JPH06117975A - はんだ付け用雰囲気ガスフィルタ再生方法 - Google Patents
はんだ付け用雰囲気ガスフィルタ再生方法Info
- Publication number
- JPH06117975A JPH06117975A JP4267206A JP26720692A JPH06117975A JP H06117975 A JPH06117975 A JP H06117975A JP 4267206 A JP4267206 A JP 4267206A JP 26720692 A JP26720692 A JP 26720692A JP H06117975 A JPH06117975 A JP H06117975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- oxygen concentration
- filter
- soldering
- activated carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
する系においてサンプリングガス中の可燃性ガスを吸着
する活性炭フィルタの再生方法を提供する。 【構成】 はんだ付け装置AまたはBの通常運転時は、
切換弁24,30を開くとともに切換弁45,47を閉じて、低
酸素濃度の雰囲気ガスで満たされたチャンバ15から酸素
濃度分析用サンプリングガスを取出し、その中のフラッ
クスをキャッチャ22により除去するとともに可燃性ガス
を活性炭フィルタ26により除去した後、酸素濃度計31に
より酸素濃度を測定する。また、はんだ付け装置Aまた
はBの加熱立上げ時または停止立下げ時は、切換弁24,
30を閉じるとともに切換弁45,47を開いて、窒素ボンベ
41から供給された純粋な窒素ガスをヒータ43で100〜
150℃まで加熱し、約20分程継続的にフィルタ26内
の活性炭を通過させることにより、その活性炭を高温の
純粋ガスにより再生させる。
Description
気ガス中の酸素濃度を測定する系において酸素濃度分析
用ガス中に含まれる可燃性ガスを吸着除去するフィルタ
を再生する方法に関するものである。
んだ付け装置においては、窒素ガス等の投入により大気
よりも酸素濃度を低下させたはんだ付け室(以下、チャ
ンバという)の低酸素濃度雰囲気ガス中ではんだ付けを
行うようにしている。このチャンバ内雰囲気ガスが所定
の低酸素濃度に保たれているか否かを監視するために、
チャンバから酸素濃度分析用ガス(サンプリングガス)
を吸引して酸素濃度計に取込み、その酸素濃度を測定す
るようにしている。
けラインで発生した可燃性ガス(アルコール等)が含ま
れていると、酸素濃度計内の検知管が約700℃もの高
温に加熱されているため、その検知管内で可燃性ガスと
酸素とが反応(酸化反応)を起こしてしまい、酸素濃度
計が極端に低い酸素濃度を表示する狂いが生ずる。そこ
で、前記サンプリングガスを可燃性ガス吸着用フィルタ
(活性炭フィルタ)に通し、このフィルタにより可燃性
ガスを吸着除去した上で酸素濃度計に取込むことによ
り、正確な濃度検出が得られるようにしている。
ス量に限界があり、例えばサンプリングガス中のアルコ
ール濃度が高かったり長時間運転したりすると、吸着量
が飽和して酸素濃度計への可燃性ガスの漏出が起こり、
前記のような酸化反応が発生して濃度表示に狂いが生じ
るので、そのような飽和フィルタは廃棄し新しいものと
交換している。
炭を消耗部品としてとらえているが、使用頻度や使用フ
ラックスの違い、ワークの種類、ソルダペースト中の揮
発性成分等の条件が様々に変わるため、一般的な交換サ
イクルを特定できない。よって、従来行われている定期
的なフィルタ交換では対応できないとともに経済的でな
い。また、サンプリングガス流量が多いと活性炭フィル
タの寿命が短くなるからといってサンプリングガス流量
を少なくすると、活性炭フィルタの感度が遅くなる問題
もある。
ので、はんだ付け装置の雰囲気ガス中の酸素濃度を測定
する系において酸素濃度分析用ガス中に含まれる可燃性
ガスを吸着除去するフィルタを効果的に再生できる方法
を提供することを目的とするものである。
置の稼働中に低酸素濃度の雰囲気ガスで満たされたはん
だ付け室から取出した酸素濃度分析用ガスを可燃性ガス
吸着用のフィルタを通して酸素濃度計に取込むはんだ付
け用雰囲気ガスの酸素濃度測定系において、前記はんだ
付け装置の加熱立上げ時および停止立下げ時の少なくと
も一方の時点で、フィルタ再生用ガスを加熱して一定時
間前記フィルタ内を通過させるはんだ付け用雰囲気ガス
フィルタ再生方法である。
は停止立下げ時に、可燃性ガスや堆積可能性のある不純
物を含まない窒素ガス等のフィルタ再生用ガスを加熱し
てフィルタ内を一定時間通過させることにより、フィル
タを再生させる。
して詳細に説明する。
と、ヒータ11および対流ファン12により発生した熱風を
ワークに当てるリフロー式はんだ付け装置Aまたはノズ
ル13から噴流した溶融はんだ14をワーク下面に接触させ
