JPH06223527A

JPH06223527A - Ｃｄ−ｒディスク欠陥検査機

Info

Publication number: JPH06223527A
Application number: JP1340693A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Shimizu; 明彦清水
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1993-01-29
Filing date: 1993-01-29
Publication date: 1994-08-12

Abstract

(57)【要約】【目的】ＣＤ−Ｒディスクの欠陥を確実に検出し、Ｃ
Ｄ−Ｒディスクの品質を保証するＣＤ−Ｒディスク欠陥
検査機を提供することを目的とする。【構成】ＣＤ−Ｒディスクにレーザビームを照射しそ
のＣＤ−Ｒディスクの作製上発生するディスク記録面や
基板のキズによる欠陥部をＲＦ信号の乱れとして検出す
る欠陥検出回路を備えたＣＤ−Ｒディスク欠陥検査機に
おいて、ＲＦ信号におけるグルーブレベルを１００％に
した時、この１００％に対して８０〜９０％のレベルに
設定された第１スライスレベルＳＬと１００％に対して
１１０〜１２０％のレベルに設定された第２スライスレ
ベルＳＨとの２つのスライスレベルを配し、これら２つ
のスライスレベルをもとにＲＦ信号１０から欠陥信号Ｄ
Ｆを生成する欠陥信号生成手段を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＣＤ−Ｒディスク欠陥
検査機に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１６は、ＣＤ−Ｒディスク用欠陥検査
機に接続される再生装置の構成例を示すものである。Ｃ
Ｄ−Ｒディスク１はターンテーブル２上で回転されるよ
うになっている。今、半導体レーザ３から出射されたレ
ーザビームは偏光ビームスプリッタ４、λ／４板５を通
過して対物レンズアクチュエータ６に保持された対物レ
ンズ７に入射されることにより、ＣＤ−Ｒディスク１の
面上に集光照射される。そのディスク面からの反射光は
対物レンズ７、λ／４板５を再び通過した後、偏光ビー
ムスプリッタ４により反射されてフォトディテクタ８に
検出される。このフォトディテクタ８により光電変換さ
れＲＦ信号を得、その後アンプ９により増幅されること
によりディスクの欠陥検出用信号として処理される。

【０００３】上述したようなＣＤ−Ｒディスク１におい
ては、その作製上発生するディスク記録表面の欠陥や、
基板面のキズの検査方法として、従来の工程内での目視
観察による方法や、実際の記録再生上使用するフォーカ
スビームよりも大口径の例えばφ１ｍｍ程度のキズ欠陥
検査機を利用する方法などがある。この場合、目視検査
法では、表面検査ランプなどの強い光源を光ディスクに
照射し、その反射光を観察する。欠陥部を見やすくする
ために、偏光板を介してみると、検出しやすくなる。ま
た、キズ欠陥検査法では、光源に例えばＨｅ−Ｎｅレー
ザ光源を用い、このレーザ光源を対物レンズを用いて光
ディスクの記録面上にフォーカスする。この反射光をフ
ォトディテクタにより光電変換し欠陥による反射光量の
乱れを電気的に検出する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の検査方法では、
目視、又は、キズ欠陥検査機（大口径のフォーカスビー
ムを用いた）で光ディスクの欠陥を検出していたが、こ
の方法は短時間に欠陥が検査できるという利点がある。
しかし、ＣＤ−Ｒディスクではエラーが発生する欠陥長
が数μｍの欠陥であるのに対して、目視検査では個人差
はあるが数１００μｍ単位の分解能であり、キズ欠陥検
査ではフォーカスビーム径φ１ｍｍ程度の時、数１０μ
ｍ単位の分解能である。このため、欠陥検査の分解能と
して、目視検査や、キズ欠陥検査機では十分ではない。

【０００５】また、ＣＤ−Ｒディスクの実用上、ＣＵエ
ラー（エラー訂正不可能なエラー）は１００μｍ程度の
バースト欠陥で発生するが、数μｍ程度の欠陥が１秒間
に数１０個集まることによってＣＵエラーになる場合も
ある。このようなことから、ＣＤ−Ｒディスクをデータ
ファイルとして使用する場合、数μｍの欠陥検査機を使
用しないと、ＣＤ−Ｒディスクの品質保証はできない。
このようなＣＵエラーが発生すると、ＣＤフォーマット
で使用されるＥＦＭ変調ではエラー訂正ができずに、デ
ータを正確に再生できないという致命的なエラーが発生
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、ＣＤ−Ｒディスク（記録再生可能なディスク）にレ
ーザビームを照射することによりそのＣＤ−Ｒディスク
の作製上発生するディスク記録面や基板のキズによる欠
陥部をＲＦ信号（再生信号）の乱れとして検出する欠陥
検出回路を備えたＣＤ−Ｒディスク欠陥検査機におい
て、前記ＲＦ信号におけるグルーブレベルを１００％に
した時、この１００％に対して８０〜９０％のレベルに
設定された第１スライスレベルと前記１００％に対して
１１０〜１２０％のレベルに設定された第２スライスレ
ベルとの２つのスライスレベルを配し、これら２つのス
ライスレベルをもとに前記ＲＦ信号から欠陥信号を生成
する欠陥信号生成手段を設けた。

