JPH06124865A - 露光システム - Google Patents
露光システムInfo
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- JPH06124865A JPH06124865A JP27562892A JP27562892A JPH06124865A JP H06124865 A JPH06124865 A JP H06124865A JP 27562892 A JP27562892 A JP 27562892A JP 27562892 A JP27562892 A JP 27562892A JP H06124865 A JPH06124865 A JP H06124865A
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- exposure apparatus
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
-
- G—PHYSICS
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- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
-
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 露光装置を小型化するとともに、複数の露光
装置間でマスクを共有するようにする。 【構成】 マスクライブラリ６とマスク搬送装置７を露
光装置１０から独立した搬送車内に設け、複数の露光装
置の夫々に対して位置決めして必要なマスクを受け渡
す。マスクの受け渡しの際に、露光装置の受け渡し装置
１４の振動状態を検出し、搬送車をこの振動に同期して
振動させる。
装置間でマスクを共有するようにする。 【構成】 マスクライブラリ６とマスク搬送装置７を露
光装置１０から独立した搬送車内に設け、複数の露光装
置の夫々に対して位置決めして必要なマスクを受け渡
す。マスクの受け渡しの際に、露光装置の受け渡し装置
１４の振動状態を検出し、搬送車をこの振動に同期して
振動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子等の製造に
用いる露光装置を含む露光システムに関し、特にマスク
を一時的に収納する装置やマスクを露光部に搬送する装
置を露光装置から独立させた露光システムに関する。
用いる露光装置を含む露光システムに関し、特にマスク
を一時的に収納する装置やマスクを露光部に搬送する装
置を露光装置から独立させた露光システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の露光システムは、作業者がマスク
ストッカから所定の露光工程に必要なマスクまたはマス
クを保管したマスクケースを選択し、露光装置内のマス
クライブラリに装填していた。このため、１台の露光装
置には露光工程に必要な複数のマスクを同時に収納して
いる。
ストッカから所定の露光工程に必要なマスクまたはマス
クを保管したマスクケースを選択し、露光装置内のマス
クライブラリに装填していた。このため、１台の露光装
置には露光工程に必要な複数のマスクを同時に収納して
いる。
【０００３】こうしてマスクライブラリに装填されたマ
スクのうち、任意の露光に必要なマスクが露光装置内の
マスク搬送装置によって露光部のマスク載置台に搬送さ
れ、アライメント、露光を経て再びマスクライブラリに
戻される。
スクのうち、任意の露光に必要なマスクが露光装置内の
マスク搬送装置によって露光部のマスク載置台に搬送さ
れ、アライメント、露光を経て再びマスクライブラリに
戻される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】近年、半導体素子の高
集積化が進むにつれて回路パターンは微細化し、それに
伴って露光装置の投影レンズは大型化し、１台の露光装
置で使用するマスク（レチクルを含む）の数は増加し、
さらにウエハの大型化によって露光装置全体がますます
大型化してきている。
集積化が進むにつれて回路パターンは微細化し、それに
伴って露光装置の投影レンズは大型化し、１台の露光装
置で使用するマスク（レチクルを含む）の数は増加し、
さらにウエハの大型化によって露光装置全体がますます
大型化してきている。
【０００５】また、回路パターンの微細化により露光装
置内の清浄度の向上、並びに処理速度の向上が要求され
ている。上記のような従来の露光システムにおいては、
マスクの収納部及び搬送部は露光装置前面上部に配置さ
れているため、露光装置本体に対して前方からのメンテ
ナンス性が悪くなっている。また露光装置内は清浄度を
考慮した空調が施されているが、この配置のため気流を
乱し、十分な空調効果が得られないこともある。さら
に、露光装置内にマスク搬送装置があると、その駆動部
