JPH0642784Y2 - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0642784Y2 JPH0642784Y2 JP7493192U JP7493192U JPH0642784Y2 JP H0642784 Y2 JPH0642784 Y2 JP H0642784Y2 JP 7493192 U JP7493192 U JP 7493192U JP 7493192 U JP7493192 U JP 7493192U JP H0642784 Y2 JPH0642784 Y2 JP H0642784Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- plate
- jig
- cleaned
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は、板状の電子部品や機
械部品などを炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用い
て効率よく洗浄するための洗浄装置に関する。
械部品などを炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用い
て効率よく洗浄するための洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電子部品や機械部品などを洗浄す
るための工業用洗浄剤としては、フロン系洗浄剤やトリ
クロロエタンなどの塩素系溶剤が用いられてきた。しか
し、これらの工業用洗浄剤には、オゾン層の破壊や地下
水の汚染、あるいは作業環境の悪化などを引き起こすと
いう問題点があり、その使用が規制されつつある。
るための工業用洗浄剤としては、フロン系洗浄剤やトリ
クロロエタンなどの塩素系溶剤が用いられてきた。しか
し、これらの工業用洗浄剤には、オゾン層の破壊や地下
水の汚染、あるいは作業環境の悪化などを引き起こすと
いう問題点があり、その使用が規制されつつある。
【0003】そのため、フロン系洗浄剤や、トリクロロ
エタンなどの塩素系溶剤以外の他の洗浄剤として、炭化
水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いる洗浄方法が提案
されている。
エタンなどの塩素系溶剤以外の他の洗浄剤として、炭化
水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いる洗浄方法が提案
されている。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】しかし、炭化水素系洗
浄剤などの液体洗浄剤を用いて板状の電子部品など(板
状洗浄対象物)を重ねて多数枚一度に洗浄する場合、炭
化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤で濡れた板状洗浄対象
物同士が互に付着(密着)し、板状洗浄対象物を保持す
る洗浄治具を傾けたり揺動させたりした場合にも、板状
洗浄対象物どうしが容易に分離(剥離)せず、該密着面
を十分に洗浄することができないという問題点があり、
また、洗浄後の乾燥工程においても乾燥に支障をきたす
という問題点がある。
浄剤などの液体洗浄剤を用いて板状の電子部品など(板
状洗浄対象物)を重ねて多数枚一度に洗浄する場合、炭
化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤で濡れた板状洗浄対象
物同士が互に付着(密着)し、板状洗浄対象物を保持す
る洗浄治具を傾けたり揺動させたりした場合にも、板状
洗浄対象物どうしが容易に分離(剥離)せず、該密着面
を十分に洗浄することができないという問題点があり、
また、洗浄後の乾燥工程においても乾燥に支障をきたす
という問題点がある。
【0005】この考案は、上記問題点を解決するもので
あり、板状洗浄対象物を炭化水素系洗浄剤などの液体洗
浄剤により効率よく洗浄(及び乾燥)することが可能な
洗浄装置を提供することを目的とする。
あり、板状洗浄対象物を炭化水素系洗浄剤などの液体洗
浄剤により効率よく洗浄(及び乾燥)することが可能な
洗浄装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この考案の洗浄装置は、炭化水素系洗浄剤などの液
体洗浄剤を用いて板状洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に
おいて、開口部に近付くにつれてその幅が広くなるよう