【０００７】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、ＲＦ信号のグルーブ出力が入力される１
００ＫＨｚ以下のローパスフィルタと、このローパスフ
ィルタに接続され所定の第１スライスレベルと第２スラ
イスレベルとを生成する増幅器とを有するスライスレベ
ル発生手段を設けた。

【０００８】請求項３記載の発明では、請求項１記載の
発明において、欠陥信号をユニバーサルカウンタにてカ
ウントし、毎秒ごとの欠陥の個数を算出する欠陥個数検
出手段を設けた。

【０００９】請求項４記載の発明では、請求項１記載の
発明において、欠陥信号と基準クロックパルス信号との
論理和をとり欠陥長パルス信号を生成する欠陥長パルス
信号生成手段を設け、基準クロックパルス周波数をｆ
（Ｈｚ）とし、ディスク線速度をＶ（ｍ／ｓ）とした
時、前記欠陥長パルス信号をユニバーサルカウンタでカ
ウントし、このカウントされた欠陥長パルス信号のパル
ス数Ｐから毎秒ごとの総欠陥長Ｌを、Ｌ＝（Ｐ／ｆ）＊Ｖ（ｍ）により算出する総欠陥長算出手段を設けた。

【００１０】請求項５記載の発明では、請求項４記載の
発明において、基準クロックパルス信号の周波数ｆ（Ｈ
ｚ）と、ディスク線速度Ｖ（ｍ／ｓ）との関係が、ｆ＝Ｖ／ｎ（ｎ＝１，２…）となるように設定した。

【００１１】請求項６記載の発明では、請求項４記載の
発明において、欠陥長パルス信号をカウントするバイナ
リカウンタと、このカウント値とバーストエラーとして
設定されたカウント値とを比較しバーストエラーを検出
するコンパレータとを有するバーストエラー検出手段を
設けた。

【００１２】請求項７記載の発明では、請求項６記載の
発明において、コンパレータは、バーストエラーとして
検出させるために欠陥長で１０μｍに相当するカウント
値の設定された第１コンパレータと、バーストエラーと
して検出させるために欠陥長で１００μｍに相当するカ
ウント値の設定された第２コンパレータとより構成し
た。

【００１３】請求項８記載の発明では、請求項６記載の
発明において、バーストエラー信号をユニバーサルカウ
ンタでカウントし、毎秒ごとのバーストエラー欠陥の個
数を算出するバーストエラー欠陥個数算出手段を設け
た。

【００１４】請求項９記載の発明では、請求項１記載の
発明において、欠陥個数、総欠陥長、バーストエラー個
数の欠陥データを同時に算出するユニバーサルカウンタ
と、これら算出された欠陥データを毎秒ごとに編集する
編集手段と、この編集された欠陥データを画面上に表示
する欠陥データ表示手段とを備えるようにした。

【００１５】請求項１０記載の発明では、請求項１記載
の発明において、欠陥個数、総欠陥長、バーストエラー
個数の欠陥データを同時に算出するユニバーサルカウン
タと、これら算出された欠陥データを毎秒ごとに編集す
る編集手段と、この編集された欠陥データを記憶するメ
モリと、ディスク検査終了後に前記欠陥データを前記メ
モリの各記録領域毎にバーストエラー個数、総欠陥長、
平均欠陥長、総欠陥数、欠陥率を印字する欠陥データ印
字手段とを備えるようにした。

【００１６】

【作用】請求項１，２記載の発明では、グルーブレベル
に対して２つのスライスレベルを設定したことにより、
ディスクの欠陥を確実に検出することが可能となる。

【００１７】請求項３記載の発明では、検出した欠陥信
号をユニバーサルカウンタを用いて欠陥個数をカウント
することにより、その欠陥個数を正確に算出することが
可能となる。

【００１８】請求項４，５記載の発明では、ディスク線
速度と基準クロックパルス周波数とを適確に組合わせし
ているため、欠陥長を正確に算出することが可能とな
る。

【００１９】請求項６〜８記載の発明では、適確にバー
ストエラー値を設定し、カウンタとコンパレータとで比
較することによりバーストエラー信号のパルスを発生さ
せているため、バーストエラーを正確に検出することが
可能となる。

【００２０】請求項９記載の発明では、欠陥データを検
査中にモニタすることによって検査データを迅速に知る
ことができ、これによりその場で良否を判断することが
可能となる。

【００２１】請求項１０記載の発明では、欠陥データを
詳細に解析できるため、ＣＤ−Ｒディスクの欠陥品質を
個々のディスクで保証することが可能となる。

【００２２】

【実施例】請求項１，２記載の発明の一実施例を図１〜
図３に基づいて説明する。なお、従来技術（図１６参
照）と同一部分についての説明は省略し、その同一部分
については同一符号を用いる。