分からの発塵、及び振動の影響が露光装置本体に及ぶ恐
れがある。
置内の清浄度の向上、並びに処理速度の向上が要求され
ている。上記のような従来の露光システムにおいては、
マスクの収納部及び搬送部は露光装置前面上部に配置さ
れているため、露光装置本体に対して前方からのメンテ
ナンス性が悪くなっている。また露光装置内は清浄度を
考慮した空調が施されているが、この配置のため気流を
乱し、十分な空調効果が得られないこともある。さら
に、露光装置内にマスク搬送装置があると、その駆動部
分からの発塵、及び振動の影響が露光装置本体に及ぶ恐
れがある。
【０００６】加えて、人手によってマスクまたはマスク
を保管したマスクケースをマスクライブラリに装填する
方法は、異物発生の一因となっており、露光装置周辺は
無人化されることが望ましい。本発明は上記の如き従来
の問題点に鑑み、露光装置に搭載されているマスク収納
部及び搬送装置による影響を避け、露光装置の小型化と
装置内の清浄度の向上、並びに露光システムの効率的な
運用を目的とする。
を保管したマスクケースをマスクライブラリに装填する
方法は、異物発生の一因となっており、露光装置周辺は
無人化されることが望ましい。本発明は上記の如き従来
の問題点に鑑み、露光装置に搭載されているマスク収納
部及び搬送装置による影響を避け、露光装置の小型化と
装置内の清浄度の向上、並びに露光システムの効率的な
運用を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記問題点解決のため本
発明では、転写すべきパターンが形成されたマスクのパ
ターンを被露光基板に対して露光する複数の露光装置
（１０）と；複数の露光装置の夫々に設けられたマスク
の受け渡し手段（１４）の振動を検出する振動検出手段
（２０〜２５）と；複数のマスクを搭載して複数の露光
装置の夫々に対して所定の位置に移動可能であるととも
に、受け渡し手段（１４）に対してマスクを受け渡すマ
スク搬送装置（１）とを備え、マスク搬送装置が、受け
渡しの際に受け渡し手段の振動に同期して振動すること
とした。
発明では、転写すべきパターンが形成されたマスクのパ
ターンを被露光基板に対して露光する複数の露光装置
（１０）と；複数の露光装置の夫々に設けられたマスク
の受け渡し手段（１４）の振動を検出する振動検出手段
（２０〜２５）と；複数のマスクを搭載して複数の露光
装置の夫々に対して所定の位置に移動可能であるととも
に、受け渡し手段（１４）に対してマスクを受け渡すマ
スク搬送装置（１）とを備え、マスク搬送装置が、受け
渡しの際に受け渡し手段の振動に同期して振動すること
とした。
【０００８】
【作用】本発明によれば、マスクの収納部及び搬送部を
露光装置から独立するため、露光装置を小型化すること
ができるほか、１台の露光装置がマスクを占有すること
がなくなる。
露光装置から独立するため、露光装置を小型化すること
ができるほか、１台の露光装置がマスクを占有すること
がなくなる。
【０００９】
【実施例】図１は、本発明の実施例による露光システム
の概略的な構成を示す図である。マスク搬送車１は車輪
等を含む駆動部２と収納部３とから成り、駆動部２によ
って複数の露光装置１０の夫々に対するマスクの受け渡
し位置へ移動可能となっている。走行の方式は軌道、無
軌道のいずれであっても、また天井走行式であっても構
わない。駆動部２と収納部３とはアクティブサスペンシ
ョン４によって連結され、走行時にその振動の影響を受
けないようになっているほか、このサスペンション４を
サスペンション駆動部５で駆動することによって収納部
３の姿勢を変化させることができる。収納部３内には、
マスクを収納するマスクライブラリ６、マスクを搬送す
る搬送装置７等が配設され、さらに空調装置８により温
度及び湿度等の環境を一定に保たれている。搬送装置７
は、不図示の自動扉等を介して露光装置１０やマスク保
管庫（不図示）等の外部機器との間でマスクの受け渡し
を行う。この際、マスクに設けられたバーコードや磁気
記録等をマスク判別装置（不図示）で検出することによ
ってマスクの管理を行うこともできる。尚、搬送車１の
駆動はバッテリによってなされ、操作は無線装置による
遠隔操作によってなされる。但し、配線の複雑でない運
用方法であれば有線による方法でもよい。また、搬送車
内の記憶装置に予め動作指令を入力しておき自動制御す
る方法でもよい。
の概略的な構成を示す図である。マスク搬送車１は車輪
等を含む駆動部２と収納部３とから成り、駆動部２によ
って複数の露光装置１０の夫々に対するマスクの受け渡
し位置へ移動可能となっている。走行の方式は軌道、無
軌道のいずれであっても、また天井走行式であっても構
わない。駆動部２と収納部３とはアクティブサスペンシ
ョン４によって連結され、走行時にその振動の影響を受
けないようになっているほか、このサスペンション４を
サスペンション駆動部５で駆動することによって収納部
３の姿勢を変化させることができる。収納部３内には、
