JPH0612713A - 磁気記録膜、磁気記録媒体、および光磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録膜、磁気記録媒体、および光磁気記録媒体Info
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- JPH0612713A JPH0612713A JP16755192A JP16755192A JPH0612713A JP H0612713 A JPH0612713 A JP H0612713A JP 16755192 A JP16755192 A JP 16755192A JP 16755192 A JP16755192 A JP 16755192A JP H0612713 A JPH0612713 A JP H0612713A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】人工格子構造のような複雑な製膜方法を必要と
せず、製膜した状態で実用上十分な垂直磁化特性として
の高垂直保磁力と高垂直異方性とを備え、さらに現在よ
りも短波長領域で利用に適した光磁気特性を有する磁気
記録膜を得る。さらに記録層がそうした特徴を有する磁
気記録媒体、および光磁気記録媒体を得る。 【構成】コバルト（Co）、白金（Pt）、ルテニウム（R
u）よりなる３元系合金であって、その組成がCoa Ptb R
uc 、20≦ａ≦70、10≦ｂ≦70、10≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋
ｃ＝100 （ただしａ、ｂ、ｃは原子％による組成比）で
あり、かつ膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する。
せず、製膜した状態で実用上十分な垂直磁化特性として
の高垂直保磁力と高垂直異方性とを備え、さらに現在よ
りも短波長領域で利用に適した光磁気特性を有する磁気
記録膜を得る。さらに記録層がそうした特徴を有する磁
気記録媒体、および光磁気記録媒体を得る。 【構成】コバルト（Co）、白金（Pt）、ルテニウム（R
u）よりなる３元系合金であって、その組成がCoa Ptb R
uc 、20≦ａ≦70、10≦ｂ≦70、10≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋
ｃ＝100 （ただしａ、ｂ、ｃは原子％による組成比）で
あり、かつ膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体や磁気
記録媒体の記録層などに有用な、膜面に垂直な方向に磁
化容易軸を有する磁気記録膜に関する。
記録媒体の記録層などに有用な、膜面に垂直な方向に磁
化容易軸を有する磁気記録膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】情報記録の担い手として、磁気記録膜は
広く活用が図られている。ビデオテープなどの磁気テー
プ、コンピュータ用のフロッピーディスクやハードディ
スク、あるいはクレジットカードやキャッシュカードな
ども、磁気記録膜を用いて情報の記録を行っている。こ
うした従来の磁気記録膜では膜の面内方向に磁化容易軸
を有し、その面内方向に磁化を行って情報の記録を行う
面内磁気記録方式がこれまで広く用いられて来た。
広く活用が図られている。ビデオテープなどの磁気テー
プ、コンピュータ用のフロッピーディスクやハードディ
スク、あるいはクレジットカードやキャッシュカードな
ども、磁気記録膜を用いて情報の記録を行っている。こ
うした従来の磁気記録膜では膜の面内方向に磁化容易軸
を有し、その面内方向に磁化を行って情報の記録を行う
面内磁気記録方式がこれまで広く用いられて来た。
【０００３】しかし磁気記録の分野では、記録のさらな
る高密度化が求められている。そのために開発がすすめ
られているものが、垂直磁化膜とも呼ばれる垂直磁気記
録方式の磁気記録膜である。これは、膜面に対して垂直
な方向に磁化容易軸を有し、その方向に磁化を行い情報
を記録する磁気記録膜である。
る高密度化が求められている。そのために開発がすすめ
られているものが、垂直磁化膜とも呼ばれる垂直磁気記
録方式の磁気記録膜である。これは、膜面に対して垂直
な方向に磁化容易軸を有し、その方向に磁化を行い情報
を記録する磁気記録膜である。
【０００４】こうした垂直磁化膜を記録層として用いた
磁気記録媒体では、記録周波数の高周波数化や狭トラッ
ク化等が可能となり、記録密度を向上させることが可能
となる。また光磁気記録媒体においても、有効な光磁気
