JPH06114352A - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法Info
- Publication number
- JPH06114352A JPH06114352A JP28940892A JP28940892A JPH06114352A JP H06114352 A JPH06114352 A JP H06114352A JP 28940892 A JP28940892 A JP 28940892A JP 28940892 A JP28940892 A JP 28940892A JP H06114352 A JPH06114352 A JP H06114352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- plate
- cleaned
- jig
- shaped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 板状洗浄対象物を炭化水素系洗浄剤などの液
体洗浄剤により効率よく洗浄（及び乾燥）する。 【構成】 板状洗浄対象物４を保持した状態で所定の方
向に傾けることができるように構成された洗浄治具５
の、板状洗浄対象物４を保持するための保持凹部３を、
開口部に近付くにつれてその幅が広くなるような形状に
構成し、複数の板状洗浄対象物４を、一方の側端部４ａ
が保持凹部３の底辺３ａと当接するような態様で保持凹
部３に保持させて炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中
に浸漬し、洗浄治具５を所定の角度に反復して傾けなが
ら洗浄する。また、上記の洗浄方法により板状洗浄対象
物４を洗浄した後、板状洗浄対象物４を洗浄治具５に保
持させた状態で炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中か
ら取り出し、気流中などにおいて、洗浄治具５を所定の
角度に反復して傾けつつ乾燥を行う。
体洗浄剤により効率よく洗浄（及び乾燥）する。 【構成】 板状洗浄対象物４を保持した状態で所定の方
向に傾けることができるように構成された洗浄治具５
の、板状洗浄対象物４を保持するための保持凹部３を、
開口部に近付くにつれてその幅が広くなるような形状に
構成し、複数の板状洗浄対象物４を、一方の側端部４ａ
が保持凹部３の底辺３ａと当接するような態様で保持凹
部３に保持させて炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中
に浸漬し、洗浄治具５を所定の角度に反復して傾けなが
ら洗浄する。また、上記の洗浄方法により板状洗浄対象
物４を洗浄した後、板状洗浄対象物４を洗浄治具５に保
持させた状態で炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中か
ら取り出し、気流中などにおいて、洗浄治具５を所定の
角度に反復して傾けつつ乾燥を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は、板状の電子部品や機
械部品などを炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用い
て効率よく洗浄（及び乾燥）する方法に関する。
械部品などを炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用い
て効率よく洗浄（及び乾燥）する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来、
電子部品や機械部品などを洗浄するための工業用洗浄剤
としては、フロン系洗浄剤やトリクロロエタンなどの塩
素系溶剤が用いられてきた。しかし、これらの工業用洗
浄剤には、オゾン層の破壊や地下水の汚染、あるいは作
業環境の悪化などを引き起こすという問題点があり、そ
の使用が規制されつつある。
電子部品や機械部品などを洗浄するための工業用洗浄剤
としては、フロン系洗浄剤やトリクロロエタンなどの塩
素系溶剤が用いられてきた。しかし、これらの工業用洗
浄剤には、オゾン層の破壊や地下水の汚染、あるいは作
業環境の悪化などを引き起こすという問題点があり、そ
の使用が規制されつつある。
【０００３】そのため、フロン系洗浄剤や、トリクロロ
エタンなどの塩素系溶剤以外の他の洗浄剤として、炭化
水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いる洗浄方法が提案
されている。
エタンなどの塩素系溶剤以外の他の洗浄剤として、炭化