な形状の板状洗浄対象物を保持するための凹部(保持凹
部)を備えた洗浄治具と、該洗浄治具を所定の角度に反
復して傾斜させるための駆動手段を具備することを特徴
とする。
に、この考案の洗浄装置は、炭化水素系洗浄剤などの液
体洗浄剤を用いて板状洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に
おいて、開口部に近付くにつれてその幅が広くなるよう
な形状の板状洗浄対象物を保持するための凹部(保持凹
部)を備えた洗浄治具と、該洗浄治具を所定の角度に反
復して傾斜させるための駆動手段を具備することを特徴
とする。
【0007】また、前記洗浄治具が、互に対向する位置
に前記形状の保持凹部を形成した2本の略平行に配設さ
れた支持部材と、これを一体に支持する枠体とを備えて
なるものであることを特徴とする。また、洗浄治具が、
所定の位置に、断面形状が略凹状で開口部に近付くにつ
れてその幅が広くなるような形状の溝を設けた板状部材
を備えてなるものであることを特徴とする。
に前記形状の保持凹部を形成した2本の略平行に配設さ
れた支持部材と、これを一体に支持する枠体とを備えて
なるものであることを特徴とする。また、洗浄治具が、
所定の位置に、断面形状が略凹状で開口部に近付くにつ
れてその幅が広くなるような形状の溝を設けた板状部材
を備えてなるものであることを特徴とする。
【0008】
【作用】開口部に近付くにつれてその幅が広くなるよう
な形状に構成された保持凹部に、一方の側端部が保持凹
部の底辺と当接するような態様で複数の板状洗浄対象物
を保持させた場合、板状洗浄対象物は、静止状態では、
隣接する板状洗浄対象物どうしが密着していても、洗浄
中(乾燥中)に洗浄治具が駆動手段により所定の角度に
傾けられる度に、互に隣接(密着)する板状洗浄対象物
が分離(剥離)し、該密着面を含めて板状洗浄対象物が
効率よくかつ十分に洗浄(及び乾燥)される。
な形状に構成された保持凹部に、一方の側端部が保持凹
部の底辺と当接するような態様で複数の板状洗浄対象物
を保持させた場合、板状洗浄対象物は、静止状態では、
隣接する板状洗浄対象物どうしが密着していても、洗浄
中(乾燥中)に洗浄治具が駆動手段により所定の角度に
傾けられる度に、互に隣接(密着)する板状洗浄対象物
が分離(剥離)し、該密着面を含めて板状洗浄対象物が
効率よくかつ十分に洗浄(及び乾燥)される。
【0009】
【実施例】以下、この考案の実施例を図に基づいて説明
する。図1は、この考案の一実施例にかかる洗浄装置の
洗浄治具及び駆動手段を示す図、図2はその洗浄治具に
板状洗浄対象物を保持させた状態を示す図、図3はその
要部拡大図である。
する。図1は、この考案の一実施例にかかる洗浄装置の
洗浄治具及び駆動手段を示す図、図2はその洗浄治具に
板状洗浄対象物を保持させた状態を示す図、図3はその
要部拡大図である。
【0010】この実施例の洗浄装置において、洗浄治具
は、図1,図2に示すように、ステンレス製の長方形の
枠体1の一方の辺から対向する他方の辺に達するように
略平行に配設された2本の支持部材(帯状部材)2a,
2bの互に対向する複数の位置に、開口部に近付くにつ
れてその幅が広くなるようなテーパーを付けた保持凹部
3を設けることにより形成されている。
は、図1,図2に示すように、ステンレス製の長方形の
枠体1の一方の辺から対向する他方の辺に達するように
略平行に配設された2本の支持部材(帯状部材)2a,
2bの互に対向する複数の位置に、開口部に近付くにつ
れてその幅が広くなるようなテーパーを付けた保持凹部
3を設けることにより形成されている。
【0011】なお、保持凹部3は具体的には、例えば次
のような寸法、形状に構成されている。すなわち、図3
において、底辺3aの幅:A,凹部3の深さ:L,底辺
3aの幅Aから凹部3に保持された複数枚の洗浄対象物
4の合計厚みTAを引いた値(隙間):C,所定のテー
パーを有する辺Bの垂線に対する角度:D,洗浄対象物
4の高さ(幅):H,洗浄対象物4の一枚の厚み:T,
とした場合に、 A=0.8H L=0.8H C=3.0T D=22.5° の条件を満たすように形成されている。
のような寸法、形状に構成されている。すなわち、図3
において、底辺3aの幅:A,凹部3の深さ:L,底辺
3aの幅Aから凹部3に保持された複数枚の洗浄対象物
4の合計厚みTAを引いた値(隙間):C,所定のテー
パーを有する辺Bの垂線に対する角度:D,洗浄対象物
4の高さ(幅):H,洗浄対象物4の一枚の厚み:T,
とした場合に、 A=0.8H L=0.8H C=3.0T D=22.5° の条件を満たすように形成されている。
