JPH0613442Y2 - 自動外観検査装置 - Google Patents
自動外観検査装置Info
- Publication number
- JPH0613442Y2 JPH0613442Y2 JP1986037308U JP3730886U JPH0613442Y2 JP H0613442 Y2 JPH0613442 Y2 JP H0613442Y2 JP 1986037308 U JP1986037308 U JP 1986037308U JP 3730886 U JP3730886 U JP 3730886U JP H0613442 Y2 JPH0613442 Y2 JP H0613442Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tip
- inspection
- shape
- inspected
- drill
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Turning (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、ミニチユアドリル等の被検査物の先端部の外
観を検査する自動外観検査装置に関する。
観を検査する自動外観検査装置に関する。
「従来の技術」 従来、ドリル先端加工機で先端部が加工されたミニチユ
アドリル等のドリルの良否の判定は、該ドリルの先端形
状を顕微鏡で拡大して、この拡大された先端形状を検査
員が目視によつて検査していた。また、この際、不良と
判定されたドリルは、手動のポインターを用いて加工し
ていた。
アドリル等のドリルの良否の判定は、該ドリルの先端形
状を顕微鏡で拡大して、この拡大された先端形状を検査
員が目視によつて検査していた。また、この際、不良と
判定されたドリルは、手動のポインターを用いて加工し
ていた。
「考案が解決しようとする問題点」 しかしながら、上記従来の目視によつてドリル先端部の
良否を判定し、また不良ドリルを人手によつて再加工す
る場合には、労力を要し、手間がかかると共に、顕微鏡
をのぞきながら行なう作業のため、作業員が疲労し易
く、かつ作業員によつて検査の判定結果にばらつきが生
じる等の問題がある。
良否を判定し、また不良ドリルを人手によつて再加工す
る場合には、労力を要し、手間がかかると共に、顕微鏡
をのぞきながら行なう作業のため、作業員が疲労し易
く、かつ作業員によつて検査の判定結果にばらつきが生
じる等の問題がある。
また、本出願人は、未加工のドリル先端の画像を画像パ
ターン認識装置に取り込むことによつて、該ドリルの先
端を自動的に所定の形状に加工する自動ドリル先端加工
機を提案したが(実願昭60−41320号参照)、こ
の加工機にあつては、平面的な未加工のドリル先端の画
像は鮮明に画像パターン認識装置に取り込むことがで
き、正確に所定の形状に加工できるが、加工後のドリル
の先端は立体的な形状となるため、鮮明な画像を画像パ
ターン認識装置に取り込むことができず、上記加工済の
ドリルの先端の検査あるいは修正加工に使用することは
難しかつた。
ターン認識装置に取り込むことによつて、該ドリルの先
端を自動的に所定の形状に加工する自動ドリル先端加工
機を提案したが(実願昭60−41320号参照)、こ
の加工機にあつては、平面的な未加工のドリル先端の画
像は鮮明に画像パターン認識装置に取り込むことがで
き、正確に所定の形状に加工できるが、加工後のドリル
の先端は立体的な形状となるため、鮮明な画像を画像パ
ターン認識装置に取り込むことができず、上記加工済の
ドリルの先端の検査あるいは修正加工に使用することは
難しかつた。
本考案は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、ドリルの先端のような立体的な形状を
有する被検査物であつても、無人で自動的に外観検査を
行なうことができ、しかも容易にかつ確実に被検査物の
良否が判定できて、検査時間の短縮を図ることができる
自動外観検査装置を提供することにある。
とするところは、ドリルの先端のような立体的な形状を
有する被検査物であつても、無人で自動的に外観検査を
行なうことができ、しかも容易にかつ確実に被検査物の
良否が判定できて、検査時間の短縮を図ることができる
自動外観検査装置を提供することにある。
「問題点を解決するための手段」 上記目的を達成するために、本考案は、被検査物を保持
していて、移動手段によってX−Y軸方向に水平移動さ