水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いる洗浄方法が提案
されている。
【０００４】しかし、炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄
剤を用いて板状の電子部品など（板状洗浄対象物）を重
ねて多数枚一度に洗浄する場合、液体洗浄剤で濡れた板
状洗浄対象物同士が互に付着（密着）し、板状洗浄対象
物を保持する洗浄治具を傾けたり揺動させたりした場合
にも、板状洗浄対象物どうしが容易に分離（剥離）せ
ず、該密着面を十分に洗浄することができないという問
題点があり、また、洗浄後の乾燥工程においても乾燥に
支障をきたすという問題点がある。
剤を用いて板状の電子部品など（板状洗浄対象物）を重
ねて多数枚一度に洗浄する場合、液体洗浄剤で濡れた板
状洗浄対象物同士が互に付着（密着）し、板状洗浄対象
物を保持する洗浄治具を傾けたり揺動させたりした場合
にも、板状洗浄対象物どうしが容易に分離（剥離）せ
ず、該密着面を十分に洗浄することができないという問
題点があり、また、洗浄後の乾燥工程においても乾燥に
支障をきたすという問題点がある。
【０００５】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、板状洗浄対象物を炭化水素系洗浄剤などの液体洗
浄剤により効率よく洗浄（及び乾燥）することが可能な
洗浄方法を提供することを目的とする。
あり、板状洗浄対象物を炭化水素系洗浄剤などの液体洗
浄剤により効率よく洗浄（及び乾燥）することが可能な
洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願第１の発明の洗浄方法は、板状洗浄対象物を保
持した状態で所定の方向に傾けることができるように構
成された洗浄治具の、板状洗浄対象物を保持するための
保持凹部を、開口部に近付くにつれてその幅が広くなる
ような形状に構成し、複数の板状洗浄対象物を、一方の
側端部が前記保持凹部の底辺と当接するような態様で保
持凹部に保持させて炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤
中に浸漬し、洗浄治具を所定の角度に反復して傾けるこ
とにより板状洗浄対象物を揺動させて洗浄することを特
徴とする。
に、本願第１の発明の洗浄方法は、板状洗浄対象物を保
持した状態で所定の方向に傾けることができるように構
成された洗浄治具の、板状洗浄対象物を保持するための
保持凹部を、開口部に近付くにつれてその幅が広くなる
ような形状に構成し、複数の板状洗浄対象物を、一方の
側端部が前記保持凹部の底辺と当接するような態様で保
持凹部に保持させて炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤
中に浸漬し、洗浄治具を所定の角度に反復して傾けるこ
とにより板状洗浄対象物を揺動させて洗浄することを特
徴とする。
【０００７】また、本願第２の発明の洗浄方法は、前記
洗浄方法により板状洗浄対象物を洗浄する洗浄工程と、
洗浄工程の終了後に前記板状洗浄対象物を洗浄治具に保
持させた状態で炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中か
ら取り出し、気流中などにおいて、前記洗浄治具を所定
の角度に反復して傾けながら乾燥を行う乾燥工程とを具
備することを特徴とする。
洗浄方法により板状洗浄対象物を洗浄する洗浄工程と、
洗浄工程の終了後に前記板状洗浄対象物を洗浄治具に保
持させた状態で炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中か
ら取り出し、気流中などにおいて、前記洗浄治具を所定
の角度に反復して傾けながら乾燥を行う乾燥工程とを具
備することを特徴とする。
【０００８】また、前記板状洗浄対象物が段部を有し、
洗浄工程または乾燥工程において複数の板状洗浄対象物
の該段部どうしが係合して隣接する板状洗浄対象物が密
着状態になる場合に、各板状洗浄対象物に形成された穴
や切欠きなどの係合部に、該段部どうしが係合して板状
洗浄対象物が密着することを阻止するための動作規制部
材を係合させ、前記洗浄治具を所定の角度に反復して傾
けながら洗浄または乾燥を行うことを特徴とする。
洗浄工程または乾燥工程において複数の板状洗浄対象物
の該段部どうしが係合して隣接する板状洗浄対象物が密
着状態になる場合に、各板状洗浄対象物に形成された穴
や切欠きなどの係合部に、該段部どうしが係合して板状
洗浄対象物が密着することを阻止するための動作規制部