るフロー式はんだ付け装置Bは、窒素ガス等の投入によ
り酸素濃度を下げたはんだ付け室(以下、チャンバ15と
いう)内の低酸素濃度雰囲気ガス中ではんだ付けを行う
ようにしている。
素濃度に保たれているか否かを監視するために、チャン
バ15から酸素濃度分析用ガス(サンプリングガス)を取
出すための管路21が引出され、この管路21はサンプリン
グガス中のフラックスを除去するためのフラックスキャ
ッチャ22に接続され、該キャッチャ22を経た管路23は切
換弁24に接続され、この切換弁24を経た管路25は可燃性
ガス吸着用フィルタ(活性炭フィルタ)26への管路27に
接続され、該フィルタ26から引出された管路28は分岐さ
れた管路29および切換弁30を経てジルコニアセンサ等か
らなる酸素濃度計31に接続されている。
と、液体窒素の入った窒素ボンベ等のフィルタ再生用ガ
ス供給源41に管路42を経て管状ヒータ43の一端が接続さ
れ、このヒータ43の他端から引出された管路44が切換弁
45を経て前記活性炭フィルタ26への管路27に接続され、
さらに、この活性炭フィルタ26より引出された管路28か
ら再生ガス排気管路46が分岐され、この管路46に切換弁
47が設けられている。前記活性炭フィルタ26への管路27
にはヒータ43を制御するための温度センサ48が設けら
れ、活性炭フィルタ26へ供給される再生用ガスの温度
(100〜150℃)がこのセンサ48により設定値に保
たれる。
よいが電磁弁とすることにより、その切換を簡単に行え
るようにする。
は、切換弁24,30を開くとともに切換弁45,47を閉じ
て、低酸素濃度の雰囲気ガス(主として窒素ガス)で満
たされたチャンバ15から酸素濃度分析用のサンプリング
ガスを取出し、このサンプリングガス中のフラックスを
フラックスキャッチャ22により除去し、さらにアルコー
ル等の可燃性ガスを活性炭フィルタ26により吸着除去し
た後、このサンプリングガスを酸素濃度計31に取込んで
チャンバ内雰囲気ガスの酸素濃度を測定する。このチャ
ンバ内酸素濃度が基準値より上昇したら、図示しない窒
素供給手段によりチャンバ15に窒素等の不活性ガスを吹
込み、チャンバ内酸素濃度を下げるように制御する。
熱立上げ時(稼働開始直前)または停止立下げ時(稼働
停止直後)のいずれか一方あるいは両方の時点で、切換
弁24,30を閉じるとともに切換弁45,47を開いて、フィ
ルタ再生用ガス供給源41から液体窒素を気化して得られ
る純粋な(可燃性ガスや堆積可能性のある不純物を含ま
ない)窒素ガスをヒータ43により100〜150℃まで
加熱した後、この高温窒素ガスをフィルタ再生用ガスと
して活性炭フィルタ26内へ供給し、一定時間(約20分
程度)継続的にフィルタ内活性炭を通過させることによ
り、その活性炭を高温の純粋ガスにより再生させる。
に限定されるものではなく、可燃性ガスや堆積可能性の
ある不純物を含まなければ空気でもよく、濾過された清
浄な空気を加熱して活性炭フィルタへ供給してもよい。
に対し分離形であるが、これは一体形としてもよい。す
なわち、活性炭フィルタ26にヒータを巻付け、フィルタ
26に供給された再生用ガスを加熱することにより、結果
としてフィルタ再生用ガスを加熱してフィルタ内を通過
させるようにしてもよい。
ト切換弁であるが、二つの切換弁24,45を一つの3ポー
ト切換弁として、また他の二つの切換弁30,47を一つの
3ポート切換弁としてそれぞれ一体化してもよい。
グは担当者の判断によって決定してもよいが、チャンバ
内の温度に応じてまたはタイマー等により自動的に行っ
てもよい。
立上げ時および停止立下げ時の少なくとも一方の時点で
フィルタ再生用ガスを加熱して一定時間フィルタ内を通
過させることにより、自動運転サイクル中の再生作業で
フィルタ機能を9割以上再生することができ、長期間の
メンテナンスフリー化を実現できる。
管図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 はんだ付け装置の稼働中に低酸素濃度の
雰囲気ガスで満たされたはんだ付け室から取出した酸素
濃度分析用ガスを可燃性ガス吸着用のフィルタを通して
酸素濃度計に取込むはんだ付け用雰囲気ガスの酸素濃度
測定系において、 前記はんだ付け装置の加熱立上げ時および停止立下げ時
の少なくとも一方の時点で、フィルタ再生用ガスを加熱
して一定時間前記フィルタ内を通過させることを特徴と
するはんだ付け用雰囲気ガスフィルタ再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26720692A JP3377229B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | はんだ付け用雰囲気ガスフィルタ再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26720692A JP3377229B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | はんだ付け用雰囲気ガスフィルタ再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117975A true JPH06117975A (ja) | 1994-04-28 |