マスクを収納するマスクライブラリ６、マスクを搬送す
る搬送装置７等が配設され、さらに空調装置８により温
度及び湿度等の環境を一定に保たれている。搬送装置７
は、不図示の自動扉等を介して露光装置１０やマスク保
管庫（不図示）等の外部機器との間でマスクの受け渡し
を行う。この際、マスクに設けられたバーコードや磁気
記録等をマスク判別装置（不図示）で検出することによ
ってマスクの管理を行うこともできる。尚、搬送車１の
駆動はバッテリによってなされ、操作は無線装置による
遠隔操作によってなされる。但し、配線の複雑でない運
用方法であれば有線による方法でもよい。また、搬送車
内の記憶装置に予め動作指令を入力しておき自動制御す
る方法でもよい。
【００１０】ところで、上記の露光装置１０内にはマス
クを載置して位置決めするマスクステージ１１、感光基
板を載置して位置決めする基板ステージ１２、さらに投
影型露光装置の場合には投影光学系１３等が備えられ、
また、マスク搬送車１との間でマスクを受け渡しを行
い、マスクステージ１１上にマスクを搬送する受け渡し
装置１４をも備えている。尚、この受け渡し装置１４内
には、マスクの欠陥や異物を検出する欠陥検査装置が備
えられていてもよい。
クを載置して位置決めするマスクステージ１１、感光基
板を載置して位置決めする基板ステージ１２、さらに投
影型露光装置の場合には投影光学系１３等が備えられ、
また、マスク搬送車１との間でマスクを受け渡しを行
い、マスクステージ１１上にマスクを搬送する受け渡し
装置１４をも備えている。尚、この受け渡し装置１４内
には、マスクの欠陥や異物を検出する欠陥検査装置が備
えられていてもよい。
【００１１】さて、マスク搬送車１は、予め不図示のマ
スク保管庫から必要なマスクを選択してマスクライブラ
リ６に収納しておく。このときマスク判別装置によって
マスクの種別を判別し、収納位置と対応付けて記憶して
おく。次に、搬送車１はマスクを必要とする露光装置１
０に向けて移動し、受け渡し位置に位置決めする。そし
て、搬送装置７によってマスクライブラリ６から所定の
マスクを搬出し、露光装置１０内の受け渡し装置１４に
マスクを受け渡す。このときの様子を図２（ａ）に示
す。
スク保管庫から必要なマスクを選択してマスクライブラ
リ６に収納しておく。このときマスク判別装置によって
マスクの種別を判別し、収納位置と対応付けて記憶して
おく。次に、搬送車１はマスクを必要とする露光装置１
０に向けて移動し、受け渡し位置に位置決めする。そし
て、搬送装置７によってマスクライブラリ６から所定の
マスクを搬出し、露光装置１０内の受け渡し装置１４に
マスクを受け渡す。このときの様子を図２（ａ）に示
す。
【００１２】搬送装置７によって搬出されたマスクは、
受け渡し装置１４内のプリアライメントステーション１
５に載置される。そして、このプリアライメントステー
ション１５上で大まかに位置決めされた後、露光装置側
の搬送装置１６によってマスクステージ１１上に載置さ
れ、位置決めした上で一連の露光動作が行われる。露光
動作が終了してマスクを交換する場合等にマスクを搬出
する際は、上記の手順とは逆に、マスクはマスクステー
ジ１１から受け渡し装置１４を経て搬送車１の搬送装置
７に受け渡され、マスクライブラリ６に戻される。
受け渡し装置１４内のプリアライメントステーション１
５に載置される。そして、このプリアライメントステー
ション１５上で大まかに位置決めされた後、露光装置側
の搬送装置１６によってマスクステージ１１上に載置さ
れ、位置決めした上で一連の露光動作が行われる。露光
動作が終了してマスクを交換する場合等にマスクを搬出
する際は、上記の手順とは逆に、マスクはマスクステー
ジ１１から受け渡し装置１４を経て搬送車１の搬送装置
７に受け渡され、マスクライブラリ６に戻される。
【００１３】以上のマスクの受け渡しの際、露光装置の
動作状態によっては受け渡し装置１４が振動し、マスク
の受け渡しがスムーズに行われない場合がある。そのた
め、図４（ａ）のようにプリアライメントステーション
１５付近に変位センサ２０や速度センサ２１、さらに加
速度センサ２２等を設けておき、これらセンサからの出
力に基づいて振動の状態を解析して無線等でその振動情
報をマスク搬送車１側に送る。搬送車１は振動情報に基
づいてアクティブサスペンション４を駆動し、搬送車を
露光装置の振動に同期させる。
動作状態によっては受け渡し装置１４が振動し、マスク
の受け渡しがスムーズに行われない場合がある。そのた
め、図４（ａ）のようにプリアライメントステーション
１５付近に変位センサ２０や速度センサ２１、さらに加
速度センサ２２等を設けておき、これらセンサからの出
力に基づいて振動の状態を解析して無線等でその振動情
報をマスク搬送車１側に送る。搬送車１は振動情報に基
づいてアクティブサスペンション４を駆動し、搬送車を
露光装置の振動に同期させる。
【００１４】上記の実施例では、マスクそのものを搬送
車と露光装置との間で受け渡す例について述べたが、マ
