JPH06117887A - 複合薄膜センサモジュール - Google Patents
複合薄膜センサモジュールInfo
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- JPH06117887A JPH06117887A JP27061892A JP27061892A JPH06117887A JP H06117887 A JPH06117887 A JP H06117887A JP 27061892 A JP27061892 A JP 27061892A JP 27061892 A JP27061892 A JP 27061892A JP H06117887 A JPH06117887 A JP H06117887A
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- Japan
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】正確な測定ができ、しかも電池の消耗を最小限
に抑えることのできる複合薄膜センサモジュールを提供
すること。 【構成】複数の薄膜センサからなる複合薄膜センサ１１
と、この複合薄膜センサ１１からの情報を処理する信号
処理回路１２とを備えた複合薄膜センサモジュールにお
いて、信号処理回路１２を間欠的に駆動する間欠駆動制
御回路２１を備えている。
に抑えることのできる複合薄膜センサモジュールを提供
すること。 【構成】複数の薄膜センサからなる複合薄膜センサ１１
と、この複合薄膜センサ１１からの情報を処理する信号
処理回路１２とを備えた複合薄膜センサモジュールにお
いて、信号処理回路１２を間欠的に駆動する間欠駆動制
御回路２１を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の薄膜センサを用
いて環境計測等を行う複合薄膜センサモジュールに関す
る。
いて環境計測等を行う複合薄膜センサモジュールに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、気温、気流、熱輻射等を金属
薄膜の電気抵抗の変化から検知したり、湿度を高分子材
薄膜の静電容量の変化から検知する薄膜センサが知られ
ている。薄膜センサは非常に小型であるうえに高速応答
が可能であるため、薄膜センサを複数組み込んだ小型の
環境計測用機器が複合薄膜センサモジュールとして用い
られている。
薄膜の電気抵抗の変化から検知したり、湿度を高分子材
薄膜の静電容量の変化から検知する薄膜センサが知られ
ている。薄膜センサは非常に小型であるうえに高速応答
が可能であるため、薄膜センサを複数組み込んだ小型の
環境計測用機器が複合薄膜センサモジュールとして用い
られている。
【０００３】図３は、このような複合薄膜センサモジュ
ールの従来例を示す図である。すなわち複合薄膜センサ
モジュール１０は、複数の薄膜センサから構成される複
合薄膜センサ１１と、この複合薄膜センサ１１によって
得られた情報を電気信号に変換し、出力端子１４から図
示しない制御装置等に出力する信号処理回路１２とを備
えている。なお、信号処理回路１２は電源端子１３に図
示しない外部の電池等から電源を供給されて駆動され
る。
ールの従来例を示す図である。すなわち複合薄膜センサ
モジュール１０は、複数の薄膜センサから構成される複
合薄膜センサ１１と、この複合薄膜センサ１１によって
得られた情報を電気信号に変換し、出力端子１４から図
示しない制御装置等に出力する信号処理回路１２とを備
えている。なお、信号処理回路１２は電源端子１３に図
示しない外部の電池等から電源を供給されて駆動され
る。
【０００４】このように構成された複合薄膜センサモジ
ュール１０では、信号処理回路１２を介して複合薄膜セ
ンサ１１が駆動される。複合薄膜センサ１１によって検
知された気温や気流等の情報は信号処理回路１２に与え
られる。与えられた情報はこの信号処理回路１２によっ
て処理され、外部の制御装置等へ電気信号として出力さ
れる。
ュール１０では、信号処理回路１２を介して複合薄膜セ
ンサ１１が駆動される。複合薄膜センサ１１によって検
知された気温や気流等の情報は信号処理回路１２に与え
られる。与えられた情報はこの信号処理回路１２によっ
て処理され、外部の制御装置等へ電気信号として出力さ
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の複
合薄膜センサモジュール１０にあっては次のような問題
があった。
合薄膜センサモジュール１０にあっては次のような問題
があった。
【０００６】すなわち、複合薄膜センサ１１の中に発熱
するような薄膜センサ、例えば気流を計測するために抵
抗体が発熱する程度の電流を流しておき、気流が当たる
ことによって発熱した抵抗体の熱が奪われると共に抵抗
値が下がることを利用したものが組み込まれていると、
複合薄膜センサモジュール１０内の温度が上昇し、気温
センサ等の計測値に影響が生じる虞があった。
するような薄膜センサ、例えば気流を計測するために抵