せられ、第一の回転手段によって水平回転させられ、第
二の回転手段によって上下方向に回動させられる主軸部
と、 被検査物の先端部の検査対象領域に対して所要の焦点深
度を得るための焦点深度調整機構を有し、かつ上記主軸
部に保持された被検査物の先端部の形状を検出する形状
検出装置と、 該形状検出装置で得られた被検査物の先端部の形状と予
め記憶されている基準形状とを比較して、上記被検査物
の先端部の検査位置を割り出し、かつ上記被検査物の先
端部の形状の良否を予め設定された検査領域と検査判定
基準に基づいて判定する画像パターン認識装置と、 該画像パターン認識装置からの信号に基づいて少なくと
も移動手段又は第一の回転手段を制御して被検査物を位
置決めする制御装置と、 上記画像パターン認識装置で不良と判定された被検査物
の先端部の不良部分を研削加工する研削手段とを備えた
ものである。
していて、移動手段によってX−Y軸方向に水平移動さ
せられ、第一の回転手段によって水平回転させられ、第
二の回転手段によって上下方向に回動させられる主軸部
と、 被検査物の先端部の検査対象領域に対して所要の焦点深
度を得るための焦点深度調整機構を有し、かつ上記主軸
部に保持された被検査物の先端部の形状を検出する形状
検出装置と、 該形状検出装置で得られた被検査物の先端部の形状と予
め記憶されている基準形状とを比較して、上記被検査物
の先端部の検査位置を割り出し、かつ上記被検査物の先
端部の形状の良否を予め設定された検査領域と検査判定
基準に基づいて判定する画像パターン認識装置と、 該画像パターン認識装置からの信号に基づいて少なくと
も移動手段又は第一の回転手段を制御して被検査物を位
置決めする制御装置と、 上記画像パターン認識装置で不良と判定された被検査物
の先端部の不良部分を研削加工する研削手段とを備えた
ものである。
「作用」 本考案の自動外観検査装置にあつては、形状検出装置に
よつて検出した被検査物の先端部の形状を画像パターン
認識装置において基準形状と比較して、この結果に基づ
いて制御装置によつて移動手段や第一の回転手段等を作
動させて被検査物の先端部の検査位置を割出すと共に、
あらかじめ設定された検査領域と検査判定基準とに基づ
いて上記被検査物の先端部の形状の良否を判定する。そ
して、不良と判定された場合には、研削手段によって被
検査物の先端部の不良部分を研削して、所望の形状に加
工する。
よつて検出した被検査物の先端部の形状を画像パターン
認識装置において基準形状と比較して、この結果に基づ
いて制御装置によつて移動手段や第一の回転手段等を作
動させて被検査物の先端部の検査位置を割出すと共に、
あらかじめ設定された検査領域と検査判定基準とに基づ
いて上記被検査物の先端部の形状の良否を判定する。そ
して、不良と判定された場合には、研削手段によって被
検査物の先端部の不良部分を研削して、所望の形状に加
工する。
「実施例」 以下、第1図ないし第9図に基づいて本考案の一実施例
を説明する。
を説明する。
第1図は、自動ドリル先端検査及び再研削装置の全体を
示すもので、図中1は、コレツトチヤツクによりドリル
2を着脱自在に保持する主軸部である。この主軸部1
は、主軸駆動モータ3により周方向に回転せしめられる
と共に、θ軸駆動モータ4により上下に起倒せしめられ
るようになつており、また、X軸駆動モータ5とY軸駆
動モータ6を備えたXYテーブル7上に設けられて、X
軸及びY軸方向への移動が自在なる構造となつている。
示すもので、図中1は、コレツトチヤツクによりドリル
2を着脱自在に保持する主軸部である。この主軸部1
は、主軸駆動モータ3により周方向に回転せしめられる
と共に、θ軸駆動モータ4により上下に起倒せしめられ
るようになつており、また、X軸駆動モータ5とY軸駆
動モータ6を備えたXYテーブル7上に設けられて、X
軸及びY軸方向への移動が自在なる構造となつている。
上記XYテーブル7の正面の右側側傍には、上記主軸部
1にドリル2をローデイングするローデイング装置8
と、主軸部1のドリル2を収納装置9上にアンローデイ
ングするアンローデイング装置10とが配設され、ま
た、その反対側には、上記主軸部1に保持されたドリル
2の先端部を研削加工するポイント研削部11が設置さ
れている。
1にドリル2をローデイングするローデイング装置8
と、主軸部1のドリル2を収納装置9上にアンローデイ
ングするアンローデイング装置10とが配設され、ま
た、その反対側には、上記主軸部1に保持されたドリル
2の先端部を研削加工するポイント研削部11が設置さ