【００２３】図１（ａ）（ｂ）は、ＲＦ信号１０からＣ
Ｄ−Ｒディスク１の欠陥部（ＣＤ−Ｒディスク１の作製
上発生するディスク記録面や基板面のキズ）を検出する
スライスレベルの配置を示したものである。この場合、
図１（ａ）において、ＲＦ信号１０におけるグルーブレ
ベルＧＬを１００％にした時、欠陥により反射光量が低
下する領域の欠陥部ａを検出するための第１スライスレ
ベルとしてのスライスレベルＳＬの範囲Ａを８０〜９０
％に設定し、また、欠陥により反射光量が増加する領域
の欠陥部ｂを検出するための第２スライスレベルとして
のスライスレベルＳＨの範囲Ｂを１１０〜１２０％に設
定した。すなわち、８０％≦Ａ≦９０％１１０％≦Ｂ≦１２０％の範囲内に設定した。そして、このような２つのスライ
スレベルＳＬ，ＳＨから求められる欠陥信号ＤＦの値
は、図１（ｂ）に示すような波形となる。なお、このよ
うなスライスレベルＳＬ，ＳＨの値は、本実施例により
検出された欠陥長と、顕微鏡観察により測定された欠陥
長とがほぼ一致する点から設定されている。

【００２４】図２は、上述したようなスライスレベルＳ
Ｌ，ＳＨをもとに、ＲＦ信号１０から欠陥信号ＤＦを生
成する欠陥信号生成手段としての欠陥信号生成回路１１
の構成を示すものである。この欠陥信号生成回路１１
は、２個のコンパレータ１２ａ，１２ｂと、ＯＲ回路１
３とより構成されている。

【００２５】図３は、スライスレベルＳＬ，ＳＨを生成
するスライスレベル発生手段としてのスライスレベル発
生回路１４の構成を示すものである。このスライスレベ
ル発生回路１４は、ＲＦ信号１０のグルーブ出力が入力
されるローパスフィルタ１５と、このローパスフィルタ
１５に接続され所定のスライスレベルＳＬとスライスレ
ベルＳＨとを生成する増幅器１６ａ，１６ｂとからなっ
ている。この場合、ローパスフィルタ１５は１００ＫＨ
ｚ以下の特性をもち、増幅器１６ａはＢ＝１１０％の時
は１．１倍（Ｂ＝１２０％の時は１．２倍）であり、増
幅器１６ｂはＡ＝９０％の時は０．９倍（Ａ＝８０％の
時は０．８倍）に設定される。このスライスレベルＳ
Ｌ，ＳＨはＲＦ信号から生成することにより、ディスク
の反射光による低周波のゆらぎによる欠陥誤検出の発生
を防止している。従って、上述したような欠陥信号生成
回路１１とスライスレベル発生回路１４とを用いて構成
しスライスレベルＳＬ，ＳＨを設定したことによって、
ＣＤ−Ｒディスク１の欠陥を確実に検出することができ
る。

【００２６】次に、請求項３〜８記載の発明の一実施例
を図４〜図７に基づいて説明する。なお、前述した請求
項１，２記載の発明と同一部分についての説明は省略
し、その同一部分については同一符号を用いる。

【００２７】図４は、本発明のシステム構成をブロック
化して示すものである。本システムは、ＣＤ−Ｒディス
ク１を搭載したＣＤ−Ｒプレーヤ１７（前述した図１６
の再生装置に相当するもの）と、これより検出されたＲ
Ｆ信号が送られ欠陥の検出が行われる欠陥検出回路１８
と、この欠陥検出回路１８から欠陥信号ＤＦ等が送られ
るユニバーサルカウンタ１９と、ユニバーサルカウンタ
１９から送られた欠陥データをもとに演算処理等を行う
コンピュータ２０とに大別される。

【００２８】図５は、欠陥検出回路１８の内部構成を示
すものである。前述した図２の欠陥信号生成回路１１に
より検出された欠陥信号ＤＦはユニバーサルカウンタ１
９にてカウントされ、コンピュータ２０に送られること
によって、図示しない欠陥個数検出手段を用いて毎秒ご
との欠陥の個数を算出することができる。従って、この
ようにユニバーサルカウンタ１９にて欠陥個数をカウン
トすることにより、欠陥個数を正確に算出することがで
きる。

【００２９】また、欠陥信号ＤＦは、基準クロックパル
ス信号ＣＬＫとともに欠陥長パルス信号生成手段として
のＡＮＤ回路２１に入力されることにより論理和がとら
れ欠陥長パルス信号ＬＧが生成される。図６（ａ）〜
（ｃ）は、欠陥信号ＤＦ、基準クロックパルス信号ＣＬ
Ｋ、欠陥長パルス信号ＬＧの関係を示すものである。

【００３０】今、基準クロックパルス信号ＣＬＫの周波
数をｆ（Ｈｚ）とし、ディスク線速度をＶ（ｍ／ｓ）と
した時、欠陥長パルス信号ＬＧをユニバーサルカウンタ
１９でカウントする。そして、このカウントされた欠陥
長パルス信号ＬＧのカウント数Ｐをコンピュータ２０に
送ることによって、図示しない総欠陥長算出手段を用い
て、毎秒ごとの総欠陥長Ｌを、Ｌ＝（Ｐ／ｆ）＊Ｖ（ｍ）により算出することができる。ただし、基準クロックパ
ルス信号ＣＬＫの周波数ｆ（Ｈｚ）と、ディスク線速度
Ｖ（ｍ／ｓ）との関係が、ｆ＝Ｖ／ｎ（ｎ＝１，２…）となるように設定してもよい。

【００３１】一例として、ＣＤ−Ｒディスク１のディス
ク線速度Ｖ＝１．４ｍ／ｓ、ｆ＝５ＭＨｚの時、欠陥側
長の最小分解能は０．２８μｍとなる。そこで、ｆ＝２
ＭＨｚを用い、最小分解能を０．７μｍとして使用し、
ユニバーサルカウンタ１９をある一定時間カウントさせ
た時のカウント数をＰとすれば、その間の欠陥総長はｍ
×０．７μｍとなる。従って、このようにディスク線速
度と基準クロックパルス信号ＣＬＫの周波数とを適確に
組み合わせることにより、欠陥長を正確に算出すること
ができる。

【００３２】次に、バーストエラー発生個数の検出方法
を図５の欠陥検出回路１８に基づいて説明する。ここで
は、個々のＣＤ−Ｒディスク１の欠陥がバースト欠陥で
あるかどうか判定するために、シフトレジスタ２２を用
い、基準クロックパルス信号ＣＬＫとのタイミングを合
わせている。このシフトレジスタ２２の後段には、欠陥
長パルス信号ＬＧをカウントするバイナリカウンタ２３
ａ，２３ｂが接続されている。バイナリカウンタ２３
ａ，２３ｂの後段には、ラッチ回路２４ａ，２４ｂを介
して、第１コンパレータとしてのコンパレータ２５ａ
と、第２コンパレータとしてのコンパレータ２５ｂとが
接続されている。これらバイナリカウンタ２３ａ，２３
ｂと、ラッチ回路２４ａ，２４ｂと、コンパレータ２５
ａ，２５ｂとは、バーストエラー検出手段２６を構成し
ている。コンパレータ２５ａは、バーストエラーとして
検出させるために欠陥長で１０μｍに相当するカウント
値が設定されている。コンパレータ２５ｂは、バースト
エラーとして検出させるために欠陥長で１００μｍに相
当するカウント値が設定されている。

【００３３】このような構成において、欠陥信号ＤＦは
シフトレジスタ２２に送られることによりロード信号Ｌ
Ｄとして用いられ、欠陥（Ｈｉｇｈレベルの）が発生し
ている間だけ基準クロックパルス信号ＣＬＫの数をカウ
ントする。欠陥信号ＤＦがＬｏｗレベルになると同時
に、バイナリカウンタ２３ａ，２３ｂのデータはラッチ
回路２４ａ，２４ｂにラッチされる。このラッチされた
データは、コンパレータ２５ａ，２５ｂにおいて、ディ
ップスイッチ（ＤＩＰＳＷ）２７ａ，２７ｂで設定され
たバーストエラー長の設定値と比較され、設定値以上で
あるとコンパレータ２５ａ，２５ｂから２つのパルス、
すなわち、バーストエラー信号ＢＲＳ１と、バーストエ
ラー信号ＢＲＳ２とが発生する。また、欠陥信号ＤＦが
Ｌｏｗレベルになると同時に、バイナリカウンタ２３
ａ，２３ｂはリセットされ、次の欠陥信号ＤＦの待ちの
状態でスタンバイする。

【００３４】ここでは、前述したようにバースト欠陥と
して２つの水準を設けている。すなわち、１０μｍ以上
に設定されたバーストエラー信号ＢＲＳ１と、１００μ
ｍ以上に設定されたバーストエラー信号ＢＲＳ２とを設
けている。この理由としては、ＥＦＭ復調時に発生する
Ｃ１エラーが１０μｍ以上の欠陥長で確実に発生し、エ
ラー訂正不可能なＣＵエラーが１００μｍ以上の欠陥長
で確実に発生するためである。本欠陥検査機では、記録
後発生するエラーを記録前に検査するためのものであ
り、エラーの発生するバーストエラーを事前に検出する
必要がある。

