JPH0612878A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JPH0612878A
JPH0612878A JP4166475A JP16647592A JPH0612878A JP H0612878 A JPH0612878 A JP H0612878A JP 4166475 A JP4166475 A JP 4166475A JP 16647592 A JP16647592 A JP 16647592A JP H0612878 A JPH0612878 A JP H0612878A
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JP
Japan
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signal
test mode
test
terminal
high voltage
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Application number
JP4166475A
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English (en)
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Yoshiyuki Haraguchi
喜行 原口
Yutaka Arita
豊 有田
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPH0612878A publication Critical patent/JPH0612878A/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/46Test trigger logic

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  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 SRAMの出荷前テストが要求されるとき、
端子62を介して予じめ定められた時間長さを越えるパ
ルス幅を有するパルス信号PLが与えられる。パルス幅
検出回路80は与えられたパルス信号のパルス幅を検出
し、保持信号HDを出力する。テストモード信号保持回
路90は、保持信号HDに応答して外部から与えられる
テストモード要求信号TM′を保持する。出荷前テスト
が終了された後は、ヒューズ71の溶断により、パルス
幅検出回路80が不能化される。 【効果】 出荷前テストが行われた後ヒューズ71が溶
断されるので、テストモード動作が好ましくなく行われ
るのが防がれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一般に半導体メモリ
装置に関し、特に、テストモード動作が望ましくなく引
き起こされるのを防ぐことのできる半導体メモリ装置に
関する。
【0002】
【背景の技術】一般に、半導体メモリを始めとする半導
体集積回路装置について、工場の出荷前に、製造された
半導体集積回路装置が所望の機能を達成できるか否かを
確認するための出荷前テストが行われる。出荷前テスト
において、たとえば半導体メモリは、外部から指定され
たテストモードにおいて動作される。すなわち、外部か
ら何らかのテストモード信号が半導体メモリに与えら
れ、半導体メモリは与えられたテストモード信号に応答
してテストモード動作を実行する。
【0003】一般に、出荷前テストは半導体装置の製造
工場においてのみ行われるべきである。すなわち。半導
体装置のユーザにとっては、出荷された半導体装置が出
荷前テストのためのテストモードにおいて動作すること
は望ましくない。しかしながら、場合によっては、テス
トモード動作が好ましくなく引き起こされることもあ
る。以下の記載では、まずこの望ましくないテストモー
ド動作が引き起こされる原因について半導体メモリにつ
いて説明する。
【0004】図6は、この発明の背景を示すスタティッ
クランダムアクセスメモリ(以下「SRAM」という)
のブロック図である。図6を参照して、このSRAM1
01は、n個のメモリブロックBK1ないしBKnと、
アクセスされるべきメモリブロックを選択するためのブ
ロックセレクタ回路8とを含む。メモリブロックBK1
ないしBKnのうちの1つ、たとえばメモリブロックB
K1は、行および列に配設されたメモリセル(図示せ
ず)を備えたメモリセルアレイ11と、ビット線負荷回
路171と、アクセスされるべきビット線対を選択する
ためのマルチプレクサ21と、データ書込のための書込
バッファ31と、データ読出のためのセンスアンプ41
とを含む。他のメモリブロックBK2ないしBKnにお
いても、同様の回路構成が設けられている。
【0005】SRAM101は、さらに、外部から与え
られる行アドレス信号RAを受ける行アドレスバッファ
51と、外部から与えられる列アドレス信号CAを受け
る列アドレスバッファ52と、外部から与えられるブロ
ックアドレス信号BAを受けるブロックアドレスバッフ