材を係合させ、前記洗浄治具を所定の角度に反復して傾
けながら洗浄または乾燥を行うことを特徴とする。
【０００９】
【作用】開口部に近付くにつれてその幅が広くなるよう
な形状に構成された保持凹部に、一方の側端部が保持凹
部の底辺と当接するような態様で保持された複数の板状
洗浄対象物は、静止状態では、隣接する板状洗浄対象物
どうしが密着していても、洗浄中（乾燥中）に洗浄治具
が傾けられる度に、隣接（密着）する板状洗浄対象物が
分離（剥離）する。したがって、洗浄治具を所定の角度
に反復して傾けることにより、該密着面を含めて板状洗
浄対象物が十分に、かつ効率よく洗浄（及び乾燥）され
る。
な形状に構成された保持凹部に、一方の側端部が保持凹
部の底辺と当接するような態様で保持された複数の板状
洗浄対象物は、静止状態では、隣接する板状洗浄対象物
どうしが密着していても、洗浄中（乾燥中）に洗浄治具
が傾けられる度に、隣接（密着）する板状洗浄対象物が
分離（剥離）する。したがって、洗浄治具を所定の角度
に反復して傾けることにより、該密着面を含めて板状洗
浄対象物が十分に、かつ効率よく洗浄（及び乾燥）され
る。
【００１０】また、各板状洗浄対象物に形成された穴や
切欠きなどの係合部に、例えば、金属棒などの、段部ど
うしが係合して板状洗浄対象物が密着することを阻止す
るための動作規制部材を係合させることにより、板状洗
浄対象物に段部が形成されているような場合にも、板状
洗浄対象物どうしが密着することを阻止して、洗浄及び
乾燥を効率よく行うことが可能になる。
切欠きなどの係合部に、例えば、金属棒などの、段部ど
うしが係合して板状洗浄対象物が密着することを阻止す
るための動作規制部材を係合させることにより、板状洗
浄対象物に段部が形成されているような場合にも、板状
洗浄対象物どうしが密着することを阻止して、洗浄及び
乾燥を効率よく行うことが可能になる。
【００１１】
【実施例】以下、本願発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１は、本願発明の一実施例を示す図であり、図
２はその要部を示す図である。
する。図１は、本願発明の一実施例を示す図であり、図
２はその要部を示す図である。
【００１２】この実施例においては、図１，図２に示す
ように、ステンレス製の長方形の枠体１の一方の辺から
対向する他方の辺に達するように略平行に配設された２
本の支持部材（帯状部材）２ａ，２ｂの互に対向する複
数の位置に、開口部に近付くにつれてその幅が広くなる
ようなテーパーを付けた保持凹部３を形成してなる治具
（洗浄治具）５が用いられている。なお、特に図示しな
いが、枠体１の底面には板状洗浄対象物４が落下しない
ように金網が取り付けられている。さらに、この洗浄治
具５は、所定の角度（水平線Ｈに対する角度θ）に繰り
返して傾けることができるように所定の駆動手段（図示
せず）に接続されている。
ように、ステンレス製の長方形の枠体１の一方の辺から
対向する他方の辺に達するように略平行に配設された２
本の支持部材（帯状部材）２ａ，２ｂの互に対向する複
数の位置に、開口部に近付くにつれてその幅が広くなる
ようなテーパーを付けた保持凹部３を形成してなる治具
（洗浄治具）５が用いられている。なお、特に図示しな
いが、枠体１の底面には板状洗浄対象物４が落下しない
ように金網が取り付けられている。さらに、この洗浄治
具５は、所定の角度（水平線Ｈに対する角度θ）に繰り
返して傾けることができるように所定の駆動手段（図示
せず）に接続されている。
【００１３】そして、上記のように構成された洗浄治具
５の支持部材２ａ，２ｂの互に対向する位置に形成され
た保持凹部３に、薄い板状の洗浄対象物（板状洗浄対象
物）４を複数枚重ねたものを挿入し、一方の側端部（長
手側端部）４ａが前記保持凹部３の底辺３ａと当接する
ような態様で保持させる（図１）。なお、洗浄対象物４
が長手方向に位置ずれして不具合を生じるような場合に
は、枠体１の内周面と洗浄対象物４の長手方向の端部と
の隙間が小さくなるように、寸法の小さい枠体を用いる
ことにより、枠体１の内周面を当たり面とするように構
成することが可能である。
５の支持部材２ａ，２ｂの互に対向する位置に形成され
た保持凹部３に、薄い板状の洗浄対象物（板状洗浄対象
物）４を複数枚重ねたものを挿入し、一方の側端部（長
手側端部）４ａが前記保持凹部３の底辺３ａと当接する
ような態様で保持させる（図１）。なお、洗浄対象物４
が長手方向に位置ずれして不具合を生じるような場合に
は、枠体１の内周面と洗浄対象物４の長手方向の端部と
の隙間が小さくなるように、寸法の小さい枠体を用いる