【0012】但し、保持凹部3は上記の形状に限定され
るものではなく、板状洗浄対象物4の形状などを考慮し
て、適宜、好ましい形状に構成することが可能である。
るものではなく、板状洗浄対象物4の形状などを考慮し
て、適宜、好ましい形状に構成することが可能である。
【0013】なお、特に図示しないが、枠体1の底面に
は板状洗浄対象物4が落下しないように金網が取り付け
られている。
は板状洗浄対象物4が落下しないように金網が取り付け
られている。
【0014】また、洗浄治具5は、所定の角度(水平線
Hに対する角度θ)に繰り返して傾けることができるよ
うに所定の駆動手段6に接続されている。なお、駆動手
段6としては、例えばカム機構やクランク機構などを利
用したものなど、洗浄治具5を反復して傾けることが可
能な種々の駆動手段を適宜選択して用いることが可能で
ある。
Hに対する角度θ)に繰り返して傾けることができるよ
うに所定の駆動手段6に接続されている。なお、駆動手
段6としては、例えばカム機構やクランク機構などを利
用したものなど、洗浄治具5を反復して傾けることが可
能な種々の駆動手段を適宜選択して用いることが可能で
ある。
【0015】次に、上記構成を有する洗浄治具に板状洗
浄対象物を保持させて洗浄する工程について説明する。
浄対象物を保持させて洗浄する工程について説明する。
【0016】まず、洗浄治具5の支持部材2a,2bの
互に対向する位置に形成された保持凹部3に、薄い板状
の洗浄対象物(板状洗浄対象物)4を複数枚重ねたもの
を挿入し、一方の側端部(長手側端部)4aが前記保持
凹部3の底辺3aと当接するような態様で保持させる
(図2,図3)。
互に対向する位置に形成された保持凹部3に、薄い板状
の洗浄対象物(板状洗浄対象物)4を複数枚重ねたもの
を挿入し、一方の側端部(長手側端部)4aが前記保持
凹部3の底辺3aと当接するような態様で保持させる
(図2,図3)。
【0017】それから、板状洗浄対象物4を洗浄治具5
に保持させた状態で炭化水素系洗浄剤(例えば、エクソ
ン社製,アクトレル(登録商標))を入れた洗浄槽(図
示せず)中に浸漬し、駆動手段6により洗浄治具5を所
定の角度(θ)に繰り返して傾けながら洗浄を行う。
に保持させた状態で炭化水素系洗浄剤(例えば、エクソ
ン社製,アクトレル(登録商標))を入れた洗浄槽(図
示せず)中に浸漬し、駆動手段6により洗浄治具5を所
定の角度(θ)に繰り返して傾けながら洗浄を行う。
【0018】このとき、互に密着している板状洗浄対象
物4は、洗浄治具5が一方に傾けられてゆくと、それに
ともなって徐々に傾き始め、ついには、密着していた各
板状洗浄対象物4が剥離しつつ逆の方向に倒れ、ついに
はすべての板状洗浄対象物4が逆の方向に倒れる。その
後、駆動手段6により洗浄治具5が逆の方向に傾けられ
ると、上記と同様に、板状洗浄対象物4が剥離しつつそ
の方向に倒れ、ついにはすべての板状洗浄対象物4がそ
の方向に倒れる。このようにして、洗浄治具5を繰返し
て傾けることにより、板状洗浄対象物4が(密着面を含
めて)効率よく洗浄される。なお、洗浄工程を必要に応
じて予備洗浄、粗洗浄、中洗浄、精洗浄などの各段階に
わけて行うことにより、洗浄効率をさらに向上させるこ
とができる。
物4は、洗浄治具5が一方に傾けられてゆくと、それに
ともなって徐々に傾き始め、ついには、密着していた各
板状洗浄対象物4が剥離しつつ逆の方向に倒れ、ついに
はすべての板状洗浄対象物4が逆の方向に倒れる。その
後、駆動手段6により洗浄治具5が逆の方向に傾けられ
ると、上記と同様に、板状洗浄対象物4が剥離しつつそ
の方向に倒れ、ついにはすべての板状洗浄対象物4がそ
の方向に倒れる。このようにして、洗浄治具5を繰返し
て傾けることにより、板状洗浄対象物4が(密着面を含
めて)効率よく洗浄される。なお、洗浄工程を必要に応
じて予備洗浄、粗洗浄、中洗浄、精洗浄などの各段階に
わけて行うことにより、洗浄効率をさらに向上させるこ
とができる。
【0019】そして、所定の洗浄工程が終了した後、板
状洗浄対象物4を洗浄治具5に保持させた状態で炭化水
素系洗浄剤中から取り出し、気流中(例えば、加熱空気
を流した乾燥器中)で乾燥を行う。そして、この乾燥工
程においても、駆動手段6により洗浄治具5を所定の角
度に繰り返して傾けながら乾燥を行う。これにより、互
に密着している板状洗浄対象物4が、洗浄治具5が傾け
られることにより剥離し、板状洗浄対象物4が(密着面
を含めて)効率よく乾燥される。
状洗浄対象物4を洗浄治具5に保持させた状態で炭化水
素系洗浄剤中から取り出し、気流中(例えば、加熱空気
を流した乾燥器中)で乾燥を行う。そして、この乾燥工
