JPH06118004A - スタンパ欠陥検査装置 - Google Patents
スタンパ欠陥検査装置Info
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- JPH06118004A JPH06118004A JP26374892A JP26374892A JPH06118004A JP H06118004 A JPH06118004 A JP H06118004A JP 26374892 A JP26374892 A JP 26374892A JP 26374892 A JP26374892 A JP 26374892A JP H06118004 A JPH06118004 A JP H06118004A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スタンパの欠陥検査を精度良く行うことが可
能なスタンパ欠陥検査装置を提供する。 【構成】 欠陥検出部９と、セクタアドレスに併せてセ
クタマーク信号やリシンク信号を検出するセクタアドレ
スデコーダ１０と、セクタマーク信号の検出時点でセッ
トされリシンク信号の検出時点でリセットされるカウン
タ回路を備えたセクタ内位置情報検出回路１３と、欠陥
データやセクタ内アドレスデータをラッチするラッチ回
路１１と、このラッチされたデータが取り込まれるシス
テムコントローラ１２と、リシンク信号の未検出の場合
に第１タイマーの終了信号でカウンタ回路をリセットし
セクタマーク信号で第１タイマーをセットする第１セク
タ内位置情報検出手段と、セクタマーク未検出の場合に
第２タイマーの終了信号でカウンタ回路をセットしリシ
ンク信号で第２タイマーをセットする第２セクタ内位置
情報検出手段とより構成した。
能なスタンパ欠陥検査装置を提供する。 【構成】 欠陥検出部９と、セクタアドレスに併せてセ
クタマーク信号やリシンク信号を検出するセクタアドレ
スデコーダ１０と、セクタマーク信号の検出時点でセッ
トされリシンク信号の検出時点でリセットされるカウン
タ回路を備えたセクタ内位置情報検出回路１３と、欠陥
データやセクタ内アドレスデータをラッチするラッチ回
路１１と、このラッチされたデータが取り込まれるシス
テムコントローラ１２と、リシンク信号の未検出の場合
に第１タイマーの終了信号でカウンタ回路をリセットし
セクタマーク信号で第１タイマーをセットする第１セク
タ内位置情報検出手段と、セクタマーク未検出の場合に
第２タイマーの終了信号でカウンタ回路をセットしリシ
ンク信号で第２タイマーをセットする第２セクタ内位置
情報検出手段とより構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクのスタンパ
の欠陥検査を行うスタンパ欠陥検査装置に関する。
の欠陥検査を行うスタンパ欠陥検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光ディスクのスタンパは、その保
証の一環として、プリフォーマット部の検査及びデータ
部の検査を行っている。この場合、特に、データ部の欠
陥は光ディスクのエラー率に大きく寄与しており、その
細目は重要となる。図１（なお、本図は後述する実施例
中においても用いる）は、スタンパ欠陥検査装置の一例
を示すものであり、スタンパ１からの反射信号は、アク
チュエータ部２を介して信号生成回路３に送られ、これ
によりトラックエラー信号Ｔｒ、フォーカスエラー信号
Ｆｏ、再生信号Ｒｆが生成される。この場合、トラック
エラー信号Ｔｒ、フォーカスエラー信号Ｆｏは、それぞ
れ補償回路４ａ，４ｂを介してアクチュエータコイル５
ａ，５ｂに入力され、トラッキング及びフォーカシング
を行っている。また、トラックエラー信号Ｔｒ、フォー
カスエラー信号Ｆｏは、ＬＰＦ（低域通過フィルタ）６
ａ，６ｂにより低域成分にフィルタリングされ、タイミ
ング信号Ｔによりホールド回路７ａ，７ｂでホールドさ
れ、ＳＷ８ａ，８ｂを介してアクチュエータコイル５
ａ，５ｂにそれぞれ入力される。
証の一環として、プリフォーマット部の検査及びデータ
部の検査を行っている。この場合、特に、データ部の欠
陥は光ディスクのエラー率に大きく寄与しており、その
細目は重要となる。図１（なお、本図は後述する実施例
中においても用いる）は、スタンパ欠陥検査装置の一例
を示すものであり、スタンパ１からの反射信号は、アク
チュエータ部２を介して信号生成回路３に送られ、これ
によりトラックエラー信号Ｔｒ、フォーカスエラー信号
Ｆｏ、再生信号Ｒｆが生成される。この場合、トラック
エラー信号Ｔｒ、フォーカスエラー信号Ｆｏは、それぞ
れ補償回路４ａ，４ｂを介してアクチュエータコイル５
ａ，５ｂに入力され、トラッキング及びフォーカシング
を行っている。また、トラックエラー信号Ｔｒ、フォー
カスエラー信号Ｆｏは、ＬＰＦ（低域通過フィルタ）６
ａ，６ｂにより低域成分にフィルタリングされ、タイミ
ング信号Ｔによりホールド回路７ａ，７ｂでホールドさ
