JPH06144564A - クリーンルーム用搬送設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気浄化装置を小型化してガイドレールに対
する取り付け方法を工夫することにより、気流の乱れを
発生し難くすると共に、搬送設備の施工の簡略化に寄与
する。 【構成】 清浄空気が天井側から床面側に向けて通風さ
れているクリーンルームに、荷搬送用の移動車１を案内
するガイドレール２が設けられ、移動車１が、ガイドレ
ール２に沿って走行する本体部６と、その上方に位置す
る荷積載部７と、それらを連結する連結部材８とで構成
され、本体部６の周辺の空気を吸引して浄化する空気浄
化装置２１がガイドレール２に付設されているクリーン
ルーム用搬送設備において、ガイドレール２の全体を覆
う筒状のカバー３が設けられ、そのカバー３の上壁に連
結部材８を挿通させる開口部が長手方向に沿って設けら
れると共に、ガイドレール２の底面とカバー３の下部壁
とで囲まれた空間に空気浄化装置２１が収納されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、清浄空気が天井側から
床面側に向けて通風されているクリーンルームに、荷搬
送用の移動車を案内するガイドレールが設けられ、前記
移動車が、前記ガイドレールに沿って走行する本体部
と、その上方に位置する荷積載部と、それらを連結する
連結部材とで構成され、前記本体部の周辺の空気を吸引
して浄化する空気浄化装置が前記ガイドレールに付設さ
れているクリーンルーム用搬送設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、かかるクリーンルーム用搬送設備
にあっては、図９に例示するように、上部が開口した筒
状のガイドレール３１の内側に移動車の本体部３２を収
納し、本体部３２に備えられた走行輪３３とガイドレー
ル１との間で発生した塵埃をダクト３４等を介して空気
浄化装置３５に吸引されるように構成されていた。空気
浄化装置３５は、吸引用のファン３６とエアフィルタ３
７を備え、吸引した空気をエアフィルタ３７で浄化した
のち下方に排出する。空気浄化装置３５は、ガイドレー
ル３１の長手方向に所定間隔毎に設けられる。

【０００３】又、本体部３２の上方に位置する荷積載部
３８は、連結部材３９により本体部３２と連結され、こ
の連結部材３９を挿通させる開口溝のみを残す状態でガ
イドレール３１の上部開口を覆う一対のカバ−部材４０
がガイドレール３１の上縁に付設されている。尚、移動
車は、ガイドレール３１の下部に設けられた一次側コイ
ル４１と、移動車の下部に備えられた二次側プレート４
２とで構成されるリニアモータによって推進力を与えら
れる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】清浄空気が天井側から
床面側に向けて通風されているクリーンルームにあって
は、ルーム内の物体がその気流をできるだけ乱さないよ
うにすることが望ましい。気流の乱れは塵埃をルーム内
に浮遊させ、床面からの塵埃の排出を遅らせることにな
るからである。

【０００５】しかるに、上記従来例にあっては、ガイド
レールの横に設けられた空気浄化装置が気流を乱し易い
ものであった。外面形状を滑らかにすることにより、気
流の乱れをある程度少なくすることが可能であるが、そ
れにも限界がある。又、ガイドレールは一般に天井から
吊下げ支持されるが、その横に付設される空気浄化装置
も吊下げ支持する必要があり、搬送設備の施工を複雑に
する一因となる。

【０００６】本発明は、かかる実情に鑑みて為されたも
のであって、その目的は、空気浄化装置を小型化してガ
イドレールに対する取り付け方法を工夫することによ
り、気流の乱れを発生し難くすると共に、搬送設備の施
工の簡略化に寄与することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によるクリーンル
ーム用搬送設備は、清浄空気が天井側から床面側に向け
て通風されているクリーンルームに、荷搬送用の移動車
を案内するガイドレールが設けられ、前記移動車が、前
記ガイドレールに沿って走行する本体部と、その上方に
位置する荷積載部と、それらを連結する連結部材とで構
成され、前記本体部の周辺の空気を吸引して浄化する空
気浄化装置が前記ガイドレールに付設されているもので
あって、その特徴構成は、前記ガイドレールの全体を覆
う筒状のカバーが設けられ、そのカバーの上壁に前記連
結部材を挿通させる開口部が長手方向に沿って設けられ
ると共に、前記ガイドレールの底面と前記カバーの下部
壁とで囲まれた空間に前記空気浄化装置が収納されてい
る点にある。

