JPH0613414A - リードフレーム用搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイボンディング装置などに使用されるリー
ドフレーム用搬送装置において、リードフレームをガイ
ドレール上にてピッチ送りする際に、リードフレームの
下面がガイドレールの上面に摺接して傷つくのを解消で
きるリードフレーム用搬送装置を提供することを目的と
する。 【構成】 ガイドレール４，５上のリードフレーム１の
側辺を、上爪１８と下爪２０により上下から把持してリ
ードフレーム１をピッチ送りするリードフレーム用搬送
装置において、把持状態においてリードフレーム１の側
辺をガイドレール４，５からわずかに浮上させるための
突部２０ａを下爪２０に突設した。 【効果】 リードフレーム１はガイドレール４，５から
浮上してピッチ送りされるので、リードフレーム１の下
面がガイドレール４，５の上面に摺接して傷つくことは
ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームのアイ
ランドにシリコンウェハから切り出されたダイをボンデ
ィングするダイボンディング装置などに設けられるリー
ドフレーム用搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ダイボンディング装置などにおいて、リ
ードフレームをピッチ送りするためのリードフレーム用
搬送装置として、特開昭６０−６７３０８号公報に記載
されたものが知られている。

【０００３】このものはガイドレール１３Ａ，１３Ｂ
（符号は同公報援用、以下同）に支持されたリードフレ
ーム１２の側辺を、上爪７５Ａ，７５Ｂと下爪７６Ａ，
７６Ｂにより上下から把持し、この把持状態で上爪７５
Ａ，７５Ｂと下爪７６Ａ，７６Ｂをガイドレール１３Ａ
に沿うように移動させることにより、リードフレーム１
２をピッチ送りするようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、上爪７５Ａ，７５Ｂと下爪７６Ａ，７６Ｂ
によりリードフレーム１２の側辺を把持してリードフレ
ーム１２をガイドレール１３Ａ，１３Ｂ上を搬送すると
きに、リードフレーム１２の下面がガイドレール１３
Ａ，１３Ｂの上面に摺接し、その摺接摩擦によりリード
フレーム１２の下面が傷つきやすいという問題点があっ
た。

【０００５】そこで本発明は、上記のような問題点を解
消できるリードフレーム用搬送装置を提供することを目
的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このために本発明は、上
爪と下爪でガイドレール上のリードフレームの側辺を上
下から把持して、リードフレームをガイドレールに沿っ
てピッチ送りするようにしたリードフレーム用搬送装置
において、リードフレームの側辺を上爪と下爪により把
持してピッチ送りする際に、リードフレームの側辺をガ
イドレールから浮上させるための突部を下爪に突設した
ものである。

【０００７】

【作用】上記構成によれば、上爪と下爪でリードフレー
ムの側辺を上下から把持すると、リードフレームの側辺
はガイドレールからわずかに浮上するので、その状態で
上爪と下爪を前進させてリードフレームをピッチ送りし
ても、リードフレームの下面がガイドレールの上面に摺
接することはなく、したがってピッチ送り時にリードフ
レームの下面が傷つくのを解消できる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。

【０００９】図８は本発明の一実施例に係るリードフレ
ーム用搬送装置を用いたダイボンディング装置の全体斜
視図である。図中、１はリードフレームであり、ダイボ
ンディング装置上の正面より見て左側に積み重ねてセッ
トされる。２は吸着ヘッド３によりリードフレーム１を
１枚ずつ吸着してピックアップし、ガイドレール４，５
上に載せるためのリードフレーム供給装置である。一方
のガイドレール４には、図１に示されるようなリードフ
レーム用搬送装置が設けられている。

【００１０】６は図１０に示されるリードフレーム１の
アイランド１ａにダイ接着用の接着剤を塗布する接着剤
供給装置である。図１０において、１ｂはリードフレー
ム１の側部に形成された移送用穴である。図８におい
て、７はガイドレール４，５上の所定の位置に位置決め
されたリードフレーム１のアイランド１ａ上に、ダイを
ボンディングするためのボンディングアームである。８
はダイのボンディングが完了したリードフレーム１を積
層して回収するマガジンである。

【００１１】９はシリコンウェハ１０が収納されるウェ
ハ用パレットで、左側に積み重ねられている。シリコン
ウェハ１０はウェハ用パレット９に載せられており、こ
れから切り出されたダイがボンディングアーム７に供給
される。ダイのボンディングを終えた後のウェハ用パレ
ット９は、残った不良ダイを載せたまま正面より見て右
側の空パレット回収装置１１に回収される。

【００１２】次に図１を参照しながらリードフレーム用
搬送装置について説明する。１２は一方のガイドレール
４の外側部にビス１３，１４により取り付けられた支持
部材である。この支持部材１２にはガイドレール４と平
行な移動軸１６が滑動自在に支持されており、この移動
軸１６に把持装置１５が固定されている。支持部材１２
は図１に示されるものの他に、移動軸１６を確実に支持
するため、ガイドレール４のリードフレーム搬送方向側
にも設けられる。

【００１３】支持部材１２には把持装置１５の移動原点
位置である初期位置を検出するためのフォトインタラプ
タ６７が設けられており、また移動軸１６の左側端部に
はフォトインタラプタ６７の光を遮断する遮断片６８が
それぞれ設けられている。装置の起動時には、フォトイ
ンタラプタ６７の光が遮断片６８により遮断される位置
に把持装置１５が来るようプログラムされている。把持
装置１５には、軸１７に回転自在に支持されるリードフ
レーム把持用の上爪１８と、軸１９に回転自在に支持さ
れるリードフレーム把持用の下爪２０がそれぞれ設けら
れており、上爪１８と下爪２０はエアーシリンダ２１に
より駆動されて上下方向に回転し、リードフレーム１２
の側辺を上下から把持するようになっている（図６参
照）。勿論、上爪１８に対して下爪２０のみを上下方向
に回転されることによっても、リードフレーム１の側辺
を把持することができる。

【００１４】図２は把持装置１５の分解図である。２２
は各部を支持する支持体であり、支持体２２の前面には
上爪１８と下爪２０を支持するガイド部２３，２４が設
けられており、また下部には移動軸１６を挟む挾持部２
５，２６がそれぞれ設けられている。２７は、移動軸１
６を挟むためのビス２８が挿入されるねじ穴である。２
９及び３０は、ガイド部２３，２４の上部に設けられ、
軸１７が嵌る軸穴である。３１及び３２は、ガイド部２
３，２４の下部に設けられ、軸１９が嵌る軸穴である。

【００１５】３３は上爪１８に設けられ、軸１７が嵌る
ための軸穴である。３４は下爪２０に設けられ、軸１９
が嵌るための軸穴である。下爪２０の根元には突出部３
５が設けられ、突出部３５の裏側には、スプリング３６
の一端が嵌る凹部３７が設けられている。上爪１８及び
下爪２０の先端部には超鋼により形成された突部１８
ａ，２０ａが突設され、且つ上爪１８の突部１８ａの両
端部にはリードフレーム１の上面にスポット的に当接す
るリブ１８ｂ，１８ｃが突設されている。また軸１７の
一端部にはギヤ３７が固定され、一方、軸１９の一端部
にはギヤ３７と噛み合うギヤ３８が固定されている。

【００１６】図２において、下爪２０をガイド部材２
３，２４の間に軸穴３４が軸穴３１，３２と一致するよ
うに挿入し、軸１９を軸穴３１，３２に貫入することに
より保持される。そして下爪２０に設けられたねじ穴３
９にビス４０を嵌め込んで締めつけることにより、下爪
２０は軸１９に固定される。スプリング３６は図４に示
されるように、突出部３５の凹部３５ａと支持体２２に
設けられた凹部４１の間に嵌め込まれる。

【００１７】一方、上爪１８は、これをガイド部２３，
２４の間に同様に挿入し、軸１７を貫入することにより
保持される。そしてねじ穴４２にビス４３を嵌め込んで
締めつけることにより、上爪１８は軸１７に固定され
る。このように上爪１８及び下爪２０を取り付けると、
図３に示されるようにギヤ３７とギヤ３８が噛み合い、
軸１７と軸１９は互いに相反する方向、すなわち上爪１
８と下爪２０が上下方向に開閉する方向Ｅ，Ｆに回転す
る。

