JPH061290U - 基板用運搬容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 合成樹脂により一体成形された中空本体の底
面に、テ−パの抜き勾配を水平状態にするための脚部を
一体成形している。 【効果】 本体底面に脚部を一体に形成することによ
り、最も平行度を必要とする基板係止部を設計変更せず
とも、基板を水平に載置することができる。したがっ
て、自動挿入を行なう時にもチッピングの発生あるいは
割れ等の発生を可及的に防止できる。しかも、その構造
も簡単である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の技術分野】

本考案はガラス基板あるいはウエハ等を数十枚程収容して運搬するための基板 用運搬容器に関するものである。

【０００２】

【考案の技術的背景】

一般に、液晶用ガラス基板などを製造工程等の都合で他の場所に移す場合には 、基板同士を互いに接触させないように、また、汚染を防止し安全に運搬できる ように、収容した状態で蓋が密に被冠される基板用運搬容器が使用される。

【０００３】 このような基板用運搬容器は、通常、軽量で型成形が容易な合成樹脂により形 成され、基板は水平方向あるいは垂直方向に並べて収容される。 図１１はこのように水平方向に開口が向く横置きタイプの従来の基板用運搬容 器１０を示したものである。このような、基板を水平方向に配置する横置きタイ プの運搬容器を成形する場合には、中空本体１の開口部２が水平方向に形成され 、この開口部２から棚状に水平に形成された基板係止部３に一枚づつ基板が挿入 され、その後、蓋５が嵌合される。

【０００４】 このようにして運搬容器内に収められた多数の基板は、製造工程等のために汚 染環境から保護されて運搬され、水平状態で保管される。 また、基板を運搬容器１０から取り出す場合には、真空吸着治具などで吸いつ けて自動あるいは手動で取り出される。

【０００５】 ところで、このような運搬容器１０では、基板を出し入れする際に、基板を水 平状態で操作しないと、基板の端面が基板係止部３に接触してしまい、基板係止 部３を削ってしまう虞がある。特に、ガラス基板等を出し入れする場合には、若 干の平行度がずれても、その端面により容易にチッピングが発生し、削り粉によ り基板表面が汚染される問題がある。このような不具合を考慮して、基板用運搬 容器１０では基板係止部３が可及的に水平に形成されていることが好ましい。

【０００６】 しかしその一方で、このような運搬容器１０の中空本体１を型で成形する場合 には、成型上の都合から、開口部２から壁部４に近づく程、幅寸法を小さくし、 ここに抜き勾配Ｐを設ける必要がある。しかしながら、このように抜き勾配Ｐを 底面に設けると、基板係止部３の水平度に若干の誤差が生じていまう。すると、 、基板の出し入れの際にチッピングを発生したり、基板の端面に割れ欠けが発生 し易く、品質に重大な影響を及ぼすことになる。この傾向は特に自動で出し入れ する場合に著しい。

【０００７】 こうした、型成型時の抜き勾配Ｐを考慮して基板係止部３の平行度を確保する には、基板係止部３を予め若干ずらして作成することも考えられるが、このよう にすると、さらに高度な加工精度が求められ、達成が困難である。

【０００８】

【考案の目的】

本考案は、このような実情に鑑みてなされたもので、開口が横を向いた中空容 器内に基板を自動で出し入れする際のチッピング、あるいは基板端面の割れ等の 発生を容易な構造で確実に防止することのできる基板運搬容器を提供することを 目的としている。

【０００９】

【考案の概要】

以上の目的を達成するための本考案は、 中空本体は合成樹脂により一体成形され、載置状態でその一側部に水平方向に 開口する開口部を有すると共に、底側部に型抜きのための抜き勾配を有し、更に 当該中空本体内の対向する両側壁部に基板を係止するための複数の基板係止部を 棚状に有し、基板を前記開口部から略水平にして本体内の前記基板係止部に掛け 渡して前記中空本体内に収容するようにした基板用運搬容器において、 前記中空本体底面に形成された抜き勾配を水平状態にするための脚部を前記中 空本体の底面に一体成形したことを特徴としている。

【００１０】 このような本考案による基板運搬容器によれば、中空本体の最も平行度を必要 とする基板係止部を設計変更せずとも、基板を水平に載置することができる。し たがって、自動挿入を行なう時にもチッピングの発生あるいは割れ等の発生を可 及的に防止でき、その構造も容易である。

【００１１】

【考案の具体的説明】

以下、本考案を図面を参照しながら説明する。 図１は本考案の一実施例による基板用運搬容器２０を示すものである。基板用 運搬容器２０は中空本体４０とこれに嵌合される蓋体３０とからなり、断面略矩 形状に形成され、中空本体４０及び蓋体３０は、各々合成樹脂により一体成型さ れる。図２に示したように、中空本体４０における一方の端部には開口２１が形 成され、この端部には蓋体３０を弾性的に係合するための爪２２が形成されてい る。また、中空本体４０内には、図示しない基板を係止するための複数の基板係 止部２３が両側部に棚状に形成されている。これら基板係止部２３は両側部にわ たり連続的に形成されていてもよく、両側に部分的に形成されていてもよい。ま た、これら各基板係止部２３の開口２１に臨む部位は面取りが形成され、これに より基板を挿入しやすくなっている。更に、中空本体４０の外側面には補強用の リブ２６が複数箇所に形成されている。

【００１２】 運搬容器２０は図１のように横置き状態で水平面に載置されるが、その底側部 ２４には、型抜きのための抜き勾配Ｐが形成されている。また、この底側部２４ には、図２に明示したように、階段状に肉が厚く形成されている。

【００１３】 更に、中空本体４０の底側部２４には、基板係止部２３と平行な基準面Ａを水 平面に載置できるように、断面三角形状の脚部２７が両端部に各々１個づつ形成 されている。このような脚部２７を型成形する場合にはスライドコアが用いられ 、このコアを抜く場合には、上型と下型の分割面に対し、垂直方向に型抜きを行 えば良い。

【００１４】 このようにして形成された中空本体４０は、図示しない載置台に、爪２２の部 分を外した状態でセットされる。したがって、脚部２７を備えた基板係止部２３ は、水平面と平行な基準面Ａに対し平行に配置することができる。

【００１５】 このようにして水平に配置された中空本体４０内に基板を収納する際には、開 口２１にテーパ状の面取りが形成されているので、基板との接触を小とし、出し 入れ時のチッピング及び割れ欠けの発生を防止できる。

【００１６】 こうして基板を収納した中空本体４０には、図１に示したように蓋体３０が嵌 合され、これにより、基板は汚染環境から保護され運搬される。あるいはその後 に、所定場所に保管される。これにより、基板の汚染が防止される。

【００１７】 以上、本考案の一実施例を説明したが、本考案は上記実施例に限定されず、種 々の変形が可能である。 例えば、以上の実施例では、脚部２７を２つ基板の挿入方向と平行に設けたが 、これに代え、図３のＡ、Ｂに示したように、基板挿入方向と平行に３本の直線 状の脚部２７を設けてもよい。

【００１８】 また、図４のＡ，Ｂに示したように、底側部２４に基板挿入方向と直交する方 向に、２つの脚部２８、２８を設けてもよい。この場合、中空本体４０の開口２ １側に形成される脚部２８は、他方の脚部２８に対し高さを小とし、これにより 、基準面Ａが構成される。

【００１９】 また、図５のＡ、Ｂに示したように、底側部２４に基板挿入方向と直行する方 向に、３つの脚部２８を設けてもよい。 また、図６のＡ、Ｂに示したように、底側部２４の四隅に２本一組の脚部２９ を設けてもよい。

【００２０】 また、図７のＡ、Ｂに示したように、２本一組の脚部２９の中央部に基板挿入 方向と平行に直線状の脚部２８を更に設けてもよい。 また、図８のＡ、Ｂに示したように、図７に示した直線状の脚部２８を基板挿 入方向と直行する方向に設けてもよい。

【００２１】 また、図９に示したように、底側部２４に矩形状の脚部３１を設けてもよい。 この場合にも、開口２１に近い程、脚部の高さを小とし、これにより、基準面Ａ が構成される。

【００２２】 また、図１０に示したように、図９に示した矩形状の脚部３１内に基板挿入方 向と直行方向にリブ３２を差し渡した形状としてもよい。 以上のような、各形状の脚部であっても図１に示した脚部２７と同様の作用効 果を奏することができる。すなわち、抜き勾配Ｐが形成された中空本体４０を水 平状態にして載置することができる。したがって、自動で基板を出し入れしても チッピング、あるいは割れ欠け等が発生することはない。

【００２３】

【考案の効果】

以上、説明したように、本考案に係る基板用運搬用器によれば、本体底面に脚 部を一体に形成することにより、最も平行度を必要とする基板係止部を設計変更 せずとも、基板を水平に載置することができる。したがって、自動挿入を行なう 時にもチッピングの発生あるいは割れ等の発生を可及的に防止できる。しかも、 その構造も簡単である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案の一実施例に係る基板運搬容器の
底面図である。

【図２】図２は一実施例に係る基板運搬容器の中空容器
の半断面図である。

【図３】図３のＡ、Ｂは一実施例の第１の変形例を示す
側面図、及び底面図である。

【図４】図４のＡ、Ｂは一実施例の第２の変形例を示す
側面図、及び底面図である。

【図５】図５のＡ、Ｂは一実施例の第３の変形例を示す
側面図、及び底面図である。

【図６】図６のＡ、Ｂは一実施例の第４の変形例を示す
側面図、及び底面図である。

【図７】図７のＡ、Ｂは一実施例の第５の変形例を示す
側面図、及び底面図である。

【図８】図８のＡ、Ｂは一実施例の第６の変形例を示す
側面図、及び底面図である。

【図９】図９のＡ、Ｂは一実施例の第７の変形例を示す
側面図、及び底面図である。

【図１０】図１０のＡ、Ｂは一実施例の第８の変形例を
示す側面図、及び底面図である。

【図１１】図１１は従来の基板運搬容器の半断面図であ
る。

【符号の説明】

２０…基板運搬容器 ２４…底側部 ２７、２８、２９、３１…脚部 ４０…中空本体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 中空本体は合成樹脂により一体成形さ
   れ、載置状態でその一側部に水平方向に開口する開口部
   を有すると共に、底側部に型抜きのための抜き勾配を有
   し、更に当該中空本体内の対向する両側壁部に基板を係
   止するための複数の基板係止部を棚状に有し、基板を前
   記開口部から略水平にして本体内の前記基板係止部に掛
   け渡して前記中空本体内に収容するようにした基板用運
   搬容器において、 前記中空本体底面に形成された抜き勾配を水平状態にす
   るための脚部を前記中空本体の底面に一体成形したこと
   を特徴とする基板用運搬容器。