スクをケースに入れた状態で搬送するようにしても構わ
ない。その場合、露光装置１０には図２（ｂ）に示すよ
うに、マスクケースを装填できるマスクライブラリ１７
を設ける。そして、搬送車の搬送装置７は、マスクライ
ブラリ１７に対して必要なマスクケースを搬送すればよ
い。露光装置１０では搬送装置１８によってケースから
マスクを取り出し、プリアライメントステーション１５
にマスクを搬送する。その後は上記と同様にして露光動
作を行う。この場合も、上記と同様に図４（ｂ）に示す
ような変位センサ２３、速度センサ２４、加速度センサ
２５をマスクライブラリ１７の近傍に設け、マスクライ
ブラリ１７の振動を検出するようにすればよい。
車と露光装置との間で受け渡す例について述べたが、マ
スクをケースに入れた状態で搬送するようにしても構わ
ない。その場合、露光装置１０には図２（ｂ）に示すよ
うに、マスクケースを装填できるマスクライブラリ１７
を設ける。そして、搬送車の搬送装置７は、マスクライ
ブラリ１７に対して必要なマスクケースを搬送すればよ
い。露光装置１０では搬送装置１８によってケースから
マスクを取り出し、プリアライメントステーション１５
にマスクを搬送する。その後は上記と同様にして露光動
作を行う。この場合も、上記と同様に図４（ｂ）に示す
ような変位センサ２３、速度センサ２４、加速度センサ
２５をマスクライブラリ１７の近傍に設け、マスクライ
ブラリ１７の振動を検出するようにすればよい。
【００１５】ところで、図３（ａ），（ｂ）に示すよう
に、露光装置のマスクステージ上にプリアライメントス
テーションを設けてこれを複数備えるようにすれば、露
光装置が任意のマスクを用いて露光動作を行っている最
中でも別のマスクを搬送して位置決めすることが可能に
なり、上述のものに比べて処理速度が向上する。マスク
そのものを搬送する場合は、図３（ａ）のように搬送車
の搬送装置７によって搬送されたマスクを直接マスクス
テージ１１に載置する。ここでプリアライメントステー
ション１５によってプリアライメントが行われる。そし
て露光の際にはマスクステージ１１を矢印の方向に移動
して投影光学系１３の光軸上に対してマスクを位置決め
する。露光の終了したマスクは、搬送装置７によって搬
送車１に戻される。
に、露光装置のマスクステージ上にプリアライメントス
テーションを設けてこれを複数備えるようにすれば、露
光装置が任意のマスクを用いて露光動作を行っている最
中でも別のマスクを搬送して位置決めすることが可能に
なり、上述のものに比べて処理速度が向上する。マスク
そのものを搬送する場合は、図３（ａ）のように搬送車
の搬送装置７によって搬送されたマスクを直接マスクス
テージ１１に載置する。ここでプリアライメントステー
ション１５によってプリアライメントが行われる。そし
て露光の際にはマスクステージ１１を矢印の方向に移動
して投影光学系１３の光軸上に対してマスクを位置決め
する。露光の終了したマスクは、搬送装置７によって搬
送車１に戻される。
【００１６】一方、マスクをケースごと搬送する場合
は、図３（ａ）に示す構成に加えて、図３（ｂ）に示す
ようなレチクルステージ１１の数に相当するだけのマス
クライブラリ１７を追加すればよい。このマスクライブ
ラリ１７からマスクステージ１１上にマスクをするの
は、図２（ｂ）に示すものと同様、搬送装置１８によっ
て行う。
は、図３（ａ）に示す構成に加えて、図３（ｂ）に示す
ようなレチクルステージ１１の数に相当するだけのマス
クライブラリ１７を追加すればよい。このマスクライブ
ラリ１７からマスクステージ１１上にマスクをするの
は、図２（ｂ）に示すものと同様、搬送装置１８によっ
て行う。
【００１７】上記の実施例では、露光装置１０の振動に
同期して搬送車１全体を振動する構成としたが、実際に
露光装置との間で受け渡しを行う搬送装置７を露光装置
の振動に同期させるようにしても構わない。
同期して搬送車１全体を振動する構成としたが、実際に
露光装置との間で受け渡しを行う搬送装置７を露光装置
の振動に同期させるようにしても構わない。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、露光装置
内から従来のようなマスクライブラリやマスク搬送装置
を独立したため、露光装置本体に対しての前方からのメ
ンテナンス性が向上し、露光装置内の気流を乱すことが
なくなり、駆動部からの発塵もなくなるので清浄度が向
上する。
内から従来のようなマスクライブラリやマスク搬送装置
を独立したため、露光装置本体に対しての前方からのメ
ンテナンス性が向上し、露光装置内の気流を乱すことが
なくなり、駆動部からの発塵もなくなるので清浄度が向
上する。
【００１９】また、露光装置本体がマスク搬送装置の振
動の影響を受けることがなくなり、精度悪化の一因を排
除することができる。さらに、露光装置が小型化して装
置の占有面積及び体積が押さえられ、クリーンルームの
効率的な設備配置が可能となる。その他、従来のように