抗体が発熱する程度の電流を流しておき、気流が当たる
ことによって発熱した抵抗体の熱が奪われると共に抵抗
値が下がることを利用したものが組み込まれていると、
複合薄膜センサモジュール１０内の温度が上昇し、気温
センサ等の計測値に影響が生じる虞があった。
【０００７】また、複合薄膜センサモジュール１０には
常に電池が接続されているため、電池の消耗が早く、頻
繁に電池交換を行わなくてはならないといった問題があ
った。
常に電池が接続されているため、電池の消耗が早く、頻
繁に電池交換を行わなくてはならないといった問題があ
った。
【０００８】そこで本発明は、複合薄膜センサ内の温度
上昇を防ぐことによって、薄膜センサ相互の干渉を抑
え、個々の薄膜センサの特性を最大限に発揮させること
ができ、しかも電池の消耗を最小限に抑えることのでき
る複合薄膜センサモジュールを提供することを目的とし
ている。
上昇を防ぐことによって、薄膜センサ相互の干渉を抑
え、個々の薄膜センサの特性を最大限に発揮させること
ができ、しかも電池の消耗を最小限に抑えることのでき
る複合薄膜センサモジュールを提供することを目的とし
ている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明は、複数の薄膜センサからなる
複合薄膜センサと、この複合薄膜センサからの情報を処
理する信号処理回路とを備えた複合薄膜センサモジュー
ルにおいて、前記信号処理回路を間欠的に駆動する間欠
駆動制御回路を備えるようにした。
達成するために、本発明は、複数の薄膜センサからなる
複合薄膜センサと、この複合薄膜センサからの情報を処
理する信号処理回路とを備えた複合薄膜センサモジュー
ルにおいて、前記信号処理回路を間欠的に駆動する間欠
駆動制御回路を備えるようにした。
【００１０】
【作用】上記手段を講じた結果、次のような作用が生じ
る。すなわち、間欠駆動制御回路により、薄膜センサへ
の電源供給は間欠駆動制御回路によって間欠的に行われ
る。したがって、薄膜センサの発熱量が最小限に抑えら
れる。その結果、薄膜センサ相互の干渉を防止すること
ができ、正確な測定値を得ることが可能となる。また、
連続的に測定する場合に比べ、消費電力を大幅に抑える
ことができる。
る。すなわち、間欠駆動制御回路により、薄膜センサへ
の電源供給は間欠駆動制御回路によって間欠的に行われ
る。したがって、薄膜センサの発熱量が最小限に抑えら
れる。その結果、薄膜センサ相互の干渉を防止すること
ができ、正確な測定値を得ることが可能となる。また、
連続的に測定する場合に比べ、消費電力を大幅に抑える
ことができる。
【００１１】
【実施例】図１の（ａ）は本発明の一実施例に係る複合
薄膜センサモジュール２０の構成を示す図である。な
お、この図において、図３と同一機能部分には同一符号
が付されている。
薄膜センサモジュール２０の構成を示す図である。な
お、この図において、図３と同一機能部分には同一符号
が付されている。
【００１２】この実施例に係る複合薄膜センサモジュー
ル２０は、複合薄膜センサ２１と、この複合薄膜センサ
２１に接続された信号処理回路２２と、この信号処理回
路２２に接続された間欠駆動制御回路２３とを備えてい
る。複合薄膜センサ２１は、図１の（ｂ）に示すように
気温や気流等を検知する薄膜センサ２１ａ〜２１ｄが基
板２４上に形成されている。
ル２０は、複合薄膜センサ２１と、この複合薄膜センサ
２１に接続された信号処理回路２２と、この信号処理回
路２２に接続された間欠駆動制御回路２３とを備えてい
る。複合薄膜センサ２１は、図１の（ｂ）に示すように
気温や気流等を検知する薄膜センサ２１ａ〜２１ｄが基
板２４上に形成されている。
【００１３】間欠駆動制御回路２３は、図２の（ａ）に
示すように、直流電源の（＋）出力端と信号処理回路２
２の（＋）入力端との間を接続する配線２３ａと、直流
電源の（−）出力端と信号処理回路２２の（−）入力端
との間を接続する配線２３ｂとが設けられている。そし
て、これら配線２３ａ，２３ｂ間にはタイマリレー２５
が接続されており、配線２３ａには、上記タイマリレー
２５の接点２５ａが介挿されている。
示すように、直流電源の（＋）出力端と信号処理回路２
２の（＋）入力端との間を接続する配線２３ａと、直流
電源の（−）出力端と信号処理回路２２の（−）入力端
との間を接続する配線２３ｂとが設けられている。そし
て、これら配線２３ａ，２３ｂ間にはタイマリレー２５
が接続されており、配線２３ａには、上記タイマリレー
２５の接点２５ａが介挿されている。
【００１４】このように構成された複合薄膜センサモジ
ュール２０は、次のように作動する。電源端子１３に接
続されている外部電源から間欠駆動制御回路２３に電圧
が印加されると、間欠駆動制御回路２３内のタイマリレ
ー２５は例えば、図２の（ｂ）に示されるようなサイク
ルで接点２５ａを開閉駆動する。すなわち、Ｔ1 で示す
区間は接点２５ａが閉じており、Ｔ2 で示す区間は接点
２５ａが開く。
ュール２０は、次のように作動する。電源端子１３に接