【０００８】

【作用】上記の特徴構成によれば、ガイドレールの全体
を覆う筒状のカバーが設けられ、ガイドレールの底面と
前記カバーの下部壁とで囲まれた空間に前記空気浄化装
置が収納されているので、クリーンルームの天井側から
床面側に向けて通風されている清浄空気は、ガイドレー
ルや空気浄化装置に直接当たることはなく、これらを覆
う筒状カバーに沿って滑らかに下方に流れる。尚、空気
浄化装置を、ガイドレールの底面に沿う細長い形状にす
ることにより、ガイドレールの底面と前記カバーの下部
壁とで囲まれた空間の断面積をさほど大きくしなくても
よい。

【０００９】

【発明の効果】従って、ガイドレール、その底面に沿っ
て取り付けられた空気浄化装置、及びそれらを覆う筒状
カバーをユニット化することができるので、搬送設備の
施工の簡略化に寄与できると共に、天井側から床面側に
向けて通風される清浄空気の気流の乱れを発生し難くす
ることができるものとなった。

【００１０】尚、移動車の走行輪等を備える本体部はガ
イドレールと共に筒状カバーに覆われているが、荷積載
部は筒状カバーの外側上方に出ているので、ステーショ
ンにおける荷物の積み下ろしを容易に行うことができ
る。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。天井側から床側に向けて清浄空気が通風されてい
るクリーンルームにおいて、図２に示すように、荷搬送
用の移動車１を案内するガイドレール２やその全体を覆
う筒状のカバー３が支持部材４にて天井から吊り下げら
れるようにして設けられている。移動車１は、後述のよ
うに地上一次タイプのリニアモータによって推進力を与
えられ、ガイドレール２に沿って一つのステーションか
ら他のステーションへ荷物（半導体ウェハー）を搬送す
る。

【００１２】ガイドレール２やカバー３の長手方向視の
断面を図１に示す。ガイドレール２はＵ字形の断面形状
を有し、アルミ材の押し出し成形により製作される。カ
バー３は、以下に述べるように複数のカバー部材３ａ〜
３ｄから構成され、その外面形状が長手方向視の断面に
おいて清浄空気の通風方向（天井側から床側への方向）
に対して流線型になるように形成されている。清浄空気
の気流をできるだけ乱さないようにするためである。
尚、カバー３内には、ガイドレール２の他に、後述する
リニアモータの一次側コイル、コントロールユニット、
クリーンユニット等も収納されている。

【００１３】カバー３は、左右一対の上部カバー３ａ、
左右一対の側面カバー３ｂ、下面カバー３ｃ、及びサポ
ート溝カバー３ｄからなる。サポート溝カバー３ｄは樹
脂製、他のカバー部材３ａ，３ｂ，３ｃはアルミ製であ
り、いずれも押し出し成形により製作される。

【００１４】ガイドレール２や各カバー部材３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄは、所定の長さの直線部用のものや、曲
線部（左カーブ、右カーブ）用のものが用意されてお
り、それらを連結することにより移動車の走行路が例え
ばループ状に形成される。実際にはガイドレール２、一
次側コイル、コントロールユニット等がカバー３内に組
み込まれた複数種のガイドレールユニット、即ち、図２
に示すステーションレールユニットＳＴＵ、中間レール
ユニットＣＲＵ、カーブレールユニットＨＣＵ等が用意
され、これらを搬送設備の施工時に連結することにな
る。