【００３５】また、２水準のバーストエラーを検出する
ために、２つのバイナリカウンタ２３ａ，２３ｂを使用
しているが、それぞれ検出する欠陥長に合わせて、基準
クロックパルス信号ＣＬＫを分周器２８ａ，２８ｂによ
り分周して、クロックパルス信号ＣＬＫ１，ＣＬＫ２を
生成している。図７は、この分周されたクロックパルス
信号ＣＬＫ１とクロックパルス信号ＣＬＫ２とから、欠
陥信号ＤＦの長さに対してバーストエラー信号ＢＲＳ１
とバーストエラー信号ＢＲＳ２がどのように発生するか
を示したものである。この場合、それぞれのコンパレー
タ２５ａ，２５ｂには、クロックパルス信号ＣＬＫ１と
クロックパルス信号ＣＬＫ２とが、４パルス以上（４カ
ウント以上）カウントされると、バーストエラー信号Ｂ
ＲＳ１，ＢＲＳ２が発生するように設定される。そし
て、この図５の回路により求められたバーストエラー信
号ＢＲＳ１，ＢＲＳ２は、図４に示すユニバーサルカウ
ンタ１９でカウントされコンピュータ２０に送られるこ
とによって、図示しないバーストエラー欠陥個数算出手
段を用いて毎秒ごとのバーストエラー欠陥の個数を算出
することができる。従って、上述したような欠陥検出回
路１８において、バーストエラー値を適確に設定し、バ
イナリーカウンタ２３ａ，２３ｂと、コンパレータ２５
ａ，２５ｂとで比較することによりバーストエラー信号
ＢＲＳ１，ＢＲＳ２のパルスを発生していることから、
バーストエラーを正確に検出することができる。

【００３６】次に、請求項９記載の発明の一実施例を図
４及び図８に基づいて説明する。なお、前述した請求項
１〜８記載の発明と同一部分についての説明は省略し、
その同一部分については同一符号を用いる。

【００３７】図４に示すように、前述した図５の欠陥検
出回路１８には、欠陥個数、総欠陥長、バーストエラー
個数などの欠陥データを同時に算出するユニバーサルカ
ウンタ１９が接続され、このユニバーサルカウンタ１９
にはこれら算出された欠陥データを毎秒ごとに編集する
編集手段としてのコンピュータ２０が接続されている。
このコンピュータ２０には、編集された欠陥データを画
面上に表示する図示しない欠陥データ表示手段が接続さ
れている。また、コンピュータ２０は、前述したような
図示しない、欠陥個数検出手段、総欠陥長算出手段、バ
ーストエラー欠陥個数算出手段を備えている。図８は、
コンピュータ２０の動作フローを示すものである。な
お、Ｃ１(ｉ)は欠陥個数、Ｃ２(ｉ)は欠陥長、Ｃ３(ｉ)
はＢＲＳ１の個数、Ｃ４(ｉ)はＢＲＳ２の個数を表わ
す。

【００３８】このような構成において、図４に示す本シ
ステムの動作を図８のフローに基づいて説明する。コン
ピュータ２０をホストとしてＣＤ−Ｒプレーヤ１７を操
作し、欠陥検出回路１８において欠陥信号ＤＦ、欠陥長
パルス信号ＬＧ、バーストエラー信号ＢＲＳ１，ＢＲＳ
２を求める。次に、ユニバーサルカウンタ１９におい
て、欠陥信号ＤＦから欠陥個数のパルス数、欠陥長パル
ス信号ＬＧから欠陥長のパルス数、バーストエラー信号
ＢＲＳ１，ＢＲＳ２から２水準のバーストエラーパルス
数の各欠陥データをカウントする。次に、これらカウン
トされた欠陥データを毎秒ごとにコンピュータ２０に取
込むことによって、毎秒ごとの欠陥個数、総欠陥長、１
０μｍ以上のバーストエラーの個数、１００μｍ以上の
バーストエラーの個数を算出し、後述するＣＲＴ（図１
０参照）上に表示する。また、１００μｍ以上のバース
トエラーが１秒間に５個以上発生した場合、ただちに欠
陥検査を停止し、ディスクをＮＧとして判定する。従っ
て、このように欠陥データを検査中にモニタすることに
よって検査データを迅速に知ることができ、これにより
その場で良否を判定することができる。

【００３９】次に、請求項１０記載の発明の一実施例を
図９に基づいて説明する。なお、前述した請求項１〜９
記載の発明と同一部分についての説明は省略し、その同
一部分については同一符号を用いる。

【００４０】本実施例では、図４に示したシステム構成
のコンピュータ２０内に、編集された欠陥データを記憶
するメモリと、ディスク検査終了後に欠陥データをその
メモリの各記録領域毎にバーストエラー個数、総欠陥
長、平均欠陥長、総欠陥数、欠陥率を印字する欠陥デー
タ印字手段とを備えるようにしたものである。図９は、
取込まれたデータによりディスクの欠陥リストを計算処
理し、その欠陥データ印字手段を用いてプリントアウト
するフローを示すものである。なお、ＡＶＧ(ｋ)は平均
欠陥長、ＫＲは欠陥率、Ｃ１(ｋ)は１０μｍ以上のバー
ストエラー数、ＣＵ(ｋ)は１００μｍ以上のバーストエ
ラー数を表わす。

