JPH06139629A - 情報記録坦体およびこれを使用する情報処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 記録または再生時のプローブ電極と記録媒体
との間に高い剛性を有するとともに間隔制御を容易にす
る。 【構成】 情報記録坦体１１は密閉容器５を有し、密閉
容器５の下側内壁面にはＸＹ方向走査機構８が固定さ
れ、その上面には記録媒体基台９が固定される。記録媒
体基台９の上面には記録媒体１０が固定され、記録媒体
１０の上方にはプローブ電極１の先端が下向きに設けら
れ、プローブ電極１の先端と反対側の端部はＺ方向微動
機構２により保持される。Ｚ方向微動機構２は各凸部を
記録媒体基台９に向けた凹状の可動フレーム３に固定保
持され、各凸部の先端にはＶ型溝６がそれぞれ形成され
る。可動フレーム３は密閉容器５の上側内壁面に固定さ
れた押し付け機構４より付勢されるとともに各先端部に
形成されたＶ型溝６に球７を介して記録媒体基台９に押
し付けられる。情報記録坦体１１は、マイクロコンピュ
ータにより動作制御される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微鏡の
原理を応用した記録再生装置、例えば高密度かつ大容量
を有する情報記録坦体およびこれを使用する情報処理装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年において、導体の表面原子の電子構
造を直接観察できる走査型トンネル顕微鏡（以下、ＳＴ
Ｍと略す）が開発され、広範囲な応用が期待されてい
る。また、ＳＴＭ技術を応用した原子間力顕微鏡が開発
され、絶縁体の試料に対しても原子オーダーの観測がで
きるようになってきた。これらの新しい顕微鏡は、走査
型プローブ顕微鏡と称され、様々な応用が考えられてい
る。特に、記録媒体中に高分解能で情報を書き込む記録
装置、また記録媒体中に書き込まれた情報を高分解能で
読み出す再生装置としての応用が進められている。この
ようにＳＴＭ技術を応用した装置では、プローブと記録
媒体とを１ｎｍ程度まで近づけるため、高度な精密制御
技術が必要とされている。また、記録再生速度を速める
ために複数のプローブ電極を有する記録再生装置も提案
されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記Ｓ
ＴＭの原理を応用した従来技術において、プローブ電極
と記録媒体表面との距離をｎｍオーダーで精密に制御す
る必要がある。そのために両者を相対移動させる接近粗
動機構・微動機構・制御回路などが複雑になったり、装
置全体が大型化するなどの問題点がある。

【０００４】また、粗動機構および微動機構は同一方向
に対して位置制御を行なうが、粗動時の震動が微動機構
に伝わり接近精密制御が難しいため、プローブ電極と記
録媒体との間の位置制御機構の剛性を高くしたいという
要求もあった。

【０００５】更に、複数のプローブ電極を有する装置の
場合、複数のプローブ電極の先端を連ねた面と記録媒体
表面との面合わせ機構などが必要になり、制御回路など
も複雑化するという問題点もある。

【０００６】本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑
みてなされたものであって、プローブ電極と記録媒体と
の接近粗動機構を省略し、同時に記録または再生時のプ
ローブ電極と記録媒体との間隔制御を容易にし、剛性の
高いＳＴＭ技術を応用した情報記録坦体およびこれを使
用する情報処理装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、記録媒体の表面とプローブ電極とが極微小
間隔まで接近した状態で該記録媒体と該プローブ電極と
を相対移動させながら、前記記録媒体への情報の記録お
よび再生がなされる情報処理装置に用いられる情報記録
坦体であって、前記記録媒体が保持される第１の基板
と、前記記録媒体の表面と垂直方向に変位可能な前記プ
ローブ電極が取り付けられた第２の基板と、前記第１の
基板と前記第２基板との間に設けられ、前記第１の基板
あるいは前記第２の基板のいずれかに設けられた溝に転
がり可能に保持される転がり部材と、を密閉容器内に具
備し、外部と制御信号の送受を行なうために前記密閉容
器の外部に露出するような電極が設けられたものであ
る。