ァ53と、行アドレス信号RAをデコードする行デコー
ダ6と、列アドレス信号CAをデコードする列デコーダ
7と、ブロックアドレス信号BAをデコードすることに
よりアクセスされるべきブロックを選択するブロックセ
レクタ8と、入力データ信号DIを受けるデータ入力バ
ッファ55と、出力データ信号DOを出力するデータ出
力バッファ56と、外部から与えられるチップ選択信号
/CSおよび書込イネーブル信号/WEに応答して動作
する読出/書込制御回路54とを含む。
【0006】次に、通常のアクセス動作について説明す
る。たとえばメモリブロックBK1がアクセスされると
き、メモリブロックBK1を指定するためのブロックア
ドレス信号BAがアドレスバッファ53を介してブロッ
クセレクタ回路8に与えられる。ブロックセレクタ回路
8は与えられたブロックアドレス信号BAをデコード
し、書込バッファ31およびセンスアンプ41のみを選
択的に活性化させる。データ読出において、行デコータ
6が行アドレス信号RAに応答してメモリセルアレイ1
1内の1本のワード線(図示せず)を活性化させる。列
デコーダ7は、列アドレス信号CAに応答してメモリセ
ルアレイ11内の1つの列を選択する。したがって、行
デコーダ6および列デコーダ7によって指定されたメモ
リセルにストアされていたデータ信号がマルチプレクサ
21を介してセンスアンプ41に与えられる。センスア
ンプ41によって増幅されたデータ信号は、データ出力
バッファ56を介して出力データDOとして出力され
る。
【0007】書込動作において、入力データDIがデー
タ入力バッファ55を介して書込バッファ31に与えら
れる。列デコーダ7は、列アドレス信号CAに応答して
メモリセルアレイ11内の1つの列を選択する。行デコ
ーダ6は、行アドレス信号RAに応答してメモリセルア
レイ11内の1本のワード線を活性化させる。したがっ
て、書込バッファ31は、マルチプレクサ21を介して
行デコーダ6および列デコーダ7によって指定されたメ
モリセルにデータ信号を書き込む。
【0008】図7は、図6に示したメモリセルアレイ1
1の周辺回路の回路図である。図7を参照して、表示の
簡単化のため、メモリセルアレイ11内の4つのメモリ
セル24aないし24dだけが示される。メモリセル2
4aおよび24cは、ビット線20aと20bとの間に
接続される。メモリセル24bおよび24dは、ビット
線21aと21bとの間に接続される。
【0009】ビット線負荷回路171は、各々が電源電
位Vccと対応する一本のビット線20a,20b,2
1aおよび21bとの間に接続されたNMOSトランジ
スタ25a,25b,26aおよび26bを含む。一
方、マルチプレクサ21は、I/O線対29a,29b
とビット線20a,20b,21aおよび21bとの間
に接続されたNMOSトランジスタ27a,27b,2
8aおよび28bを含む。I/O線対29aおよび29
bは、センスアンプ41の入力および書込バッファ31
の出力に接続される。
【0010】行デコーダ6は、アクセスされるべきメモ
リセルに接続されているワード線WL0およびWL1の
一本を選択的に活性化する。ワード線WL0に接続され
たメモリセル24aおよび24bは、ひとつのメモリセ
ル行を構成する。ワード線WL0が活性化されたとき、
メモリセル24aおよび24bを含むメモリセル行がア
クセスされる。一方、行デコーダ7は、アクセスされる
べきメモリセル列を選択するための列選択信号Y0およ
びY1の一方を活性化する。たとえば、列選択信号Y0
が活性化されたとき、トランジスタ27aおよび27b
がオンするので、メモリセル24aおよび24cを含む
メモリセル列がアクセスされる。
【0011】図8は、図7に示したメモリセルの一例を
示す回路図である。図8を参照して、このメモリセルM
C1(たとえば図7の24a)は、NMOSトランジス
タ41aおよび41bと、高抵抗負荷としての抵抗43
aおよび43bと、アクセスゲートとしてのNMOSト
ランジスタ42aおよび42bとを含む。
【0012】図9は、図7に示したメモリセルの別の例
を示す回路図である。図9を参照して、このメモリセル
MC2は、NMOSトランジスタ41aおよび41b
と、負荷として働くPMOSトランジスタ44aおよび
44bと、アクセスゲートとしてのNMOSトランジス
タ42aおよび42bとを含む。
【0013】図10は、図7に示したメモリセル24a
の読出動作を説明するためのタイミング図である。図1
0を参照して、横軸は時間の経過を示し、縦軸は電位
(ボルト)を示す。ラインADiは、行アドレスバッフ
ァ51および列アドレスバッファ52の入力信号の変化
を示す。ラインADoは、行および列アドレスバッファ
51および52の出力信号の変化を示す。ラインWL
は、メモリセル24aに接続されたワード線WL0の変
化を示す。ラインI/OはI/O線対29aおよび29
bの電位の変化を示す。ラインSAoは、センスアンプ
41の出力電圧の変化を示す。ラインDoは、データ出
力バッフア56の出力電圧の変化を示す。
【0014】時刻t0において、入力アドレス信号AD
iが変化される。したがって、アドレスバッファ51お
よび52の出力信号ADoは、時刻t1において変化す
る。時刻t2において、ワード線WL0の電位が変化す