れている。
一方、上記XYテーブル7の中央部の上方部位には、主
軸部1が上方に向けられた状態でこの主軸部1に保持さ
れたドリル2の先端形状を検出する形状検出装置12が
配設されている。この形状検出装置12は、第3図に示
すように、上記ドリル2の先端を拡大する顕微鏡部13
とこの顕微鏡部13で拡大された先端形状を撮像するテ
レビ撮像管部14とから構成され、かつこの顕微鏡部13
のズーム式対物レンズ15とテレビ撮像管部14との間
に、倍率を得るための中継レンズ16と絞りを調整する
ための絞り機構17とが設けられている。これにより、
上記顕微鏡部13は、第4図に示すように、各種のドリ
ル2に応じた必要焦点深度Dを得ることが十分に可能な
深い焦点深度を有する構成となつている。なお、図中α
はドリル2の先端角であり、例えば110゜〜130゜に設定さ
れている。また、上記テレビ撮像管部14で得られた先
端形状(画像)は、第2図に示すように、画像パターン
認識装置18に送られ、かつこの画像パターン認識装置
18は、あらかじめ入力されているドリル2の先端部の
基準形状bと上記先端形状aとの誤差量(不一致のドツ
ト数)cが許容値以下あるいは最小になるように、上記
各駆動モータ3,5,6を制御する制御装置19に指令
信号を出力して、上記ドリル2の検出位置を割出し、位
置決めすると共に、第6図ないし第9図に示すように、
各検査項目(ギヤツプ及びオーバラツプ、切刃片寄り及
び切刃テーパ、そり及びだれ、切刃かけ)毎にあらかじ
め設定された検査領域(ウインドウ)W1〜W4と誤差
量c1〜c4の許容値(検査判定基準)とに基づいて、
ドリル2の先端部の良否を判定するように構成されてい
る。
軸部1が上方に向けられた状態でこの主軸部1に保持さ
れたドリル2の先端形状を検出する形状検出装置12が
配設されている。この形状検出装置12は、第3図に示
すように、上記ドリル2の先端を拡大する顕微鏡部13
とこの顕微鏡部13で拡大された先端形状を撮像するテ
レビ撮像管部14とから構成され、かつこの顕微鏡部13
のズーム式対物レンズ15とテレビ撮像管部14との間
に、倍率を得るための中継レンズ16と絞りを調整する
ための絞り機構17とが設けられている。これにより、
上記顕微鏡部13は、第4図に示すように、各種のドリ
ル2に応じた必要焦点深度Dを得ることが十分に可能な
深い焦点深度を有する構成となつている。なお、図中α
はドリル2の先端角であり、例えば110゜〜130゜に設定さ
れている。また、上記テレビ撮像管部14で得られた先
端形状(画像)は、第2図に示すように、画像パターン
認識装置18に送られ、かつこの画像パターン認識装置
18は、あらかじめ入力されているドリル2の先端部の
基準形状bと上記先端形状aとの誤差量(不一致のドツ
ト数)cが許容値以下あるいは最小になるように、上記
各駆動モータ3,5,6を制御する制御装置19に指令
信号を出力して、上記ドリル2の検出位置を割出し、位
置決めすると共に、第6図ないし第9図に示すように、
各検査項目(ギヤツプ及びオーバラツプ、切刃片寄り及
び切刃テーパ、そり及びだれ、切刃かけ)毎にあらかじ
め設定された検査領域(ウインドウ)W1〜W4と誤差
量c1〜c4の許容値(検査判定基準)とに基づいて、
ドリル2の先端部の良否を判定するように構成されてい
る。
なお、上記各駆動モータ3,(4),5,6は、パルス
モータまたはサーボモータから成り、また、上記画像パ
ターン認識装置18において使用される上記各許容値
は、パネル面の操作スイツチ等により設定可能になつて
いる。さらに、上記画像パターン認識装置18には、上
記ドリル2の先端形状をモニターするためのモニターテ
レビ20が接続されている。
モータまたはサーボモータから成り、また、上記画像パ
ターン認識装置18において使用される上記各許容値
は、パネル面の操作スイツチ等により設定可能になつて
いる。さらに、上記画像パターン認識装置18には、上
記ドリル2の先端形状をモニターするためのモニターテ
レビ20が接続されている。
上記のように構成された自動ドリル先端検査及び再研削
装置において、ドリル2の先端部の検査をする場合に
は、まず、ローデイング装置8を作動して、第1図の二
点鎖線で示す位置にある主軸部1にドリル2を装着す
る。次いで、XYテーブル7を作動してこの主軸部1を
第1図の形状検出装置12の位置まで移動させると共
に、θ軸駆動モータ4を作動してこの主軸部1を上方に
向ける。すると、顕微鏡部13により、ドリル2の先端
部の形状(例えば、第5図において符号aで示す形状)
が検出され、テレビ撮像管部14により電気信号(画像
信号)に変換されて、画像パターン認識装置18に入力
される。そして、この画像パターン認識装置18におい
て、あらかじめ記憶されている基準形状(第5図で符号
bで示す形状)と比較されて、その誤差量(第5図で符
号cで示す斜線部分)が不一致のドツト数として検出さ
れる。このドツト数が、設定された許容量以下になるよ
うに、上記画像パターン認識装置18は、制御装置19
に対して指令信号を出力するから、この指令信号に基づ
いて制御装置19は、主軸駆動モータ3を制御して主軸
部1を所定角度回転させ、ドリル2が検査位置に割出
し、位置決めされる。また、このとき、制御装置19は
上記誤差量cが最小となるようにX軸,Y軸駆動モータ
5,6を作動し、ドリル2のX,Y両軸方向の位置補正
も行なう。
装置において、ドリル2の先端部の検査をする場合に
は、まず、ローデイング装置8を作動して、第1図の二
点鎖線で示す位置にある主軸部1にドリル2を装着す
る。次いで、XYテーブル7を作動してこの主軸部1を
第1図の形状検出装置12の位置まで移動させると共
に、θ軸駆動モータ4を作動してこの主軸部1を上方に
向ける。すると、顕微鏡部13により、ドリル2の先端
部の形状(例えば、第5図において符号aで示す形状)
が検出され、テレビ撮像管部14により電気信号(画像
信号)に変換されて、画像パターン認識装置18に入力
される。そして、この画像パターン認識装置18におい
て、あらかじめ記憶されている基準形状(第5図で符号
bで示す形状)と比較されて、その誤差量(第5図で符
号cで示す斜線部分)が不一致のドツト数として検出さ
れる。このドツト数が、設定された許容量以下になるよ
うに、上記画像パターン認識装置18は、制御装置19
に対して指令信号を出力するから、この指令信号に基づ
いて制御装置19は、主軸駆動モータ3を制御して主軸
部1を所定角度回転させ、ドリル2が検査位置に割出
し、位置決めされる。また、このとき、制御装置19は
上記誤差量cが最小となるようにX軸,Y軸駆動モータ
5,6を作動し、ドリル2のX,Y両軸方向の位置補正
も行なう。
このようにして、ドリル2が検出位置に位置決めされる
と、次いで、第6図ないし第9図に示すように、各検査
項目(ギヤツプ及びオーバラツプ、切刃片寄り及び切刃
テーパ、そり及びだれ、切刃かけ)毎にあらかじめ設定
された検査領域W1〜W4内において、ドリル2の先端
部の実際の形状aと基準形状bとの誤差量c1〜c4が
各誤差量c1〜c4の許容値(検査判定基準)と比較さ
れ、各検査項目が全て許容値以下である場合には、上記
画像パターン認識装置18は、該ドリル2が良品である
との判定を下し、その結果に基づいて、アンローデイン
グ装置10を作動して上記ドリル2を収納装置9に収納
する。また、上記各検査項目のうち1つの項目でも許容
値を越えていれば、画像パターン認識装置18は上記ド
リル2を不良品と判定し、この結果に基づいて、各駆動
モータ4,5,6が作動して該ドリル2がポイント研削
部11に臨ませられ、このポイント研削部11によつ
て、上記ドリル2の不良と判定された部分が再研削され
る。
と、次いで、第6図ないし第9図に示すように、各検査
項目(ギヤツプ及びオーバラツプ、切刃片寄り及び切刃
テーパ、そり及びだれ、切刃かけ)毎にあらかじめ設定
された検査領域W1〜W4内において、ドリル2の先端
部の実際の形状aと基準形状bとの誤差量c1〜c4が
各誤差量c1〜c4の許容値(検査判定基準)と比較さ
れ、各検査項目が全て許容値以下である場合には、上記
画像パターン認識装置18は、該ドリル2が良品である
との判定を下し、その結果に基づいて、アンローデイン
グ装置10を作動して上記ドリル2を収納装置9に収納
する。また、上記各検査項目のうち1つの項目でも許容
値を越えていれば、画像パターン認識装置18は上記ド
リル2を不良品と判定し、この結果に基づいて、各駆動
モータ4,5,6が作動して該ドリル2がポイント研削
部11に臨ませられ、このポイント研削部11によつ
て、上記ドリル2の不良と判定された部分が再研削され
る。
このように、上記自動ドリル先端検査及び再研削装置に
あつては、上記形状検出装置12と画像パターン認識装
置18と制御装置19及び主軸駆動モータ3とによつ
て、ドリル2の検出位置への位置決めが自動的に行なわ
れ、かつドリル2の良否の判定が画像パターン認識装置
18によつて確実になされるから、ドリル2の外観検査
及び不良のドリル2の再研削が無人・自動化されると共
に、検査水準を高くかつ一定に維持することができる。
また、多種類のワークに対しても、各ワークの基準形状
を画像パターン認識装置18に入力記憶するのみで対処
でき、段取り時間の短縮化を図ることができる。さら
に、各検査項目毎に、検査領域を変更できるから、検査
を短時間に完了することができる。
あつては、上記形状検出装置12と画像パターン認識装
置18と制御装置19及び主軸駆動モータ3とによつ
て、ドリル2の検出位置への位置決めが自動的に行なわ
れ、かつドリル2の良否の判定が画像パターン認識装置
18によつて確実になされるから、ドリル2の外観検査
及び不良のドリル2の再研削が無人・自動化されると共
に、検査水準を高くかつ一定に維持することができる。
また、多種類のワークに対しても、各ワークの基準形状
を画像パターン認識装置18に入力記憶するのみで対処
でき、段取り時間の短縮化を図ることができる。さら
に、各検査項目毎に、検査領域を変更できるから、検査
を短時間に完了することができる。
なお、上記実施例においては、ドリル2の先端部の形状
を検査する場合について説明したが、焦点深度の深い顕
微鏡を使用するから、他の立体形状の被検査物の外観検
査についても適用できる。また、検査時間を短縮するた
めに、あらかじめ被検査物の検査位置を割出しておき、
本考案の装置においては被検査物の外観検査のみを行な
うようにしてもよい。
を検査する場合について説明したが、焦点深度の深い顕
微鏡を使用するから、他の立体形状の被検査物の外観検
査についても適用できる。また、検査時間を短縮するた
めに、あらかじめ被検査物の検査位置を割出しておき、
本考案の装置においては被検査物の外観検査のみを行な
うようにしてもよい。
「考案の効果」 以上説明したように、本考案によれば、形状検出装置に
より得られた被検査物の形状が立体的なものであって
も、その形状を画像パターン装置において基準形状と比
較して、この結果に基づいて制御装置によつて移動手段
や第一の回転手段等を作動させて被検査物の先端部の検
査位置を割出すと共に、あらかじめ設定された検査領域
と検査判定基準とに基づいて被検査物の形状の良否を判
定するものであるから、無人・自動で外観検査ができて
検査効率が向上し、また、検査精度を高く一定に維持す
ることができると共に、段取り替えに要する時間が短縮
されて、多種類のワークの検査に容易に対処できるとい
う優れた効果を奏する。しかも、不良と判定された被検
査物の不良部分を研削手段で修正加工することで、外観
検査だけでなく、被検査物の修正をも自動的にできると
いう利点もある。
より得られた被検査物の形状が立体的なものであって
も、その形状を画像パターン装置において基準形状と比
較して、この結果に基づいて制御装置によつて移動手段
や第一の回転手段等を作動させて被検査物の先端部の検
査位置を割出すと共に、あらかじめ設定された検査領域
と検査判定基準とに基づいて被検査物の形状の良否を判
定するものであるから、無人・自動で外観検査ができて
検査効率が向上し、また、検査精度を高く一定に維持す
ることができると共に、段取り替えに要する時間が短縮
されて、多種類のワークの検査に容易に対処できるとい
う優れた効果を奏する。しかも、不良と判定された被検
査物の不良部分を研削手段で修正加工することで、外観
検査だけでなく、被検査物の修正をも自動的にできると
いう利点もある。
第1図ないし第9図は本考案の一実施例を示すもので、
第1図は全体の平面図、第2図はブロツク図、第3図は
形状検出装置の構成を示す概略構成図、第4図はドリル
の側面図、第5図は検査位置割出し原理を示す説明図、
第6図ないし第9図は各種の検査項目について示すもの
で、第6図はギヤツプ及びオーバラツプを説明する説明
図、第7図は切刃片寄り及び切刃テーパを説明する説明
図、第8図はそり及びだれを説明する説明図、第9図は
切刃かけを説明する説明図である。 1……主軸部、2……ドリル(被検査物)、3……主軸
駆動モータ(回転装置)、12……形状検出装置、13
……顕微鏡部、14……テレビ撮像管部、15……ズー
ム式対物レンズ、16……中継レンズ、17……絞り機
構、18……画像パターン認識装置、19……制御装
置、a……先端形状、b……基準形状、D……必要焦点
深度、W1〜W4……検査領域(ウインドウ)。
第1図は全体の平面図、第2図はブロツク図、第3図は
形状検出装置の構成を示す概略構成図、第4図はドリル
の側面図、第5図は検査位置割出し原理を示す説明図、