【０００８】また、前記転がり部材は球であるものでも
よく、上記基板は単結晶板からなるものでもよい。

【０００９】さらに、前記情報記録坦体を用いる情報処
理装置であって、記録媒体走査機構を駆動する駆動手段
と、記録媒体と垂直方向にプローブ電極を変位させる変
位手段と、前記プローブ電極と前記記録媒体との間に電
圧を印加する電圧印加手段と、前記プローブ電極と前記
記録媒体との間に流れる電流を検出する電流検出手段
と、前記各手段の動作制御を行うマイクロコンピュータ
とを有し、前記情報記録坦体の電極が着脱自在とされ、
電気的に接続可能となるものである。

【００１０】

【作用】上記手段からなる本発明の情報記録坦体は、密
閉容器内に収納された記録媒体を保持する第１の基板
と、前記記録媒体の表面と垂直方向に変位可能な前記プ
ローブ電極が取り付けられた第２の基板との間に、転が
り部材を転がり可能に保持することで、プローブ電極の
先端と記録媒体表面との間に剛性が保たれるとともに、
それらの間の距離が最初から微動制御範囲の間隔に保た
れる。

【００１１】また情報処理装置に情報記録坦体を装着し
て電気的に接続し、電圧印加手段により記録媒体とプロ
ーブ電極の先端に電圧を印加しながら、変位手段により
プローブ電極の先端を記録媒体表面に電流検出手段によ
って検出される電流が所定値になるまで接近させること
で、情報記録坦体は記録再生可能な状態になる。

【００１２】情報記録は、上記状態のままでプローブ電
極の先端に対して記録媒体を駆動手段により走査しなが
ら電圧印加手段により電圧を印加したりしなかったりす
ることで、記録媒体が抵抗変化を起こし記録ビットが形
成される。

【００１３】記録再生は、記録箇所と同様の箇所を電圧
印加手段により印加しつつ駆動手段により走査し、電流
検出手段による電流変化を検出することで行なわれる。

【００１４】

【実施例】次に本発明の実施例について図面をもとに説
明する。

【００１５】図１は本発明の情報記録坦体およびこれを
使用する情報処理装置の一実施例の構成を説明するため
の断面図である。

【００１６】この図において本実施例の記録情報坦体１
１は六面壁からなる密閉容器５を有し、密閉容器５の下
側内壁面にはＸＹ方向に走査可能な記録媒体走査機構と
してのＸＹ方向走査機構８が固定されている。ＸＹ方向
走査機構８の上面には記録媒体基台９が固定されてお
り、第１の基板としての記録媒体基台９の上面にはこの
面と平行になるように記録媒体１０が固定されている。
記録媒体１０は、下からマイカをへき開して得られた平
滑な基板であり、マイカ基板の上にＡｕをエキピタキシ
ャル成長させた下地電極、さらに電気メモリー効果を有
するスクアリリウム−ビス−６−オクチルアズレン（以
下、ＳＯＡＺと略す）をＬＢ法により８層累積した記録
層の順番で構成されている。記録媒体１０の上方には、
電解研磨法で作成されたタングステン製のプローブ電極
１の先端が鉛直下向きに設けられており、プローブ電極
１の先端と反対側の端部は鉛直方向に微動させる円筒型
圧電素子からなるＺ方向微動機構２により保持されてい
る。Ｚ方向微動機構２は縦断面視コの字型からなる第２
の基板としての可動フレーム３の凹部内に固定保持され
ている。可動フレーム３はこの凹部を形成する各凸部の
先端部を記録媒体基台９に向けて設けられており、各先
端部にはＶ型溝６がそれぞれ形成されている。一方、可
動フレーム３の上面は密閉容器５の上側内壁面に固定さ
れた圧縮ばねからなる弾性部材としての押し付け機構４
により付勢されており、可動フレーム３はこの各先端部
に形成されたＶ型溝６に転がり部材としての球７を介し
て記録媒体基台９に押し付けられている。可動フレーム
３の各溝６と記録媒体基台９との間に介された球７は、
プローブ電極１の先端と記録媒体１０との距離を決定す
るものである。

【００１７】プローブ電極１と記録媒体１０との位置関
係は、Ｚ方向微動機構２でプローブ電極１をＺ方向に制
御しながらプローブ電極１が記録媒体１０表面と衝突す
ることなく走査することができる関係にある。球７は記
録媒体１０のＸＹ方向の粗動の時には記録媒体基台９上
を滑りながら転動し、記録再生時など数μｍの微動時に
は弾性変形内で動く。即ち、球７は記録再生時には、可
動フレーム３と記録媒体基台９との間の構造体の役目を
する。