【００１５】そして、ガイドレール２を連結するための
部材が各カバー部材３ａ〜３ｄの支持用部材として兼用
されている。即ち、図１に示すように、左右一対の上部
ブラケット５ａ、断面Ｕ字形の下部ブラケット５ｂ、左
右一対のカバーブロック５ｃがガイドレール２の連結部
に設けられている。カバーブロック５ｃは、タッププレ
ート５ｄとでガイドレール２の側面に形成された所定部
分を締め付けるようにしてガイドレール２を連結する。
上下のブラケット５ａ，５ｂについても同様にしてガイ
ドレール２の所定部分を締め付けている。上部カバー３
ａは、その下端部に設けられた凹溝が、カバーブロック
５ｃの上面に設けられた凸部に係止され、上端部が上部
ブラケット５ａの上面にネジ止めされて支持される。

【００１６】側面カバー３ｂは、その上端部に設けられ
た凹溝が、カバーブロック５ｃの下面に設けられた凸部
に係止され、下端部が下部ブラケット５ｂの側面にネジ
止めされる。下面カバー３ｃは、その左右端部が側面カ
バー３ｂの下端部に被さる状態で下部ブラケット５ｂの
下面にネジ止めされる。サポート溝カバー３ｄは、その
片面に立設された係止用突起部を、カバーブロック５ｃ
の側面凹部にはめ込まれた板バネ５ｅの間に押し込むこ
とにより固定される。

【００１７】尚、図２に示すガイドレール２を吊り下げ
るための支持部材４とガイドレール２とを接続する支持
ブラケット４ａ、移動車１との通信装置ＩＴ、移動車１
の積荷の有無をチェックする在荷センサＬＤの支持ブラ
ケットもカバーブロック５ｃと同様にしてガイドレール
２の側面に固定される。又、ガイドレール２を連結する
ための部材は、上記のものだけでなく、ガイドレール２
の底面にネジ止めして連結すするプレート（図示せず）
もある。

【００１８】移動車１は、図１に示すように、断面Ｕ字
状のガイドレール２の内側に収納される本体部６と、そ
の上方に位置する荷積載部７と、それらを連結する連結
部材８とで構成されている。そして、カバー３の上壁に
連結部材８を挿通させる開口部が長手方向に沿って設け
られている。即ち、左右一対の上部カバー３ａの内側端
面の間に上記開口部が形成されている。

【００１９】移動車１の荷積載部７には、半導体ウェハ
ーのキャリヤー９が前後に２個積載される（図４参
照）。本体部６には、水平軸芯周りに回転する走行輪１
０及び鉛直軸芯周りに回転する左右位置決め用の転輪１
１が備えられている。走行輪１０はガイドレール２の左
右の内壁の上下方向中間部から内側へ突出するように形
成された左右一対の水平ガイド部２ａに接し、転輪１１
は、その上方の左右の内壁面に接している。又、本体部
６の中央底部にはリニアモータを構成する水平板状の二
次側導体１２を備えている。

【００２０】以下、移動車１の本体部６の構造について
説明を加える。図３及び図４に示すように、本体部６
は、左右一対の走行輪１０と左右二対の転輪１１とを備
える車輪ユニット１３，１４を前後に備え、それらが荷
積載部７に対して鉛直軸芯回りで回動自在に取り付けら
れている。即ち、荷積載部７の底面に固着され下方に伸
びる前後一対の棒状の連結部材８に対して回転自在に外
嵌する筒状軸１５が車輪ユニット１３，１４の中央部に
固着されている。連結部材８は、筒状軸１５を貫通し、
その先端には二次導体１２が固着される。

【００２１】但し、二次側導体１２は前後三つの部分に
分割され、中央の二次側導体１２ａが、その前後におい
て上記のように連結部材８の先端に固着されている。前
部及び後部の二次側導体１２ｂは、図５に示すように、
車輪ユニット１３，１４のフレーム底面から下方に伸び
る立設部材１３ａ，１４ａに固着されている。