【００４１】このような構成において、本システムの動
作を図９のフローに基づいて説明する。ユニバーサルカ
ウンタ１９から取込まれたデータは、１分間毎に編集さ
れ、欠陥率、平均欠陥長、１０μｍ以上のバーストエラ
ーの個数、１００μｍ以上のバーストエラーの個数が算
出される。１００μｍ以上のバーストエラーが発生して
いなくても、欠陥率が１０~⁵オーダであると、その領域
は欠陥が多く、データファイルとしてはエラーが発生す
る場合があるのでＮＧ（否）とした方がよい。従って、
このように欠陥データを詳細に解析することができるた
め、ディスクの欠陥品質を十分に保証することができ
る。

【００４２】最後に、本欠陥検査機により検査した欠陥
データの結果を図１０〜図１５に基づいて説明する。図
１０（ａ）〜（ｄ）は、ＣＲＴ上に示した欠陥データの
様子を示したものである。（ａ）は１０μｍ以上のバー
ストエラーの個数、（ｂ）は１００μｍ以上のバースト
エラーの個数、（ｃ）は総欠陥長、（ｄ）は総欠陥個数
を表示しており、これらの値は毎秒ごとにＣＲＴ上に表
示される。ＣＤ−Ｒディスクでは、記録領域は、試し記
録をして適性記録パワーを決める領域であるＰＣＡ（Ｐ
ower Ｃalibration Ａrea)と、追記する際にすでに記録
済データの履歴を残す領域であるＰＭＡ（Ｐrogram Ｍe
mory Ａrea）と、記録データの目録（ＴＯＣ：Ｔable
Ｏf Ｃontent)を記録する領域であるＬＩＡ（Ｌead Ｉn
Ａrea）と、ユーザが使用するデータ領域であるＰＡ
（Ｐrogram Ａrea）と、データ領域の終了を示す領域で
あるＬＯＡ（Ｌead Ｏut Ａrea）とにより構成されてい
る。

【００４３】そこで、本実施例では、以下に示すように
プリントアウト表示した。図１１はＰＣＡ２９における
欠陥データの表示を示し、毎秒ごとに欠陥データをプリ
ントアウトし、その欠陥率を表示している。図１２はＰ
ＭＡ３０の欠陥データの表示を示し、ＰＣＡ２９と同様
なプリントアウト形式である。図１３はＬＩＡ３１の欠
陥データの表示を示し、１０秒ごとの欠陥データをプリ
ントアウトする。図１４はＰＭＡ３２の欠陥データの表
示を示し、毎分ごとに欠陥データをプリントアウトす
る。図１５はＬＯＡ３３の欠陥データの表示を示し、そ
の重要性からＰＣＡ２９と同じ形式の毎秒ごとに欠陥デ
ータをプリントアウトする。従って、このようにしてＣ
Ｄ−Ｒディスクの各領域における一連の欠陥データを表
示することができる。

【００４４】

【発明の効果】請求項１記載の発明は、ＣＤ−Ｒディス
ク（再生可能なディスク）にレーザビームを照射するこ
とによりそのＣＤ−Ｒディスクの作製上発生するディス
ク記録面や基板のキズによる欠陥部をＲＦ信号（再生信
号）の乱れとして検出する欠陥検出回路を備えたＣＤ−
Ｒディスク欠陥検査機において、前記ＲＦ信号における
グルーブレベルを１００％にした時、この１００％に対
して８０〜９０％のレベルに設定された第１スライスレ
ベルと前記１００％に対して１１０〜１２０％のレベル
に設定された第２スライスレベルとの２つのスライスレ
ベルを配し、これら２つのスライスレベルをもとに前記
ＲＦ信号から欠陥信号を生成する欠陥信号生成手段を設
けたので、ディスクの欠陥を確実に検出することができ
るものである。

【００４５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、ＲＦ信号のグルーブ出力が入力される１０
０ＫＨｚ以下のローパスフィルタと、このローパスフィ
ルタに接続され所定の第１スライスレベルと第２スライ
スレベルとを生成する増幅器とを有するスライスレベル
発生手段を設けたので、ディスクの欠陥を確実に検出す
ることができるものである。

【００４６】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、欠陥信号をユニバーサルカウンタにてカウ
ントし、毎秒ごとの欠陥の個数を算出する欠陥個数検出
手段を設けたので、欠陥個数を正確に算出することがで
きるものである。