【００１８】以上のように構成された本実施例の情報記
録坦体１１は、Ｚ方向微動機構２を変位する変位手段と
してのＺ方向駆動回路１４と、ＸＹ方向走査機構８を駆
動する駆動手段としての走査機構駆動回路１６と、プロ
ーブ電極１と記録媒体１０との間に電圧を印加する電圧
印加手段としての電圧印加回路１３と、プローブ電極１
と記録媒体１０との間に流れる電流を検出する電流検出
手段としての電流検出回路を有しており、これらはマイ
クロコンピュータ１２により駆動制御される。電圧印加
回路１３はマイクロコンピュータ１２からの信号指令に
より、記録時にはデータを書き込むためのパルス状電圧
を印加し、また再生時には読み出し電圧を印加し、更に
消去時には消去用のパルス状電圧を印加する。これら制
御回路からの信号線は、情報記録坦体１１を形成する密
閉容器５の外部に設けられる電極を通して密閉容器５内
の各機構に接続されている。

【００１９】次に本実施例のマイクロコンピュータによ
る動作を説明する。

【００２０】情報記録坦体１１の運搬時の衝撃などを考
慮し、プローブ電極１は記録媒体１０との衝突を避ける
ために離れているので、最初Ｚ方向微動機構２により両
者を接近させる必要がある。手順は、まずプローブ電極
１と記録媒体１０の下地電極との間に電圧印加回路１３
により例えば０．１Ｖの読み出し電圧を印加しながらＺ
方向微動機構２を駆動し、電流検出回路１５により検出
される電流が例えば１０ｐＡになるまでプローブ電極１
の先端を記録媒体１０に近づける。球７によってプロー
ブ電極１の先端１と記録媒体１０との距離はＺ方向微動
機構のみで接近可能な距離にまで接近しているので、電
流を検出するまでの時間は従来装置に比べて早くなって
いる。ここでＺ方向微動機構２を保持し、プローブ電極
１に対し記録媒体１０をＸＹ方向走査機構８を用いて走
査することで、記録媒体１０に記録再生が可能な状態に
なる。実際にこの状態で記録媒体１０を走査しながら得
られる電流検出回路１５の出力値は、プローブ電極１と
記録媒体４の下地電極との間に流れる電流に換算して１
０ｐＡの値であった。

【００２１】記録は、上述の状態にて記録媒体１０を走
査しながらプローブ電極１が記録領域の書き込み位置に
きたときに電圧印加回路１３により電圧を印加して行な
う。この書き込み電圧は電気メモリー効果を有する記録
層がＯＮ状態（低抵抗）に変化するのに十分な電圧であ
る。書き込みのタイミングなどはマイクロコンピュータ
１２による制御信号による。記録領域においてＸ方向に
記録媒体１０を移動させながら記録を行ない、Ｘ方向の
１列分の記録を終了すると、Ｙ方向に１列分ずれて次の
列で同様にＸ方向１列分の記録を行なう。この記録媒体
１０の走査中に、記録媒体１０上の各書き込み位置で書
き込み電圧を印加することで、記録ビットが形成され
る。

【００２２】再生は、プローブ電極１と記録媒体１０の
下地電極との間に例えば０．１Ｖの読み出し電圧を電圧
印加回路１３により印加しながらＸＹ方向走査機構８を
用いて記録媒体１０を記録時と同様の経路で走査し、電
流検出回路１５により検出される電流変化を読みとるこ
とで行なわれる。読み出し電圧は記録層が抵抗状態の変
化をおこさないような十分小さな値にする。実際に記録
媒体１０を走査しながら得られる電流検出回路１５の出
力値はプローブ電極１と記録媒体１０の下地電極の間に
流れる電流に換算して、記録ビットの位置では１０ｎＡ
以上であり、その他の場所は１０ｐＡの値であった。こ
の電流変化はコンピュータ６を通して外部装置に出力さ
れる。またこの読み出しのタイミングなどもコンピュー
タ６の制御信号による。