ことにより、枠体１の内周面を当たり面とするように構
成することが可能である。
【００１４】それから、板状洗浄対象物４を洗浄治具５
に保持させた状態で炭化水素系洗浄剤（例えば、エクソ
ン社製，アクトレル（登録商標））中に浸漬し、駆動手
段により洗浄治具５を所定の角度に繰り返して傾けなが
ら洗浄を行う。
に保持させた状態で炭化水素系洗浄剤（例えば、エクソ
ン社製，アクトレル（登録商標））中に浸漬し、駆動手
段により洗浄治具５を所定の角度に繰り返して傾けなが
ら洗浄を行う。
【００１５】このとき、互に密着している板状洗浄対象
物４は、洗浄治具５が一方に傾けられてゆくと、それに
ともなって徐々に傾き始め、ついには、密着していた各
板状洗浄対象物４が剥離しつつ逆の方向に倒れ、ついに
はすべての板状洗浄対象物４が逆の方向に倒れる。その
後、駆動手段により、洗浄治具５が逆の方向に傾けられ
ると、上記と同様に、板状洗浄対象物４が剥離しつつそ
の方向に倒れ、ついにはすべての板状洗浄対象物４がそ
の方向に倒れる。このようにして、洗浄治具５を繰返し
て傾けることにより、板状洗浄対象物４を（密着面を含
めて）効率よく洗浄される。なお、洗浄工程を必要に応
じて予備洗浄、粗洗浄、中洗浄、精洗浄などの各段階に
わけて行うことにより、洗浄効率をさらに向上させるこ
とができる。
物４は、洗浄治具５が一方に傾けられてゆくと、それに
ともなって徐々に傾き始め、ついには、密着していた各
板状洗浄対象物４が剥離しつつ逆の方向に倒れ、ついに
はすべての板状洗浄対象物４が逆の方向に倒れる。その
後、駆動手段により、洗浄治具５が逆の方向に傾けられ
ると、上記と同様に、板状洗浄対象物４が剥離しつつそ
の方向に倒れ、ついにはすべての板状洗浄対象物４がそ
の方向に倒れる。このようにして、洗浄治具５を繰返し
て傾けることにより、板状洗浄対象物４を（密着面を含
めて）効率よく洗浄される。なお、洗浄工程を必要に応
じて予備洗浄、粗洗浄、中洗浄、精洗浄などの各段階に
わけて行うことにより、洗浄効率をさらに向上させるこ
とができる。
【００１６】そして、所定の洗浄工程が終了した後、板
状洗浄対象物４を洗浄治具５に保持させた状態で炭化水
素系洗浄剤中から取り出し、気流中（例えば、加熱空気
を流した乾燥器中）で乾燥を行う。そして、この乾燥工
程においても、駆動手段により洗浄治具５を所定の角度
に繰り返して傾けながら乾燥を行う。これにより、互に
密着している板状洗浄対象物４が、洗浄治具５が傾けら
れることにより剥離し、隣接する板状洗浄対象物４との
密着面が迅速に乾燥される。
状洗浄対象物４を洗浄治具５に保持させた状態で炭化水
素系洗浄剤中から取り出し、気流中（例えば、加熱空気
を流した乾燥器中）で乾燥を行う。そして、この乾燥工
程においても、駆動手段により洗浄治具５を所定の角度
に繰り返して傾けながら乾燥を行う。これにより、互に
密着している板状洗浄対象物４が、洗浄治具５が傾けら
れることにより剥離し、隣接する板状洗浄対象物４との
密着面が迅速に乾燥される。
【００１７】なお、上記実施例においては、長方形の枠
体１に配設された支持部材２ａ，２ｂに保持凹部３を形
成してなる洗浄治具５を用いた場合について説明した
が、洗浄治具の構造はこれに限られるものではなく、例
えば、板状部材に所定の形状の保持凹部を形成した洗浄
治具を用いることも可能であり、さらに他の形状に構成
することも可能である。
体１に配設された支持部材２ａ，２ｂに保持凹部３を形
成してなる洗浄治具５を用いた場合について説明した
が、洗浄治具の構造はこれに限られるものではなく、例
えば、板状部材に所定の形状の保持凹部を形成した洗浄
治具を用いることも可能であり、さらに他の形状に構成
することも可能である。
【００１８】また、保持凹部３の具体的形状（図２に示
す保持凹部３の底辺の幅Ａ，所定のテーパー（垂線に対
する角度Ｄ）を有する辺の長さＢ，板状洗浄対象物４を
保持させたときの隙間Ｃの大きさなど）についても特別
の制約はなく、板状洗浄対象物４の形状などを考慮し
て、適宜、好ましい構造、形状を選択することが可能で
ある。なお、上記実施例では炭化水素系洗浄剤を用いた
場合について説明したが、この発明の洗浄方法において
は、炭化水素系洗浄剤に限らず、その他の液体洗浄剤を
用いることが可能である。
す保持凹部３の底辺の幅Ａ，所定のテーパー（垂線に対
する角度Ｄ）を有する辺の長さＢ，板状洗浄対象物４を
保持させたときの隙間Ｃの大きさなど）についても特別
の制約はなく、板状洗浄対象物４の形状などを考慮し
て、適宜、好ましい構造、形状を選択することが可能で
ある。なお、上記実施例では炭化水素系洗浄剤を用いた
場合について説明したが、この発明の洗浄方法において