れ、ＳＷ８ａ，８ｂを介してアクチュエータコイル５
ａ，５ｂにそれぞれ入力される。
【０００３】一方、Ｒｆ信号は、欠陥検出部９、セクタ
ーアドレスデコーダ１０にそれぞれ入力されることによ
り、データ部欠陥検出やアドレス検出を行っている。ラ
ッチ回路１１は、欠陥データ、セクターアドレスデー
タ、セクター内位置のラッチ用として用いられ、欠陥検
出時にデータラッチされシステムコントローラ１２に取
り込まれる。
ーアドレスデコーダ１０にそれぞれ入力されることによ
り、データ部欠陥検出やアドレス検出を行っている。ラ
ッチ回路１１は、欠陥データ、セクターアドレスデー
タ、セクター内位置のラッチ用として用いられ、欠陥検
出時にデータラッチされシステムコントローラ１２に取
り込まれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したような図１の
構成において、スタンパ１のデータ部の欠陥部の位置デ
ータは、欠陥発生時点のアドレス（セクタ単位）をラッ
チすることにより得ていた。従って、セクター内の位置
情報はなく、欠陥データの分布やその特性の詳細を解析
するにはデータ不足である。また、スタンパ検査中にフ
ォーカス飛び及びトラック飛びが発生したような場合、
その地点での欠陥検査は困難若しくは不可能となる。
構成において、スタンパ１のデータ部の欠陥部の位置デ
ータは、欠陥発生時点のアドレス（セクタ単位）をラッ
チすることにより得ていた。従って、セクター内の位置
情報はなく、欠陥データの分布やその特性の詳細を解析
するにはデータ不足である。また、スタンパ検査中にフ
ォーカス飛び及びトラック飛びが発生したような場合、
その地点での欠陥検査は困難若しくは不可能となる。
【０００５】そこで、このような問題点を解決するため
に、トラックエラー信号Ｔｒ、フォーカスエラー信号Ｆ
ｏをモニターし、ある一定値以上（スレシュ電圧）とな
ると欠陥とみなし、図１のトラックエラー信号Ｔｒ、フ
ォーカスエラー信号Ｆｏの低周波成分（ＬＰＦ６ａ，６
ｂによりフィルタリングされた信号）をホールドしてＳ
Ｗ７ａ，７ｂを切換えて各アクチュエータコイル５ａ，
５ｂに供給してエラー信号には影響されない駆動を行っ
て制御している。しかし、このような欠陥検出法には、
時間遅れが発生し、欠陥の突入時エラー信号のみだれ
（パルス状）によるアクチュエータの過渡応答的な動き
を防止できない場合があり、デフォーカス、デトラック
状態での検査となり、精度良い測定ができない場合があ
る。
に、トラックエラー信号Ｔｒ、フォーカスエラー信号Ｆ
ｏをモニターし、ある一定値以上（スレシュ電圧）とな
ると欠陥とみなし、図１のトラックエラー信号Ｔｒ、フ
ォーカスエラー信号Ｆｏの低周波成分（ＬＰＦ６ａ，６
ｂによりフィルタリングされた信号）をホールドしてＳ
Ｗ７ａ，７ｂを切換えて各アクチュエータコイル５ａ，
５ｂに供給してエラー信号には影響されない駆動を行っ
て制御している。しかし、このような欠陥検出法には、
時間遅れが発生し、欠陥の突入時エラー信号のみだれ
（パルス状）によるアクチュエータの過渡応答的な動き
を防止できない場合があり、デフォーカス、デトラック
状態での検査となり、精度良い測定ができない場合があ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、光ディスクのスタンパのデータ部の欠陥データを検
出する欠陥検出部と、前記光ディスクのセクタアドレス
に加えてセクタ内アドレスとしてセクタマーク信号やリ
シンク信号を検出するセクタアドレスデコーダと、前記
セクタマーク信号の検出時点でセットされ前記リシンク
信号の検出時点でリセットされるカウンタ回路を備えた
セクタ内位置情報検出回路と、前記欠陥データ及び前記
セクタアドレス及びセクタ内アドレスデータをラッチす
るラッチ回路と、このラッチ回路にラッチされたデータ
が取り込まれるシステムコントローラと、前記リシンク
信号の未検出の場合において第１タイマーの終了信号で
前記カウンタ回路をリセットすると共に前記セクタマー
ク信号で前記第１タイマーをセットする第１セクタ内位
置情報検出手段と、前記セクタマーク未検出の場合にお
いて第２タイマーの終了信号で前記カウンタ回路をセッ
トすると共に前記リシンク信号で前記第２タイマーをセ
ットする第２セクタ内位置情報検出手段とよりスタンパ
欠陥検査装置を構成した。
は、光ディスクのスタンパのデータ部の欠陥データを検
出する欠陥検出部と、前記光ディスクのセクタアドレス
に加えてセクタ内アドレスとしてセクタマーク信号やリ
シンク信号を検出するセクタアドレスデコーダと、前記
セクタマーク信号の検出時点でセットされ前記リシンク
信号の検出時点でリセットされるカウンタ回路を備えた
セクタ内位置情報検出回路と、前記欠陥データ及び前記
セクタアドレス及びセクタ内アドレスデータをラッチす
るラッチ回路と、このラッチ回路にラッチされたデータ
が取り込まれるシステムコントローラと、前記リシンク
信号の未検出の場合において第１タイマーの終了信号で
前記カウンタ回路をリセットすると共に前記セクタマー
ク信号で前記第１タイマーをセットする第１セクタ内位
置情報検出手段と、前記セクタマーク未検出の場合にお
いて第２タイマーの終了信号で前記カウンタ回路をセッ
トすると共に前記リシンク信号で前記第２タイマーをセ
ットする第２セクタ内位置情報検出手段とよりスタンパ
欠陥検査装置を構成した。
【０００７】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、スタンパ検査時においてフォーカス飛び
が発生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセク
タ内位置情報とをシステムコントローラに登録する第１
登録手段と、スタンパ検査時においてトラック飛びが発
生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセクタ内
位置情報とをシステムコントローラに登録する第２登録
手段とを備えるようにした。
発明において、スタンパ検査時においてフォーカス飛び
が発生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセク
タ内位置情報とをシステムコントローラに登録する第１
登録手段と、スタンパ検査時においてトラック飛びが発
生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセクタ内
位置情報とをシステムコントローラに登録する第２登録
手段とを備えるようにした。
【０００８】請求項３記載の発明では、請求項１又は２
記載の発明において、スタンパの再検査時においてフォ
ーカス飛び又はトラック飛びが発生した場合にそれら発
生個所の直前を一致回路にセットしセクターアドレスと
カウンタ回路とが一致した時点でフォーカス制御及びト
ラッキング制御を一定時間ホールドして欠陥検査を行う
欠陥検査手段を設けた。
記載の発明において、スタンパの再検査時においてフォ
ーカス飛び又はトラック飛びが発生した場合にそれら発
生個所の直前を一致回路にセットしセクターアドレスと
カウンタ回路とが一致した時点でフォーカス制御及びト
ラッキング制御を一定時間ホールドして欠陥検査を行う
欠陥検査手段を設けた。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明では、欠陥検出時の位置情
報としてＩＤデータの他に、セクタ内位置情報を得るこ
とができ、これにより欠陥部の詳細な位置情報を得るこ
とが可能となる。
報としてＩＤデータの他に、セクタ内位置情報を得るこ
とができ、これにより欠陥部の詳細な位置情報を得るこ
とが可能となる。
【００１０】請求項２，３記載の発明では、スタンパ検
査時のフォーカス飛びやトラック飛びに対して飛びの発
生地点をセクタ内位置情報としてシステムコントローラ
に取り込み、再検査時に一致回路データとして発生地点
より数クロック手前をセットし、セクタ内位置情報と一
致回路との一致情報で（飛びの手前）エラー信号の低域
成分をアクチュエータに印加することによりエラー信号
の乱れに影響なく制御を行うことが可能となる。
査時のフォーカス飛びやトラック飛びに対して飛びの発
生地点をセクタ内位置情報としてシステムコントローラ
に取り込み、再検査時に一致回路データとして発生地点
より数クロック手前をセットし、セクタ内位置情報と一
致回路との一致情報で（飛びの手前）エラー信号の低域
成分をアクチュエータに印加することによりエラー信号
の乱れに影響なく制御を行うことが可能となる。
【００１１】
【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は、スタンパ欠陥検査装置の全体構成を示すも
のである。セクタアドレスデコーダ１０には、セクタマ
ーク（ＳＭ）信号とリシンク（ＲＥＳＹＮＣ）信号とが
送られるセクタ内位置情報検出回路１３が接続されてい
る。また、第１登録手段と第２登録手段と欠陥検査手段
とは、ラッチ回路１１とシステムコントローラとにより
構成している。図２は、そのセクタ内位置情報検出回路
１３の内部構成を示すものである。本回路は、カウンタ
回路１４と、一致回路１５と、第１〜第３タイマー回路
１６〜１８と、第１〜第３Ｆ／Ｆ回路１９〜２１と、ク
ロック発生回路２２と、インバータ２３と、ＯＲ回路２
４，２５と、ＡＮＤ回路２６，２７とにより構成されて
いる。
る。図１は、スタンパ欠陥検査装置の全体構成を示すも
のである。セクタアドレスデコーダ１０には、セクタマ
ーク（ＳＭ）信号とリシンク（ＲＥＳＹＮＣ）信号とが
送られるセクタ内位置情報検出回路１３が接続されてい
る。また、第１登録手段と第２登録手段と欠陥検査手段
とは、ラッチ回路１１とシステムコントローラとにより
構成している。図２は、そのセクタ内位置情報検出回路
１３の内部構成を示すものである。本回路は、カウンタ
回路１４と、一致回路１５と、第１〜第３タイマー回路
１６〜１８と、第１〜第３Ｆ／Ｆ回路１９〜２１と、ク
ロック発生回路２２と、インバータ２３と、ＯＲ回路２
４，２５と、ＡＮＤ回路２６，２７とにより構成されて
いる。
【００１２】また、セクタ内位置情報検出回路１３は、
第１セクタ内位置情報検出手段と、第２セクタ内位置情
報検出手段とを備えている。この場合、前記第１セクタ
内位置情報検出手段は、ＲＥＳＹＮＣ信号の未検出の場
合において第１タイマー回路１６の終了信号でカウンタ
回路１４をリセットし、ＳＭ信号で第１タイマー回路１
６をセットする。前記第２セクタ内位置情報検出手段
は、セクタマーク未検出の場合において第２タイマー回
路１７の終了信号でカウンタ回路１４をセットしＲＥＳ
ＹＮＣ信号で第２タイマー回路１７をセットする。前記
第１登録手段は、スタンパ検査時においてフォーカス飛
びが発生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセ
クタ内位置情報とをシステムコントローラ１２に登録す
る。前記第２登録手段は、スタンパ検査時においてトラ
ック飛びが発生した場合にその発生場所のセクタアドレ
スとセクタ内位置情報とをシステムコントローラ１２に
登録する。前記欠陥検査手段は、スタンパ１の再検査時
においてフォーカス飛び又はトラック飛びが発生した場
合にそれら発生個所の直前を一致回路１５にセットし、
セクターアドレスとカウンタ回路１４とが一致した時点
でフォーカス制御及びトラッキング制御を一定時間ホー
ルドして欠陥検査を行う。
第１セクタ内位置情報検出手段と、第２セクタ内位置情
報検出手段とを備えている。この場合、前記第１セクタ
内位置情報検出手段は、ＲＥＳＹＮＣ信号の未検出の場
合において第１タイマー回路１６の終了信号でカウンタ
回路１４をリセットし、ＳＭ信号で第１タイマー回路１
６をセットする。前記第２セクタ内位置情報検出手段
は、セクタマーク未検出の場合において第２タイマー回
路１７の終了信号でカウンタ回路１４をセットしＲＥＳ
ＹＮＣ信号で第２タイマー回路１７をセットする。前記
第１登録手段は、スタンパ検査時においてフォーカス飛
びが発生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセ
クタ内位置情報とをシステムコントローラ１２に登録す
る。前記第２登録手段は、スタンパ検査時においてトラ
ック飛びが発生した場合にその発生場所のセクタアドレ
スとセクタ内位置情報とをシステムコントローラ１２に
登録する。前記欠陥検査手段は、スタンパ１の再検査時
においてフォーカス飛び又はトラック飛びが発生した場
合にそれら発生個所の直前を一致回路１５にセットし、
セクターアドレスとカウンタ回路１４とが一致した時点
でフォーカス制御及びトラッキング制御を一定時間ホー
ルドして欠陥検査を行う。
【００１３】このような構成において、セクタ内位置情
報検出回路１３及び上述したような各種手段を用いて、
スタンパ１の欠陥を検出する方法について述べる。ま
ず、その前に、スタンパ１を用いて作製される光磁気デ
ィスク１（ＭＯ９０ｍｍサイズ）のプリフォーマットの
構成を図３に基づいて説明しておく。１個のセクタは、
ＳＭ（セクターマーク）で始まり、ＡＭ（アドレスマー
ク）ＩＤ部（ＴＲＫＮｏ． ，ＳＥＣＴ、ＣＲＣ）、Ｏ
ＤＦ、ＤＡＴＡ部＋ＲＥＳＹＮＣ（リシンク）、ＢＵＦ
Ｆ（バッファ）から構成されている。ＣＡＶ駆動方式に
よる光磁気ディスク上の位置は、ＩＤのトラックＮ
ｏ．、セクタＮｏ．、ＳＭからの経過時間を知れば、半
径、円周方向に精度良い位置情報となる。これにより、
セクタアドレスデコーダ１０から検出されるＴＲＫ Ｎ
ｏ． 、ＳＥＣＴ Ｎｏ． と併せて、ＳＭ検出からの時
間検出をカウンタ回路１４により行う。
報検出回路１３及び上述したような各種手段を用いて、
スタンパ１の欠陥を検出する方法について述べる。ま
ず、その前に、スタンパ１を用いて作製される光磁気デ
ィスク１（ＭＯ９０ｍｍサイズ）のプリフォーマットの
構成を図３に基づいて説明しておく。１個のセクタは、
ＳＭ（セクターマーク）で始まり、ＡＭ（アドレスマー
ク）ＩＤ部（ＴＲＫＮｏ． ，ＳＥＣＴ、ＣＲＣ）、Ｏ
ＤＦ、ＤＡＴＡ部＋ＲＥＳＹＮＣ（リシンク）、ＢＵＦ
Ｆ（バッファ）から構成されている。ＣＡＶ駆動方式に
よる光磁気ディスク上の位置は、ＩＤのトラックＮ
ｏ．、セクタＮｏ．、ＳＭからの経過時間を知れば、半
径、円周方向に精度良い位置情報となる。これにより、
セクタアドレスデコーダ１０から検出されるＴＲＫ Ｎ
ｏ． 、ＳＥＣＴ Ｎｏ． と併せて、ＳＭ検出からの時
間検出をカウンタ回路１４により行う。
【００１４】次に、セクタ内位置情報検出回路１３内の
動作を図２の構成及び図４のタイミングチャートを用い
て説明する。まず、ＳＭ信号及びＲＥＳＹＮＣ信号は、
セクタアドレスデコーダ１０により検出され、セクタ内
位置情報検出回路１３に送られる。ＳＭ信号の立下りで
第１Ｆ／Ｆ回路１９がセットされ、そのＱ出力とクロッ
ク発生回路２２とのＡＮＤがＡＮＤ回路２６によりとら
れ、これによりカウンタ回路１４が動作する。このカウ
ンタ回路１４のデータ値Ｄ0 〜Ｄn は、ラッチ回路１１
に入力されて欠陥検出信号によりラッチされ、ＩＤデー
タと共にシステムコントローラ１２に取り込まれる。ま
た、カウンタ回路１４のリセットは、ＲＥＳＹＮＣ信号
がインバータ２３を介すことによりインバート信号の立
下りでリセットされ、次のＳＭ信号までＲＥＳＥＴ状態
を保持する。
動作を図２の構成及び図４のタイミングチャートを用い
て説明する。まず、ＳＭ信号及びＲＥＳＹＮＣ信号は、
セクタアドレスデコーダ１０により検出され、セクタ内
位置情報検出回路１３に送られる。ＳＭ信号の立下りで
第１Ｆ／Ｆ回路１９がセットされ、そのＱ出力とクロッ
ク発生回路２２とのＡＮＤがＡＮＤ回路２６によりとら
れ、これによりカウンタ回路１４が動作する。このカウ
ンタ回路１４のデータ値Ｄ0 〜Ｄn は、ラッチ回路１１
に入力されて欠陥検出信号によりラッチされ、ＩＤデー
タと共にシステムコントローラ１２に取り込まれる。ま
た、カウンタ回路１４のリセットは、ＲＥＳＹＮＣ信号
がインバータ２３を介すことによりインバート信号の立
下りでリセットされ、次のＳＭ信号までＲＥＳＥＴ状態
を保持する。
【００１５】この時、ＳＭ信号が未検出の場合、その前
のセクタのＲＥＳＹＮＣ信号により第２タイマー回路１
７がセットされており、そのタイマー終了時の立下り
（Ｑ出力）で第２Ｆ／Ｆ回路２０がセットされる。Ｂ点
（ＯＲ回路２５の出力時）で、第１Ｆ／Ｆ回路１９と第
２Ｆ／Ｆ回路２０とのＯＲがとられるため、第２Ｆ／Ｆ
回路２０が有効となり、カウンタ回路１４は動作を開始
する。
のセクタのＲＥＳＹＮＣ信号により第２タイマー回路１
７がセットされており、そのタイマー終了時の立下り
（Ｑ出力）で第２Ｆ／Ｆ回路２０がセットされる。Ｂ点
（ＯＲ回路２５の出力時）で、第１Ｆ／Ｆ回路１９と第
２Ｆ／Ｆ回路２０とのＯＲがとられるため、第２Ｆ／Ｆ
回路２０が有効となり、カウンタ回路１４は動作を開始
する。
【００１６】次に、ＲＥＳＹＮＣ信号が未検出の場合、
当セクタのＳＭ信号の立下りで第１タイマー回路１６が
セットされ、Ａ点（ＯＲ回路２４の出力時）で第１タイ
マー回路１６とＲＥＳＹＮＣ信号のインバータ２３を介
して得られたインバート信号とのＯＲがとられているた
め、第１タイマー回路１６の終了時の立下りでカウンタ
回路１４はＲＥＳＥＴされる。また、第１，第２Ｆ／Ｆ
回路１９，２０は、カウンタ回路１４と同時期にリセッ
トされる。以上のような一連の動作により、スタンパ１
の欠陥発生位置、すなわち、セクタアドレスとセクタ内
位置情報を検出することができる。なお、クロック発生
回路２２の同期を種々変更することにより、セクタ内位
置検出の分解能を設定することができる（ここまでの動
作説明は、請求項１に対応する）。
当セクタのＳＭ信号の立下りで第１タイマー回路１６が
セットされ、Ａ点（ＯＲ回路２４の出力時）で第１タイ
マー回路１６とＲＥＳＹＮＣ信号のインバータ２３を介
して得られたインバート信号とのＯＲがとられているた
め、第１タイマー回路１６の終了時の立下りでカウンタ
回路１４はＲＥＳＥＴされる。また、第１，第２Ｆ／Ｆ
回路１９，２０は、カウンタ回路１４と同時期にリセッ
トされる。以上のような一連の動作により、スタンパ１
の欠陥発生位置、すなわち、セクタアドレスとセクタ内
位置情報を検出することができる。なお、クロック発生
回路２２の同期を種々変更することにより、セクタ内位
置検出の分解能を設定することができる（ここまでの動
作説明は、請求項１に対応する）。
【００１７】次に、スタンパ１にフォーカス飛び或いは
トラック飛びが発生した場合の処理方法について述べ
る。まず、欠陥検査中、フォーカス飛び或いはトラック
飛びが発生すれば、その発生地点にトリガーされてＩＤ
（トラックＮｏ．、セクタＮｏ．）及びセクタ内位置デ
ータをラッチ回路１１によりシステムコントローラ１２
に取込み、これによりシステムコントローラ１２内に登
録することができる（ここまでの動作説明は、請求項２
に対応する）。
トラック飛びが発生した場合の処理方法について述べ
る。まず、欠陥検査中、フォーカス飛び或いはトラック
飛びが発生すれば、その発生地点にトリガーされてＩＤ
（トラックＮｏ．、セクタＮｏ．）及びセクタ内位置デ
ータをラッチ回路１１によりシステムコントローラ１２
に取込み、これによりシステムコントローラ１２内に登
録することができる（ここまでの動作説明は、請求項２
に対応する）。
【００１８】また、スタンパ検査において、フォーカス
飛び及びトラック飛びが発生した場合、その地点の欠陥
検査は困難若しくは不正確になる。そこで、フォーカス
飛び及びトラック飛びの発生地点を登録しておき、再検
査時（飛びがあった部分）にシステムコントローラ１２
は発生地点のセクタ内位置データの数クロック分手前の
データを一致回路１５にセットしておき、その一致回路
１５をｄｉｓａｂｌｅの状態にして置く。次に、システ
ムコントローラ１２は、欠陥発生地点のトラックＮｏ．
及び１つ手前のセクタＮｏ．までシークし、その終了地
点をＥＮＡＢＬＥとする。このＥＮＡＢＬＥ信号は、Ｒ
ＥＳＹＮＣ信号の立下りによる第３Ｆ／Ｆ回路２１のＱ
出力とのＡＮＤをＡＮＤ回路２７によりとられ、一致回
路１５のＥＮ端子に入力される。システムコントローラ
１２はＥＮＡＢＬＥ信号を１セクタ相当の時間セットし
ておく。なお、そのセット方法としては、ソフトタイマ
ー或いはリードタイマーを用いて行う。そして、一致回
路１５がＥＮＡＢＬＥ状態でカウンタ回路１４のセクタ
内位置データとの一致がとられた時（この地点は飛びの
発生地点より少し手前となる）に第３タイマー回路１８
はオンされ、これによりタイミング信号Ｔが発生する。
このタイミング信号Ｔによりアクチュエータ制御部のホ
ールド回路７ａ，７ｂがオンし、かつ、ＳＷ８ａ，８ｂ
の切換えが行われ、アクチュエータコイル５ａ，５ｂに
はそれぞれフォーカスエラー信号Ｆｏ、トラックエラー
信号Ｔｒの低域成分が印加され、これによりエラー信号
の影響を受けない安定した制御を行うことができる。従
って、このような状態でスタンパ１の欠陥検査を行うこ
とにより、スタンパ表面の状態を精度良く検査すること
ができる。なお、第３タイマー回路１８の設定時間は、
微小欠陥を想定して数クロック分に相当する値を選ぶ
（ここまでの動作説明は、請求項３に対応する）。
飛び及びトラック飛びが発生した場合、その地点の欠陥
検査は困難若しくは不正確になる。そこで、フォーカス
飛び及びトラック飛びの発生地点を登録しておき、再検
査時（飛びがあった部分）にシステムコントローラ１２
は発生地点のセクタ内位置データの数クロック分手前の
データを一致回路１５にセットしておき、その一致回路
１５をｄｉｓａｂｌｅの状態にして置く。次に、システ
ムコントローラ１２は、欠陥発生地点のトラックＮｏ．
及び１つ手前のセクタＮｏ．までシークし、その終了地
点をＥＮＡＢＬＥとする。このＥＮＡＢＬＥ信号は、Ｒ
ＥＳＹＮＣ信号の立下りによる第３Ｆ／Ｆ回路２１のＱ
出力とのＡＮＤをＡＮＤ回路２７によりとられ、一致回
路１５のＥＮ端子に入力される。システムコントローラ
１２はＥＮＡＢＬＥ信号を１セクタ相当の時間セットし
ておく。なお、そのセット方法としては、ソフトタイマ
ー或いはリードタイマーを用いて行う。そして、一致回
路１５がＥＮＡＢＬＥ状態でカウンタ回路１４のセクタ
内位置データとの一致がとられた時（この地点は飛びの
発生地点より少し手前となる）に第３タイマー回路１８
はオンされ、これによりタイミング信号Ｔが発生する。
このタイミング信号Ｔによりアクチュエータ制御部のホ
ールド回路７ａ，７ｂがオンし、かつ、ＳＷ８ａ，８ｂ
の切換えが行われ、アクチュエータコイル５ａ，５ｂに
はそれぞれフォーカスエラー信号Ｆｏ、トラックエラー
信号Ｔｒの低域成分が印加され、これによりエラー信号
の影響を受けない安定した制御を行うことができる。従
って、このような状態でスタンパ１の欠陥検査を行うこ
とにより、スタンパ表面の状態を精度良く検査すること
ができる。なお、第３タイマー回路１８の設定時間は、
微小欠陥を想定して数クロック分に相当する値を選ぶ
（ここまでの動作説明は、請求項３に対応する）。
【００１９】上述したように、欠陥検出時の位置情報と
してＩＤデータの他に、セクタ内位置情報を得ることが
でき、これにより欠陥部の詳細な位置情報を得ることが
できるため、スタンパ１の欠陥マップ当の解析を精度良
く行うことができる。
してＩＤデータの他に、セクタ内位置情報を得ることが
でき、これにより欠陥部の詳細な位置情報を得ることが
できるため、スタンパ１の欠陥マップ当の解析を精度良
く行うことができる。
【００２０】また、スタンパ検査時のフォーカス飛びや
トラック飛びに対して飛びの発生地点をセクタ内位置情
報としてシステムコントローラに取り込み、再検査時に
一致回路データとして発生地点より数クロック手前をセ
ットし、セクタ内位置情報と一致回路との一致情報で
（飛びの手前）エラー信号の低域成分をアクチュエータ
に印加することによりエラー信号の乱れに影響なく制御
を行うことができ、これにより欠陥検査を精度良く行う
ことができる。
トラック飛びに対して飛びの発生地点をセクタ内位置情
報としてシステムコントローラに取り込み、再検査時に
一致回路データとして発生地点より数クロック手前をセ
ットし、セクタ内位置情報と一致回路との一致情報で
（飛びの手前）エラー信号の低域成分をアクチュエータ
に印加することによりエラー信号の乱れに影響なく制御
を行うことができ、これにより欠陥検査を精度良く行う
ことができる。
【００２１】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、光ディスクのス
タンパのデータ部の欠陥データを検出する欠陥検出部
と、前記光ディスクのセクタアドレスに併せてセクタ内
アドレスとしてセクタマーク信号やリシンク信号を検出
するセクタアドレスデコーダと、前記セクタマーク信号
の検出時点でセットされ前記リシンク信号の検出時点で
リセットされるカウンタ回路を備えたセクタ内位置情報
検出回路と、前記欠陥データ及び前記セクタアドレス及
びセクタ内アドレスデータをラッチするラッチ回路と、
このラッチ回路にラッチされたデータが取り込まれるシ
ステムコントローラと、前記リシンク信号の未検出の場
合において第１タイマーの終了信号で前記カウンタ回路
をリセットすると共に前記セクタマーク信号で前記第１
タイマーをセットする第１セクタ内位置情報検出手段
と、前記セクタマーク未検出の場合において第２タイマ
ーの終了信号で前記カウンタ回路をセットすると共に前
記リシンク信号で前記第２タイマーをセットする第２セ
クタ内位置情報検出手段とよりスタンパ欠陥検査装置を
構成したので、欠陥検出時の位置情報としてＩＤデータ
の他にセクタ内位置情報を得ることができ、これにより
欠陥部の詳細な位置情報を得られるため、欠陥マップ等
の解析を精度良く行うことができるものである。
タンパのデータ部の欠陥データを検出する欠陥検出部
と、前記光ディスクのセクタアドレスに併せてセクタ内
アドレスとしてセクタマーク信号やリシンク信号を検出
するセクタアドレスデコーダと、前記セクタマーク信号
の検出時点でセットされ前記リシンク信号の検出時点で
リセットされるカウンタ回路を備えたセクタ内位置情報
検出回路と、前記欠陥データ及び前記セクタアドレス及
びセクタ内アドレスデータをラッチするラッチ回路と、
このラッチ回路にラッチされたデータが取り込まれるシ
ステムコントローラと、前記リシンク信号の未検出の場
合において第１タイマーの終了信号で前記カウンタ回路
をリセットすると共に前記セクタマーク信号で前記第１
タイマーをセットする第１セクタ内位置情報検出手段
と、前記セクタマーク未検出の場合において第２タイマ
ーの終了信号で前記カウンタ回路をセットすると共に前
記リシンク信号で前記第２タイマーをセットする第２セ
クタ内位置情報検出手段とよりスタンパ欠陥検査装置を
構成したので、欠陥検出時の位置情報としてＩＤデータ
の他にセクタ内位置情報を得ることができ、これにより
欠陥部の詳細な位置情報を得られるため、欠陥マップ等
の解析を精度良く行うことができるものである。
【００２２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、スタンパ検査時においてフォーカス飛びが
発生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセクタ
内位置情報とをシステムコントローラに登録する第１登
録手段と、スタンパ検査時においてトラック飛びが発生
した場合にその発生場所のセクタアドレスとセクタ内位
置情報とをシステムコントローラに登録する第２登録手
段とを備えるようにしたので、スタンパ検査時のフォー
カス飛びやトラック飛びに対して飛びの発生地点をセク
タ内位置情報としてシステムコントローラに取り込むこ
とができ、これによりシステム内に欠陥情報を登録する
ことができるものである。
明において、スタンパ検査時においてフォーカス飛びが
発生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセクタ
内位置情報とをシステムコントローラに登録する第１登
録手段と、スタンパ検査時においてトラック飛びが発生
した場合にその発生場所のセクタアドレスとセクタ内位
置情報とをシステムコントローラに登録する第２登録手
段とを備えるようにしたので、スタンパ検査時のフォー
カス飛びやトラック飛びに対して飛びの発生地点をセク
タ内位置情報としてシステムコントローラに取り込むこ
とができ、これによりシステム内に欠陥情報を登録する
ことができるものである。
【００２３】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、スタンパの再検査時においてフォー
カス飛び又はトラック飛びが発生した場合にそれら発生
個所の直前を一致回路にセットしセクターアドレスとカ
ウンタ回路とが一致した時点でフォーカス制御及びトラ
ッキング制御を一定時間ホールドして欠陥検査を行う欠
陥検査手段を設けたので、再検査時に一致回路データと
して発生地点より数クロック手前をセットし、セクタ内
位置情報と一致回路との一致情報で（飛びの手前）エラ
ー信号の低域成分をアクチュエータに印加することによ
り、エラー信号の乱れに影響なく制御を行うことがで
き、これにより欠陥検査を精度良く行うことができるも
のである。
載の発明において、スタンパの再検査時においてフォー
カス飛び又はトラック飛びが発生した場合にそれら発生
個所の直前を一致回路にセットしセクターアドレスとカ
ウンタ回路とが一致した時点でフォーカス制御及びトラ
ッキング制御を一定時間ホールドして欠陥検査を行う欠
陥検査手段を設けたので、再検査時に一致回路データと
して発生地点より数クロック手前をセットし、セクタ内
位置情報と一致回路との一致情報で（飛びの手前）エラ
ー信号の低域成分をアクチュエータに印加することによ
り、エラー信号の乱れに影響なく制御を行うことがで
き、これにより欠陥検査を精度良く行うことができるも
