JPH06140738A - リードレスチップキャリア - Google Patents
リードレスチップキャリアInfo
- Publication number
- JPH06140738A JPH06140738A JP3073831A JP7383191A JPH06140738A JP H06140738 A JPH06140738 A JP H06140738A JP 3073831 A JP3073831 A JP 3073831A JP 7383191 A JP7383191 A JP 7383191A JP H06140738 A JPH06140738 A JP H06140738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- chip carrier
- insulating base
- leadless chip
- resin sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3431—Leadless components
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
- H10W70/682—Shapes or dispositions thereof comprising holes having chips therein
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/734—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
絶縁基材に設けた下部接続電極10と,絶縁基材の上面
に接合した樹脂封止枠2とよりなるリードレスチップキ
ャリア1Aにおいて,樹脂封止枠2の外形を絶縁基材1
の外形と略同じとなし,その側面及び上面に上部接続電
極20を設ける。そして,このように構成したリードレ
スチップキャリア1Aを1組として,その上にこれらを
複数段に積層して,多層状のリードレスチップキャリア
とする。 【効果】 絶縁基材1上の樹脂封止枠2に上部接続電極
20を設けているので,回路容量の大きい,多層状リー
ドレスチップキャリアを得ることができる。
Description
なリードレスチップキャリアに関する。 【0002】 【従来技術】図6に示すごとく半導体素子等のチップ部
品93を搭載したリードレスチップキャリア9は,リー
ド線,リードピンを有しない電子部品搭載基板として知
られている。そして,該リードレスチップキャリア9は
上記チップ部品93を搭載するためのチップ搭載部98
を有する絶縁基材91と,該絶縁基材91の側面ないし
下面にわたって設けた下部接続電極95とよりなる。該
下部接続電極95は側面導体951と下面電極952と
からなる。また,絶縁基材91の上面には導体回路96
が形成してある。また,絶縁基材91の上面には,チッ
プ搭載部98を囲むように樹脂封止枠92が設けてあ
る。また,絶縁基材91に接合,搭載したチップ部品9
3と上記導体回路96との間はボンディングワイヤー9
7が接続してある。そして,樹脂封止枠92の内部に
は,上記チップ部品93を取り囲むように,湿気浸入防
止用の封止用樹脂94が充填されている。このように構
成されたリードレスチップキャリア9は,マザーボード
8に対して搭載され,リードレスチップキャリア9の上
記下面電極952とマザーボード8の電極81とが半田
接合される。 【0003】 【解決しようとする課題】ところで,近年は,チップ部
品の高集積化に伴ってリードレスチップキャリアにおけ
る導体回路の容量増加が強く要求されるようになってい
る。そのため,導体回路の高密度化も進められている。
しかしながら,リードレスチップキャリアの限られた面
積内では,かかる要求に充分対応することができない。
そこで,リードレスチップキャリアを複数段に積層する
ことが考えられる。しかし,従来のリードレスチップキ
ャリアは,前記図6に示したごとく,上面に樹脂封止枠
92,封止用樹脂94を有し,単に積層することはでき
ない。本発明は,かかる従来の問題点に鑑み,複数段に
積層配置することができるリードレスチップキャリアを
提供しようとするものである。 【0004】 【課題の解決手段】本発明は,チップ搭載部を有する絶
縁基材と,該絶縁基材の側面ないし下面にわたって設け
た下部接続電極と,上記絶縁基材の上面に設けた樹脂封
止枠とよりなるリードレスチップキャリアにおいて,上
記樹脂封止枠の側面及び上面には上部接続電極を設けて
なり,リードレスチップキャリアを積層状に接続可能と
したことを特徴とするリードレスチップキャリアにあ
る。本発明において最も注目すべきことは,樹脂封止枠
の側面及び上面に上部接続電極を設け,リードレスチッ
プキャリアを複数段に積層接続可能としたことにある。
上記樹脂封止枠は,チップ搭載部に搭載したチップ部品
を樹脂封止する際に,樹脂の流出を防止するために設け
られた枠体である。該樹脂封止枠は,従来と同様に例え
ば合成樹脂により作製する。絶縁基材上への樹脂封止枠
の取付けは,従来と同様に,例えば接着剤により接合す
る。そして,該樹脂封止枠は,その外側面を絶縁基材の
外側面とほぼ同じ大きさに形成しておくことが好まし
い。これにより絶縁基材の下部接続電極と樹脂封止枠の
上部接続電極との導通を容易にすることができる。ま
た,当該リードレスチップキャリアの上に積層する他の
リードレスチップキャリアの絶縁基材の下部接続電極と
の接続を容易にすることができる。一方,当該リードレ
スチップキャリアの上に積層する他のリードレスチップ
キャリアの絶縁基材が小さい形状の場合など,樹脂封止
枠の上に積層するリードレスチップキャリアが小さい場
合には,当該リードレスチップキャリアの樹脂封止枠は
その絶縁基材よりも小さくすることも可能である。ま
た,樹脂封止枠の上部接続電極は,側面及び上面に連続
して形成する。即ち,側面には側面導体,上面には上面
電極を設ける。上記側面導体は,絶縁基材上の導体回
路,或いは絶縁基材の側面導体に,半田等により接続さ
れる部分である。一方,上面電極は,樹脂封止枠の上に
積層する他のリードレスチップキャリアにおける,下部
接続電極の下面電極と接続される部分である。また,上
記樹脂封止枠及び絶縁基材の側面導体は,半円状の凹部
に形成することが望ましい(図1)。これにより,側面
導体の傷つきが防止できると共に,側面導体の導通面積
が向上する。また,半田接合が容易となる。また,チッ
プ搭載部は,絶縁基材の表面であっても良いが,絶縁基
材の上面にザグリ加工等による凹所を設けて構成するこ
ともできる。後者の場合には,チップ部品を搭載した場
合,チップ部品の上面が上記凹所の深さ分だけ低くなる
ので,リードレスチップキャリア全体の厚みを薄くでき
る。また,チップ搭載部には,その下面に,湿気浸入防
止のための金属メッキ膜を形成しておくことが望まし
い。 【0005】 【作用及び効果】本発明のリードレスチップキャリアに
おいては,絶縁基材上に設けた樹脂封止枠に前記上部接
続電極を設け,絶縁基材上の導体回路,或いは絶縁基材
の下部接続電極との間の電気的接続を図っている。それ
故,該リードレスチップキャリアの樹脂封止枠の上に他
のリードレスチップキャリアを積層した場合には,当該
樹脂封止枠の上部接続電極と,他のリードレスチップキ
ャリアの絶縁基材更にはその樹脂封止枠の上部接続電極
との間に電気的接続を図ることができる。このようにし
て,順次種々のリードレスチップキャリアを積層して,
多層リードレスチップキャリアを構成することができ
る。また,かかる多層リードレスチップキャリアは,例
えばマザーボードに接続する。したがって,本発明によ
れば,複数段に積層配置することができる,リードレス
チップキャリアを提供することができる。 【0006】 【実施例】本発明の実施例にかかるリードレスチップキ
ャリアにつき,図1〜図5を用いて説明する。本例のリ
ードレスチップキャリア1Aは,図1及び図2に示すご
とく,チップ搭載部11を有する絶縁基材1と,該絶縁
基材1の側面ないし下面にわたって設けた下部接続電極
10と,上記絶縁基材1の上面に設けた樹脂封止枠2と
よりなる。そして,該樹脂封止枠2の側面及び上面に
は,上部接続電極20を有する。上記下部接続電極10
と上部接続電極20とは,Cu,Ni,Auの3層のメ
ッキ膜により形成されている。上記絶縁基材1の側面に
は,図1〜図4に示すごとく,半円状凹部13が設けら
れ,その中に側面導体101が,またその下面周縁には
下面電極102が設けてある。この側面導体101及び
下面電極102により下部接続電極10を構成する。ま
た,絶縁基材1は,樹脂封止枠2の上面まで貫通するス
ルーホール3を有する。該スルーホール3は,絶縁基材
1の下面にランド31を,樹脂封止枠2の上面にランド
32を有する。また,上記チップ搭載部11は絶縁基材
1の中央部に凹状に設けられ,その内壁には湿気防止用
の金属メッキ膜111が施されている。次に,上記樹脂
封止枠2は,その外形が絶縁基材1の外形と同じ大きさ
を有し,両者は接着剤により接合されている。そして,
樹脂封止枠2の側面には,図1〜図4に示すごとく,半
円状凹部25が設けられ,その中に側面導体201が,
またその上面周縁には上面電極202が設けてある。こ
の側面導体201と上面電極202により,上部接続電
極20を構成する。また,樹脂封止枠2は,前記チップ
搭載部11の外方に位置する開口部27を有する。そし
て,図1に示すごとく,絶縁基材の下部接続電極10と
樹脂封止枠の上部接続電極20とは,両者が同位置に設
けられて連通している部分と,それぞれ異なる位置に設
けられて連通していない部分とがある。また,絶縁基材
の側面導体101は図2に示すごとく,絶縁基材1の上
面に設けた導体回路16と接続されている場合と,図4
に示すごとく,樹脂封止枠の側面導体201に接続され
ている場合など,種々の接続態様がある。また,樹脂封
止枠の側面導体201は,図2に示すごとく,絶縁基材
の導体回路16と接続されている場合と,図4に示すご
とく,絶縁基材の側面導体101と接続されている場合
など,種々の態様がある。上記リードレスチップキャリ
ア1Aには,図2に示すごとく,その凹状のチップ搭載
部11の中に半導体素子等のチップ部品93を接合搭載
する。そして,チップ部品93と導体回路16との間
を,ボンディングワイヤー97により結合する。そし
て,上記のごとくチップ部品93を搭載した後,上記樹
脂封止枠2の開口部27内に,封止用樹脂94を充填す
る(図5)。次いで,図5に示すごとく,上記リードレ
スチップキャリア1Aの上に,これと同様にして作製し
た他のリードレスチップキャリア1Bを積層する。そし
て,リードレスチップキャリア1Aの樹脂封止枠2にお
ける上部接続電極20の上面電極202の上に,リード
レスチップキャリア1Bの絶縁基材1における下部接続
電極10の下面電極102を位置させ,両者を半田4に
より接合する。このようにリードレスチップキャリア1
Aと1Bとを積層したリードレスチップキャリアは,従
来と同様にマザーボード8に搭載する。そして,該マザ
ーボード8の電極81とリードレスチップキャリア1A
の下部接続電極10の下面電極102とを半田4により
接合する。以上のごとく,本例によれば,リードレスチ
ップキャリア1Aの樹脂封止枠2の上に他のリードレス
チップキャリア1Bの絶縁基材を,更に該リードレスチ
ップキャリア1Bの樹脂封止枠2の上に他のリードレス
チップキャリアを多層状に順次積層して,多層リードレ
スチップキャリアを作製することができる。また,その
ため,リードレスチップキャリアの容量増加の要望に対
応することができる。
斜視図。 【図2】実施例のリードレスチップキャリアの側面断面
図。 【図3】実施例の絶縁基材の一部裏面図。 【図4】図2の一部拡大断面図。 【図5】実施例のリードレスチップキャリアを積層した
状態の断面図。 【図6】従来のリードレスチップキャリアの断面図。 【符号の説明】 1...絶縁基材, 10...下部接続電極, 101...側面導体, 102...下面電極, 11...チップ搭載部, 2...樹脂封止枠, 20...上部接続電極, 201...側面導体, 202...上面電極, 3...スルーホール, 4...半田, 8...マザーボード, 1A,1B...リードレスチップキャリア,
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 チップ搭載部を有する絶縁基材と,該絶縁基材の側面な
いし下面にわたって設けた下部接続電極と,上記絶縁基
材の上面に設けた樹脂封止枠とよりなるリードレスチッ
プキャリアにおいて, 上記樹脂封止枠の側面及び上面には上部接続電極を設け
てなり,リードレスチップキャリアを積層状に接続可能
としたことを特徴とするリードレスチップキャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3073831A JP2794972B2 (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | リードレスチップキャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3073831A JP2794972B2 (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | リードレスチップキャリア |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06140738A true JPH06140738A (ja) | 1994-05-20 |