【００４７】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明において、欠陥信号と基準クロックパルス信号との論
理和をとり欠陥長パルス信号を生成する欠陥長パルス信
号生成手段を設け、基準クロックパルス周波数をｆ（Ｈ
ｚ）とし、ディスク線速度をＶ（ｍ／ｓ）とした時、前
記欠陥長パルス信号をユニバーサルカウンタでカウント
し、このカウントされた欠陥長パルス信号のパルス数Ｐ
から毎秒ごとの総欠陥長Ｌを、Ｌ＝（Ｐ／ｆ）＊Ｖ（ｍ）により算出する総欠陥長算出手段を設けたので、このよ
うにディスク線速度と基準クロックパルス周波数とを適
確に組合わせることにより、欠陥長を正確に算出するこ
とができるものである。

【００４８】請求項５記載の発明は、請求項４記載の発
明において、基準クロックパルス信号の周波数ｆ（Ｈ
ｚ）と、ディスク線速度Ｖ（ｍ／ｓ）との関係が、ｆ＝Ｖ／ｎ（ｎ＝１，２…）となるように設定したので、このようにディスク線速度
と基準クロックパルス周波数とを適確に組合わせること
により、欠陥長を正確に算出することができるものであ
る。

【００４９】請求項６記載の発明は、請求項４記載の発
明において、欠陥長パルス信号をカウントするバイナリ
カウンタと、このカウント値とバーストエラーとして設
定されたカウント値とを比較しバーストエラーを検出す
るコンパレータとを有するバーストエラー検出手段を設
けたので、適確に設定されたバーストエラー値をもとに
バーストエラー信号のパルスを発生させることにより、
バーストエラーを正確に検出することができるものであ
る。

【００５０】請求項７記載の発明は、請求項６記載の発
明において、コンパレータは、バーストエラーとして検
出させるために欠陥長で１０μｍに相当するカウント値
の設定された第１コンパレータと、バーストエラーとし
て検出させるために欠陥長で１００μｍに相当するカウ
ント値の設定された第２コンパレータとより構成したの
で、適確に設定されたバーストエラー値をもとにバース
トエラー信号のパルスを発生させることにより、バース
トエラーを正確に検出することができるものである。

【００５１】請求項８記載の発明は、請求項６記載の発
明において、バーストエラー信号をユニバーサルカウン
タでカウントし、毎秒ごとのバーストエラー欠陥の個数
を算出するバーストエラー欠陥個数算出手段を設けたの
で、適確に設定されたバーストエラー値をもとにバース
トエラー信号のパルスを発生させることにより、バース
トエラーを正確に検出することができるものである。

【００５２】請求項９記載の発明は、請求項１記載の発
明において、欠陥個数、総欠陥長、バーストエラー個数
の欠陥データを同時に算出するユニバーサルカウンタ
と、これら算出された欠陥データを毎秒ごとに編集する
編集手段と、この編集された欠陥データを画面上に表示
する欠陥データ表示手段とを備えるようにしたので、こ
のように欠陥データを検査中にモニタすることによって
検査データを迅速に知ることができ、これによりその場
で良否を判断することができるものである。

【００５３】請求項１０記載の発明は、請求項１記載の
発明において、欠陥個数、総欠陥長、バーストエラー個
数の欠陥データを同時に算出するユニバーサルカウンタ
と、これら算出された欠陥データを毎秒ごとに編集する
編集手段と、この編集された欠陥データを記憶するメモ
リと、ディスク検査終了後に前記欠陥データを前記メモ
リの各記録領域毎にバーストエラー個数、総欠陥長、平
均欠陥長、総欠陥数、欠陥率を印字する欠陥データ印字
手段とを備えるようにしたので、欠陥データを詳細に解
析することができ、これによりＣＤ−Ｒディスクの欠陥
品質を十分に保証することができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるＲＦ信号から欠陥を検
出するスライスレベルの配置、及び、そのスライスレベ
ルにより得られた欠陥信号を示す波形図である。