は、炭化水素系洗浄剤に限らず、その他の液体洗浄剤を
用いることが可能である。
【００１９】また、図３は、本願発明の他の実施例を示
すものであり、段部が形成された板状洗浄対象物１４
（図４）を洗浄する方法を示す図である。
すものであり、段部が形成された板状洗浄対象物１４
（図４）を洗浄する方法を示す図である。
【００２０】すなわち、図４に示すように、段部１５を
有する板状洗浄対象物１４を洗浄する場合、複数の板状
洗浄対象物１４を重ねると、図５に示すように各板状洗
浄対象物１４の段部１５が係合して隣接する板状洗浄対
象物１４が密着し、本願発明の方法によっても密着状態
を解消することができない場合がある。
有する板状洗浄対象物１４を洗浄する場合、複数の板状
洗浄対象物１４を重ねると、図５に示すように各板状洗
浄対象物１４の段部１５が係合して隣接する板状洗浄対
象物１４が密着し、本願発明の方法によっても密着状態
を解消することができない場合がある。
【００２１】この実施例では、図３に示すように、板状
洗浄対象物１４に形成された貫通穴（係合部）１６（例
えば、製造工程において各工程に供給するために設けら
れた搬送用のピッチ穴）に棒状の部材（動作規制部材）
１７を挿入して洗浄、乾燥を行うようにしている。
洗浄対象物１４に形成された貫通穴（係合部）１６（例
えば、製造工程において各工程に供給するために設けら
れた搬送用のピッチ穴）に棒状の部材（動作規制部材）
１７を挿入して洗浄、乾燥を行うようにしている。
【００２２】このように、棒状の部材（動作規制部材）
１７を用いることにより、各板状洗浄対象物１４の段部
１５が係合して隣接する板状洗浄対象物１４が密着する
ことを確実に防止して、段部１５が形成された板状洗浄
対象物１４を、効率よく洗浄、乾燥することが可能にな
る。
１７を用いることにより、各板状洗浄対象物１４の段部
１５が係合して隣接する板状洗浄対象物１４が密着する
ことを確実に防止して、段部１５が形成された板状洗浄
対象物１４を、効率よく洗浄、乾燥することが可能にな
る。
【００２３】なお、この実施例では、動作規制部材１７
を板状洗浄対象物１４の貫通穴（係合部）１６に挿入、
係合させた場合について説明したが、動作規制部材を係
合させる係合部は、上記実施例のような貫通穴に限られ
るものではなく、切欠きその他の動作規制部材を係合さ
せるのに適した種々の形状の部位を係合部として利用す
ることが可能である。
を板状洗浄対象物１４の貫通穴（係合部）１６に挿入、
係合させた場合について説明したが、動作規制部材を係
合させる係合部は、上記実施例のような貫通穴に限られ
るものではなく、切欠きその他の動作規制部材を係合さ
せるのに適した種々の形状の部位を係合部として利用す
ることが可能である。
【００２４】また、動作規制部材は、上記実施例のよう
に単純な棒状のものに限らず、板状洗浄対象物の形状な
どを考慮して種々の形状に構成することができる。
に単純な棒状のものに限らず、板状洗浄対象物の形状な
どを考慮して種々の形状に構成することができる。
【００２５】
【発明の効果】上述のように、本願第１の発明の洗浄方
法は、洗浄治具の保持凹部を、開口部に近付くにつれて
その幅が広くなるような形状に構成し、複数の板状洗浄
対象物を、一方の側端部が保持凹部の底辺と当接するよ
うな態様で保持凹部に保持させ、洗浄治具を所定の角度
に反復して傾けながら炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄
剤で洗浄するようにしているので、従来の洗浄方法では
互に密着して十分に洗浄することが困難であった板状洗
浄対象物を炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いて
効率よく洗浄することができる。
法は、洗浄治具の保持凹部を、開口部に近付くにつれて
その幅が広くなるような形状に構成し、複数の板状洗浄
対象物を、一方の側端部が保持凹部の底辺と当接するよ
うな態様で保持凹部に保持させ、洗浄治具を所定の角度
に反復して傾けながら炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄
剤で洗浄するようにしているので、従来の洗浄方法では
互に密着して十分に洗浄することが困難であった板状洗
浄対象物を炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いて
効率よく洗浄することができる。
【００２６】また、本願第２の発明の方法は、上記の方
法による洗浄後に、板状洗浄対象物を洗浄治具に保持さ