程においても、駆動手段6により洗浄治具5を所定の角
度に繰り返して傾けながら乾燥を行う。これにより、互
に密着している板状洗浄対象物4が、洗浄治具5が傾け
られることにより剥離し、板状洗浄対象物4が(密着面
を含めて)効率よく乾燥される。
【0020】また、図4はこの考案の他の実施例にかか
る洗浄装置の洗浄治具及び駆動手段を示す図である。
る洗浄装置の洗浄治具及び駆動手段を示す図である。
【0021】この実施例においては、洗浄治具15は、
板状部材11の所定の位置に、開口部に近付くにつれて
その幅が広くなるようなテーパーを付けた溝(保持凹
部)3を複数本配設するとともに、これを、枠体1によ
って一体に支持することにより形成されている。なお、
上記板状部材11は、特に枠体1により支持することな
く、そのまま洗浄治具として用いることも可能である。
板状部材11の所定の位置に、開口部に近付くにつれて
その幅が広くなるようなテーパーを付けた溝(保持凹
部)3を複数本配設するとともに、これを、枠体1によ
って一体に支持することにより形成されている。なお、
上記板状部材11は、特に枠体1により支持することな
く、そのまま洗浄治具として用いることも可能である。
【0022】そして、この洗浄治具15を用いた場合に
も上記実施例と同様の効果を得ることができる。
も上記実施例と同様の効果を得ることができる。
【0023】なお、この考案において用いることが可能
な洗浄治具は、上記実施例の洗浄治具5(図1),15
(図4)に限られるものではなく、この考案の要旨の範
囲内において、種々の変形、応用を加えることができ
る。
な洗浄治具は、上記実施例の洗浄治具5(図1),15
(図4)に限られるものではなく、この考案の要旨の範
囲内において、種々の変形、応用を加えることができ
る。
【0024】
【考案の効果】上述のように、この考案の洗浄装置は、
板状洗浄対象物を保持するための、開口部に近付くにつ
れてその幅が広くなるような形状の保持凹部を備えた洗
浄治具と、該洗浄治具を所定の角度に反復して傾斜させ
るための駆動手段とを組み合わせて用いているので、従
来の洗浄装置を用いた場合には互に密着して十分に洗
浄、乾燥することが困難であった板状洗浄対象物を、炭
化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いて効率よく洗浄
することができるとともに、速やかに乾燥することがで
きる。
板状洗浄対象物を保持するための、開口部に近付くにつ
れてその幅が広くなるような形状の保持凹部を備えた洗
浄治具と、該洗浄治具を所定の角度に反復して傾斜させ
るための駆動手段とを組み合わせて用いているので、従
来の洗浄装置を用いた場合には互に密着して十分に洗
浄、乾燥することが困難であった板状洗浄対象物を、炭
化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用いて効率よく洗浄
することができるとともに、速やかに乾燥することがで
きる。
【図1】この考案の一実施例にかかる洗浄装置を構成す
る洗浄治具及び駆動手段を示す斜視図である。
る洗浄治具及び駆動手段を示す斜視図である。
【図2】この考案の一実施例にかかる洗浄装置を構成す
る洗浄治具に板状洗浄対象物を保持させた状態を示す斜
視図である。
る洗浄治具に板状洗浄対象物を保持させた状態を示す斜
視図である。
【図3】この考案の一実施例にかかる洗浄装置を構成す
る洗浄治具の要部拡大図である。
る洗浄治具の要部拡大図である。
【図4】この考案の他の実施例にかかる洗浄装置を構成
する洗浄治具及び駆動手段を示す斜視図である。
する洗浄治具及び駆動手段を示す斜視図である。
1 枠体 2a,2b 支持部材(帯状部材) 3 保持凹部 3a 凹部の底辺 4 板状洗浄対象物 4a 板状洗浄対象物の一方の側
端部 5,15 洗浄治具 6 駆動手段 11 板状部材
端部 5,15 洗浄治具 6 駆動手段 11 板状部材
Claims (3)
- 【請求項1】 炭化水素系洗浄剤などの液体洗浄剤を用
いて板状洗浄対象物を洗浄する洗浄装置において、開口
部に近付くにつれてその幅が広くなるような形状の板状
洗浄対象物を保持するための凹部(保持凹部)を備えた
洗浄治具と、該洗浄治具を所定の角度に反復して傾斜さ
せるための駆動手段を具備することを特徴とする洗浄装
置。 - 【請求項2】 前記洗浄治具が、互に対向する位置に前
記形状の保持凹部を形成した2本の略平行に配設された
支持部材と、これを一体に支持する枠体とを備えてなる
ものであることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。 - 【請求項3】 前記洗浄治具が、所定の位置に、断面形
状が略凹状で開口部に近付くにつれてその幅が広くなる
ような形状の溝を設けた板状部材を備えてなるものであ
ることを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7493192U JPH0642784Y2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7493192U JPH0642784Y2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | 洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631884U JPH0631884U (ja) | 1994-04-26 |
| JPH0642784Y2 true JPH0642784Y2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=13561599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7493192U Expired - Lifetime JPH0642784Y2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0642784Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-10-02 JP JP7493192U patent/JPH0642784Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0631884U (ja) | 1994-04-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6726575B2 (ja) | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 | |
| CN112640058B (zh) | 基板处理装置 | |
| JP2001096245A (ja) | 洗浄方法および洗浄装置 | |
| JPH0642784Y2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2894535B2 (ja) | ウェーハホルダー | |
| JP4332867B2 (ja) | ウェーハの支持装置及び該装置を備えた移送装置 | |
| US6419000B1 (en) | Raw bar stripping off and cleaning jig and raw bar stripping off and cleaning method | |
| CN102768974A (zh) | 晶圆清洗设备 | |
| JP3448602B2 (ja) | ディスク用カセットの洗浄装置 | |
| JP2000111254A (ja) | ディスク用カセットの乾燥装置 | |
| JPH06114352A (ja) | 洗浄方法 | |
| JP2837725B2 (ja) | 半導体ウェーハの液体処理装置 | |
| JP2000150441A (ja) | ローラブラシ洗浄装置 | |
| JP2872895B2 (ja) | 基板保持カセット | |
| KR20060064919A (ko) | 반도체 패키지 기판 세척용 지그 및 이를 이용한 반도체패키지 기판 세척 이송방법 | |
| JPS60168580A (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JPH0234823Y2 (ja) | ||
| JPH0711829Y2 (ja) | ワーク処理装置 | |
| JP3628864B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP3145844B2 (ja) | 薄板部材移載装置および方法 | |
| JPH10162355A (ja) | ディスク保持装置 | |
| JPH11145270A (ja) | 薄板支持器 | |
| JP2003190901A (ja) | 基板洗浄装置及び基板洗浄治具 | |
| JPS6234635Y2 (ja) | ||
| KR200156133Y1 (ko) | 웨이퍼 배면 클리닝장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19950425 |