
膜１９Ｒ、１９Ｇおよび１９Ｂの上にそれぞれ赤色フイ
ルタ８Ｒ、緑色フイルタ８Ｇおよび青色フイルタ８Ｂを
積層した構成を有する。透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｇお
よび１９Ｂと、赤画素電極４Ｒ、緑画素電極４Ｇおよび
青画素電極（図示せず）とは、それぞれ互いに対をなし
て液晶を駆動する電極として作用する。
および青画素（すなわち、赤画素電極４Ｒ、緑画素電極
４Ｇおよび青画素電極（図示せず））に対応するガラス
基板１の領域にそれぞれ透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｇお
よび１９Ｂを配設し、これら透明導電性膜１９Ｒ、１９
Ｇおよび１９Ｂにそれぞれ電気的に接続され且つ赤、
緑、青および白画素の間の領域に延長される導電性膜遮
光層１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂを形成し、透明導電性
膜１９Ｒ、１９Ｇおよび１９Ｂの上にそれぞれ赤色フイ
ルタ８Ｒ、緑色フイルタ８Ｇおよび青色フイルタ８Ｂを
積層した構成を有する。透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｇお
よび１９Ｂと、赤画素電極４Ｒ、緑画素電極４Ｇおよび
青画素電極（図示せず）とは、それぞれ互いに対をなし
て液晶を駆動する電極として作用する。
遮光層１８Ｒは、複数の赤画素用透明導電性膜１９Ｒを
電気的に接続し、遮光層１９Ｇは、複数の緑画素用透明
導電性膜１９Ｇを電気的に接続し、遮光層１８Ｂは、複
数の青画素用透明導電性膜１９Ｂを電気的に相互接続す
る。遮光層１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂの間に生じるギ
ャップ２０すなわちこれら遮光層を電気的に絶縁する領
域は、ガラス基板２に配設されるゲート電極配線６また
はソース電極配線（図示せず）と整列している。これら
の電極配線は、不透光性であり、したがって遮光効果を
有する。
電気的に接続し、遮光層１９Ｇは、複数の緑画素用透明
導電性膜１９Ｇを電気的に接続し、遮光層１８Ｂは、複
数の青画素用透明導電性膜１９Ｂを電気的に相互接続す
る。遮光層１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂの間に生じるギ
ャップ２０すなわちこれら遮光層を電気的に絶縁する領
域は、ガラス基板２に配設されるゲート電極配線６また
はソース電極配線（図示せず）と整列している。これら
の電極配線は、不透光性であり、したがって遮光効果を
有する。
第１図に示された液晶装置では、赤色、緑色および青色
フイルタ８Ｒ、８Ｇおよび８Ｂを、それぞれ透明導電性
膜１９Ｒ、１９Ｇおよび１９Ｂを覆うだけでなく遮光層
１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂをも覆うように形成されて
いるが、これら遮光層は画素領域以外の領域にあるので
表示上問題は生じない。
フイルタ８Ｒ、８Ｇおよび８Ｂを、それぞれ透明導電性
膜１９Ｒ、１９Ｇおよび１９Ｂを覆うだけでなく遮光層
１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂをも覆うように形成されて
いるが、これら遮光層は画素領域以外の領域にあるので
表示上問題は生じない。
なお、ガラス基板１の白色画素に対応する領域には、透
明導電性膜１９Ｗが形成されるだけであり、該膜１９Ｗ
の上にはカラー・フイルタは積層されず、したがって該
膜１９Ｗは遮光層も接続されない。
明導電性膜１９Ｗが形成されるだけであり、該膜１９Ｗ
の上にはカラー・フイルタは積層されず、したがって該
膜１９Ｗは遮光層も接続されない。
遮光層１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂは、たとえば60重量
％Ｍｏ−40重量％Ｔａからなり1500Å程度の厚さを有
し、光学的濃度（O.D.）が２．０である。また、異なる
色のカラーフイルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間（たとえば１８Ｒと１８Ｇの間）のギャップ２０の
幅は10ないし20μｍである。なお、遮光層１８Ｒ、１８
Ｇおよび１８Ｂの光学的濃度（O.D.）が１．５より小さ
いときは遮光層としての機能を果さないことが多い。ま
た、ギャップ２０の幅は上述の如く10ないし20μｍ程度
が好適である。これは、この幅がこの値より小さいとき
は赤、緑および青色フイルタ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂを後述す
る電着法によって形成する際短絡不良が発生し易く、ま
た大きいときはゲート電極配線６およびソース電極配線
（図示せず）による遮光効果が不十分になってしまうか
らである。
％Ｍｏ−40重量％Ｔａからなり1500Å程度の厚さを有
し、光学的濃度（O.D.）が２．０である。また、異なる
色のカラーフイルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間（たとえば１８Ｒと１８Ｇの間）のギャップ２０の
幅は10ないし20μｍである。なお、遮光層１８Ｒ、１８
Ｇおよび１８Ｂの光学的濃度（O.D.）が１．５より小さ
いときは遮光層としての機能を果さないことが多い。ま
た、ギャップ２０の幅は上述の如く10ないし20μｍ程度
が好適である。これは、この幅がこの値より小さいとき
は赤、緑および青色フイルタ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂを後述す
る電着法によって形成する際短絡不良が発生し易く、ま
た大きいときはゲート電極配線６およびソース電極配線
（図示せず）による遮光効果が不十分になってしまうか
らである。
透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｇおよび１９Ｂは、たとえば
ＩＴＯ（indium-tin-oxide）からなり1500Å程度の厚さ
を有する。
ＩＴＯ（indium-tin-oxide）からなり1500Å程度の厚さ
を有する。