特性を有する垂直磁化膜を記録層に用いることで、高密
度、大容量、情報の繰り返し消去が可能となる。
磁気記録媒体では、記録周波数の高周波数化や狭トラッ
ク化等が可能となり、記録密度を向上させることが可能
となる。また光磁気記録媒体においても、有効な光磁気
特性を有する垂直磁化膜を記録層に用いることで、高密
度、大容量、情報の繰り返し消去が可能となる。
【０００５】このような膜面に対して垂直な方向に磁化
容易軸を有する磁気記録膜としては、蒸着やスパッタリ
ングにより形成するCoCr膜が知られている。しかしCoCr
膜は有効な光磁気特性を持たないため、単なる磁気記録
媒体には利用できても光磁気記録媒体に利用することは
できない。すなわちCoCr膜では、製膜等の技術が確立で
きてもその利用分野が限られてしまい、広範囲に応用が
できる実用的な磁気記録膜とは言えない。
容易軸を有する磁気記録膜としては、蒸着やスパッタリ
ングにより形成するCoCr膜が知られている。しかしCoCr
膜は有効な光磁気特性を持たないため、単なる磁気記録
媒体には利用できても光磁気記録媒体に利用することは
できない。すなわちCoCr膜では、製膜等の技術が確立で
きてもその利用分野が限られてしまい、広範囲に応用が
できる実用的な磁気記録膜とは言えない。
【０００６】そのために、垂直磁化特性と光磁気特性と
に優れた磁気記録膜としては、TbFeCo膜がこれまで広く
用いられて来た。このTbFeCo膜は、磁気記録膜として単
に垂直磁化特性に優れるだけでなく、これまでの光磁気
記録媒体に要求されていた飽和磁化、キュリー点温度、
保磁力、カー回転角などの特性を、バランス良く備えた
磁気記録膜である。
に優れた磁気記録膜としては、TbFeCo膜がこれまで広く
用いられて来た。このTbFeCo膜は、磁気記録膜として単
に垂直磁化特性に優れるだけでなく、これまでの光磁気
記録媒体に要求されていた飽和磁化、キュリー点温度、
保磁力、カー回転角などの特性を、バランス良く備えた
磁気記録膜である。
【０００７】こうした状況の中でこれまでの光磁気記録
システムでは、波長830nm のレーザ光が通常用いられて
いた。しかし、より高密度記録を実現するシステムで
は、現在用いられているレーザ光波長よりもさらに短い
400 〜550nm の短波長レーザ光の使用が考えられてい
る。そのためには今よりも短波長の領域において、有効
な光磁気特性を有する磁気記録膜が求められている。
システムでは、波長830nm のレーザ光が通常用いられて
いた。しかし、より高密度記録を実現するシステムで
は、現在用いられているレーザ光波長よりもさらに短い
400 〜550nm の短波長レーザ光の使用が考えられてい
る。そのためには今よりも短波長の領域において、有効
な光磁気特性を有する磁気記録膜が求められている。
【０００８】しかし従来のTbFeCo膜などの磁気記録膜で
は、そうした短波長領域では有効な光磁気特性を得るこ
とができなかった。そこで、垂直磁化特性と短波長領域
での光磁気特性とを有する磁気記録膜として、白金（P
t）層とコバルト（Co）層とを交互に積層した構造のCo
／Pt多層膜が、実用化に向けてこれまで盛んに研究され
て来た。
は、そうした短波長領域では有効な光磁気特性を得るこ
とができなかった。そこで、垂直磁化特性と短波長領域
での光磁気特性とを有する磁気記録膜として、白金（P
t）層とコバルト（Co）層とを交互に積層した構造のCo
／Pt多層膜が、実用化に向けてこれまで盛んに研究され
て来た。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】Co／Pt多層膜は、多層
膜構造を有するために複雑な成膜を必要とするという欠
点をもつ。これは生産性等を考慮する場合、不都合であ
る。
膜構造を有するために複雑な成膜を必要とするという欠
点をもつ。これは生産性等を考慮する場合、不都合であ
る。
【００１０】また光磁気記録特性としては、記録情報の
安定維持のために室温レベルで保磁力の大きいことが望
まれる。しかしこのCo／Pt多層膜の場合には、これが小
さいという欠点がある。そこでCo／Pt多層膜の保磁力向
上のために、現在いくつかの試みがなされている。例え
ば、Xeガスによるスパッタリングなどもその一つであ
る。しかしXeは、通常用いるArに比べ高価であり、これ
も実用性を考慮する場合、不都合である。
安定維持のために室温レベルで保磁力の大きいことが望
まれる。しかしこのCo／Pt多層膜の場合には、これが小
さいという欠点がある。そこでCo／Pt多層膜の保磁力向
上のために、現在いくつかの試みがなされている。例え
ば、Xeガスによるスパッタリングなどもその一つであ