| JP2794972B2 JP2794972B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=13529483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3073831A Expired - Lifetime JP2794972B2 (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | リードレスチップキャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2794972B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07307405A (ja) * | 1994-05-11 | 1995-11-21 | Goldstar Electron Co Ltd | ソルダボールを用いた半導体パッケージおよびその製造方法 |
| JPH08213504A (ja) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Matsushita Electron Corp | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
| JPH11262537A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-09-28 | Ela Medical Sa | 能動植え込み型医療装置の電子回路ならびにその製造方法 |
| JP2002164658A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-07 | Sharp Corp | モジュール基板 |
| JP2004022893A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Kyocera Corp | 配線基板 |
| JP2004022840A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Kyocera Corp | 配線基板 |
| JP2005005709A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Samsung Electronics Co Ltd | チップ積層パッケージ、連結基板及びチップ連結方法 |
| JPWO2003090289A1 (ja) * | 2002-04-19 | 2005-08-25 | 旭化成電子株式会社 | 磁電変換素子及びその製造方法 |
| WO2011020341A1 (zh) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | 华为终端有限公司 | 电子模块及其封装结构 |
| JP2013534320A (ja) * | 2010-08-20 | 2013-09-02 | ローベルト ボッシュ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 圧力センサチップを収容してセンサハウジングに組み付けるためのセンサモジュール |
| JP2020072127A (ja) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
| WO2025116016A1 (ja) * | 2023-11-30 | 2025-06-05 | 京セラ株式会社 | 配線基板および半導体デバイス |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766553U (ja) * | 1980-10-07 | 1982-04-21 | ||
| JPS5818346U (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-04 | シャープ株式会社 | Icパツケ−ジ |
| JPH02229461A (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-12 | Hitachi Maxell Ltd | 半導体装置 |
-
1991
- 1991-03-12 JP JP3073831A patent/JP2794972B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766553U (ja) * | 1980-10-07 | 1982-04-21 | ||
| JPS5818346U (ja) * | 1981-07-27 | 1983-02-04 | シャープ株式会社 | Icパツケ−ジ |
| JPH02229461A (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-12 | Hitachi Maxell Ltd | 半導体装置 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07307405A (ja) * | 1994-05-11 | 1995-11-21 | Goldstar Electron Co Ltd | ソルダボールを用いた半導体パッケージおよびその製造方法 |
| JPH08213504A (ja) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Matsushita Electron Corp | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 |
| JPH11262537A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-09-28 | Ela Medical Sa | 能動植え込み型医療装置の電子回路ならびにその製造方法 |
| JP2002164658A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-06-07 | Sharp Corp | モジュール基板 |
| JP4685356B2 (ja) * | 2002-04-19 | 2011-05-18 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 磁電変換素子及びその製造方法 |
| JPWO2003090289A1 (ja) * | 2002-04-19 | 2005-08-25 | 旭化成電子株式会社 | 磁電変換素子及びその製造方法 |