続されている外部電源から間欠駆動制御回路２３に電圧
が印加されると、間欠駆動制御回路２３内のタイマリレ
ー２５は例えば、図２の（ｂ）に示されるようなサイク
ルで接点２５ａを開閉駆動する。すなわち、Ｔ1 で示す
区間は接点２５ａが閉じており、Ｔ2 で示す区間は接点
２５ａが開く。
【００１５】信号処理回路２２への電源供給は上述した
間欠駆動制御回路２３で設定されたサイクルに従って間
欠的に行われる。したがって、信号処理回路２２は電源
が供給されたときにのみ複合薄膜センサ２１を駆動し、
複合薄膜センサ２１で検知された情報を処理し、処理し
た情報を出力端子１４から外部に出力する。
間欠駆動制御回路２３で設定されたサイクルに従って間
欠的に行われる。したがって、信号処理回路２２は電源
が供給されたときにのみ複合薄膜センサ２１を駆動し、
複合薄膜センサ２１で検知された情報を処理し、処理し
た情報を出力端子１４から外部に出力する。
【００１６】上記したように本実施例では、複合薄膜セ
ンサ２１が間欠的に駆動されるので、同一センサ２１に
計測時において発熱する薄膜センサが組み込まれていて
も、複合薄膜センサ２１全体としての温度上昇はごく僅
かとなる。このため、隣接した薄膜センサへの影響を最
小限に抑えることができる。したがって、例えば複合薄
膜センサ２１内に気流センサと気温センサとが組み込ま
れている場合において、従来の複合薄膜センサモジュー
ル１０と本実施例に係る複合薄膜センサモジュール２０
とでは次のような差異が生じる。
ンサ２１が間欠的に駆動されるので、同一センサ２１に
計測時において発熱する薄膜センサが組み込まれていて
も、複合薄膜センサ２１全体としての温度上昇はごく僅
かとなる。このため、隣接した薄膜センサへの影響を最
小限に抑えることができる。したがって、例えば複合薄
膜センサ２１内に気流センサと気温センサとが組み込ま
れている場合において、従来の複合薄膜センサモジュー
ル１０と本実施例に係る複合薄膜センサモジュール２０
とでは次のような差異が生じる。
【００１７】すなわち、図２の（ｃ）には、測定中に複
合薄膜センサ１１または２１に風が当たった場合におけ
る気温センサの出力の変化が示されている。ここで、Ａ
は従来例の気温センサの出力を示しており、Ｂは本実施
例の気温センサの出力を示している。なお、ｔ1 は複合
薄膜センサ１１または２１に風が当たり始めてから最大
になるまでの時間、ｔ2 は風が弱くなり始めてから完全
に止まるまでの時間を示している。このように、ＡはＢ
に較べ出力が高くなるとともに、風の影響を受けるが、
Ｂは風の影響を受けない。したがって、本実施例によれ
ば気流センサの発熱による複合薄膜センサ２１の温度上
昇を抑えることができるとともに、風などの外乱による
気温センサへの影響もなくすことが可能となる。さら
に、複合薄膜センサ２１および信号処理回路２２に電源
が供給されたときにのみ計測が行われる間欠駆動である
ため、消費電力を最小限に抑えることができ、電池の消
耗が抑えられる。なお、本発明は上記した実施例に限定
されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
種々変形実施可能であるのは勿論である。
合薄膜センサ１１または２１に風が当たった場合におけ
る気温センサの出力の変化が示されている。ここで、Ａ
は従来例の気温センサの出力を示しており、Ｂは本実施
例の気温センサの出力を示している。なお、ｔ1 は複合
薄膜センサ１１または２１に風が当たり始めてから最大
になるまでの時間、ｔ2 は風が弱くなり始めてから完全
に止まるまでの時間を示している。このように、ＡはＢ
に較べ出力が高くなるとともに、風の影響を受けるが、
Ｂは風の影響を受けない。したがって、本実施例によれ
ば気流センサの発熱による複合薄膜センサ２１の温度上
昇を抑えることができるとともに、風などの外乱による
気温センサへの影響もなくすことが可能となる。さら
に、複合薄膜センサ２１および信号処理回路２２に電源
が供給されたときにのみ計測が行われる間欠駆動である
ため、消費電力を最小限に抑えることができ、電池の消
耗が抑えられる。なお、本発明は上記した実施例に限定
されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
種々変形実施可能であるのは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、間欠駆動制御回路によ
り、信号処理回路、複合薄膜センサが間欠駆動されるの
で、複数の薄膜センサを用いた場合でも、薄膜センサ相
互の干渉を防ぐことができ、正確な計測を行える上、電
力消費の少ない複合薄膜センサモジュールを提供でき
る。
り、信号処理回路、複合薄膜センサが間欠駆動されるの
で、複数の薄膜センサを用いた場合でも、薄膜センサ相
互の干渉を防ぐことができ、正確な計測を行える上、電
力消費の少ない複合薄膜センサモジュールを提供でき
る。
【図１】（ａ）は本発明の一実施例に係る複合薄膜セン
サモジュールの構成を示すブロック図、（ｂ）は上記モ
ジュールに組込まれた複合薄膜センサの構成を示す図。