なお、ガラス基板２上に形成された画素電極４Ｒ、４Ｇ
等に対応する位置の内周において、遮光層１８Ｒ、１８
Ｇおよび１８Ｂと透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｇおよび１
Ｂとがそれぞれ４ないし20μｍ程度重なり合う部分を有
し、これにより遮光層と対応する透明導電性膜とが電気
的に確実に接続されるようになっている（第３図参
照）。
等に対応する位置の内周において、遮光層１８Ｒ、１８
Ｇおよび１８Ｂと透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｇおよび１
Ｂとがそれぞれ４ないし20μｍ程度重なり合う部分を有
し、これにより遮光層と対応する透明導電性膜とが電気
的に確実に接続されるようになっている（第３図参
照）。
赤、緑および青色フイルタ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂは、それぞ
れ遮光層１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂを電着用電極とし
て使用して電着法によって形成されたものであり、１〜
１．５μｍ程度の厚さを有する。なお、これら赤、緑お
よび青色フイルタ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂの厚さが上述の値よ
り薄いときは色付きの点で問題を生じ易く、また上述の
値より厚いときはセルギャップ制御および配向処理の点
で問題を生じ易い。
れ遮光層１８Ｒ、１８Ｇおよび１８Ｂを電着用電極とし
て使用して電着法によって形成されたものであり、１〜
１．５μｍ程度の厚さを有する。なお、これら赤、緑お
よび青色フイルタ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂの厚さが上述の値よ
り薄いときは色付きの点で問題を生じ易く、また上述の
値より厚いときはセルギャップ制御および配向処理の点
で問題を生じ易い。
このような構成を有する本実施例のカラー液晶表示装置
では、同色の複数の画素領域に配設された透明導電性膜
を電気的に接続する遮光層が、その色のフイルタ材を積
層するための電着用短絡電極として使用できるので、遮
光層およびフイルタの形成を少ないステップ数で行うこ
とができる。
では、同色の複数の画素領域に配設された透明導電性膜
を電気的に接続する遮光層が、その色のフイルタ材を積
層するための電着用短絡電極として使用できるので、遮
光層およびフイルタの形成を少ないステップ数で行うこ
とができる。
なお、本実施例装置においては、赤、緑よび青色フイル
タ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂの電着法による形成のため、異なる
色のカラーフイルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間は幅10ないし20μｍ程度のギャップ２０を有し、こ
のギャップ２０により光漏れが生じ、コントラストが低
下することが考えられるが、ガラス基板２上においてギ
ャップ２０と対向する位置に形成されたゲート電極配線
６およびソース電極配線（図示せず）による遮光効果に
よって光漏れが防止され高コントラストが維持される。
タ８Ｒ、８Ｇ、８Ｂの電着法による形成のため、異なる
色のカラーフイルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間は幅10ないし20μｍ程度のギャップ２０を有し、こ
のギャップ２０により光漏れが生じ、コントラストが低
下することが考えられるが、ガラス基板２上においてギ
ャップ２０と対向する位置に形成されたゲート電極配線
６およびソース電極配線（図示せず）による遮光効果に
よって光漏れが防止され高コントラストが維持される。
次に、このカラー液晶表示装置の製造方法を第４図に基
づいて説明する。
づいて説明する。
まず、ガラス基板１上全面に、厚さが1500Åの60重量％
Ｍｏ−40重量％Ｔａ（光学的濃度O.D.＝２．０）をスパ
ッタ法によって堆積する（第４図（ａ））。
Ｍｏ−40重量％Ｔａ（光学的濃度O.D.＝２．０）をスパ
ッタ法によって堆積する（第４図（ａ））。
次に、ガラス基板２上に形成される画素電極４Ｒ、４Ｇ
等に対応する位置より若干（２〜５μｍ）内側の位置よ
り外側および同行で同色のカラーフイルタが形成される
画素間の電気的な接続を行う接続部を残存させ、異なる
色のカラーフイルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間（１８Ｒと１８Ｇ、１８Ｇと１８Ｂ、および１８Ｂ
と１８Ｒとそれぞれの間）が幅10ないし20μｍ程度のギ
ャップ２０を有するように60重量％Ｍｏ−40重量％Ｔａ
をフォトリソウラフイによって除去する（第４図
（ｂ））。
等に対応する位置より若干（２〜５μｍ）内側の位置よ
り外側および同行で同色のカラーフイルタが形成される
画素間の電気的な接続を行う接続部を残存させ、異なる
色のカラーフイルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間（１８Ｒと１８Ｇ、１８Ｇと１８Ｂ、および１８Ｂ
と１８Ｒとそれぞれの間）が幅10ないし20μｍ程度のギ
ャップ２０を有するように60重量％Ｍｏ−40重量％Ｔａ
をフォトリソウラフイによって除去する（第４図
（ｂ））。
この後、ガラス基板１上全面に、厚さが1500ÅのＩＴＯ
をスパッタ法によって堆積する（第４図（ｃ））。
をスパッタ法によって堆積する（第４図（ｃ））。
次に、ガラス基板２上に形成される画素電極４Ｒ、４Ｇ
等に対応する位置のＩＴＯのみを残存させ他の部分をフ
ォトリソグラフイによって除去する（第４図（ｄ））。
これにより透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｂおよび１９Ｇが
形成される。
等に対応する位置のＩＴＯのみを残存させ他の部分をフ
ォトリソグラフイによって除去する（第４図（ｄ））。
これにより透明導電性膜１９Ｒ、１９Ｂおよび１９Ｇが
形成される。
この後、緑画素領域に配設された透明導電性膜１８Ｇを
電気的に接続する導電性膜遮光層１９Ｇを電着短絡電極