る。しかしXeは、通常用いるArに比べ高価であり、これ
も実用性を考慮する場合、不都合である。
【００１１】本発明の目的は、例えば人工格子構造のよ
うな複雑な製膜方法を必要とせず、製膜した状態で実用
上十分な垂直磁化特性としての高垂直保磁力と高垂直異
方性とを備え、さらに現在よりも短波長領域で利用に適
した光磁気特性をも備えた磁気記録膜を得ることにあ
る。さらに、記録層を構成する磁気記録膜がそうした特
徴を有する磁気記録媒体、および光磁気記録媒体を得る
ことにある。
うな複雑な製膜方法を必要とせず、製膜した状態で実用
上十分な垂直磁化特性としての高垂直保磁力と高垂直異
方性とを備え、さらに現在よりも短波長領域で利用に適
した光磁気特性をも備えた磁気記録膜を得ることにあ
る。さらに、記録層を構成する磁気記録膜がそうした特
徴を有する磁気記録媒体、および光磁気記録媒体を得る
ことにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明における磁気記録
膜は、コバルト（Co）、白金（Pt）、ルテニウム（Ru）
よりなる３元系合金であって、その組成がCoa Ptb R
uc 、20≦ａ≦70、10≦ｂ≦70、10≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋
ｃ＝100 （ただしａ、ｂ、ｃは原子％による組成比）で
あり、かつ膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有すること
を特徴としている。
膜は、コバルト（Co）、白金（Pt）、ルテニウム（Ru）
よりなる３元系合金であって、その組成がCoa Ptb R
uc 、20≦ａ≦70、10≦ｂ≦70、10≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋
ｃ＝100 （ただしａ、ｂ、ｃは原子％による組成比）で
あり、かつ膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有すること
を特徴としている。
【００１３】本発明では、情報書き込みの際に必要とな
る外部磁場が小さくて済むように、磁気記録膜としは磁
化が飽和する外部磁場が小さいことが好ましい。そこで
膜面に垂直な方向に外部磁場を印加したときに、外部磁
場６kOe 以下で磁気記録膜の磁化を飽和させるため、そ
の組成はCoa Ptb Ruc 、ａ≦70、10≦ｂ、10≦ｃ、ａ＋
ｂ＋ｃ＝100 とする必要がある。
る外部磁場が小さくて済むように、磁気記録膜としは磁
化が飽和する外部磁場が小さいことが好ましい。そこで
膜面に垂直な方向に外部磁場を印加したときに、外部磁
場６kOe 以下で磁気記録膜の磁化を飽和させるため、そ
の組成はCoa Ptb Ruc 、ａ≦70、10≦ｂ、10≦ｃ、ａ＋
ｂ＋ｃ＝100 とする必要がある。
【００１４】また光磁気記録において情報の書き込みを
行う際には、キュリー温度が小さいほど記録感度は上が
るが、キュリー温度は記録媒体としての耐環境性等の点
から、ある程度高いことが好ましい。そこで、キュリー
温度を室温以上にするために、磁気記録膜の組成はCoa
Ptb Ruc 、20≦ａ、ｂ≦70、ｃ≦60、ａ＋ｂ＋ｃ＝100
とする必要がある。
行う際には、キュリー温度が小さいほど記録感度は上が
るが、キュリー温度は記録媒体としての耐環境性等の点
から、ある程度高いことが好ましい。そこで、キュリー
温度を室温以上にするために、磁気記録膜の組成はCoa
Ptb Ruc 、20≦ａ、ｂ≦70、ｃ≦60、ａ＋ｂ＋ｃ＝100
とする必要がある。
【００１５】さらに、有効垂直磁気異方性エネルギーが
正になりやすい（垂直方向を正符号とする）ことがより
好ましい。そこで、組成はCoa Ptb Ruc 、20≦ａ≦40、
10≦ｂ≦30、40≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋ｃ＝100 とすること
がより好ましい。
正になりやすい（垂直方向を正符号とする）ことがより
好ましい。そこで、組成はCoa Ptb Ruc 、20≦ａ≦40、
10≦ｂ≦30、40≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋ｃ＝100 とすること
がより好ましい。
【００１６】ここで、上述のCoPtRu合金組成において垂
直磁化膜を得るには、スパッタリング、真空蒸着あるい
は分子線エピタキシー(MBE) 法等を用いることができ
る。この時使用する蒸発源は、CoPtRu合金蒸発源であっ
てもよいし、各元素の独立した蒸発源であってもよい。
例えば、スパッタリングにより合金薄膜を作成する際に