【００１８】図２において、挾持部２５，２６で移動軸
１６を挾持し、ビス２８を締め付けることにより把持装
置１５を移動軸１６に固定する（図４参照）。またビス
２８を緩めて支持体２２を図４に示す矢印Ｈ方向に回動
させることにより、上爪１８と下爪２０の先端部の高さ
を調整して、上爪１８と下爪２０の先端部がリードフレ
ーム１を把持する高さを調節することが出来る。この場
合、図５に示されるように、リードフレーム１を把持し
た時にリードフレーム１の下面がガイドレール４の突出
部４ａの上面や突出部４ｂの下面に当たらないように、
下爪２０の突部２０ａの高さを調節する。

【００１９】すなわち、図５の部分拡大図である図９に
示すように、上爪１８と下爪２０でリードフレーム１の
側辺を上下から把持した状態で、下爪２０の突部２０ａ
によりリードフレーム１の下面は突出部４ａの上面から
わずかに（間隔ｔ１）浮き上り、またリードフレーム１
の上面は突出部４ｂの下面よりもわずかに（間隔ｔ２）
離れている。このように上爪１８と下爪２０による把持
状態において、リードフレーム１の側辺がガイドレール
４の突出部４ａ，４ｂに接触しないようにすることによ
り、上爪１８と下爪２０によりリードフレーム１の側辺
を把持して前方へピッチ送りする際に、リードフレーム
１の下面と上面が突出部４ａ，４ｂに摺接して傷つかな
いようにしている。図２において、４４は支持体２２の
中央部に設けられたねじ穴で、図４に示すよう内部にエ
アーシリンダ２１を収容して固定する。

【００２０】図４において、エアーシリンダ２１のロッ
ド４５の先端は下爪２０の突出部３５の上面に位置して
おり、エアーシリンダ２１に空気圧が加えられると、ロ
ッド４５は突出して突出部３５を上方より押圧し、下爪
２０は軸１９を支点として図４における矢印Ｅ方向にわ
ずかに回転する。軸１９の回転に伴ってギヤ３８，３７
の作用により軸１７が軸１９と逆方向に回転し、軸１７
に固定された上爪１８は矢印Ｆ方向にわずかに回転す
る。すなわち、上爪１８と下爪２０は互いに逆方向に回
転し、その先端部は互いに当たり合うように接近してリ
ードフレーム１の側辺を上下から把持する。またエアー
シリンダ２１内の空気圧が下げられると、ロッド４５は
後退し、スプリング３６の反発力により上爪１８と下爪
２０が逆方向へ回転し、上記把持状態を解除する。すな
わち、エアーシリンダ２１は上爪１８と下爪２０の回転
手段となっている。以上のように構成された把持装置１
５は、図１には一つしか示されていないが、本実施例で
はガイドレール４に沿って合わせて三つ設けられてお
り、それぞれ一本の移動軸１６に固定される。

【００２１】図１において、ガイドレール４のリードフ
レーム１が載せられる突出部４ａの上爪１８及び下爪２
０が移動する範囲には、上爪１８と下爪２０のそれぞれ
の先端部を避けるように欠除部４ｃが設けられている。
またガイドレール４，５には搬送中のリードフレーム１
が外れてしまうのを防止するための突出部４ｂが設けら
れている（図５も参照）。４６は一方が移動軸１６に固
定され、他方がガイドレール４に沿うように設けられた
タイミングベルト４７を挾持し、タイミングベルト４７
の移動に伴って把持装置１５をガイドレール４に沿って
移動させるためのブラケットである。

【００２２】次に把持装置１５をガイドレール４に沿っ
て矢印Ｇ方向（図１）に繰り返し往復移動させるための
駆動装置について説明する。図１において、４８はガイ
ドレール４の外側部にビス４９，５０により取り付けら
れたモータ取付板である。モータ５１はビス５２により
モータ取付板４８の前面部に取り付けられ、その駆動軸
は裏面側へ突出している。モータ５１の駆動軸にはタイ
ミングベルト用プーリ５３が取り付けられ、タイミング
ベルト５４を介して裏面側に回転自在に取り付けられた
プーリ５５に回転を伝える。

【００２３】プーリ５５には同軸的にプーリ５６が固定
されており、このプーリ５６に前記タイミングベルト４
７が掛けられている。なお、タイミングベルト４７の他
方はガイドレール４の他端部側に固定して設けられたプ
ーリ５７に掛けられている。５８はプーリ５５及びプー
リ５６を支持する軸のモータ取付板４８に取り付けられ
る根元部である。なお、モータ５１の動作はダイボンデ
ィング装置内に設けられたコンピュータにより数値制御
される。

【００２４】５９は下部が基台に固定され、ガイドレー
ル４，５を支持するための支持部材である。６０はガイ
ドレール４の外側部裏側にビスにより取り付けられたガ
イドブロック、６１はガイドレール５の外側部裏側にビ
スにより取り付けられたガイドブロックであって、これ
らは前記支持部材５９の最上部に固定された案内棒６２
に滑動可能なよう支持される。

【００２５】次に、リードフレーム１の横巾に応じて、
ガイドレール４とガイドレール５の間隔を調整するため
の機構を説明する。６３は支持部材５９に設けられ、ベ
アリング６４により回転自在に支持されるスクリューシ
ャフトであって、両端部はそれぞれガイドブロック６
０，６１に設けられた穴に貫入している。スクリューシ
ャフト６３の一方の端部に刻まれたねじと他方の端部に
刻まれたねじは逆ピッチとなっている。６５はガイドブ
ロック６１に取り付け固定され、スクリューシャフト６
３の一端部が嵌るねじ穴を有するめねじ部材である。

【００２６】ガイドブロック６０側には、図には示され
ていないが、めねじ部材６５と逆ピッチのねじ穴を有す
るめねじ部材が取り付けられており、このめねじ部材に
スクリューシャフト６３の他端部が嵌っている。６６は
スクリューシャフト６３の端部に設けられるスクリュー
シャフト回転操作用のハンドルである。ハンドル６６を
回転操作してスクリューシャフト６３を回転させると、
一方のガイドレール４と他方のガイドレール５は互いに
接近する方向と離れる方向に移動し、リードフレーム１
の横巾の大きさに応じてガイドレール４とガイドレール
５の間隔が調整される。

【００２７】以上に説明した支持部材５９、ガイドブロ
ック６０，６１、案内棒６２、スクリューシャフト６
３、ベアリング６４、めねじ部材６５、ハンドル６６な
どから成るガイドレール４，５の間隔調整手段は、図で
は１ヶ所のみ示しているが、ガイドレール４，５の長さ
方向に沿って２ヶ所に設けられ、ガイドレール４，５を
保持している。

【００２８】以上のように構成されたリードフレーム用
搬送装置について、次に動作を説明する。

【００２９】まず装置の起動時には、リードフレーム供
給装置２によってガイドレール４，５上に載せられるリ
ードフレーム１と上爪１８とが交錯しないように、把持
装置１５を図１に示される位置より右側に退避させてお
く。

【００３０】次にダイボンディング時の動作について説
明する。リードフレーム１は、図８に示されるリードフ
レーム供給装置２によりガイドレール４，５上に載せら
れる。把持装置１５は、上爪１８と下爪２０が開いた状
態でリードフレーム載置部の方へ移動し、上爪１８と下
爪２０の先端部がリードフレーム１の所定の位置に到着
した時点で停止する。次に、エアーシリンダ２１に空気
圧が加えられ、図５及び図６に示されるように上爪１８
と下爪２０が上下方向に回転してリードフレーム１の側
辺を把持する。この時リードフレーム１の側辺の下面
は、図９に示すようにガイドレール４の突出部４ａの上
面よりわずかに浮き上って離れる。

【００３１】次に把持装置１５は、図１において右側に
移動し、リードフレーム１を所定の位置まで搬送する
が、その際、リードフレーム１はガイドレール４の突出
部４ａからわずかに浮き上っているので、リードフレー
ム１の下面が突出部４ａの上面に摺接して傷つくことは
ない。リードフレーム１のアイランド１ａが所定の位置
に到達すると、把持装置１５は停止し、エアーシリンダ
２１の空気圧は下がり、スプリング３６のばね力によっ
て上爪１８と下爪２０が開き、把持状態は解除されてリ
ードフレーム１の側辺はガイドレール４の突出部４ａ上
に着地して静止する。そこでボンディングアーム７によ
ってアイランド１ａにダイがボンディングされる。

【００３２】このようにしてダイのボンディングが終了
したならば、把持装置１５はもとの初期位置に戻り、再
びリードフレーム１を把持して、リードフレーム１の次
のアイランド１ａが所定の位置に到達するよう搬送す
る。以上のような動作を繰り返すことにより、リードフ
レーム１のアイランド１ａに次々にダイがボンディング
される。なお把持装置１５の初期位置への復帰は、フォ
トインタラプタ６７の光が遮断片６８により遮断される
ことにより検知される。また把持装置１５の移動及びエ
アーシリンダ２１への空気圧の制御は、すべてコンピュ
ータにあらかじめ記憶されているプログラムに従って行
われる。

【００３３】以上のようなリードフレーム搬送装置にお
いて、上爪１８と下爪２０はリードフレーム１のどの位
置においてもリードフレーム１を把持することが出来る
ため、寸法の異なる多種類のリードフレーム１に容易に
対応することが出来る。また、リードフレームの横巾に
対応するために、図１に示されるハンドル６６を回転操
作してガイドレール４とガイドレール５の間隔を調整す
るが、把持装置１５はガイドレール４に固定されている
ため、リードフレーム１の品種変更によりその横巾の大
きさが変っても、上爪１８と下爪２０が把持するリード
フレーム１の位置が変わることはない。

【００３４】またリードフレーム１の種類によっては、
上爪１８と下爪２０はリードフレーム１の端部において
隣り合うリードフレーム１の端部を共に把持する場合が
ある。ここで、リードフレーム１の端部が図７に示され
るように変形している場合、上爪１８と下爪２０の先端
面がフラットであると、リードフレーム１を確実に把持
することが困難となる。そこで本実施例ではこの点を考
慮し、上爪１８にリブ１８ｂ，１８ｃを設けた。これに
より、リードフレーム１の端部が少々変形していても、
その変形分をリブ１８ｂ，１８ｃ間の空間が吸収し、リ
ードフレーム１を確実に把持することが出来る。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように本発明のリードフレ
ーム用搬送装置は、上爪と下爪でガイドレール上のリー
ドフレームの側辺を把持した状態で、リードフレームの
側辺をガイドレールから浮上させるための突部を下爪に
突設しているので、上爪と下爪によりリードフレームを
把持してピッチ送りしても、リードフレームの下面がガ
イドレールの上面に摺接することはなく、したがってピ
ッチ送り時にリードフレームの下面が傷つくのを解消で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるリードフレーム用搬
送装置の斜視図

【図２】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の分解図

【図３】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の側面図

【図４】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の断面図

【図５】本発明の一実施例におけるリードフレームの把
持装置の断面図

【図６】本発明の一実施例におけるリードフレーム搬送
状態の部分斜視図

【図７】本発明の一実施例におけるリードフレーム搬送
状態の部分断面図

【図８】本発明の一実施例におけるダイボンディング装
置の斜視図

【図９】本発明の一実施例における上爪と下爪の部分拡
大断面図

【図１０】本発明の一実施例におけるリードフレームの
部分平面図

【符号の説明】

１ リードフレーム ４ ガイドレール ５ ガイドレール １５ 把持装置 １８ 上爪 ２０ 下爪 ２０ａ 突部 ２１ エアーシリンダ（回転手段） ４７ タイミングベルト（移動手段） ５１ モータ（移動手段） ５６ プーリ（移動手段） ５７ プーリ（移動手段） ６０ ガイドブロック（間隔調整手段） ６１ ガイドブロック（間隔調整手段） ６３ スクリューシャフト（間隔調整手段） ６６ ハンドル（間隔調整手段）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】リードフレームの一方の側辺を支持する一
   方のガイドレールと、リードフレームの他方の側辺を支
   持する他方のガイドレールと、リードフレームの横巾の
   大きさに応じて一方のガイドレールと他方のガイドレー
   ルの間隔を調整する間隔調整手段と、一方のガイドレー
   ルに沿って移動可能に設けられて上爪と下爪とによりリ
   ードフレームの側辺を把持する把持装置と、リードフレ
   ームを前記ガイドレールに沿ってピッチ送りするために
   この把持装置を前記ガイドレールに沿って往復移動させ
   る移動手段と、前記上爪と下爪を開閉させる開閉手段と
   を備え、前記上爪と下爪とによる把持状態において、リ
   ードフレームの側辺を前記ガイドレールから浮上させる
   ための突部を前記下爪に突設したことを特徴とするリー
   ドフレーム用搬送装置。