として利用して、透明導電性膜１８Ｇ上に緑色フイルタ
８Ｇを積層する。この際、遮光層１９Ｇにも緑色フイタ
材が積層されるが（第４図（ｄ）には示されていな
い。）遮光層１９Ｇは画素領域以外に位置しているので
問題はない。続いて、同様に、赤画素領域に配設された
透明導電性膜１９Ｗに赤色フイルタ８Ｒを積層し、青画
素領域に配設された透明導電性膜１９Ｂに青色フイルタ
８Ｂを積層する。電着は引き出し線の外側から行うの
で、第２図の構成では、緑、赤、青の順で電着が行われ
る。積層フイルタは、１〜１．５μｍ程度の厚さを有す
る（第４図（ｅ））。
電気的に接続する導電性膜遮光層１９Ｇを電着短絡電極
として利用して、透明導電性膜１８Ｇ上に緑色フイルタ
８Ｇを積層する。この際、遮光層１９Ｇにも緑色フイタ
材が積層されるが（第４図（ｄ）には示されていな
い。）遮光層１９Ｇは画素領域以外に位置しているので
問題はない。続いて、同様に、赤画素領域に配設された
透明導電性膜１９Ｗに赤色フイルタ８Ｒを積層し、青画
素領域に配設された透明導電性膜１９Ｂに青色フイルタ
８Ｂを積層する。電着は引き出し線の外側から行うの
で、第２図の構成では、緑、赤、青の順で電着が行われ
る。積層フイルタは、１〜１．５μｍ程度の厚さを有す
る（第４図（ｅ））。
しかる後、配向膜９を従来の方法によって形成する。
このように上述した製造方法では、従来の電着法におい
て行われる画素領域の透明電極の短絡プロセスを遮光層
形成プロセスにより行うことができるので、従来の電着
法よりプロセス数を増加させずに電着カラー・フイルタ
と遮光層との形成を行うことができる。
て行われる画素領域の透明電極の短絡プロセスを遮光層
形成プロセスにより行うことができるので、従来の電着
法よりプロセス数を増加させずに電着カラー・フイルタ
と遮光層との形成を行うことができる。
なお、以上説明した実施例では、１つの表示要素が４色
の画素からなるおのであったが、これがたとえば赤、緑
および青色の３色の画素からなるものであってもよい。
この場合、たとえば第５図ないし第７図に示すように、
赤、緑および青色画素からなるモザイクパターンの組合
せとしたもの、赤、緑および青色画素からなるトライア
ングラパターンの組合せとしたもの、あるいは赤、青お
よび２つの緑色画素からなるスクエアパターンの組合せ
としたもの等が考えられる。
の画素からなるおのであったが、これがたとえば赤、緑
および青色の３色の画素からなるものであってもよい。
この場合、たとえば第５図ないし第７図に示すように、
赤、緑および青色画素からなるモザイクパターンの組合
せとしたもの、赤、緑および青色画素からなるトライア
ングラパターンの組合せとしたもの、あるいは赤、青お
よび２つの緑色画素からなるスクエアパターンの組合せ
としたもの等が考えられる。
また、以上説明した実施例では、カラーフイルタに直
接、配向膜９で塗布したが、ＴＮ液晶５の厚さが薄くな
るにつれて、カラーフイルタとそれ以外の部分の凹凸差
（段差）が実質的なＴＮ液晶５の厚さを変えてしまう。
これを防ぐために、透明導電性膜１９Ｗを含む凹凸をア
クリル系樹脂或いはウレタン系樹脂で覆って平坦化し、
しかる後に配向膜９を塗布してもよい。
接、配向膜９で塗布したが、ＴＮ液晶５の厚さが薄くな
るにつれて、カラーフイルタとそれ以外の部分の凹凸差
（段差）が実質的なＴＮ液晶５の厚さを変えてしまう。
これを防ぐために、透明導電性膜１９Ｗを含む凹凸をア
クリル系樹脂或いはウレタン系樹脂で覆って平坦化し、
しかる後に配向膜９を塗布してもよい。
そして、透明導電性膜１９Ｗいも、他のカラーフイルタ
と同様に電着用電極を設け、電着による白色フイルタを
積層してもよく、更に、この方法を用いた場合、透過率
を制御する目的で、透明ではなく半透明（灰色）のフイ
ルタを積載してもよい。透明或いは半透明のフイルタを
積層した場合に発生する表面の凹凸についても、上述の
方法を用いて平坦化することができる。
と同様に電着用電極を設け、電着による白色フイルタを
積層してもよく、更に、この方法を用いた場合、透過率
を制御する目的で、透明ではなく半透明（灰色）のフイ
ルタを積載してもよい。透明或いは半透明のフイルタを
積層した場合に発生する表面の凹凸についても、上述の
方法を用いて平坦化することができる。
また、遮光層として60重量％Ｍｏ−40重量％Ｔａを用い
るものであったが、これがＭｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｉ、Ｃ
ｒ等の他の金属であってもよい。
るものであったが、これがＭｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｉ、Ｃ
ｒ等の他の金属であってもよい。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明のカラー液晶表示装置および
その製造方法によれば、カラー・フイルタが積層される
導電性膜を電気的に接続する遮光層を電着用短絡電極と
して使用できるので、少いプロセス数で遮光層および電
着フイルタの形成を行うことができる。従って、低コス
トで高コントラストのカラー液晶表示装置を提供でき
る。
その製造方法によれば、カラー・フイルタが積層される
導電性膜を電気的に接続する遮光層を電着用短絡電極と
して使用できるので、少いプロセス数で遮光層および電
着フイルタの形成を行うことができる。従って、低コス
トで高コントラストのカラー液晶表示装置を提供でき
る。
第１図は本発明の一実施例に係るカラー液晶表示装置の
縦断正面図、第２図は第１図に示された基板に配設され
た透明導電性膜と遮光層の配列パターンを示す一部平面
図、第３図は第２図の一部断面図、第４図は本発明の一
実施例に係る製造方法を説明するためのカラー液晶表示
装置の一部平面図、第５図、第６図および第７図はそれ
ぞれ本発明の他の実施例に係るカラー液晶表示装置の一
部平面図である。 １、２…ガラス基板、４Ｒ、４Ｇ…画素電極、５…液
晶、６…ゲート電極配線、７、９…配向膜、８Ｒ…赤色
フイルタ、８Ｇ…緑色フイルタ、８Ｂ…青色フイルタ、
１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ…遮光層、１９Ｒ、１９Ｇ、１
９Ｂ…透明導電性膜、２０…ギャップ。
縦断正面図、第２図は第１図に示された基板に配設され
た透明導電性膜と遮光層の配列パターンを示す一部平面