【図２】欠陥信号を生成する欠陥信号生成回路の構成を
示す回路図である。

【図３】スライスレベル発生回路の構成を示すブロック
図である。

【図４】本システムの構成を示すブロック図である。

【図５】欠陥検出回路の構成を示すブロック図である。

【図６】タイミングチャートを示す波形図である。

【図７】タイミングチャートを示す波形図である。

【図８】コンピュータの動作フローを示すフローチャー
トである。

【図９】欠陥データのリストをプリントアウトする動作
フローを示すフローチャートである。

【図１０】ＣＲＴ上に表示された欠陥データを示す特性
図である。

【図１１】ＰＣＡ部の欠陥データを示す特性図である。

【図１２】ＰＭＡ部の欠陥データを示す特性図である。

【図１３】ＬＩＡ部の欠陥データを示す特性図である。

【図１４】ＰＡ部の欠陥データを示す特性図である。

【図１５】ＬＯＡ部の欠陥データを示す特性図である。

【図１６】ＣＤ−Ｒディスクの再生装置の構成を示す構
成図である。

【符号の説明】

１ＣＤ−Ｒディスク１１欠陥信号生成手段１４スライスレベル発生手段１５ローパスフィルタ１６ａ，１６ｂ増幅器１９ユニバーサルカウンタ２０編集手段２１欠陥長パルス信号生成手段２３ａ，２３ｂバイナリカウンタ２５ａ第１コンパレータ２５ｂ第２コンパレータ２６バーストエラー検出手段ＳＬ第１スライスレベルＳＨ第２スライスレベルＬＧ欠陥長パルス信号ＣＬＫ基準クロックパルス信号ＤＦ欠陥信号ＢＲＳ１，ＢＲＳ２バーストエラー信号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＣＤ−Ｒディスク（記録再生可能なディ
スク）にレーザビームを照射することによりそのＣＤ−
Ｒディスクの作製上発生するディスク記録面や基板のキ
ズによる欠陥部をＲＦ信号（再生信号）の乱れとして検
出する欠陥検出回路を備えたＣＤ−Ｒディスク欠陥検査
機において、前記ＲＦ信号におけるグルーブレベルを１
００％にした時、この１００％に対して８０〜９０％の
レベルに設定された第１スライスレベルと前記１００％
に対して１１０〜１２０％のレベルに設定された第２ス
ライスレベルとの２つのスライスレベルを配し、これら
２つのスライスレベルをもとに前記ＲＦ信号から欠陥信
号を生成する欠陥信号生成手段を設けたことを特徴とす
るＣＤ−Ｒディスク欠陥検査機。
【請求項２】ＲＦ信号のグルーブ出力が入力される１
００ＫＨｚ以下のローパスフィルタと、このローパスフ
ィルタに接続され所定の第１スライスレベルと第２スラ
イスレベルとを生成する増幅器とを有するスライスレベ
ル発生手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のＣ
Ｄ−Ｒディスク欠陥検査機。
【請求項３】欠陥信号をユニバーサルカウンタにてカ
ウントし、毎秒ごとの欠陥の個数を算出する欠陥個数検
出手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のＣＤ−
Ｒディスク欠陥検査機。
【請求項４】欠陥信号と基準クロックパルス信号との
論理和をとり欠陥長パルス信号を生成する欠陥長パルス
信号生成手段を設け、基準クロックパルス周波数をｆ
（Ｈｚ）とし、ディスク線速度をＶ（ｍ／ｓ）とした
時、前記欠陥長パルス信号をユニバーサルカウンタでカ
ウントし、このカウントされた欠陥長パルス信号のパル
ス数Ｐから毎秒ごとの総欠陥長Ｌを、Ｌ＝（Ｐ／ｆ）＊Ｖ（ｍ）により算出する総欠陥長算出手段を設けたことを特徴と
する請求項１記載のＣＤ−Ｒディスク欠陥検査機。
【請求項５】基準クロックパルス信号の周波数ｆ（Ｈ
ｚ）と、ディスク線速度Ｖ（ｍ／ｓ）との関係が、ｆ＝Ｖ／ｎ（ｎ＝１，２…）となるように設定したことを特徴とする請求項４記載の
ＣＤ−Ｒディスク欠陥検査機。
【請求項６】欠陥長パルス信号をカウントするバイナ
リカウンタと、このカウント値とバーストエラーとして
設定されたカウント値とを比較しバーストエラーを検出
するコンパレータとを有するバーストエラー検出手段を
設けたことを特徴とする請求項４記載のＣＤ−Ｒディス
ク欠陥検査機。
【請求項７】コンパレータは、バーストエラーとして
検出させるために欠陥長で１０μｍに相当するカウント
値の設定された第１コンパレータと、バーストエラーと
して検出させるために欠陥長で１００μｍに相当するカ
ウント値の設定された第２コンパレータとよりなること
を特徴とする請求項６記載のＣＤ−Ｒディスク欠陥検査
機。
【請求項８】バーストエラー信号をユニバーサルカウ
ンタでカウントし、毎秒ごとのバーストエラー欠陥の個
数を算出するバーストエラー欠陥個数算出手段を設けた
ことを特徴とする請求項６記載のＣＤ−Ｒディスク欠陥
検査機。
【請求項９】欠陥個数、総欠陥長、バーストエラー個
数の欠陥データを同時に算出するユニバーサルカウンタ
と、これら算出された欠陥データを毎秒ごとに編集する
編集手段と、この編集された欠陥データを画面上に表示
する欠陥データ表示手段とを備えたことを特徴とする請
求項１記載のＣＤ−Ｒディスク欠陥検査機。
【請求項１０】欠陥個数、総欠陥長、バーストエラー
個数の欠陥データを同時に算出するユニバーサルカウン
タと、これら算出された欠陥データを毎秒ごとに編集す
る編集手段と、この編集された欠陥データを記憶するメ
モリと、ディスク検査終了後に前記欠陥データを前記メ
モリの各記録領域毎にバーストエラー個数、総欠陥長、
平均欠陥長、総欠陥数、欠陥率を印字する欠陥データ印
字手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載のＣＤ
−Ｒディスク欠陥検査機。