サモジュールの構成を示すブロック図、（ｂ）は上記モ
ジュールに組込まれた複合薄膜センサの構成を示す図。
【図２】（ａ）は図１に示すモジュールに組み込まれた
間欠駆動制御装置の構成を示す図、（ｂ）は上記間欠駆
動制御装置による電源印加の状態を示す図、（ｃ）は本
実施例の複合薄膜センサモジュールおよび従来例のモジ
ュールにそれぞれ組み込まれた気温センサの出力を比較
して示す図。
間欠駆動制御装置の構成を示す図、（ｂ）は上記間欠駆
動制御装置による電源印加の状態を示す図、（ｃ）は本
実施例の複合薄膜センサモジュールおよび従来例のモジ
ュールにそれぞれ組み込まれた気温センサの出力を比較
して示す図。
【図３】従来の複合薄膜センサモジュールの構成を示す
ブロック図。
ブロック図。
１１…複合薄膜センサ １２…信号処理回
路 ２０…複合薄膜センサモジュール ２１…間欠駆動制
御回路 ２５…タイマリレー ２５ａ…接点
路 ２０…複合薄膜センサモジュール ２１…間欠駆動制
御回路 ２５…タイマリレー ２５ａ…接点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村川 慎一 兵庫県高砂市荒井町新浜二丁目１番１号 三菱重工業株式会社高砂研究所内 (72)発明者 江頭 良夫 兵庫県高砂市荒井町新浜二丁目１番１号 三菱重工業株式会社高砂研究所内 (72)発明者 松田 稔 富山県上新川郡大沢野町下大久保3158番地 北陸電気工業株式会社中央研究所内 (72)発明者 石山 一郎 富山県上新川郡大沢野町下大久保3158番地 北陸電気工業株式会社中央研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】複数の薄膜センサからなる複合薄膜センサ
と、この複合薄膜センサからの情報を処理する信号処理
回路とを備えた複合薄膜センサモジュールにおいて、 前記信号処理回路を間欠的に駆動する間欠駆動制御回路
を備えてなることを特徴とする複合薄膜センサモジュー
ル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27061892A JP2615321B2 (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | 複合薄膜センサモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27061892A JP2615321B2 (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | 複合薄膜センサモジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117887A true JPH06117887A (ja) | 1994-04-28 |
| JP2615321B2 JP2615321B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=17488599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27061892A Expired - Lifetime JP2615321B2 (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | 複合薄膜センサモジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2615321B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010160032A (ja) * | 2009-01-07 | 2010-07-22 | Denso Corp | 容量式湿度検出装置 |
| CN102139775A (zh) * | 2011-03-04 | 2011-08-03 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 塑封产品预热系统 |
-
1992
- 1992-10-08 JP JP27061892A patent/JP2615321B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010160032A (ja) * | 2009-01-07 | 2010-07-22 | Denso Corp | 容量式湿度検出装置 |
| CN102139775A (zh) * | 2011-03-04 | 2011-08-03 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 塑封产品预热系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2615321B2 (ja) | 1997-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19951212 |