【００２３】記録再生どちらの時も、安定した記録再生
ができた。記録ビットの寸法は直径７０ｎｍであった。

【００２４】本実施例で使用したプローブ電極は、タン
グステン棒を電解研磨したものであったが白金−ロジウ
ム、あるいは白金−イリジウムなどの棒を電解研磨ある
いは機械研磨して用いてもかまわない。Ｚ方向微動機構
は、円筒型圧電素子を用いたがバイモルフ型圧電素子な
どを用いることもできる。

【００２５】次に本発明の他の実施例について図２乃至
図５に基づいて説明する。

【００２６】図２は本発明の他の実施例の全体構成を説
明するための断面図である。図３は本発明の他の実施例
を示す部分構成拡大図である。

【００２７】図２および図３において本実施例の情報記
録坦体３０は六面壁からなる密閉容器２４を有し、密閉
容器２４の下側内壁面にはＸＹ方向に走査可能な記録媒
体走査機構としてのＸＹ方向走査機構２７が固定されて
いる。ＸＹ方向走査機構２７の上面には第１の基板とし
ての記録媒体基台２８が固定されており、記録媒体基台
２８の上面にはこの面と平行になるように記録媒体２９
が固定されている。記録媒体２９は、上からＬＢ法によ
りＳＯＡＺを６層積層した記録層、真空蒸着法によりＣ
ｒを５ｎｍ堆積させ更にその上に同法によりＡｕを３０
ｎｍ蒸着した下地電極、表面研磨された石英ガラス基板
の順番で構成されている。記録媒体２９の上方には、電
解研磨法で作成されたタングステン製の複数のプローブ
電極２１の各先端が鉛直下向きに設けられており、各プ
ローブ電極１の先端と反対側の端部はそれぞれ鉛直方向
に微動させるＺ方向微動機構であるバイモルフ梁３５
（図３参照）により保持されている。各バイモルフ梁３
５は第２の基板としての可動フレーム２２の記録媒体基
台２８側の一面にそれぞれ固定保持されており、その面
のプローブ電極２１を挟む各位置にはＶ型溝２５がそれ
ぞれ形成されている。一方、可動フレーム２２の上面は
密閉容器２４の上側内壁面に固定された弾性部材２３に
より付勢されており、可動フレーム２２は形成されたＶ
型溝２５に転がり部材としてのセラミック製の球２６を
介して記録媒体基台２８に押し付けられている。可動フ
レーム２２の各Ｖ型溝２５と記録媒体基台２８との間に
介された球２６は、プローブ電極２１の先端と記録媒体
２９との距離を決定するものである。

【００２８】プローブ電極２１と記録媒体２９との位置
関係は、Ｚ方向微動機構であるバイモルフ梁３５でプロ
ーブ電極２１をＺ方向に制御しながらプローブ電極２１
が記録媒体２９表面と衝突することなく走査することが
できる関係にある。

【００２９】一方、密閉容器２４内部の図示左側には上
述した複数のプローブ電極２１の選択を行なう選択器な
どを含む駆動回路３１が固設されており、駆動回路３１
の図示左側の側面には情報処理装置本体３３内の制御系
からの信号や電源を密閉容器２４内の各機構へ供給する
ための電極３２が突設されている。電極３２は密閉容器
２４に設けられた穴を介して情報処理装置本体側の電極
接触部３４に接続されている。そして情報記録坦体３０
は情報処理装置本体３３に対して矢印Ａ方向に着脱自在
に設けられている。

【００３０】本実施例の上記各構成を制御する制御手段
の構成は、一実施例と同様にコンピュータにより制御さ
れる構成となっている。

【００３１】ここで上述した本実施例の可動フレーム２
２の製造方法を以下に説明する。

【００３２】図４は本発明の他の実施例の可動フレーム
の主構成を説明するための詳細図である。この図に示す
本発明の主要構成であるＶ型溝２５を形成するには、両
面研磨したｎ型シリコン基板に、マスク層となる窒化シ
リコンをＣＶＤ法により５０ｎｍ成膜し、Ｖ型溝２５を
設ける部分に円形開口部をパターニングした後、基板表
面の窒化シリコンをＣＦ₄ガスを用いたドライエッチン
グによりエッチングをした後、８０度に加熱した濃度３
０％の水酸化カリウム水溶液にてシリコン基板をエッチ
ングすることで、四角すい型の凹部が形成される。この
凹部はＶ字型の溝形状をしており、その頂角は７０．６
度であった。一方、２１はプローブ電極、３５はバイモ
ルフ梁、３６は配線領域である。