は、CoPtRu合金ターゲットを使用してもよいし、Coター
ゲットの上にPt、Ruのチップを載置した、いわゆる複合
ターゲットを使用してもよい。
直磁化膜を得るには、スパッタリング、真空蒸着あるい
は分子線エピタキシー(MBE) 法等を用いることができ
る。この時使用する蒸発源は、CoPtRu合金蒸発源であっ
てもよいし、各元素の独立した蒸発源であってもよい。
例えば、スパッタリングにより合金薄膜を作成する際に
は、CoPtRu合金ターゲットを使用してもよいし、Coター
ゲットの上にPt、Ruのチップを載置した、いわゆる複合
ターゲットを使用してもよい。
【００１７】そして本発明による磁気記録膜は、上述の
特徴を生かして磁気記録媒体や光磁気記録媒体の記録層
として用いることができる。
特徴を生かして磁気記録媒体や光磁気記録媒体の記録層
として用いることができる。
【００１８】なお本発明による磁気記録膜は、添加元素
効果や下地層効果、基板加熱効果（アニール効果）等に
より一層の特性改善を図るようにしてもよい。このとき
添加元素としては、Al、Si、Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、Ni、
Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Re、Rh、Ag、In、Sn、S
b、Hf、Ta、Ｗ、Os、Ir、Au、Pb、Pd、Bi等が例示され
る。
効果や下地層効果、基板加熱効果（アニール効果）等に
より一層の特性改善を図るようにしてもよい。このとき
添加元素としては、Al、Si、Ti、Ｖ、Cr、Mn、Fe、Ni、
Cu、Zn、Ga、Ge、Zr、Nb、Mo、Re、Rh、Ag、In、Sn、S
b、Hf、Ta、Ｗ、Os、Ir、Au、Pb、Pd、Bi等が例示され
る。
【００１９】あるいは、他の金属薄膜、誘電体薄膜と前
記CoPtRu合金薄膜とを交互に積層し、いわゆる人工格子
構造光磁気記録媒体として効率の改善を図ることも可能
である。
記CoPtRu合金薄膜とを交互に積層し、いわゆる人工格子
構造光磁気記録媒体として効率の改善を図ることも可能
である。
【００２０】
【実施例および比較例】図１は、本発明の実施例および
比較例として作成したCoPtRu合金薄膜試料の組成を示
す。図中、底辺はPtの組成比（原子％、左端が100 原子
％、右端が0 原子％）、左斜辺はCoの組成比（原子％、
上端が100 原子％、下端が0 原子％）、右斜辺はRuの組
成比（原子％、上端が100 原子％、下端が0 原子％）の
目盛り軸を示す。さらに、図中の◎印は実施例１〜３、
○印は実施例４〜１５、および×印は比較例１〜１２の
組成を示す。
比較例として作成したCoPtRu合金薄膜試料の組成を示
す。図中、底辺はPtの組成比（原子％、左端が100 原子
％、右端が0 原子％）、左斜辺はCoの組成比（原子％、
上端が100 原子％、下端が0 原子％）、右斜辺はRuの組
成比（原子％、上端が100 原子％、下端が0 原子％）の
目盛り軸を示す。さらに、図中の◎印は実施例１〜３、
○印は実施例４〜１５、および×印は比較例１〜１２の
組成を示す。
【００２１】実施例１〜１５及び比較例１〜１２につい
ては、次のように作製した。まず、ＤＣスパッタリング
装置のチャンバー内に、複合ターゲットとしてCoターゲ
ット（直径100mm ）とその上にPtとRuのチップを、作製
する膜組成に応じて適宜載置した。さらにその複合ター
ゲットと対向する水冷装置付きの基台に、ガラス基板を
設置した。そしてガス圧5mTorrのArガス雰囲気中で、投
入電力100WのＤＣスパッタリングを行い、ガラス基板上
に膜厚100nm のCoPtRu合金薄膜を製膜した。
ては、次のように作製した。まず、ＤＣスパッタリング
装置のチャンバー内に、複合ターゲットとしてCoターゲ
ット（直径100mm ）とその上にPtとRuのチップを、作製
する膜組成に応じて適宜載置した。さらにその複合ター
ゲットと対向する水冷装置付きの基台に、ガラス基板を
設置した。そしてガス圧5mTorrのArガス雰囲気中で、投
入電力100WのＤＣスパッタリングを行い、ガラス基板上
に膜厚100nm のCoPtRu合金薄膜を製膜した。
【００２２】得られたCoPtRu合金薄膜の組成は、オージ
ェ電子分光法とICP (Inductively Coupled Plasma Anal
ysis) 発光分析の併用により確定した。種々の磁気特性
は円偏光変調法カースペクトル測定装置、振動試料型磁
力計(VSM) 及び磁気トルク計により測定し評価した。
ェ電子分光法とICP (Inductively Coupled Plasma Anal
