JPH0614575U - 空気ばね装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 水平方向および上下方向の両固有振動数を低
くなしうる空気ばね装置を提供する。 【構成】 ケース１１内に垂下され、ケースの上面を気
密に封止して空気室１０を形成したダイヤフラム１２を
備えた空気ばね装置において、ダイヤフラム１２に、そ
の最上部に上方向に突出する上向きべロー部１７を設
け、上向きべロー部１７の下方に水平方向に突出する水
平べロー部１９を設け、上向きべロー部１７と水平べロ
ー部１９の境界に、上向きべロー部と水平べロー部のベ
ロー形状をほぼ一定に保持する円筒状の補強部材１８を
配設した。 【効果】 上向きべロー部１７により上下方向の固有振
動数を低くなし得、かつ水平べロー部１９により水平方
向の固有振動数を低くなし得る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子顕微鏡、半導体露光装置等の精密機器類の除振台として使用 される空気ばね装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

空気ばね装置により好ましい除振を行うには水平方向および上下方向の両固 有振動数をなるべく低くする必要がある。

【０００３】 一般に空気室の上面をダイヤフラムにより気密に封止してなる空気ばね装置に おいては、上下方向にのみ突出するべロー部を設けていることから上下方向の固 有振動数を低くすることに比べて水平方向の固有振動数を低くすることは困難で ある。

【０００４】 そこで、本願出願人は先に、水平方向の固有振動数を低くするように構成した 空気ばね装置につき考案し、これを実用新案登録出願した（実願昭６２−９６１ ５５号）。

【０００５】 この空気ばね装置は図２に示されるように、ケース１と、このケース１内に垂 下され、ケース１の上面を気密に封止して空気室２を形成したダイヤフラム３と 、ダイヤフラム３の底部に配設された支持部材４と、この支持部材４上に支柱５ を介して配置された、精密機器類を載置する受け部材６とを備え、ケース１内に 垂下されたダイヤフラム３に接するようにリング状の補強部材７を配設して水平 方向に突出するベロー部８を設けたものである。

【０００６】 この空気ばね装置では、ダイヤフラム３の垂下量を適当な長さ方向とすること により水平方向の固有振動数を低くすることが可能であるが、ダイヤフラム３に 水平方向に突出するベロー部８を設けたことによっても水平方向の固有振動数を 低くすることができる。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、この従来の空気ばね装置においてはダイヤフラム３の最上部 のベロー部８が空気室２内の空気圧により補強部材７および支持部材４が図示よ りも持ち上がって横断面形状が最も安定な斜め上方に突出する半円形になり易く 、最上部のベロー部８が斜め上方に突出する半円形となったときは、上下方向の 固有振動数が高くなってしまうという難点があった。

【０００８】 本考案は、このような従来の難点を解消すべくなされたもので、水平方向およ び上下方向の両固有振動数を低くなしうる空気ばね装置を提供することを目的と する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

本考案の空気ばね装置は、上面が開口されたケースと、このケース内に垂下 され、ケースの上面を気密に封止して空気室を形成したダイヤフラムと、ダイヤ フラム底部に配設された支持部材と、この支持部材上に支柱を介して配置された 受け部材とを備えた空気ばね装置において、前記ダイヤフラムに、その最上部に 上方向に突出する上向きべロー部を設け、前記上向きべロー部の下方に水平方向 に突出する水平べロー部を設け、前記上向きべロー部と水平べロー部の境界に、 前記上向きべロー部と水平べロー部のベロー形状をほぼ一定に保持する円筒状の 補強部材を配設したことを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】

空気室内に圧縮空気が封入され所定圧になると、ダイヤフラムが膨脹し円筒 状の補強部材および支持部材により上向きべロー部と水平べロー部とが形成され 、かつそれらのベロー形状がほぼ一定に保持される。この状態で使用される。 上向きべロー部により上下方向の固有振動数を低くなし得、かつ水平べロー 部により水平方向の固有振動数を低くなし得る。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案の空気ばね装置を図に示した実施例に従い説明する。

【００１２】 図１は本考案の一実施例を示す断面図である。図１において空気室１０は、上 面が開口した円筒状のケース１１の上面をダイヤフラム１２により気密に封止す ることにより形成されている。

【００１３】 ダイヤフラム１２の外縁部は、ケース１１の上部に固着された押え部材１３に より挾持され気密に固定されている。ダイヤフラム１２上の底部中央に支持部材 １４が配置されている。支持部材１４上に支柱１５を介して受け部材１６が配置 されている。受け部材１６は、除振すべき精密機器類（図示せず）を載置する平 板部からなる台である。

【００１４】 ダイヤフラム１２の最上部に上方向に突出する上向きべロー部１７が設けられ 、この上向きべロー部１７の側壁に当接するように円筒状の補強部材１８が配設 されている。ダイヤフラム１２の、補強部材１８と支持部材１４との間に、水平 方向に突出する水平べロー部１９が設けられている。

【００１５】 補強部材１８は、上向きべロー部１７と水平べロー部１９の境界部分に接着材 により接着されて位置され、上向きべロー部１７と水平べロー部１９のベロー形 状を常時ほぼ一定に保持する作用をする。

【００１６】 なおケース１１の側壁に空気源（図示せず）に連通される給気孔２０が設けら れている。

【００１７】 本考案の空気ばね装置は上記のように構成され、使用時に給気孔２０より空気 室１０内に圧縮空気が封入される。所定圧になると、ダイヤフラム１２が膨脹し 円筒状の補強部材１８および支持部材１４により上向きべロー部１７と水平べロ ー部１９とが形成され、かつそれらのベロー形状がほぼ一定に保持される。

【００１８】 そして上向きべロー部１７により上下方向の固有振動数を低くなり、かつ水平 べロー部１９により水平方向の固有振動数を低くなる。

【００１９】 なお図示しないが、本考案においては補強部材１８と支持部材１４との間に、 図２に示したと同様なリング状の補強部材を複数本配設して水平ベロー部の数を 増やし水平方向の性能をさらに改善するようにしてもよい。

【００２０】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、ダイヤフラムに、その最上部に上方向に 突出する上向きべロー部を設け、上向きべロー部の下方に水平方向に突出する水 平べロー部を設け、上向きべロー部と水平べロー部の境界に、上向きべロー部と 水平べロー部のベロー形状をほぼ一定に保持する円筒状の補強部材を配設したこ とにより、水平方向および上下方向の両固有振動数を低くなしうる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の空気ばね装置の一実施例を示す断面
図。

【図２】従来の空気ばね装置の一実施例を示す断面図。

【符号の説明】

１０………空気室 １１………ケース １２………ダイヤフラム １３………押え部材 １４………支持部材 １５………支柱 １６………受け部材 １７………上向きべロー部 １８………補強部材 １９………水平べロー部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上面が開口されたケースと、このケース
   内に垂下され、ケースの上面を気密に封止して空気室を
   形成したダイヤフラムと、ダイヤフラム底部に配設され
   た支持部材と、この支持部材上に支柱を介して配置され
   た受け部材とを備えた空気ばね装置において、前記ダイ
   ヤフラムに、その最上部に上方向に突出する上向きべロ
   ー部を設け、前記上向きべロー部の下方に水平方向に突
   出する水平べロー部を設け、前記上向きべロー部と水平
   べロー部の境界に、前記上向きべロー部と水平べロー部
   のベロー形状をほぼ一定に保持する円筒状の補強部材を
   配設したことを特徴とする空気ばね装置。