るので、メモリセル24a内にストアされたデータ信号
がビット線対20a,20bに伝えられる。これに加え
て、列デコーダ7から出力される列選択信号Y0が高レ
ベルになるので、トランジスタ27aおよび27bがオ
ンする。したがって、時刻t3において、I/O線対2
9aおよび29bの電位が変化する。
【0015】時刻t4においてセンスアンプ41が、読
出/書込制御回路54から与えられる制御信号に応答し
て活性化されるので、センスアンプ41によるデータ信
号の増幅が行われる。したがって、時刻t5において、
データ出力バッファ56の出力信号Doがメモリセル2
4aから読出されたデータに従って変化される。
【0016】前述の出荷前テストにおいて、一般に半導
体装置の加速試験(テスト)が行われる。SRAMにつ
いても、環境ストレス(温度,湿度,振動など)および
電気ストレス(電圧,電流など)をSRAMに与えるこ
とによって加速試験が行われる。すなわち、上記のスト
レスがSRAMに与えられた後、そのSRAMについて
データ書込およびデータ読出が行われる。メモリセルア
レイ内のすべてのメモリセルについてデータ書込および
データ読出が繰返され、書込データと読出データが常に
一致することが確認される。もし、書込データと読出デ
ータの一致が検出されないとき、そのSRAMは不良品
であるとして廃棄される。
【0017】上記のデータ書込およびデータ読出を個々
のメモリセルについて行い、かつ一致を個々に読出すこ
とは、非常に長い時間を要するので、近年では、テスト
時間を短縮するため次のような改善が施されている。
【0018】再び図6を参照して、SRAM101は、
さらに、センスアンプ41ないし4nから出力されるデ
ータ信号を受けるように接続された一致検出回路5を備
えている。スペア端子57を介してテストモード信号T
Mが外部から与えられたとき、一致検出回路5,書込バ
ッファ31ないし3nおよびセンスアンプ41ないし4
nが能動化される。その結果、共通の入力信号DIを、
各メモリセルアレイ11ないし1nにおいて対応するア
ドレスのメモリセルに書き込むことが可能となる。さら
には、各メモリセルアレイ11ないし1n内の対応する
アドレスのメモリセルから読出されたデータ信号を、セ
ンスアンプ41ないし4nを介して同時に一致検出回路
5に与えることが可能となる。一致検出結果を示す信号
は、テストモードにおいて、データ出力バッファ56を
介して外部に出力される。
【0019】テストモード信号TMが与えられている間
において、行アドレス信号RAおよび列アドレス信号C
Aが繰返し与えられ、各メモリセルアレイ11ないし1
n内の対応するアドレスのメモリセルにデータ信号が書
き込まれ、かつストアされたデータ信号が読み出され
る。一致検出回路5において、いずれのアドレスについ
ても書込データと読出データとの間の一致が検出される
とき、そのSRAMが「良品」として判断される。この
ように、一致検出回路5を用いることにより、すべての
メモリセルアレイ11ないし1nにつしいて、データ書
込およびデータ読出の繰り返しを並列に行うことができ
るので、テストに要する時間が短縮される。
【0020】図6に示したSRAM101では、テスト
モードを指定するのに、スペア端子57が用いられてい
る。もし、SRAMがスペア端子を有していないとき、
図11に示すような高電圧検出回路59が設けられる。
【0021】図11は、この発明の背景を示すSRAM
の別の例を示すブロック図である。図11を参照して、
このSRAM102は、ブロックアドレス信号BAを受
ける外部端子のうち最上位の端子58に接続された高電
圧検出回路59を含む。外部からテストモードが指定さ
れるとき、端子58を介して電源電位Vccを越える高
電圧信号HVが端子58を介して与えられる。高電圧検
出回路59は、与えられた高電圧信号HVに応答してテ
ストモード信号TMを出力する。テストモード信号TM
は、一致検出回路5,書込バッファ31ないし3nおよ
びセンスアンプ41ないし4nに与えられる。
【0022】ブロックアドレス信号BAの最上位ビット
を受けるための端子58は、通常の動作においてメモリ
ブロックを指定するために使用される。テストモードに
おいて、前述のようにすべてのメモリブロックがアクセ
スされる。したがって、メモリブロックの指定の必要が
ないので、端子58はテストモードにおいてテストモー
ドを外部から指定するのに使用できる。すなわち、端子
58を介して高電圧信号HVを与えることは、テストモ
ードにおいて何ら問題を生じさせない。
【0023】高電圧検出回路59がテストモード信号T
Mを出力した後、図6に示したSRAM101と同様の
テスト動作、すなわち一致検出回路5による一致検出動
作が繰り返される。
【0024】図12は、この発明の背景を示すSRAM
のさらに別の例を示すブロック図である。図12を参照
して、このSRAM103は、書込イネーブル信号/W
Eを受けるための端子62に接続された高電圧検出回路
60と、ブロックアドレス信号BAの最上位ビットを受
けるための端子58に接続されたテストモード信号保持
回路61とを含む。外部からテストモードが指定される
とき、端子62を介して高電圧信号HVが与えられる。
高電圧検出回路60は高電圧信号HVに応答して保持信
号HDを出力する。テストモード信号保持回路61は、
与えられた保持信号HDに応答して、端子58を介して
与えられるテストモード信号TM′を保持する。保持さ
れた信号は、テストモード信号TMとしてテストモード
信号保持回路61から出力される。
【0025】図12に示したSRAM103では、外部
からテストモードを指定するのに、高電圧検出回路60
およびテストモード信号保持回路61が用いられてい
る。テストモード信号TM′が一旦テストモード信号保
持回路61内に保持された後、テストモード信号TMが
一致検出回路5,書込バッファ31ないし3nおよびセ
ンスアンプ41ないし4nに与えられ続ける。したがっ
て、テストモードの指定が終了した後、端子62に高電
圧信号HVを与え続ける必要がない。一致検出回路5に
よる一致検出動作は、図6に示したSRAM101と同
様に行われる。
【0026】図13は、図12に示した高電圧検出回路
60の回路図である。図13を参照して、高電圧検出回
路60は、レベル判別のためのインバータ78と、端子
62とインバータ78の入力ノードとの間に直列に接続
されたNMOSトランジスタ86,87および88とを
含む。各トランジスタ86,87および88は、対応す
るゲートが対応するドレインに接続され、ダイオードを
構成している。
【0027】動作において、端子62を介して電源電位
Vcc以下の信号が与えられたとき、インバータ78は
高レベルの保持信号HDを出力する。したがって、テス
トモード信号保持回路61は、この場合では、端子58
を介して与えられる信号TM′を保持しない。一方、端
子62を介して電源電位Vccを越える高電圧信号HV
が与えられたとき、インバータ78が低レベルの保持信
号HDを出力する。テストモード信号保持回路61は、
信号HDに応答して、端子58を介して与えられるテス
トモード信号TM′を保持し、保持された信号がテスト
モード信号TMとして出力される。図13に示した高電
圧検出回路60は、図11に示した高電圧検出回路59
としても用いられることが指摘される。
【0028】
【発明が解決しようとする課題】上記の説明から分かる
ように、図11および図12に示したSRAM102お
よび103では、外部からテストモードを指定するの
に、他の目的を有している端子58および62が共用さ
れている。端子58および62の共用は、外部端子の増
加を防ぐのに貢献するのであるが、次のような問題を引
き起すことがある。
【0029】高電圧検出回路59および60は、図13
に示すような回路構成を有しているので、SRAMの製
造における何らかの原因により、高電圧信号HVの判別
のためのしきい値がしばしば変動され得る。テストモー
ドの指定を確実に行うためには、高電圧信号HVの電位
をより高く選択するべきであるが、そのような高電圧の
供給はMOSトランジスタを破壊しやすい。したがっ
て、高電圧信号HVの電位は、電源電位Vccを越える
それほど高くない範囲内に選択する必要がある。その結
果、高電圧の判別のためのしきい値が製造工程における
何らかの原因により低くなっている場合に、テストモー
ドの指定がユーザによって要求されていないにもかかわ
らず、テストモードの指定が認識されることがあり得
る。したがって、そのような場合にはSRAMにおける
テストモード動作が開始されてしまい、そのことはSR
AMのユーザにとって誤動作として認識される。
【0030】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、半導体メモリ装置において、テ
ストモード動作が好ましくなく引き起こされるのを防ぐ
ことを目的とする。
【0031】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明にかかる
半導体メモリ装置は、外部から与えられるパルス信号を
受けるための第1の端子と、外部から与えられるテスト
モード信号を受けるための第2の端子と、第1の端子を
介して与えられるパルス信号が予め定められた時間長さ
を越えるパルス幅を有していることを検出するパルス幅
検出手段と、パルス幅検出手段に応答して、第2の端子
を介して与えられるテストモード信号を保持するテスト
モード信号保持手段と、テストモード信号保持手段内に
保持されたテストモード信号に応答して、半導体メモリ
装置におけるテストを実行するテスト回路手段と、テス
ト回路手段によりテストが実行されるべきでないとき、
パルス幅検出手段による検出動作を不能化する不能化手
段とを含む。
【0032】請求項2の発明にかかる半導体メモリ装置
は、外部から与えられ、かつ電源電位を越える高電圧信
号を受けるための第1の端子と、外部から与えられるテ
ストモード信号を受けるための第2の端子と、第1の端
子を介して高電圧信号が与えられたことを検出する高電
圧検出手段と、高電圧検出手段に応答して、第2の端子
を介して与えられるテストモード信号を保持するテスト
モード保持手段と、テストモード信号保持手段内に保持
されたテストモード信号に応答して、半導体メモリ装置
におけるテストを実行するテスト回路手段と、テスト回
路手段によりテストが実行されるべきでないとき、高電
圧検出手段による検出動作を不能化する不能化手段とを
含む。
【0033】請求項3に発明にかかる半導体メモリ装置
は、外部から与えられ、かつ電源電位を越える高電圧信
号を受けるための予め定められた端子と、予め定められ
た端子を介して高電圧信号が与えられたことを検出する
高電圧検出手段と、高電圧検出手段に応答して、半導体
メモリ装置におけるテストをを実行するテスト回路手段
と、テスト回路手段によりテストが実行されるべきでな
いとき、高電圧検出手段を予め定められた端子から切断
する切断回路手段とを含む。
【0034】
【作用】請求項1の発明における半導体メモリ装置で
は、パルス幅検出手段が、予め定められた時間長さを越
えるパルス幅を有しているパルス信号が与えられたこと
を検出したときのみ、テストモード信号保持手段が第2
の端子を介して与えられるテストモード信号を保持す
る。テスト回路手段は、保持されたテストモード信号に
応答して半導体メモリ装置におけるテストを実行する。
これに加えて、テスト回路手段によるテストが実行され
るべきでないとき、不能化手段がパルス幅検出手段によ
る検出動作を不能化する。したがって、テスト回路手段
によりテストが実行されるべきでないときに、テストモ
ード信号保持手段がテストモード信号を保持することは
なく、その結果テスト回路手段が好ましくなく動作する
のが防がれる。
【0035】請求項2の発明における半導体メモリ装置
でも、テスト回路手段によりテストが実行されるべきで
ないときに、不能化手段が高電圧検出手段による検出動
作を不能化する。その結果、テストモード信号保持手段
がこのときにテストモード信号を保持することはなく、
したがって、テスト回路手段が好ましくなく動作するこ
とが防がれる。
【0036】請求項3の発明における半導体メモリ装置
では、テスト回路手段によりテストが実行されるべきで
ないとき、切断回路手段が高電圧検出手段を予め定めら
れた端子から切断する。その結果、高電圧検出手段が動
作することがなく、したがって、テスト回路手段が好ま
しくなく動作することが防がれる。
【0037】
【実施例】図1は、この発明の一実施例を示すSRAM
のブロック図である。図1を参照して、このSRAM1
00は、書込イネーブル信号/WEを受けるための端子
62に接続された切断回路70と、切断回路70を介し
て与えられるパルス信号のパルス幅を検出するためのパ
ルス幅検出回路80と、ブロックアドレス信号BAの最
上位ビットを受けるための端子58に接続されたテスト
モード信号保持回路90とを含む。SRAM100の他
の回路構成については、図6に示したSRAM101と
同様であるので説明が省略される。
【0038】図2は、図1に示した切断回路70および
パルス幅検出回路80の回路図である。図2を参照し
て、切断回路70は、端子62に接続されたヒューズ7
1と、チップ選択信号CSに応答してパルス信号PLを
通過させるトランスミッションゲート73と、パルス信
号PLを受けるように接続されたインバータ75と、イ
ンバータ75の入力ノードをプルアップするためのPM
OSトランジスタ74と、ヒューズ71と電源端子Vc
cとの間に接続されたダイオード72とを含む。トラン
ジスタ74のゲートは接地されている。
【0039】パルス幅検出回路80は、切断回路70か
ら出力された反転されたパルス信号/PLを受ける遅延
素子81と、信号/PLおよび遅延された信号/PLD
を受けるNANDゲート82とを含む。NANDゲート
82の出力信号は、保持信号HDとしてテストモード信
号保持回路90に与えられる。
【0040】図2に示した抵抗63およびNMOSトラ
ンジスタ64は、読出/書込制御回路54のための入力
保護回路として設けられている。
【0041】図3は図2に示したパルス幅検出回路80
の動作を説明するためのタイミング図である。図2およ
び図3を参照して、以下にテストモード指定動作につい
て説明する。
【0042】端子62を介して、テストモード信号の保
持を要求するためのパルス信号PLが切断回路70に与
えられる。パルス信号PLは、ヒューズ71およびトラ
ンスミッションゲート73を介してインバータ75に与
えられる。外部から与えられたパルス信号PLは、プル
アップのためのPMOSトランジスタ74に影響される
ことなくパルスを伝えることができる。言い換えると、
トランジスタ74は、パルス信号PLにうちかってイン
バータ75の入力ノードをプルアップできるほどの相互
コンダクタンスを有していない。したがって、インバー
タ75を介して、反転されたパルス信号/PLが出力さ
れる。
【0043】パルス信号/PLは遅延素子81により遅
延され、遅延されたパルス信号/PLDがNANDゲー
ト82に与えられる。NANDゲート82は、パルス信
号/PLをも受ける。遅延素子81における遅延時間Δ
Tは、たとえば100msに設定されている。したがっ
て、NAMDゲート82は、パルス信号/PLが時間長
ささΔTを越えて低レベルであるとき、言い換えるとパ
ルス信号/PLがΔTを越えるパルス幅を有していると
き、低レベルの出力信号HDを出力する。すなわち、図
3を参照して、時刻t1においてパルス信号/PLが立
ち下がった後、時間長さΔTが経過した時刻t2におい
て、NANDゲート82が低レベルの信号HDを出力す
る。
【0044】テストモード信号保持回路90は、低レベ
ルの保持信号HDに応答してテストモード信号TM′の
ための保持状態にもたらされる。時刻t3において、端
子58を介してテストモードを要求するテストモード信
号TM′が立ち下がる。したがって、テストモード信号
保持回路90は、低レベルの保持信号HDに応答して低
レベルのテストモード要求信号TM′を保持する。保持
された信号は、低レベルのテストモード信号TMとして
テストモード信号保持回路90から出力される。低レベ
ルのテストモード信号が出力されたとき、SRAM10
0においてテストモード動作が実行される。
【0045】テストモード信号TMがいったんテストモ
ード信号保持回路90において保持された後は、端子6
2および58に何ら特別の信号を与え続ける必要がな
い。したがって、これらの端子62および58は、テス
トモード動作における必要に従って使用され得る。他
方、テストモードの解除は次のように行われる。
【0046】時刻t11において低レベルのパルス信号
/PLがパルス幅検出回路80に与えられる。時刻t1
1の後時間長さΔTが経過した時刻t12において、パ
ルス幅検出回路80が低レベルの信号HDを出力する。
したがって、テストモード信号保持回路90は、低レベ
ルの保持信号HDに応答してテストモード解除信号T
M′を保持できる状態にもたらされる。
【0047】時刻t13において高レベルのテストモー
ド解除信号TM′がテストモード信号保持回路90に与
えられる。したがって、テストモード信号保持回路90
は高レベルの信号TM′を保持し、保持された信号をテ
ストモード信号TMとして出力する。すなわち、高レベ
ルのテストモード信号TMが出力され、図1に示した一
致検出回路5,書込バッファ31ないし3nおよびセン
スアンプ41ないし4nに与えられる。高レベルのテス
トモード信号TMが出力されたとき、SRAM100に
おけるテストモード動作が終了され、したがってSRA
M100が通常の動作を行ないうる状態にもたらされ
る。
【0048】図4は、図1に示したテストモード信号保
持回路90の回路図である。図4を参照して、テストモ
ード信号保持回路90は、インバータ83,84および
85と、NMOSトランジスタ91ないし96と、PM
OSトランジスタ97および98と、キャパシタ99と
を含む。
【0049】動作において、低レベルの保持信号HDが
与えられたとき、インバータ84が高レベルの信号をト
ランジスタ92および96のゲートに与える。したがっ
て、トランジスタ92および96がオンする。これに加
えて、低レベルのテストモード要求信号TM′が端子5
8を介して与えられたとき、インバータ83が高レベル
の信号をトランジスタ95のゲートに与える。したがっ
て、トランジスタ93,94,97および98によって
構成されたラッチ回路65の出力ノードN2が強制的に
プルダウンされる。したがって、トランジスタ97およ
び94がオンするので、ラッチ回路65はノードN2を
介して低レベルのテストモード信号TMを出力する。
【0050】他方、低レベルの保持信号HDが与えられ
ている期間において、高レベルのテストモード解除信号
TM′が与えられたとき、トランジスタ91がオンし、
トランジスタ95はオフする。したがって、ラッチ回路
65のノードN1がトランジスタ91および92によっ
て強制的にプルダウンされるので、トランジスタ98お
よび93がオンする。その結果、高レベルのテストモー
ド信号TMがノードN2を介して出力される。
【0051】高レベルの保持信号HDが与えられたと
き、トランジスタ92および96はオフする。したがっ
て、ラッチ回路65におけるテストモード信号の保持状
態が維持されるので、テストモード信号保持回路90か
ら出力されるテストモード信号TMのレベルは保たれ
る。
【0052】図4に示したテストモード信号保持回路9
0が低レベルのテストモード信号TMを出力している期
間において、図1に示した一致検出回路5,書込バッフ
ァ31ないし3nおよびセンスアンプ41ないし4nに
よるテストモード動作が行われる。他方、高レベルのテ
ストモード信号TMが出力されるとき、一致検出回路5
は不能化され、書込バッファ31ないし3nおよびセン
スアンプ41ないし4nの通常のアクセス動作を行う。
【0053】テストモード動作が行われるべきでないと
き、テストモード信号保持回路TMは常に高レベルのテ
ストモード信号TMを出力する必要がある。したがっ
て、電源電圧Vccの供給が開始されたとき、テストモ
ード信号保持回路90が自動的に高レベルのテストモー
ド信号TMを出力するように、トランジスタ91ないし
93のそれぞれのしきい電圧がトランジスタ94ないし
96のそれぞれのしきい電圧よりも低くなるように設計
されている。これにより、テストモード信号保持回路9
0は、保持信号HDが与えられなくても、電源電圧Vc
cが供給された後常に高レベルのテストモード信号TM
を出力することができる。したがって、SRAM100
は、電源電圧Vccが供給された後は、常に通常の動作
モードで動作できる状態にもたらされる。
【0054】再び図2を参照して、出荷前テストが終了
した後、切断回路70内のヒューズ71が切断される。
すなわち、SRAM100が出荷されたあとはテストモ
ード動作が実行されるべきでないので、ヒューズ71の
切断によりパルス幅検出回路80の検出動作が不能化さ
れる。ヒューズ71の切断は次のように行われる。
【0055】図1に示した電源電圧端子Vccが接地さ
れ、これに加えて、端子62を介して高レベルの電圧が
与えられる。したがって、電流が端子62からヒューズ
71およびダイオード72を介して接地された電源端子
Vccに流れるので、ヒューズ71が溶断される。ヒュ
ーズ71の溶断により、インバータ75の入力ノードは
端子62から物理的に切断される。
【0056】SRAM100に通常の電源電圧Vccが
与えられたとき、インバータ75の入力ノードはトラン
ジスタ74により常にプルアップされる。したがってイ
ンバータ75が低レベルに固定された信号/PLを出力
することになる。その結果、パルス幅検出回路が不能化
され、高レベルの保持信号HDが出力される。テストモ
ード信号保持回路90は、高レベルの保持信号HDが与
えられるので、端子58に与えられるいかなる信号をも
保持することはない。したがって、テストモード動作が
好ましくなく行なわれるのが防がれる。
【0057】図5は、この発明の別の実施例のSRAM
において適用され得る高電圧検出回路の回路図である。
図5を参照して、改善された高電圧検出回路60′は、
図13に示した回路60と比較すると、さらに、ヒュー
ズ89と、ダイオード76と、抵抗77とを備えてい
る。ヒューズ89は、トランジスタ86ないし88の直
列接続とインバータ78の入力ノードとの間に接続され
る。ダイオード76は、電源電圧端子Vccとインバー
タ78の入力ノードとの間に接続される。抵抗77は、
インバータ78の入力ノードと接地電位との間に接続さ
れる。
【0058】図5に示した高電圧検出回路60′は、図
11および図12に示したSRAM102および103
における高電圧検出回路59および60に代えて用いら
れ得る。
【0059】端子62を介して、電源電位Vccを越え
る高電圧信号HVが与えられたとき、インバータ78は
低レベルの保持信号HDを出力する。テストモード信号
保持回路90は、低レベルの信号HDに応答して、テス
トモード要求信号またはテストモード解除信号TM′を
保持する。保持された信号はテストモード信号TMとし
てテストモード信号保持回路90から出力される。
【0060】出荷前テストが終了された後、ヒューズ8
9が溶断される。ヒューズ89の溶断は図2に示したヒ
ューズ71と同様に行われる。すなわち、電源電圧端子
Vccが接地された後、端子62を介して高レベルの電
圧が与えられる。したがって、電流がトランジスタ86
ないし88,ヒューズ89およびダイオード76を介し
て接地された電源電圧端子Vccに向って流れるので、
ヒューズ89が溶断される。言い代えると、インバータ
78の入力ノードは、ヒューズ89の溶断により端子6
2から物理的に切断される。
【0061】SRAMに電源電圧Vccが供給された
後、インバータ78の入力ノードは抵抗77の作用によ
り低レベルにもたらされる。したがって、インバータ7
8が高レベルの保持信号HDを出力するので、テストモ
ード信号保持回路90が信号TM′を保持することはな
い。したがって、テストモード信号保持回路90が低レ
ベルのテストモード信号TMを出力することがないの
で、テストモード動作が好ましくなく実行されるのが防
がれる。
【0062】図5に示した高電圧検出回路60′は、図
11に示したSRAM102における高電圧検出回路5
9に代えても適用され得ることが指摘される。そのよう
なSRAMの実施例では、インバータ78からテストモ
ード信号TMが直接に出力される。出荷前テストが終了
した後、ヒューズ89が溶断されるので、高レベルのテ
ストモード信号TMが常に出力される。したがって、テ
ストモード動作が好ましくなく実行されるのが防がれ
る。
【0063】このように、図1に示したSRAM100
は、図2に示した切断回路70およびパルス幅検出回路
80を備えている。パルス幅検出回路80は、予め定め
られた時間長さΔTを越えるパルス幅を有するパルス信
号PLが与えられたことのみに応答して低レベルの保持
信号HDを出力する。したがって、テストモード信号保
持回路90が特定のパルス信号PLが与えられたときの
みにおいて信号TM′を保持するので、テストモード信
号保持回路90からテストモード信号TMが誤って出力
されるのが防がれる。これに加えて、出荷前テストが終
了された後は、ヒューズ71が溶断されるので、パルス
幅検出回80が不能化される。したがって、テストモー
ド信号保持回路90が与えられた信号TM′を保持する
ことはなく、テストモード動作が行われることはない。
【0064】さらには、図5に示した高電圧検出回路6
0′は図11または図12に示したSRAM102,1
03における高電圧検出回路59,60に代えて適用さ
れ得る。高電圧検出回路60′内のヒューズ89を溶断
することにより、高レベルの保持回路HDまたは高レベ
ルのテストモード信号が常に出力される。したがって、
これらのSRAM102および103においてもテスト
モード動作が好ましくなく行われるのが防がれる。
【0065】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、パルス幅検出手段が設けられ、さらにはテスト回路
手段によりテストが実行されるべきでないとき、パルス
幅検出手段による検出動作を不能化する不能化手段を設
けたので、半導体メモリ装置においてテストモード動作
が望ましくなく引き起こされるのが防がれる。
【0066】請求項2の発明によれば、テスト回路手段
によりテストが実行されるべきでないとき、高電圧検出
手段による検出動作を不能化する不能化手段を設けたの
で、半導体メモリ装置においてテストモード動作が望ま
しくなく引き起こされるのを防ぐことができる。
【0067】また、請求項3の発明によれば、テスト回
路手段によりテストが実行されるべきでないとき、高電
圧検出手段を予め定められた端子から切断する切断回路
手段を設けたので、半導体メモリ装置においてテストモ
ード動作が望ましくなく引き起こされるのを防ぐことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示すSRAMのブロック
図である。
【図2】図1に示した切断回路およびパルス幅検出回路
の回路図である。
【図3】図2に示したパルス幅検出回路の動作を説明す
るためのタイミング図である。
【図4】図1に示したテストモード信号保持回路の回路
図である。
【図5】この発明の別の実施例のSRAMにおいて適用
され得る高電圧検出回路の回路図である。
【図6】この発明の背景を示すSRAMの一例のブロッ
ク図である。
【図7】図6に示したメモリセルアレイの周辺回路の回
路図である。
【図8】図7に示したメモリセルの一例を示す回路図で
ある。
【図9】図7に示したメモリセルの別の例を示す回路図
である。
【図10】図7に示したメモリセルの読出動作を説明す
るためのタイミング図である。
【図11】この発明の背景を示すSRAMの別の例を示
すブロック図である。
【図12】この発明の背景を示すSRAMのさらに別の
例を示すブロック図である。
【図13】図12に示した高電圧検出回路の回路図であ
る。
【符号の説明】
5 一致検出回路 8 ブロックセレクタ回路 6 行デコーダ 7 列デコーダ 11−1n メモリセルアレイ 31−3n 書込バッファ 41−4n センスアンプ 70 切断回路 80 パルス幅検出回路 90 テストモード信号保持回路 100 SRAM BK1−BKn メモリブロック
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/10 481 8728−4M 6741−5L G11C 11/34 303

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体メモリ装置であって、 外部から与えられるパルス信号を受けるための第1の端
    子と、 外部から与えられるテストモード信号を受けるための第
    2の端子と、 前記第1の端子を介して与えられるパルス信号が予め定
    められた時間長さを越えるパルス幅を有していることを
    検出するパルス幅検出手段と、 前記パルス幅検出手段に応答して、前記第2の端子を介
    して与えられるテストモード信号を保持するテストモー
    ド保持手段と、 前記テストモード信号保持手段内に保持されたテストモ
    ード信号に応答して、前記半導体メモリ装置におけるテ
    ストを実行するテスト回路手段と、 前記テスト回路手段によりテストが実行されるべきでな
    いとき、前記パルス幅検出手段による検出動作を不能化
    する不能化手段とを含む、半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】 半導体メモリ装置であって、 外部から与えられ、かつ電源電位を越える高電圧を受け
    るための第1の端子と、 外部から与えられるテストモード信号を受けるための第
    2の端子と、 前記第1の端子を介して高電圧信号が与えられたことを
    検出する高電圧検出手段と、 前記高電圧検出手段に応答して、前記第2の端子を介し
    て与えられるテストモード信号を保持するテストモード
    信号保持手段と、 前記テストモード信号保持手段内に保持されたテストモ
    ード信号に応答して、前記半導体メモリ装置におけるテ
    ストを実行するテスト回路手段と、 前記テスト回路手段によりテストが実行されるべきでな
    いとき、前記高電圧検出手段による検出動作を不能化す
    る不能化手段とを含む、半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 半導体メモリ装置であって、 外部から与えられ、かつ電源電位を越える高電圧信号を
    受けるための予め定められた端子と、 前記予め定められた端子を介して高電圧信号が与えられ
    たことを検出する高電圧検出手段と、 前記高電圧検出手段に応答して、前記半導体メモリ装置
    におけるテストを実行するテスト回路手段と、 前記テスト回路手段によりテストが実行されるべきでな
    いとき、前記高電圧検出手段を前記あらかじめ定められ
    た端子から切断する切断回路手段とを含む、半導体メモ
    リ装置。
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