ysis) 発光分析の併用により確定した。種々の磁気特性
は円偏光変調法カースペクトル測定装置、振動試料型磁
力計(VSM) 及び磁気トルク計により測定し評価した。
【００２３】各試料の組成比と測定結果を表１及び表２
に示す。ただし、表１及び表２において組成比は原子％
である。また表中、Keff (106 erg/cc) は有効磁気異方
性エネルギー（正符号が磁性薄膜の膜面に対して垂直方
向を表す。但しここでは、磁気トルク計での測定値を試
料中の磁気記録膜の体積で割った値であり、反磁界エネ
ルギー補正は行っていない）、Hs(kOe) は磁性薄膜の膜
面に対して垂直方向に外部磁場を印加した際に磁化が飽
和する外部磁場の大きさ（垂直飽和磁場）、Hc(kOe) は
垂直保磁力、そしてθk(deg)は測定波長400nm での飽和
カー回転角を示す。
に示す。ただし、表１及び表２において組成比は原子％
である。また表中、Keff (106 erg/cc) は有効磁気異方
性エネルギー（正符号が磁性薄膜の膜面に対して垂直方
向を表す。但しここでは、磁気トルク計での測定値を試
料中の磁気記録膜の体積で割った値であり、反磁界エネ
ルギー補正は行っていない）、Hs(kOe) は磁性薄膜の膜
面に対して垂直方向に外部磁場を印加した際に磁化が飽
和する外部磁場の大きさ（垂直飽和磁場）、Hc(kOe) は
垂直保磁力、そしてθk(deg)は測定波長400nm での飽和
カー回転角を示す。
【００２４】磁気記録膜としては小さい外部磁場で磁化
が飽和することが望ましい。表２に示した比較例１〜１
２においては、垂直飽和磁場が６kOe 以上と大きいが、
表１に示した実施例１〜１５においては、垂直飽和磁場
が実用的に好ましい６kOe 以下となっている。すなわ
ち、組成をCoa Ptb Ruc 、20≦ａ≦70、10≦ｂ≦70、10
≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋ｃ＝100 とすることで、垂直飽和磁
場を６kOe 以下にすることができる。
が飽和することが望ましい。表２に示した比較例１〜１
２においては、垂直飽和磁場が６kOe 以上と大きいが、
表１に示した実施例１〜１５においては、垂直飽和磁場
が実用的に好ましい６kOe 以下となっている。すなわ
ち、組成をCoa Ptb Ruc 、20≦ａ≦70、10≦ｂ≦70、10
≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋ｃ＝100 とすることで、垂直飽和磁
場を６kOe 以下にすることができる。
【００２５】さらに垂直磁化膜として利用する場合、有
効磁気異方性エネルギーが正になることがより好まし
い。そこで表１の実施例１〜３に示されたように、組成
はCoaPtb Ruc 、20≦ａ≦40、10≦ｂ≦30、40≦ｃ≦6
0、ａ＋ｂ＋ｃ＝100 であることが好ましい。
効磁気異方性エネルギーが正になることがより好まし
い。そこで表１の実施例１〜３に示されたように、組成
はCoaPtb Ruc 、20≦ａ≦40、10≦ｂ≦30、40≦ｃ≦6
0、ａ＋ｂ＋ｃ＝100 であることが好ましい。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【表２】
【００２８】
【発明の効果】本発明では以上説明したように、例えば
人工格子構造のような複雑な製膜方法を必要とせず、製
膜した状態で実用上十分な垂直磁化特性としての高垂直
保磁力と高垂直異方性とを備え、さらに現在よりも短波
長領域で利用に適した光磁気特性をも備えた磁気記録膜
を得ることができる。さらに、記録層を構成する磁気記
録膜がそうした特徴を有する磁気記録媒体、および光磁
気記録媒体を得ることができる。
人工格子構造のような複雑な製膜方法を必要とせず、製
膜した状態で実用上十分な垂直磁化特性としての高垂直
保磁力と高垂直異方性とを備え、さらに現在よりも短波
長領域で利用に適した光磁気特性をも備えた磁気記録膜
を得ることができる。さらに、記録層を構成する磁気記
録膜がそうした特徴を有する磁気記録媒体、および光磁
気記録媒体を得ることができる。
【図１】実施例および比較例の組成
Claims (4)
- 【請求項１】コバルト（Co）、白金（Pt）、ルテニウム
（Ru）よりなる３元系合金であって、その組成がCoa Pt
b Ruc 、20≦ａ≦70、10≦ｂ≦70、10≦ｃ≦60、ａ＋ｂ
＋ｃ＝100 （ただしａ、ｂ、ｃは原子％による組成比）
であり、かつ膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有するこ