せた状態で炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中から取
り出し、気流中などにおいて、洗浄治具を所定の角度に
反復して傾けながら乾燥を行う工程を備えているため、
板状洗浄対象物の洗浄と乾燥の両方を効率よく行うこと
ができる。
法による洗浄後に、板状洗浄対象物を洗浄治具に保持さ
せた状態で炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中から取
り出し、気流中などにおいて、洗浄治具を所定の角度に
反復して傾けながら乾燥を行う工程を備えているため、
板状洗浄対象物の洗浄と乾燥の両方を効率よく行うこと
ができる。
【００２７】さらに、各板状洗浄対象物に形成された穴
や切欠きなどの係合部に、動作規制部材を係合させ、洗
浄治具を所定の角度に反復して傾けながら洗浄または乾
燥することにより、板状洗浄対象物に段部が形成されて
いるような場合にも、板状洗浄対象物が密着することを
阻止して、効率よくその洗浄及び乾燥を行うことが可能
になる。
や切欠きなどの係合部に、動作規制部材を係合させ、洗
浄治具を所定の角度に反復して傾けながら洗浄または乾
燥することにより、板状洗浄対象物に段部が形成されて
いるような場合にも、板状洗浄対象物が密着することを
阻止して、効率よくその洗浄及び乾燥を行うことが可能
になる。
【図１】本願発明の一実施例にかかる洗浄方法を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】本願発明の一実施例にかかる洗浄方法を示す要
部拡大図である。
部拡大図である。
【図３】本願発明の他の実施例にかかる洗浄方法を示す
側断面図である。
側断面図である。
【図４】段部を有する板状洗浄対象物を示す斜視図であ
る。
る。
【図５】段部を有する複数の板状洗浄対象物が密着した
状態を示す側面図である。
状態を示す側面図である。
１ 枠体 ２ａ，２ｂ 支持部材（帯状部材） ３ 保持凹部 ３ａ 保持凹部の底辺 ４，１４ 板状洗浄対象物 ４ａ 板状洗浄対象物の一方の側
端部 ５ 洗浄治具 １５ 段部 １６ 貫通穴（係合部） １７ 動作規制部材
端部 ５ 洗浄治具 １５ 段部 １６ 貫通穴（係合部） １７ 動作規制部材
Claims (3)
- 【請求項１】 板状洗浄対象物を保持した状態で所定の
方向に傾けることができるように構成された洗浄治具
の、板状洗浄対象物を保持するための保持凹部を、開口
部に近付くにつれてその幅が広くなるような形状に構成
し、複数の板状洗浄対象物を、一方の側端部が前記保持
凹部の底辺と当接するような態様で保持凹部に保持させ
て炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤中に浸漬し、洗浄
治具を所定の角度に反復して傾けることにより板状洗浄
対象物を揺動させて洗浄することを特徴とする洗浄方
法。 - 【請求項２】 請求項１記載の洗浄方法により板状洗浄
対象物を洗浄する洗浄工程と、洗浄工程の終了後に前記
板状洗浄対象物を洗浄治具に保持させた状態で炭化水素
系洗浄剤などの液体洗浄剤中から取り出し、気流中など
において、前記洗浄治具を所定の角度に反復して傾けな
がら乾燥を行う乾燥工程とを具備することを特徴とする
洗浄方法。 - 【請求項３】 前記板状洗浄対象物が段部を有し、洗浄
工程または乾燥工程において複数の板状洗浄対象物の該
段部どうしが係合して隣接する板状洗浄対象物が密着状
態になる場合に、各板状洗浄対象物に形成された穴や切
欠きなどの係合部に、該段部どうしが係合して板状洗浄
対象物が密着することを阻止するための動作規制部材を
係合させ、前記洗浄治具を所定の角度に反復して傾けな
がら洗浄または乾燥を行うことを特徴とする請求項１ま
たは２記載の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28940892A JPH0747151B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | 洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28940892A JPH0747151B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | 洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06114352A true JPH06114352A (ja) | 1994-04-26 |