【００２２】以上のような本体部６の構造により、移動
車１はガイドレールのカーブ部をも滑らかに走行するこ
とができる。このとき、前後の車輪ユニット１３，１４
は、夫々の左右二対の転輪１１がガイドレール２の左右
の内壁に接する状態でカーブに沿って異なる向きにな
る。従って前部及び後部の二次側導体１２ｂは、中央の
二次側導体１２ａに対して異なる向きとなり、二次側導
体１２全体としては平面視においてカーブに沿う折れ曲
がり姿勢となる。

【００２３】尚、夫々の二次側導体は、アルミ製プレー
トの上面に磁気回路形成用の鉄板を貼り合わせて構成し
ている。又、図３、図４に示すように、前後の車輪ユニ
ット１３，１４にはショックアブソーバー１６が備えら
れ、後部車輪ユニット１４には、非常停止用のブレーキ
ユニット１７等が備えられている。

【００２４】図１において、ガイドレール２の底部には
幅広の凹部が形成され、その上に長手方向に沿って取り
付けられたベースプレート１８とでダクトを形成してい
る。このダクトは、後述するように、クリーンユニット
への空気の吸引通路となる。ベースプレート１８の上に
は、リニアモータの一次側コイル１９等が取り付けられ
ている。一次側コイル１９が所定の周波数の交流電流で
励磁されると進行磁界が発生し、そのすぐ上にある二次
側導体１２に、即ち移動車１にに推進力が与えられる。

【００２５】一次側コイル１９は、設備コスト低減のた
めに、ガイドレール２に沿って一定間隔毎に設けられ、
移動車１はその間を慣性走行する。但し、ステーション
での移動車１の停止箇所及びその前後には必ず設けら
れ、移動車１の発進時の加速制御及び停止時の減速制御
を行う。ステーションとステーションとの間には一定間
隔毎に中間加速用の一次側コイル１９が設置される。つ
まり、ステーションレールユニットＳＴＵには３個の一
次側コイル１９が備えられ、中間レールユニットＣＲＵ
には１個の一次側コイル１９が備えられている。

【００２６】ガイドレール２の底面と、カバー３の下部
壁とで囲まれた空間には複数の制御基板からなるコント
ロールユニット２０やクリーンユニット２１等が収納さ
れる。コントロールユニット２０は、一次側コイル１９
の励磁電圧等を制御して、移動車１を加速させ、又は減
速させる等の制御を行う。

【００２７】又、ステーションレールユニットＳＴＵに
は、移動車１を所定位置で停止させるための電磁石ユニ
ットや位置決めユニットが設けられ、コントロールユニ
ット２０はこれらの制御も行う。更に、移動車１の荷積
載部７の側面に取り付けられた無線通信装置付の記憶媒
体であるＩＤカードＴとガイドレール２の側面に支持さ
れた通信装置ＩＴとの間で行われる行先情報、重量情報
等の授受に関する通信や、在荷センサＬＤによる積荷の
有無のチェック等の処理も行う。

【００２８】クリーンユニット２１は、図６に示すよう
に、移動車１の本体部６に備えられた走行輪１０や転輪
１１とガイドレール２との摩擦により発生する塵埃を本
体部６の周辺の空気と共に吸引することにより塵埃がク
リーンルームに飛散しないようにするための空気浄化装
置である。前述したように、ガイドレール２の底部の幅
広の凹部とベースプレート１８とで形成されるダクトが
吸気路となる。ベースプレート１８には上記ダクトとそ
の上部空間とを連通する連通口１８ａが所々に設けら
れ、ガイドレール２の底部壁には、クリーンユニット２
１との連通口２ｂが設けられている。

【００２９】従って、クリーンルームの清浄空気は、左
右一対の上部カバー３ａの間に形成された開口部から吸
い込まれ、移動車本体部６の周辺に発生する塵埃と共に
ベースプレート１８に設けられた連通口１８ａ、上記ダ
クト、ガイドレール２の底部壁に設けられた連通口２ｂ
を通ってクリーンユニット２１に吸引される。