| JP2004022840A (ja) * | 2002-06-17 | 2004-01-22 | Kyocera Corp | 配線基板 |
| JP2004022893A (ja) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Kyocera Corp | 配線基板 |
| JP2005005709A (ja) * | 2003-06-11 | 2005-01-06 | Samsung Electronics Co Ltd | チップ積層パッケージ、連結基板及びチップ連結方法 |
| WO2011020341A1 (zh) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | 华为终端有限公司 | 电子模块及其封装结构 |
| JP2013534320A (ja) * | 2010-08-20 | 2013-09-02 | ローベルト ボッシュ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 圧力センサチップを収容してセンサハウジングに組み付けるためのセンサモジュール |
| US9006847B2 (en) | 2010-08-20 | 2015-04-14 | Robert Bosch Gmbh | Sensor module for accommodating a pressure sensor chip and for installation into a sensor housing |
| JP2020072127A (ja) * | 2018-10-30 | 2020-05-07 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板およびその製造方法 |
| WO2025116016A1 (ja) * | 2023-11-30 | 2025-06-05 | 京セラ株式会社 | 配線基板および半導体デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2794972B2 (ja) | 1998-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4763188A (en) | Packaging system for multiple semiconductor devices | |
| JP3689696B2 (ja) | チップパッケージの製造方法 | |
| US6313998B1 (en) | Circuit board assembly having a three dimensional array of integrated circuit packages | |
| JP2755252B2 (ja) | 半導体装置用パッケージ及び半導体装置 | |
| JP2565300B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP3502776B2 (ja) | バンプ付き金属箔及び回路基板及びこれを用いた半導体装置 | |
| JPH07169872A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| US20090134528A1 (en) | Semiconductor package, electronic device including the semiconductor package, and method of manufacturing the semiconductor package | |
| US6611434B1 (en) | Stacked multi-chip package structure with on-chip integration of passive component | |
| KR960002762A (ko) | 노이즈가 적은 적층 멀티칩 패키지 | |
| US20040135243A1 (en) | Semiconductor device, its manufacturing method and electronic device | |
| JP2794972B2 (ja) | リードレスチップキャリア | |
| US6404046B1 (en) | Module of stacked integrated circuit packages including an interposer | |
| US6858932B2 (en) | Packaged semiconductor device and method of formation | |
| JPH01261849A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| KR100326834B1 (ko) | 와이어본딩반도체장치및반도체패키지 | |
| EP0221496A2 (en) | Integrated circuit package | |
| JP2000228468A (ja) | 半導体チップ及び半導体装置 | |
| JP2722451B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH02343A (ja) | 電子部品搭載用基板 | |
| JP2946361B2 (ja) | 電子部品搭載用基板 | |
| JP2784248B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH11102991A (ja) | 半導体素子搭載フレーム | |
| JPH0817960A (ja) | Qfp構造半導体装置 | |
| JPH0517709B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080626 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090626 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090626 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100626 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100626 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110626 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110626 Year of fee payment: 13 |