図、第３図は第２図の一部断面図、第４図は本発明の一
実施例に係る製造方法を説明するためのカラー液晶表示
装置の一部平面図、第５図、第６図および第７図はそれ
ぞれ本発明の他の実施例に係るカラー液晶表示装置の一
部平面図である。 １、２…ガラス基板、４Ｒ、４Ｇ…画素電極、５…液
晶、６…ゲート電極配線、７、９…配向膜、８Ｒ…赤色
フイルタ、８Ｇ…緑色フイルタ、８Ｂ…青色フイルタ、
１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ…遮光層、１９Ｒ、１９Ｇ、１
９Ｂ…透明導電性膜、２０…ギャップ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小穴 保久 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝横浜事業所内 (56)参考文献 特開 昭62−106408（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−289531（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−22629（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】少なくとも一方が透明な一対の基板を平行
配置し、これら基板間に液晶組成物を挟持させたカラー
液晶表示装置において、 前記一方の透明基板が、 複数の画素領域に対応して配設された複数の透明導電性
膜と、 前記画素領域のうちの同一色の画素領域に配設された透
明導電性膜の複数と電気的に接続され、他の色の画素領
域に配設された透明導電性膜とは絶縁領域により電気的
に絶縁されて前記画素領域間に延在する複数の導電性遮
光層と、 前記複数の透明導電性膜上に電着法に基づき積層された
各画素領域の色に対応する色のカラーフイルターとを有
し、 前記他方の基板が、該基板上に、前記液晶組成物を駆動
するための半導体回路の電極配線が形成され、かつ前記
一方の透明基板の複数の導電性遮光層を互いに絶縁する
ための前記絶縁領域が前記他方の基板の電極配線と対向
配置されていることを特徴とするカラー液晶表示装置。 - 【請求項２】少なくとも一方が透明な一対の基板を平行
配置し、これら基板間に液晶組成物を挟持させるカラー
液晶表示装置を製造するにあたり、 前記一方の透明基板上に導電性遮光層を形成する工程
と、 この導電性遮光層が形成された透明基板からカラーフイ
ルターが形成されるべき画素に対応する領域と異なる色
の画素に対応する遮光層を電気的に絶縁する絶縁領域と
が形成されるように前記導電性遮光層を除去する工程
と、 前記カラーフイルターが形成されるべぎ画素に対応する
領域に透明導電性膜を形成する工程と、 この透明導電性膜の表面に各画素の色に対応する色の膜
を電着法に基づき形成する工程と を具備することを特徴とするカラー液晶表示装置の製造
方法。 - 【請求項３】前記透明導電性膜が、この透明導電性膜の
外周に形成されている導電性遮光層と電気的に接続され
ている特許請求の範囲第２項記載のカラー液晶表示装置
の製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29167787A JPH0610702B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
| US07/246,835 US5083853A (en) | 1987-11-18 | 1988-09-20 | Color liquid crystal display device having light-shielding conductive layers |
| EP88309057A EP0317063B1 (en) | 1987-11-18 | 1988-09-29 | Color liquid crystal display device and method of manufacturing thereof |
| DE3852617T DE3852617T2 (de) | 1987-11-18 | 1988-09-29 | Farb-Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung und ihr Herstellungsverfahren. |
| CA000579595A CA1319186C (en) | 1987-11-18 | 1988-10-07 | Color liquid crystal display device and method of manufacturing thereof |
| US07/693,621 US5142392A (en) | 1987-11-18 | 1991-04-30 | Color liquid crystal display having light shielding layers and method of manufacturing thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29167787A JPH0610702B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01142712A JPH01142712A (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0610702B2 true JPH0610702B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=17771994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29167787A Expired - Lifetime JPH0610702B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5083853A (ja) |
| EP (1) | EP0317063B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0610702B2 (ja) |