のである。
【図１】本発明の一実施例であるスタンパ欠陥検査装置
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図２】セクタ内位置情報検出回路内の構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図３】光磁気ディスク内のセクタ構成例を示す模式図
である。
である。
【図４】タイミングチャートである。
９ 欠陥検出部 １０ セクタアドレスデコーダ １１ ラッチ回路 １２ システムコントローラ １３ セクタ内位置情報検出回路 １４ カウンタ回路 １５ 一致回路
Claims (3)
- 【請求項１】 光ディスクのスタンパのデータ部の欠陥
データを検出する欠陥検出部と、前記光ディスクのセク
タアドレスに加えてセクタ内アドレスとしてセクタマー
ク信号やリシンク信号を検出するセクタアドレスデコー
ダと、前記セクタマーク信号の検出時点でセットされ前
記リシンク信号の検出時点でリセットされるカウンタ回
路を備えたセクタ内位置情報検出回路と、前記欠陥デー
タ及び前記セクタアドレス及びセクタ内アドレスデータ
をラッチするラッチ回路と、このラッチ回路にラッチさ
れたデータが取り込まれるシステムコントローラと、前
記リシンク信号の未検出の場合において第１タイマーの
終了信号で前記カウンタ回路をリセットすると共に前記
セクタマーク信号で前記第１タイマーをセットする第１
セクタ内位置情報検出手段と、前記セクタマーク未検出
の場合において第２タイマーの終了信号で前記カウンタ
回路をセットすると共に前記リシンク信号で前記第２タ
イマーをセットする第２セクタ内位置情報検出手段とよ
りなることを特徴とするスタンパ欠陥検査装置。 - 【請求項２】 スタンパ検査時においてフォーカス飛び
が発生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセク
タ内位置情報とをシステムコントローラに登録する第１
登録手段と、スタンパ検査時においてトラック飛びが発
生した場合にその発生場所のセクタアドレスとセクタ内
位置情報とをシステムコントローラに登録する第２登録
手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載のスタン
パ欠陥検査装置。 - 【請求項３】 スタンパの再検査時においてフォーカス
飛び又はトラック飛びが発生した場合にそれら発生個所
の直前を一致回路にセットしセクターアドレスとカウン
タ回路とが一致した時点でフォーカス制御及びトラッキ
ング制御を一定時間ホールドして欠陥検査を行う欠陥検
査手段を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の
スタンパ欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26374892A JPH06118004A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | スタンパ欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26374892A JPH06118004A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | スタンパ欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06118004A true JPH06118004A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17393745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26374892A Pending JPH06118004A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | スタンパ欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06118004A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1011808A (ja) * | 1996-06-26 | 1998-01-16 | Toshiba Emi Ltd | 光ディスク用再生検査装置 |
-
1992
- 1992-10-01 JP JP26374892A patent/JPH06118004A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1011808A (ja) * | 1996-06-26 | 1998-01-16 | Toshiba Emi Ltd | 光ディスク用再生検査装置 |
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