【００３３】バイモルフ梁３５の配線領域は、例えば上
電極（Ａｕ）／絶縁膜（Ｓｉ₃Ｎ₄）／圧電層（ＺｎＯ）
／絶縁膜（Ｓｉ₃Ｎ₄）／中電極（Ａｕ）／絶縁膜（Ｓｉ
₃Ｎ₄）／圧電層（ＺｎＯ）／絶縁膜（Ｓｉ₃Ｎ₄）／下電
極（Ａｕ）となっており、寸法は６００μｍ×１２０μ
ｍ、厚さ１０μｍ程度のものを作製して用いた。上、
中、下電極に電圧を加えバイモルフとして駆動させるこ
とで、プローブ電極２１を動かすことができ、印加電極
±１０Ｖで変位量として約４μｍが得られる。なお、こ
れらの製作は、マイクロメカニクス、あるいはマイクロ
マシーニングと呼ばれる公知の方法［参考文献：K.E.Pe
tersen,Proc.IEEE,70,420(1982)］で行なった。 タン
グステン製プローブ電極２１からの信号線は、バイモル
フ梁３５上を通り配線領域３６上の回路へ導かれ最終的
には図２に示す電極３２につながっている。また各バイ
モルフ梁３５の制御信号を図２に示す電極３２から導く
回路も配線領域３６上に形成されている。

【００３４】図５は本発明の情報処理装置から取り外し
た情報記録坦体の外観図である。

【００３５】上述したようにこの密閉容器２４内には複
数のプローブ電極と記録媒体が相対して配置され、プロ
ーブ電極と記録媒体との距離を決める球、更に記録媒体
表面に対して垂直方向に動かす微動機構、記録媒体を動
かす走査機構が収納されている。情報記録坦体３０の一
側面には窓が形成されており、この窓には情報処理装置
本体と接続するために電極３２が突設されている。電極
３２は、密閉容器２４内に収納されたプローブ電極、記
録媒体の下地電極、プローブ電極の微動機構、記録媒体
走査機構とそれぞれ電気的に接続されている。また、情
報記録坦体３０の側面には情報処理装置本体にセッティ
ングするための案内溝３７が穿設されている。

【００３６】次に本実施例のマイクロコンピュータによ
る動作を説明する。

【００３７】記録媒体２９に情報の記録を行なうには、
一実施例と同様にバイモルフ梁３５を用いてプローブ電
極２１の先端を記録媒体２９表面に近づけ、電圧印加回
路により例えば３．５Ｖの書き込み電圧を印加すること
により記録媒体２９の記録層が特性変化を起こす。この
ため電気抵抗の低い部分（１ビットに相当）が生じ、記
録媒体２９の記録層に記録ビットが形成される。そして
ＸＹ方向走査機構２７を用いて記録媒体２９を走査しな
がら記録領域の記録位置へ書き込み電圧を印加すること
で記録ができる。

【００３８】再生を行なうには、書き込み電圧より低い
例えば０．２Ｖの読み出し電圧を電圧印加回路により印
加しながら、ＸＹ方向走査機構２７を用いて記録媒体２
９表面を記録時と同様に走査し、電流検出回路で電流変
化を検出することで行なう。以上に述べた実施例では、
製作段階でＶ型溝を設ける部分に円形開口部をパターニ
ングするとき、円形開口部の直径を変えることでＶ型溝
の深さを制御することができる。また、開口部を長方形
にして細長い溝形状にしてもよい。使用する基板はシリ
コンに限定されるものではなく、異方性エッチングので
きる単結晶基板であればよい。さらに、記録媒体基台側
にＶ型溝を設けてもよい。

【００３９】さらに本実施例では、シリコンの単結晶基
板を用いたのでＶ型溝を所望の位置に設けることがで
き、球を任意の位置に保持できる。また、Ｖ型溝とバイ
モルフ梁を一体にして基板上に製作でき、プローブ電極
と球との位置関係を精度良く設定できるので、プローブ
電極と記録媒体との距離を精度良く設定できる。