| JPH0747151B2 JPH0747151B2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=17742857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28940892A Expired - Lifetime JPH0747151B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | 洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747151B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5016299B2 (ja) | 2006-11-27 | 2012-09-05 | パナソニック株式会社 | 通過管理システム |
| DE102015113681B3 (de) | 2015-08-18 | 2016-11-24 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Reduzieren eines magnetischen Streuvektorfelds einer Vakuumpumpe oder Rotationseinheit sowie Vakuumpumpe und Rotationseinheit |
-
1992
- 1992-10-02 JP JP28940892A patent/JPH0747151B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0747151B2 (ja) | 1995-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4714086A (en) | Apparatus for washing and drying substrates | |
| JPH10223583A (ja) | ブラシ式洗浄装置 | |
| JP2001096245A (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 | |
| JP2894535B2 (ja) | ウェーハホルダー | |
| JPH06114352A (ja) | 洗浄方法 | |
| JPH07161670A (ja) | ウェーハハンドリング装置 | |
| JP2004241552A (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
| JPH0642784Y2 (ja) | 洗浄装置 | |
| US6547918B2 (en) | Raw bar stripping off and cleaning jig and raw bar stripping off and cleaning method | |
| JPH0864667A (ja) | 半導体ウェハ用カセット | |
| JP2837725B2 (ja) | 半導体ウェーハの液体処理装置 | |
| JPH06260468A (ja) | 半導体基板洗浄装置 | |
| JP2003309097A (ja) | スクラブブラシの洗浄方法およびこれに用いられる洗浄用ダミーウェーハ | |
| JPH0711829Y2 (ja) | ワーク処理装置 | |
| JPS60168580A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP3229952B2 (ja) | ウエハキャリア洗浄装置 | |
| JPH11162924A (ja) | エッチング処理装置および処理装置 | |
| JPH05267262A (ja) | 半導体ウェーハ洗浄装置 | |
| KR100583633B1 (ko) | 기판 반송 로봇 | |
| JP2005087775A (ja) | 電子部品の洗浄治具、洗浄方法および洗浄装置 | |
| JPH10321571A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JP2004267922A (ja) | 洗浄装置および洗浄方法 | |
| JPH0870031A (ja) | 基板保持具、基板の処理槽、及び基板の洗浄・乾燥方法及び同装置 | |
| JP2003190901A (ja) | 基板洗浄装置及び基板洗浄治具 | |
| JP3141006B2 (ja) | 被処理体の洗浄方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19951205 |