とを特徴とする磁気記録膜。 - 【請求項２】組成がCoa Ptb Ruc 、20≦ａ≦40、10≦ｂ
≦30、40≦ｃ≦60、ａ＋ｂ＋ｃ＝100 であることを特徴
とする請求項１記載の磁気記録膜。 - 【請求項３】請求項１〜２のいずれかに記載の磁気記録
膜を記録層に用いたことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項４】請求項１〜２のいずれかに記載の磁気記録
膜を記録層に用いたことを特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04167551A JP3113069B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気記録膜、磁気記録媒体、および光磁気記録媒体 |
| CA002098950A CA2098950A1 (en) | 1992-06-25 | 1993-06-22 | Magneto-optical layer and magneto-optical recording medium |
| KR1019930011569A KR100194132B1 (ko) | 1992-06-25 | 1993-06-24 | 자기광학층 및 자기광학기록매체 |
| TW084101473A TW257858B (ja) | 1992-06-25 | 1993-06-25 | |
| TW084101474A TW257859B (ja) | 1992-06-25 | 1993-06-25 | |
| TW082105083A TW253050B (ja) | 1992-06-25 | 1993-06-25 | |
| EP19930304971 EP0576292A3 (en) | 1992-06-25 | 1993-06-25 | Magneto-optical layer and magneto-optical recording medium |
| US08/283,197 US5626973A (en) | 1992-06-25 | 1994-08-04 | Magneto-optical layer and magneto-optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04167551A JP3113069B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気記録膜、磁気記録媒体、および光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0612713A true JPH0612713A (ja) | 1994-01-21 |
| JP3113069B2 JP3113069B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=15851820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04167551A Expired - Fee Related JP3113069B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気記録膜、磁気記録媒体、および光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3113069B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012532943A (ja) * | 2009-07-10 | 2012-12-20 | エボニック デグサ ゲーエムベーハー | テレフタル酸単位ならびにトリメチルヘキサメチレンジアミン単位を含有するコポリアミドをベースとする成形材料 |
| US9573385B2 (en) | 2010-03-18 | 2017-02-21 | Koninklijke Philips N.V. | Printing apparatus and method for controlling a printing apparatus |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP04167551A patent/JP3113069B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP3113069B2 (ja) | 2000-11-27 |
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