１台の露光装置でマスクを占有することがなくなるため
マスクの共通使用が可能となり、マスクを効率的に使用
することができ、延いてはマスク製作コストを下げるこ
とができる。
動の影響を受けることがなくなり、精度悪化の一因を排
除することができる。さらに、露光装置が小型化して装
置の占有面積及び体積が押さえられ、クリーンルームの
効率的な設備配置が可能となる。その他、従来のように
１台の露光装置でマスクを占有することがなくなるため
マスクの共通使用が可能となり、マスクを効率的に使用
することができ、延いてはマスク製作コストを下げるこ
とができる。
【００２０】加えて、マスクの搬送及び管理を自動化し
て露光装置周辺の無人化を推進できる。
て露光装置周辺の無人化を推進できる。
【図１】本発明の実施例による露光システムの概略的な
構成を示す図
構成を示す図
【図２】本発明の実施例による露光システムに使用され
る露光装置の受け渡し部の構成を示す図
る露光装置の受け渡し部の構成を示す図
【図３】本発明の実施例による露光システムに使用され
る露光装置の受け渡し部の構成の他の例を示す図
る露光装置の受け渡し部の構成の他の例を示す図
【図４】本発明の実施例による露光システムに使用され
る露光装置の受け渡し部の振動を検出する装置の構成を
示す図
る露光装置の受け渡し部の振動を検出する装置の構成を
示す図
１ マスク搬送車 ４ アクティブサスペンション １０ 露光装置 １４ 受け渡し装置 ２０，２３ 変位センサ ２１，２４ 速度センサ ２２，２５ 加速度センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ 8418−4Ｍ (72)発明者 荒木 康雄 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内
Claims (1)
- 【請求項１】 転写すべきパターンが形成されたマスク
のパターンを被露光基板に対して露光する複数の露光装
置と；前記複数の露光装置の夫々に設けられた前記マス
クの受け渡し手段の振動を検出する振動検出手段と；複
数の前記マスクを搭載して前記複数の露光装置の夫々に
対して所定の位置に移動可能であるとともに、前記受け
渡し手段に対して前記マスクを受け渡すマスク搬送装置
とを備え、 前記マスク搬送装置が、前記受け渡しの際に前記受け渡
し手段の振動に同期して振動することを特徴とする露光
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27562892A JPH06124865A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 露光システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27562892A JPH06124865A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 露光システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06124865A true JPH06124865A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17558108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27562892A Pending JPH06124865A (ja) | 1992-10-14 | 1992-10-14 | 露光システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06124865A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866531A (en) * | 1986-12-11 | 1989-09-12 | Tokyo Electric Co., Ltd. | Recording medium feeding apparatus |
| CN113025955A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 佳能特机株式会社 | 成膜装置、及电子器件的制造方法 |
| WO2024132409A1 (en) * | 2022-12-23 | 2024-06-27 | Asml Netherlands B.V. | Reticle handler isolation damper element |
-
1992
- 1992-10-14 JP JP27562892A patent/JPH06124865A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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