【００３０】クリーンユニット２１は、図７に示すよう
に、吸気用のファン２２とエアフィルタ２３を備え、上
部開口から吸い込んだ空気をエアフィルタ２３を通して
浄化したのち下面から下方に排出する。従って、ガイド
レール２の下部カバー３ｃには開口部が形成されてい
る。又、クリーンユニット２１は、前後に付設された一
対のＬ金具２４によってガイドレール２の底面にネジ止
めされる。ファン２２及びエアフィルタ２３の横の小部
屋には電源２５、制御ボックス２６等が収納されてい
る。

【００３１】クリーンユニット２１の底面は、図８に示
すように、エアフィルタ２３のネット２３ａが露出し、
その横には運転ランプ２７や異常ランプ２８等が設けら
れている。これらのランプ２７，２８は、ガイドレール
２の下部カバー３ｃの開口部から目視することができ
る。

【００３２】尚、クリーンユニット２１は、大・中・小
３種類の大きさのものが用意され、ステーションレール
ユニットＳＴＵには大が、中間レールユニットＳＲＵに
は中が、カーブレールユニットＨＣＵには小が装着され
る。図７及び図８に示したものは大のクリーンユニット
である。ちなみに大のクリーンユニットは吸気用のファ
ン２３を３台備えている。

【００３３】以下、別実施例について列記する。 ガイドレールのカバーの材質や製作方法は上記実施
例のようなアルミの押し出し成形によるものに限らな
い。例えば、オール樹脂製として、射出成形や真空成形
によりカバー部材を製作してもよい。複数のカバー部材
への分割の仕方やガイドレールに対する支持方法につい
ても種々変更可能である。

【００３４】 空気浄化装置の具体構造とそのガイド
レール底面への取り付け構造についても、上記実施例の
ものに限らず種々変更可能である。例えば、吸引用ファ
ン２２とエアフィルタ２３とを上下方向ではなく、長手
方向に並置する構造としてもよい。

【００３５】 本発明は、磁力により移動車をガイド
レールに対して浮上させる磁気浮上式の搬送設備にも適
用できる。

【００３６】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る搬送設備の移動車及びガ
イドレール等の断面図

【図２】搬送設備の一部を示す斜視図

【図３】移動車の平面図

【図４】移動車の側面図

【図５】移動車の車輪ユニット等を示す部分図

【図６】空気浄化装置取付部の断面図

【図７】空気浄化装置の取付部の側面図

【図８】空気浄化装置の底面図

【図９】従来例に係る搬送設備の移動車、ガイドレー
ル、及び空気浄化装置を示す図

【符号の説明】

１ 移動車 ２ ガイドレール ３ カバー ６ 本体部 ７ 荷積載部 ８ 連結部材 ２１ 空気浄化装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 清浄空気が天井側から床面側に向けて通
   風されているクリーンルームに、荷搬送用の移動車
   （１）を案内するガイドレール（２）が設けられ、前記
   移動車（１）が、前記ガイドレール（２）に沿って走行
   する本体部（６）と、その上方に位置する荷積載部
   （７）と、それらを連結する連結部材（８）とで構成さ
   れ、前記本体部（６）の周辺の空気を吸引して浄化する
   空気浄化装置（２１）が前記ガイドレール（２）に付設
   されているクリーンルーム用搬送設備であって、 前記ガイドレール（２）の全体を覆う筒状のカバー
   （３）が設けられ、そのカバー（３）の上壁に前記連結
   部材（８）を挿通させる開口部が長手方向に沿って設け
   られると共に、前記ガイドレール（２）の底面と前記カ
   バー（３）の下部壁とで囲まれた空間に前記空気浄化装
   置（２１）が収納されているクリーンルーム用搬送設
   備。