【００４０】また、本実施例では、記録媒体をＸＹ方向
走査機構によってＸＹ走査したが、記録媒体とプローブ
電極が相対的に面内（ＸＹ、ｒθ）移動走査できる構成
（例えば、記録媒体をＸ方向走査機構でＸ方向走査し、
プローブ電極をＹ方向走査と垂直変位させる構成）なら
ば適用可能である。

【００４１】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下に
記載する効果を奏する。

【００４２】請求項１乃至３に記載の本発明では、記録
媒体を保持する第１の基板と、プローブ電極が設けられ
た第２の基板との間に、転がり可能に保持される転がり
部材を設けることで、予めプローブ電極の先端と記録媒
体表面との間隔が剛性を保ちつつ一定となるので、プロ
ーブ電極と記録媒体との接近粗動機構が不要となる。そ
のため装置の小型化が実現できる。

【００４３】また、複数のプローブ電極を有する情報記
録坦体を用いる情報処理装置の場合も、プローブ電極の
先端と記録媒体表面との間隔が剛性を保ちつつ一定とな
るので面合わせ機構が不要となり、制御回路などの単純
化が図れる。

【００４４】さらに、請求項４に記載の本発明では、情
報記録および再生をする情報記録坦体の各機能の動作制
御をマイクロコンピュータにより行なう情報処理装置を
別にして着脱自在に設けることで、装置の単純化が達成
されるとともに情報記録媒体のみの持ち運びが可能にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す概略断面図である。

【図２】本発明の他の実施例の全体構成を説明するため
の断面図である。

【図３】本発明の他の実施例を示す部分構成拡大図であ
る。

【図４】本発明の他の実施例の可動フレームの主構成を
説明するための詳細図である

【図５】本発明の情報処理装置から取り外した情報記録
坦体の外観図である。

【符号の説明】

１，２１ プローブ電極 ２ Ｚ方向微動機構 ３，２２ 可動フレーム ４ 押付け機構 ５，２４ 密閉容器 ６，２５ Ｖ型溝 ７，２６ 球 ８，２７ ＸＹ方向走査機構 ９，２８ 記録媒体基台 １０，２９ 記録媒体 １１，３０ 情報記録坦体 １２ マイクロコンピュータ １３ 電圧印加回路 １４ Ｚ方向駆動回路 １５ 電流検出回路 １６ 走査機構駆動回路 ２３ 弾性部材 ３１ 駆動回路 ３２ 電極 ３３ 情報処理装置本体 ３４ 電極接触部 ３５ バイモルフ梁 ３６ 配線領域 ３７ 案内溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多川 昌宏 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録媒体の表面とプローブ電極とが極微
   小間隔まで接近した状態で該記録媒体と該プローブ電極
   とを相対移動させながら、前記記録媒体への情報の記録
   および再生がなされる情報処理装置に用いられる情報記
   録坦体であって、 前記記録媒体が保持される第１の基板と、前記記録媒体
   の表面と垂直方向に変位可能な前記プローブ電極が取り
   付けられた第２の基板と、前記第１の基板と前記第２基
   板との間に設けられ、前記第１の基板あるいは前記第２
   の基板のいずれかに設けられた溝に転がり可能に保持さ
   れる転がり部材とを密閉容器内に具備し、 外部と制御信号の送受を行なうために前記密閉容器の外
   部に露出するような電極が設けられた情報記録坦体。
2. 【請求項２】 転がり部材は球である請求項１に記載の
   情報記録坦体。
3. 【請求項３】 基板は単結晶板からなる請求項１または
   ２に記載の情報記録坦体。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の情報記録坦体を用いる
   情報処理装置であって、 記録媒体走査機構を駆動する駆動手段と、 記録媒体と垂直方向にプローブ電極を変位させる変位手
   段と、 前記プローブ電極と前記記録媒体との間に電圧を印加す
   る電圧印加手段と、 前記プローブ電極と前記記録媒体との間に流れる電流を
   検出する電流検出手段と、 前記各手段の動作制御を行うマイクロコンピュータとを
   有し、前記情報記録坦体の電極が着脱自在とされ、電気
   的に接続可能となる情報処理装置。