第6図ないし第9図は各種の検査項目について示すもの
で、第6図はギヤツプ及びオーバラツプを説明する説明
図、第7図は切刃片寄り及び切刃テーパを説明する説明
図、第8図はそり及びだれを説明する説明図、第9図は
切刃かけを説明する説明図である。 1……主軸部、2……ドリル(被検査物)、3……主軸
駆動モータ(回転装置)、12……形状検出装置、13
……顕微鏡部、14……テレビ撮像管部、15……ズー
ム式対物レンズ、16……中継レンズ、17……絞り機
構、18……画像パターン認識装置、19……制御装
置、a……先端形状、b……基準形状、D……必要焦点
深度、W1〜W4……検査領域(ウインドウ)。
Claims (1)
- 【請求項1】被検査物を保持していて、移動手段によっ
てX−Y軸方向に水平移動させられ、第一の回転手段に
よって水平回転させられ、第二の回転手段によって上下
方向に回動させられる主軸部と、 被検査物の先端部の検査対象領域に対して所要の焦点深
度を得るための焦点深度調整機構を有し、かつ上記主軸
部に保持された被検査物の先端部の形状を検出する形状
検出装置と、 該形状検出装置で得られた被検査物の先端部の形状と予
め記憶されている基準形状とを比較して、上記被検査物
の先端部の検査位置を割り出し、かつ上記被検査物の先
端部の形状の良否を予め設定された検査領域と検査判定
基準に基づいて判定する画像パターン認識装置と、 該画像パターン認識装置からの信号に基づいて少なくと
も上記移動手段又は第一の回転手段を制御して被検査物
を位置決めする制御装置と、 上記画像パターン認識装置で不良と判定された被検査物
の先端部の不良部分を研削加工する研削手段と、 が備えられてなる自動外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986037308U JPH0613442Y2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 自動外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986037308U JPH0613442Y2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 自動外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62150608U JPS62150608U (ja) | 1987-09-24 |
| JPH0613442Y2 true JPH0613442Y2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=30848518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986037308U Expired - Lifetime JPH0613442Y2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 自動外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613442Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4543153B1 (ja) * | 2009-08-11 | 2010-09-15 | 国立大学法人 岡山大学 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60196610A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-05 | New Japan Radio Co Ltd | パタ−ン認識方法 |
| JPS61251705A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | パタ−ン検査方法及び装置 |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP1986037308U patent/JPH0613442Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62150608U (ja) | 1987-09-24 |
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