| CA (1) | CA1319186C (ja) |
| DE (1) | DE3852617T2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7353654B2 (en) | 2001-12-06 | 2008-04-08 | Alstom Technology Ltd | Method and apparatus for achieving power augmentation in gas turbines using wet compression |
| US7353655B2 (en) | 2001-12-06 | 2008-04-08 | Alstom Technology Ltd | Method and apparatus for achieving power augmentation in gas turbine using wet compression |
| US7520137B2 (en) | 2002-12-02 | 2009-04-21 | Alstom Technology Ltd | Method of controlling the injection of liquid into an inflow duct of a prime mover or driven machine |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0434220B1 (en) * | 1989-11-20 | 1996-04-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Colour liquid crystal display device |
| GB2245741A (en) * | 1990-06-27 | 1992-01-08 | Philips Electronic Associated | Active matrix liquid crystal devices |
| JPH04120511A (ja) * | 1990-09-11 | 1992-04-21 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
| SG81187A1 (en) * | 1991-11-29 | 2001-06-19 | Seiko Epson Corp | Liquid crystal display device and manufacturing method therefor |
| US5459595A (en) * | 1992-02-07 | 1995-10-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Active matrix liquid crystal display |
| KR100294194B1 (ko) * | 1993-02-05 | 2001-09-17 | 김순택 | 액정표시소자 |
| JPH07114018A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-05-02 | Rohm Co Ltd | カラー液晶表示装置 |
| JPH07294725A (ja) * | 1994-03-01 | 1995-11-10 | Seiko Instr Inc | カラーフィルター及び多色液晶表示装置の製造方法 |
| US5642176A (en) * | 1994-11-28 | 1997-06-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Color filter substrate and liquid crystal display device |
| US5606437A (en) * | 1995-03-31 | 1997-02-25 | Rockwell International | Direct drive split pixel structure for active matrix liquid crystal displays |
| US5936694A (en) * | 1995-04-26 | 1999-08-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device and process for producing same |
| EP0740184A3 (en) * | 1995-04-28 | 1998-07-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device, process for producing same and liquid crystal apparatus |
| US5739802A (en) * | 1995-05-24 | 1998-04-14 | Rockwell International | Staged active matrix liquid crystal display with separated backplane conductors and method of using the same |
| JPH0980416A (ja) * | 1995-09-13 | 1997-03-28 | Sharp Corp | 液晶表示装置 |
| US20020127380A1 (en) | 1996-02-26 | 2002-09-12 | Tadakatsu Suzuki | Low-reflective thin-film substrate |
| WO1997031290A1 (fr) * | 1996-02-26 | 1997-08-28 | Kuramoto Seisakusho Co., Ltd. | Substrat support de film avec facteur de reflexion bas |
| TW384409B (en) * | 1996-06-04 | 2000-03-11 | Sharp Kk | Liquid crystal display device |
| JP2735099B2 (ja) * | 1996-06-11 | 1998-04-02 | 日本電気株式会社 | 液晶表示装置 |
| US5982464A (en) * | 1998-12-16 | 1999-11-09 | Technoloogy Resource International Corporation | Multi-twist color liquid crystal display |
| JP3617458B2 (ja) * | 2000-02-18 | 2005-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置用基板、液晶装置及び電子機器 |
| KR100679521B1 (ko) * | 2000-02-18 | 2007-02-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치 제조방법 |
| US7583279B2 (en) * | 2004-04-09 | 2009-09-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Subpixel layouts and arrangements for high brightness displays |
| US7755652B2 (en) * | 2002-01-07 | 2010-07-13 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Color flat panel display sub-pixel rendering and driver configuration for sub-pixel arrangements with split sub-pixels |
| US7417648B2 (en) | 2002-01-07 | 2008-08-26 | Samsung Electronics Co. Ltd., | Color flat panel display sub-pixel arrangements and layouts for sub-pixel rendering with split blue sub-pixels |
| US6888604B2 (en) * | 2002-08-14 | 2005-05-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display |
| KR100915238B1 (ko) * | 2003-03-24 | 2009-09-02 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 |
| US7397455B2 (en) * | 2003-06-06 | 2008-07-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display backplane layouts and addressing for non-standard subpixel arrangements |
| KR100978254B1 (ko) * | 2003-06-30 | 2010-08-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 4화소구조 횡전계모드 액정표시소자 |
| JP5650918B2 (ja) | 2010-03-26 | 2015-01-07 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 画像表示装置 |
| US20130189131A1 (en) * | 2012-01-19 | 2013-07-25 | Han-Lung Huang | Water cooled motor with stainless steel cooling jacket |
| US10832616B2 (en) | 2012-03-06 | 2020-11-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Pixel arrangement structure for organic light emitting diode display |
| KR101615332B1 (ko) | 2012-03-06 | 2016-04-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치의 화소 배열 구조 |
| JP2015146304A (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | ソニー株式会社 | 表示装置、および電子機器 |
| KR102560941B1 (ko) * | 2016-09-29 | 2023-07-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치와 액정표시패널 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961818A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Seiko Epson Corp | 液晶表示装置 |
| JPS6043631A (ja) * | 1983-08-20 | 1985-03-08 | Canon Inc | 表示パネル |
| JPS60120321A (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−液晶表示装置 |
| JPS60172131U (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-14 | ホシデン株式会社 | カラ−液晶表示器 |
| JPS6222629A (ja) * | 1985-07-23 | 1987-01-30 | 株式会社 日立メデイコ | ステレオｘ線透視撮影装置 |
| JPS6222629U (ja) * | 1985-07-25 | 1987-02-10 | ||
| JPS62148926A (ja) * | 1985-09-10 | 1987-07-02 | Casio Comput Co Ltd | カラ−液晶表示素子 |
| US4712874A (en) * | 1985-12-25 | 1987-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Ferroelectric liquid crystal device having color filters on row or column electrodes |
| JPH0677120B2 (ja) * | 1985-12-25 | 1994-09-28 | キヤノン株式会社 | 液晶素子 |
| JP2511869B2 (ja) * | 1986-03-18 | 1996-07-03 | シチズン時計株式会社 | 液晶表示装置 |
| US4802743A (en) * | 1986-03-20 | 1989-02-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device having color filters wherein the color filters formed from a polyamino resin containing coloring materials |
| JP2640097B2 (ja) * | 1986-03-20 | 1997-08-13 | セイコー電子工業株式会社 | 多色表示装置 |
| JPS62250416A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-31 | Stanley Electric Co Ltd | Ｔｆｔ組込型カラ−液晶表示素子 |
| JPS62291677A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-18 | Toshiba Corp | 画像形成装置 |
| FR2625827B1 (fr) * | 1988-01-11 | 1993-07-16 | Commissariat Energie Atomique | Ecran d'affichage en couleur a matrice active sans croisement des conducteurs lignes d'adressage et des conducteurs colonnes de commande |
| JPH0643631A (ja) * | 1992-04-01 | 1994-02-18 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 非イオン性ポリグリコールを含有するフォトレジスト |
-
1987
- 1987-11-18 JP JP29167787A patent/JPH0610702B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-09-20 US US07/246,835 patent/US5083853A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-29 EP EP88309057A patent/EP0317063B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-09-29 DE DE3852617T patent/DE3852617T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-07 CA CA000579595A patent/CA1319186C/en not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-04-30 US US07/693,621 patent/US5142392A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7353654B2 (en) | 2001-12-06 | 2008-04-08 | Alstom Technology Ltd | Method and apparatus for achieving power augmentation in gas turbines using wet compression |
| US7353656B2 (en) | 2001-12-06 | 2008-04-08 | Alstom Technology Ltd | Method and apparatus for achieving power augmentation in gas turbines using wet compression |
| US7353655B2 (en) | 2001-12-06 | 2008-04-08 | Alstom Technology Ltd | Method and apparatus for achieving power augmentation in gas turbine using wet compression |
| US7520137B2 (en) | 2002-12-02 | 2009-04-21 | Alstom Technology Ltd | Method of controlling the injection of liquid into an inflow duct of a prime mover or driven machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA1319186C (en) | 1993-06-15 |
| US5142392A (en) | 1992-08-25 |
| EP0317063B1 (en) | 1994-12-28 |
| EP0317063A2 (en) | 1989-05-24 |
| DE3852617T2 (de) | 1995-07-06 |
| DE3852617D1 (de) | 1995-02-09 |
| US5083853A (en) | 1992-01-28 |
| JPH01142712A (ja) | 1989-06-05 |
| EP0317063A3 (en) | 1990-02-07 |
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