| JP3377229B2 JP3377229B2 (ja) | 2003-02-17 |
Family
ID=17441608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26720692A Expired - Lifetime JP3377229B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | はんだ付け用雰囲気ガスフィルタ再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3377229B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5233903B2 (ja) * | 2009-08-17 | 2013-07-10 | 千住金属工業株式会社 | はんだ付け用雰囲気ガス測定装置 |
-
1992
- 1992-10-06 JP JP26720692A patent/JP3377229B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3377229B2 (ja) | 2003-02-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0337553A (ja) | ジューテリウム置換水試験法 | |
| JP2000187027A (ja) | 微量有機化合物分析方法及び装置 | |
| JP3377229B2 (ja) | はんだ付け用雰囲気ガスフィルタ再生方法 | |
| JP5233903B2 (ja) | はんだ付け用雰囲気ガス測定装置 | |
| JP3377230B2 (ja) | はんだ付け用雰囲気ガス測定装置 | |
| JP2010523938A (ja) | 水性媒体中の溶存物質の濃度のモニタリング法 | |
| JP6124436B2 (ja) | 水銀濃度測定装置 | |
| JP2000002679A (ja) | におい測定装置 | |
| JP2858143B2 (ja) | 濃縮分析方法及びその装置 | |
| JP2001124748A (ja) | クロロベンゼンの高速分析方法および高速分析装置 | |
| JP2000097890A (ja) | ガス中の水分量測定装置およびクライオポンプ再生終了時の検知方法 | |
| JP4100607B2 (ja) | ガス分析装置及びガス分析方法 | |
| JPH0410898Y2 (ja) | ||
| JPS5883287A (ja) | 放射能サンプリング方法 | |
| JPH0926384A (ja) | 燃焼排ガスのサンプリング方法及び装置 | |
| JPH10227777A (ja) | 呼気分析装置 | |
| JPS626523Y2 (ja) | ||
| JP2000155107A (ja) | ガス測定装置 | |
| JPH075409Y2 (ja) | 試料農縮導入装置 | |
| JP2741778B2 (ja) | ガスの純度測定方法およびその装置 | |
| JPH11230954A (ja) | 気体成分吸着管検査装置 | |
| JP2000266740A (ja) | 元素分析装置 | |
| JPH09178723A (ja) | 全有機炭素計 | |
| JPH06308111A (ja) | 全有機ハロゲン計 | |
| JPH02262055A (ja) | 半導体ウェハの有機物分析方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071206 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081206 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091206 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101206 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101206 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111206 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111206 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121206 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |