JPH06132384A - 傾斜器 - Google Patents
傾斜器Info
- Publication number
- JPH06132384A JPH06132384A JP4319193A JP31919392A JPH06132384A JP H06132384 A JPH06132384 A JP H06132384A JP 4319193 A JP4319193 A JP 4319193A JP 31919392 A JP31919392 A JP 31919392A JP H06132384 A JPH06132384 A JP H06132384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- feed screw
- pedestal
- directions
- connecting member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Machine Tool Units (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、微少の角度を正確かつ確実にしか
もＸＹの２方向に傾斜できる傾斜器を提供することを目
的とする。 【構成】 テーブル５の下面を球面状に形成し、台座４
にもテーブル５の形状に合わせて球面状の湾曲部を形成
し、テーブル５を傾斜自在に載せる。台板３の上に送り
ねじ１１を２方向から設け、それぞれの送りねじ１１に
移動部材１２を噛み合わせる。移動部材１２に連結部材
１５を水平方向に移動可能に取り付け、かつこの連結部
材１５を屈曲、回動にし他端をテーブル５に取り付け
る。このように構成したことにより、両方向の送りねじ
１１を適宜に回動させることにより任意に角度ＸＹの両
方向にテーブル５を傾斜させることができる。
もＸＹの２方向に傾斜できる傾斜器を提供することを目
的とする。 【構成】 テーブル５の下面を球面状に形成し、台座４
にもテーブル５の形状に合わせて球面状の湾曲部を形成
し、テーブル５を傾斜自在に載せる。台板３の上に送り
ねじ１１を２方向から設け、それぞれの送りねじ１１に
移動部材１２を噛み合わせる。移動部材１２に連結部材
１５を水平方向に移動可能に取り付け、かつこの連結部
材１５を屈曲、回動にし他端をテーブル５に取り付け
る。このように構成したことにより、両方向の送りねじ
１１を適宜に回動させることにより任意に角度ＸＹの両
方向にテーブル５を傾斜させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、同一平面にある直交す
る２軸からの送りねじ操作で任意な方向にテーブルを傾
動させることができる傾斜器に関する。
る２軸からの送りねじ操作で任意な方向にテーブルを傾
動させることができる傾斜器に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハなどの精密部品の表面に斜
め方向からの穴明けを行ったり、斜め方向に明けられた
孔部を再度精密に検査する際、従来は図２に示すような
傾斜器３１を用いていた。すなわち、台部３３の上面に
円弧状の曲面を形成し、この台座３３上にテーブル３２
を移動自在に設け、検査もしくは加工しようとする部品
をテーブル３２に取り付け、送りねじ３４などによりテ
ーブル３２を台座３３上にて移動させて所望の角度を得
るようにして行っていた。
め方向からの穴明けを行ったり、斜め方向に明けられた
孔部を再度精密に検査する際、従来は図２に示すような
傾斜器３１を用いていた。すなわち、台部３３の上面に
円弧状の曲面を形成し、この台座３３上にテーブル３２
を移動自在に設け、検査もしくは加工しようとする部品
をテーブル３２に取り付け、送りねじ３４などによりテ
ーブル３２を台座３３上にて移動させて所望の角度を得
るようにして行っていた。
【０００３】しかし、この方法では、送りねじ３４の送
り方向に沿った方向にしか傾斜が得られず、孔部の傾斜
が２方向にわたる場合には、１の方向に傾動するテーブ
ル（第一のテーブルとする。）上に、この第一のテーブ
ルの傾動方向に対して直交する方向に傾動する第二のテ
ーブルを設け、それぞれのテーブルを操作してあらゆる
方向の角度に対応させていた。
り方向に沿った方向にしか傾斜が得られず、孔部の傾斜
が２方向にわたる場合には、１の方向に傾動するテーブ
ル（第一のテーブルとする。）上に、この第一のテーブ
ルの傾動方向に対して直交する方向に傾動する第二のテ
ーブルを設け、それぞれのテーブルを操作してあらゆる
方向の角度に対応させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のように、１方向
に傾動する傾斜器をそれぞれ２段重ねた場合には、全体
の高さが高くなり、設置場所をとるという問題があり、
更に上段の傾斜器は下段の操作で移動することから上段
の駆動機構、例えばモータや送りねじ全体を下段の操作
で移動させなければならず下段の傾斜器の構造が大型化
してしまうという欠点があった。又上段の傾斜器の駆動
機構が手動の場所には、下段の操作により駆動機構の位
置が変化して一定せず、更に上段の操作時に手振れや振
動を生じさせると下段の設定位置が変化するので、操作
に注意と熟練を必要とするという問題があった。
に傾動する傾斜器をそれぞれ２段重ねた場合には、全体
の高さが高くなり、設置場所をとるという問題があり、
更に上段の傾斜器は下段の操作で移動することから上段
の駆動機構、例えばモータや送りねじ全体を下段の操作
で移動させなければならず下段の傾斜器の構造が大型化
してしまうという欠点があった。又上段の傾斜器の駆動
機構が手動の場所には、下段の操作により駆動機構の位
置が変化して一定せず、更に上段の操作時に手振れや振
動を生じさせると下段の設定位置が変化するので、操作
に注意と熟練を必要とするという問題があった。
【０００５】又、上下に２段傾斜器を重ねた場合には、
上段と下段の台座の曲率がそれぞれ異なることから、上
下の傾斜器間において同一の送り量での実際の角度変化
量が等しくなくなり、２方向への移動を同時に行うとき
の操作がしずらいという問題があった。
上段と下段の台座の曲率がそれぞれ異なることから、上
下の傾斜器間において同一の送り量での実際の角度変化
量が等しくなくなり、２方向への移動を同時に行うとき
の操作がしずらいという問題があった。
【０００６】そこで本発明は、球面上に載せたテーブル
を同一平面内に配置した送りねじにより操作することに
より、上記課題を解決することとしたのである。
を同一平面内に配置した送りねじにより操作することに
より、上記課題を解決することとしたのである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上面を球面状
に形成した台座上にこの台座上にて移動自在にテーブル
を載せ、このテーブルに向けて直角に交わる２方向から
送りねじを設け、この送りねじによって前後動される移
動部材に水平方向に移動可能な連結部材を設け、この連
結部材の中央部分を軸回りに回動自在にするとともにこ
の軸回りに回動自在部分の両端を前記テーブルに対し上
下方向に屈曲するよう屈曲自在に取り付けたのである。
に形成した台座上にこの台座上にて移動自在にテーブル
を載せ、このテーブルに向けて直角に交わる２方向から
送りねじを設け、この送りねじによって前後動される移
動部材に水平方向に移動可能な連結部材を設け、この連
結部材の中央部分を軸回りに回動自在にするとともにこ
の軸回りに回動自在部分の両端を前記テーブルに対し上
下方向に屈曲するよう屈曲自在に取り付けたのである。
【０００８】
【作用】一の方向、例えばＸ軸の送りねじを送り方向に
回転させるとＸ軸側の移動部材が前進し、連結部材がテ
ーブルを押す。するとテーブルは湾曲した台座上を移動
してＸ軸を含む面内にて傾斜する。その際、Ｙ軸側は連
結部材が移動部材に沿って移動し、かつ連結部材が屈曲
及び回転することによりテーブルの傾斜に追従する。
回転させるとＸ軸側の移動部材が前進し、連結部材がテ
ーブルを押す。するとテーブルは湾曲した台座上を移動
してＸ軸を含む面内にて傾斜する。その際、Ｙ軸側は連
結部材が移動部材に沿って移動し、かつ連結部材が屈曲
及び回転することによりテーブルの傾斜に追従する。
【０００９】更に、これにＹ軸方向の傾斜を加えるとき
には、かかる状態でＹ軸方向の送りねじを回転させ、Ｙ
軸側の移動部材を移動させてテーブルをＹ軸に沿って移
動させる。このときも、Ｘ軸側の移動部材は移動せず、
連結部材のみが水平移動及び屈曲回転してＹ軸方向の移
動に対応し、Ｘ軸およびＹ軸の両方向への傾斜ができ
る。
には、かかる状態でＹ軸方向の送りねじを回転させ、Ｙ
軸側の移動部材を移動させてテーブルをＹ軸に沿って移
動させる。このときも、Ｘ軸側の移動部材は移動せず、
連結部材のみが水平移動及び屈曲回転してＹ軸方向の移
動に対応し、Ｘ軸およびＹ軸の両方向への傾斜ができ
る。
【００１０】
【実施例】以下、図面を用いて傾斜器の実施例を説明す
る。図１に傾斜器１を示す。傾斜器１は、台板３、台板
３に固定された台座４、台座４の上面に載せられたテー
ブル５、２方向に取り付けられたモータ１０等から構成
されている。テーブル５は下面が球面状に湾曲してお
り、一方台座４の上面はこのテーブル５の湾曲形状に一
致して凹状に掘り下げられ、テーブル５は自由にこの台
座４のくぼみの内部で傾斜できるようになっている。
る。図１に傾斜器１を示す。傾斜器１は、台板３、台板
３に固定された台座４、台座４の上面に載せられたテー
ブル５、２方向に取り付けられたモータ１０等から構成
されている。テーブル５は下面が球面状に湾曲してお
り、一方台座４の上面はこのテーブル５の湾曲形状に一
致して凹状に掘り下げられ、テーブル５は自由にこの台
座４のくぼみの内部で傾斜できるようになっている。
【００１１】モータ１０は台板３に互いに直角な方向に
２台取り付けてあり、これら２台のモータ１０のそれぞ
れの駆動軸に取り付けられた送りねじ１１が移動部材１
２に噛み合っている。以下、Ｘ軸側（図中右側）の構成
部材について述べるが、Ｙ軸側の構成についてもＸ軸側
と同様な構成であり、Ｙ軸側の構成部材に関してはＸ軸
側の構成部材の符号の後にｙを付けて区別する。
２台取り付けてあり、これら２台のモータ１０のそれぞ
れの駆動軸に取り付けられた送りねじ１１が移動部材１
２に噛み合っている。以下、Ｘ軸側（図中右側）の構成
部材について述べるが、Ｙ軸側の構成についてもＸ軸側
と同様な構成であり、Ｙ軸側の構成部材に関してはＸ軸
側の構成部材の符号の後にｙを付けて区別する。
【００１２】移動部材１２は、台板３上に設けられたレ
ール１４に移動可能に据え付けられ、送りねじ１１の回
動によって前後に移動する。移動部材１２の上部には、
移動部材１２に沿って水平方向に移動可能な連結部材１
５がテーブル５に向けて取り付けてある。連結部材１５
はコの字型の屈曲部１６が両端に設けられ、これら屈曲
部１６によって移動部材１２とテーブル５に上下方向に
屈曲可能に連結しており、更に、この連結部材１５の中
央部分には軸回りに回動する継手部１７が設けられ、屈
曲部１６同士は軸を中心に回動自在となっている。以上
はＸ軸側の構成であり、これと同様な構成がＹ軸側にも
設けられている。
ール１４に移動可能に据え付けられ、送りねじ１１の回
動によって前後に移動する。移動部材１２の上部には、
移動部材１２に沿って水平方向に移動可能な連結部材１
５がテーブル５に向けて取り付けてある。連結部材１５
はコの字型の屈曲部１６が両端に設けられ、これら屈曲
部１６によって移動部材１２とテーブル５に上下方向に
屈曲可能に連結しており、更に、この連結部材１５の中
央部分には軸回りに回動する継手部１７が設けられ、屈
曲部１６同士は軸を中心に回動自在となっている。以上
はＸ軸側の構成であり、これと同様な構成がＹ軸側にも
設けられている。
【００１３】次に、作動について述べる。検査もしくは
加工しようとする半導体ウエハなどの部品（図示せず）
をテーブル５の上面に止めねじ（図示せず）等を用いて
固定する。Ｘ軸方向へは、Ｘ軸側のモータ１０をスイッ
チにより駆動して送りねじ１１を回転させ、移動部材１
２を所定量移動させてテーブル５を台座４上にて所望の
角度傾動させる。送りねじ１１の回転量と傾動する角度
との関係は、台材４の球面の半径によりあらかじめ求め
ておく。その移動の際、Ｙ軸側の移動部材６ｙは移動せ
ず、連結部材１５ｙが移動部材１２ｙに沿って移動し、
更に屈曲部１６ｙが屈曲し、かつ継手部１７ｙが回転し
て、テーブル５が球面状の台座４上を移動して通る湾曲
した軌跡に確実に追従する。これによりテーブル５は、
Ｙ軸方向への傾斜なしに、Ｘ軸を含んだ垂直面内での角
度変化が行われる。
加工しようとする半導体ウエハなどの部品（図示せず）
をテーブル５の上面に止めねじ（図示せず）等を用いて
固定する。Ｘ軸方向へは、Ｘ軸側のモータ１０をスイッ
チにより駆動して送りねじ１１を回転させ、移動部材１
２を所定量移動させてテーブル５を台座４上にて所望の
角度傾動させる。送りねじ１１の回転量と傾動する角度
との関係は、台材４の球面の半径によりあらかじめ求め
ておく。その移動の際、Ｙ軸側の移動部材６ｙは移動せ
ず、連結部材１５ｙが移動部材１２ｙに沿って移動し、
更に屈曲部１６ｙが屈曲し、かつ継手部１７ｙが回転し
て、テーブル５が球面状の台座４上を移動して通る湾曲
した軌跡に確実に追従する。これによりテーブル５は、
Ｙ軸方向への傾斜なしに、Ｘ軸を含んだ垂直面内での角
度変化が行われる。
【００１４】次に、Ｙ軸側のモータ１０ｙを駆動してＹ
軸の送りねじ１１ｙを回転させ、移動部材１２ｙを所定
量移動させてテーブル５を移動させる。すると、Ｙ軸の
場合と同様にＸ軸の移動部材１２は移動せず連結部材１
５が移動部材１２に沿って移動し、そして屈曲部１６の
屈曲及び継手部１７の回転により、それまでのＸ軸方向
の傾斜は変わることなく、Ｙ軸方向の角度を変更でき
る。
軸の送りねじ１１ｙを回転させ、移動部材１２ｙを所定
量移動させてテーブル５を移動させる。すると、Ｙ軸の
場合と同様にＸ軸の移動部材１２は移動せず連結部材１
５が移動部材１２に沿って移動し、そして屈曲部１６の
屈曲及び継手部１７の回転により、それまでのＸ軸方向
の傾斜は変わることなく、Ｙ軸方向の角度を変更でき
る。
【００１５】これにより、Ｘ軸とＹ軸のそれぞれの方向
の傾動を、台板３上に設置した同一平面内の送りねじ１
１および送りねじ１１ｙで操作でき、かつ互いに干渉す
ることなく個別に操作できるので、Ｘ軸とＹ軸の両方向
へのテーブル５の傾動を容易にしかも精密に行える。
尚、上記実施例ではテーブル５の下面を凸状に形成した
が、本発明ではこれに限らず、逆の凹状にして台座４の
側を凸状にしたものでもよい。更に、テーブル５をはさ
んで送りねじ１１等の反対側にモータ１０等の駆動機構
を有さない移動部材及び連結部材を同様な構成で取り付
けてもよい。このようにするとテーブル５を両側で支持
することができ、テーブル５の動作をより円滑かつ正確
に行わせることができる。
の傾動を、台板３上に設置した同一平面内の送りねじ１
１および送りねじ１１ｙで操作でき、かつ互いに干渉す
ることなく個別に操作できるので、Ｘ軸とＹ軸の両方向
へのテーブル５の傾動を容易にしかも精密に行える。
尚、上記実施例ではテーブル５の下面を凸状に形成した
が、本発明ではこれに限らず、逆の凹状にして台座４の
側を凸状にしたものでもよい。更に、テーブル５をはさ
んで送りねじ１１等の反対側にモータ１０等の駆動機構
を有さない移動部材及び連結部材を同様な構成で取り付
けてもよい。このようにするとテーブル５を両側で支持
することができ、テーブル５の動作をより円滑かつ正確
に行わせることができる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、球面状の台座上に載せ
たテーブルを同一平面内で直角に向き合わせた送りねじ
によりそれぞれ個別に操作するようにしたことにより、
Ｘ方向及びＹ方向への移動、すなわちそれらの方向への
傾動をＸ軸Ｙ軸共に同一の条件で行うことができ、しか
もＸ軸方向の送りねじとＹ軸方向の送りねじを同一の台
板上に設置できるので操作を容易にし、かつ操作上の誤
差を減少できる。したがってＸ方向とＹ方向への２方向
への傾動を容易にしかも精密に行わせることができる。
たテーブルを同一平面内で直角に向き合わせた送りねじ
によりそれぞれ個別に操作するようにしたことにより、
Ｘ方向及びＹ方向への移動、すなわちそれらの方向への
傾動をＸ軸Ｙ軸共に同一の条件で行うことができ、しか
もＸ軸方向の送りねじとＹ軸方向の送りねじを同一の台
板上に設置できるので操作を容易にし、かつ操作上の誤
差を減少できる。したがってＸ方向とＹ方向への２方向
への傾動を容易にしかも精密に行わせることができる。
【図１】本発明にかかる傾斜器を示す斜視図。
【図２】従来の傾斜器を示す側面図。
１ 傾斜器 ４ 台座 ５ テーブル １０ モータ １１ 送りねじ １２ 移動部材 １４ レール １５ 連結部材 １６ 屈曲部 １７ 継手部
Claims (1)
- 【請求項１】 球面状の湾曲部を設けた台座上面にテー
ブルを前記湾曲部上にて摺動自在に取り付け、当該テー
ブルに向けて直交する２方向から送りねじを設け、各送
りねじにそれぞれ移動部材をかみ合わせてこの送りねじ
の回動により前後動自在にし、連結部材を移動部材に当
該移動部材が噛み合う送りねじと異なる送りねじと平行
な方向に移動可能に取り付け、これら連結部材の他端を
それぞれ前記テーブルに連結し、各々の連結部材の中央
部分を軸回りに回動自在にするとともに当該回動自在部
分の両端を当該連結部材の移動方向と直交する方向に屈
曲自在にしてなることを特徴とする傾斜器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4319193A JP2514552B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 傾斜器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4319193A JP2514552B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 傾斜器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06132384A true JPH06132384A (ja) | 1994-05-13 |
| JP2514552B2 JP2514552B2 (ja) | 1996-07-10 |
Family
ID=18107454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4319193A Expired - Lifetime JP2514552B2 (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 傾斜器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2514552B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001343709A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | 投射型映像表示装置 |
| JP2003329096A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-11-19 | Beldex Corp | 角度調整装置 |
| JP2007296530A (ja) * | 2004-07-29 | 2007-11-15 | Scivax Kk | 傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法 |
| CN112122952A (zh) * | 2020-09-24 | 2020-12-25 | 江苏昊雄智能装备有限公司 | 一种保护性好的数控加工中心工作台 |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP4319193A patent/JP2514552B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001343709A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Mitsubishi Electric Corp | 投射型映像表示装置 |
| JP2003329096A (ja) * | 2002-03-06 | 2003-11-19 | Beldex Corp | 角度調整装置 |
| JP2007296530A (ja) * | 2004-07-29 | 2007-11-15 | Scivax Kk | 傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法 |
| CN112122952A (zh) * | 2020-09-24 | 2020-12-25 | 江苏昊雄智能装备有限公司 | 一种保护性好的数控加工中心工作台 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2514552B2 (ja) | 1996-07-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |