JPH06148003A - 超音波を用いた温度測定装置 - Google Patents

超音波を用いた温度測定装置

Info

Publication number
JPH06148003A
JPH06148003A JP4294400A JP29440092A JPH06148003A JP H06148003 A JPH06148003 A JP H06148003A JP 4294400 A JP4294400 A JP 4294400A JP 29440092 A JP29440092 A JP 29440092A JP H06148003 A JPH06148003 A JP H06148003A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wave
time
ultrasonic wave
temperature
ultrasonic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4294400A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3224286B2 (ja
Inventor
Yasushi Hayashi
靖 林
Akishi Numata
晃志 沼田
Kazutoshi Nishizawa
一敏 西沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Soken Inc
Original Assignee
Nippon Soken Inc
NipponDenso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Soken Inc, NipponDenso Co Ltd filed Critical Nippon Soken Inc
Priority to JP29440092A priority Critical patent/JP3224286B2/ja
Priority to US08/143,883 priority patent/US5360268A/en
Publication of JPH06148003A publication Critical patent/JPH06148003A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3224286B2 publication Critical patent/JP3224286B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
    • G01K11/22—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using measurement of acoustic effects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 超音波を用いて媒体中の温度を計測する温度
測定装置に関し、測定可能な温度範囲が広く、かつ媒体
中の広い領域にわたり温度を精度良く測定できる温度測
定装置を提供することを目的とする。 【構成】 媒体中一定距離を伝播する超音波の伝播時間
から媒体中の温度を算出する温度測定装置において、一
定周波数の超音波を所定タイミングで送波する手段1
と、その超音波を受波して受波信号を生成する手段2
と、上記受波信号を受けて超音波の送受波にかかる遅延
時間を検出する手段3と、この超音波の周期で遅延時間
を換算し、この遅延時間を整数の波数値で表す手段4
と、送波した超音波と受波した超音波の位相を比較し、
十分高い周波数で変調し、カウントすることで位相差を
検出する手段5と、上記波数と位相差とから上記超音波
の伝播時間を算出し、この伝播時間から上記媒体中の温
度を算出する演算手段6とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波を用いて媒体中
の平均温度を測定する温度測定装置に関し、詳しくは、
媒体中一定距離を伝播する超音波の伝播時間を正確に算
出し、その伝播時間から媒体中の平均温度を正確に決定
する温度測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】媒体中を伝播する音波の速度が温度によ
り変化することを利用して媒体の温度を測定することが
できる。このとき媒体中を伝播する音波の速度Vと、そ
の媒体の温度Tとの関係は、式(1)のように表すこと
ができる。 V=331.45+0.605T …(1) また音速Vは、音波の伝播距離Lを一定とすると、その
伝播時間tを計測することにより式(2)で求められ
る。 V=L/t …(2) これにより媒体の温度Tは、式(3)から算出できる。 T=(L/t−331.45)/0.605 …(3)
【0003】実開昭63−39646号において、超音
波をその送波部から一定距離にある受波部に向けて送波
し、この超音波が送波部から受波部に到達するまでの伝
播時間を測定することによって媒体の平均温度を測定す
る温度測定装置が開示されている。また、特開昭63−
102181号には、送波部から送波した超音波をその
伝播路上に一定の間隔をおいて設けた2つの受波部で受
波し、受波した音波間の位相差を時間に換算することに
よって媒体の平均温度を測定する温度測定装置が開示さ
れている。
【0004】
【発明が解決しょうとする課題】前者のように超音波の
伝播時間を測定し、その伝播時間から媒体の温度を測定
する温度測定装置は、超音波の伝播距離を長く設定でき
るので、広い範囲にわたる媒体の平均温度を広い温度範
囲で測定できる反面、測定される伝播時間が超音波の受
波レベルによって大きく変動されるので、精度良く温度
測定を行うことができなかった。また後者のように超音
波の位相を検出し、その位相差の時間換算値から媒体の
温度を測定する温度測定装置は、超音波の位相が受波レ
ベルの影響をほとんど受けないので精度良く温度測定が
できる反面、検出可能な位相差の範囲が例えば超音波の
1周期以内と狭いので、広い範囲にわたる媒体内の温度
を測定することができず、測定可能な温度の範囲も狭か
った。
【0005】そこで本発明の目的は、広い範囲にわたる
媒体の平均温度を広い温度範囲で測定できると同時に、
その温度測定値が精度良く測定され得る温度測定装置を
提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の装置は図1のような形態を採用する。本発
明によれば、媒体中一定距離を伝播する超音波の伝播時
間からこの媒体中の温度を算出する温度測定装置におい
て、一定周波数の超音波を所定タイミングで送波する送
波手段1と、上記送波した超音波を受波して受波信号を
生成する受波手段2と、この受波信号を受けて、上記超
音波が送波されてから受波されるまでの遅延時間を検出
する遅延時間検出手段3と、この超音波の周期で遅延時
間を換算し、この遅延時間を整数の波数値で表す波数算
出手段4と、上記受波信号を上記超音波の周波数より十
分高い周波数で変調し、上記送波した超音波と受波した
超音波との間の位相差を検出する位相差検出手段5と、
上記波数と位相差とから上記超音波の伝播時間を算出
し、この伝播時間から上記媒体中の温度を算出する演算
手段6とを備える温度測定装置が提供される。好適に
は、上記伝播時間の算出毎に今回算出した波数と前回の
波数,および今回検出した位相差と前回検出した位相差
をそれぞれ比較して各変化量を算出し、この各変化量か
ら今回の波数を補正する手段を更に備えることが好まし
い。また、上記送波手段1と受波手段2とが同じ超音波
素子を兼用するように構成されても良い。
【0007】
【作用】上記形態によれば、送波手段1により一定周波
数の超音波が所定タイミングで送波され、受波手段2で
受波されることにより受波信号が生成される。この受波
信号は、遅延時間検出手段3,位相差検出手段5に供給
される。遅延時間検出手段3では、上記所定タイミング
の信号と受波信号とを基に、超音波が送波されてから受
波されるまでの遅延時間が検出される。この遅延時間は
波数算出手段4により、この遅延時間を上記送波された
超音波の周期で換算する整数の波数で与えられる。位相
差検出手段5では、受波信号の位相が上記送波された超
音波を基準として比較され、送波周波数より十分高い周
波数で変調され、カウントされることにより、その位相
差が検出される。演算手段6では、上記波数および位相
差を基に「超音波の周期と波数の積」と「位相差の時間
換算値」が算出され、その和から伝播時間が算出され
る。これにより、この伝播時間から媒体の温度が決定さ
れる。
【0008】媒体の温度を決定するための伝播時間は、
常に理想的に測定され得れば上記のような遅延時間を採
用することができるが、実際上は、周囲環境等の外的要
因により音波の受波レベルが変動するので、その値に誤
差が含まれ得る。しかし上記形態を採用することにより
伝播時間は、超音波の周期を単位とする波数によって算
出されるその概値と、受波レベルの変動に影響されない
位相差によって時間換算されるその微細値とから得られ
る。これにより、たとえ上記遅延時間に誤差が含まれて
も、例えばその誤差が1周期の範囲であれば、その誤差
は伝播時間の概値部分で吸収され得る。
【0009】また超音波が安定して伝播できる範囲であ
れば、その伝播距離が長くされても、超音波の伝播時間
は、波数から算出されるその概値が増えるだけで、位相
差から算出される微細値は、例えば常に超音波の1周期
の範囲で算出される。したがって広い範囲の媒体の温度
が測定でき、その精度は上述の位相差による温度測定装
置の精度と同様に得られる。
【0010】更に、上記波数を補正する手段を備えるこ
とにより、伝播時間を算出する毎に算出される波数に対
して補正値が生成される。この補正値は、今回算出され
た波数と前回の波数との間の差に対して、その間の位相
変化による要素が加味される。この要素は、伝播時間算
出時における位相差の変移が、例えば超音波の1周期以
上となったとき場合、その位相変移の遅れ又は進みの方
向に応じて付加される。これにより、たとえ超音波の受
波レベルが変動して波数が変化しても、この波数は補正
されて正確に算出され得る。また補正値は、この補正値
の値が識別されることにより、被測定媒体の急激な温度
変化,あるいは伝播時間算出に係る基本値の異常等に対
して適応され得る。
【0011】
【実施例】以下、本発明に係る温度測定装置の実施例を
図面とともに説明する。
【0012】図2は、本温度測定装置の全体構成を示す
ブロック図である。本装置は、超音波の送受波を行うた
めのセンサ部10と、超音波の送受波および温度算出に
係る信号処理を行うための制御演算部20とを備えてい
る。また、超音波が伝播する媒体内(本実施例において
は空気)には超音波の反射板30が備えられている。
【0013】まずセンサ部10を説明する。センサ部1
0の端部には送波用の超音波素子11と受波用の超音波
素子13とが備えられている。この超音波素子11は駆
動回路12によって駆動され、例えば40KHzの超音
波を送波する。送波された超音波は、各超音波素子1
1,13から一定距離に固定された反射板30に反射し
た後、超音波素子13で受波される。超音波素子13で
受波された超音波信号は増幅回路14で増幅された後、
マスク回路15へ供給される。マスク回路15は、超音
波の送波時から一定時間、回り込みや障害物からの反射
による影響を受けた超音波信号を除去する。このように
受波信号が生成され、制御演算部20に入力される。
【0014】次に制御演算部20を順に説明する。制御
演算部20には、マイクロコンピュータ・ユニット21
(以下、MCUと呼ぶ)が備えられている。このMCU
21は、超音波の送波制御,受波信号の演算処理,およ
び温度算出結果の信号出力を実行する。MCU21のE
パルス端子と接続されている分周回路22は、MCU2
1のEパルス信号(1MHz)から40KHzの基準信
号を生成し、この基準信号を送波ゲート回路23に入力
する。送波ゲート回路23は、MCU21の制御により
基準信号から送波タイミング信号を生成し、この送波タ
イミング信号をセンサ部10の駆動回路12,マスク回
路15に供給する。これにより超音波素子11から超音
波が所定タイミングで送波される。
【0015】超音波が受波されたとき、マスク回路15
から供給される受波信号は、遅延時間検出回路24およ
び位相差検出回路25に供給される。遅延時間検出回路
24は、この受波信号から受波検知信号を生成して超音
波の受波時点を検出する。そして受波時点の検出後、超
音波の送波から受波までの遅延時間が検出される。一
方、位相差検出回路25は、受波信号をパルス化して位
相信号を生成し、それと基準信号とを比較し、十分高い
周波数で変調し、それをカウントすることによりその位
相差を検出する。これら遅延時間検出回路24で検出さ
れた遅延時間、および位相差検出回路25で検出された
位相差は、共にMCU21に取り込まれる。
【0016】MCU21は、この遅延時間および位相差
から上記超音波の送受波に係る伝播時間を算出し、この
伝播時間から媒体の温度を算出する。算出された温度測
定結果は表示回路26に信号出力され、例えば7セグメ
ントの表示器にデジタル表示される。また温度測定結果
は、出力回路27を介して他の関連装置にも移信され得
る。
【0017】図3は、上記各回路で生成される信号のタ
イムチャートである。図3(a)は、分周回路22によ
ってMCU21のEパルスから生成される40KHzの
基準信号であり、図3(b)は、送波ゲート回路23で
生成される送波タイミング信号である。この送波タイミ
ング信号は基準信号と同期しており、その出力時間が基
準信号の周期の整数倍に設定される。図3(c)は、送
波ゲート回路23から駆動回路12に出力される駆動信
号を示し、基準信号と送波タイミング信号とのANDか
ら生成される。
【0018】また図3(d)は超音波の受波信号を示
し、この受波信号は、超音波の送波後、マスク回路15
による一定のマスク時間が経過した後に超音波素子13
で受波され増幅回路14で増幅された超音波信号であ
り、本実施例の場合、各超音波素子間の距離が近接して
いるので、受波信号の周波数は上記基準信号の周波数と
適合している。この受波信号は位相差検出回路25で閾
値処理され、図3(e)に示すパルス状の位相信号に変
換される。またこの受波信号は、遅延時間検出回路24
で積分され、図3(f)に示す積分信号となる。この積
分信号は、更に閾値処理され、図3(g)に示す受波検
知信号に整形され、この受波検知信号の立ち上がり時が
超音波の受波時を指示している。
【0019】図3(h)は、遅延時間検出回路24で生
成される遅延時間信号を示し、送波タイミング信号の立
ち上がり時から受波検知信号の立ち上がり時までが検出
されている。この遅延時間信号はその後、MCU21に
供給される。また図3(i)は、位相差検出回路25で
生成される位相差信号を示し、上記基準信号を基準にし
た位相信号の位相差から生成される。この位相差信号
は、その後Eパルスに変調されてカウンタで計数化され
る。計数化された位相差信号は2進コードに変換され、
MCU21に供給される。
【0020】このようにMCU21には、遅延時間信号
および位相差信号が入力され、その遅延時間および位相
差から超音波の伝播時間が算出される。本実施例では伝
播時間の算出にあたり、従来の温度測定装置のように、
遅延時間検出回路24で検出される遅延時間が伝播時間
としてそのまま適用されない。すなわち、遅延時間検出
回路24で検出される遅延時間は、常にその値が理想的
に測定され得れば伝播時間として採用することができる
が、実際上は、超音波の受波レベル変動によりその値に
誤差が含まれ得る。従って本実施例では、上記遅延時間
を超音波の1周期で換算した値の整数部を波数とし、こ
の波数と超音波の周期との積から伝播時間の概値を算出
し、一方で、上記検出された位相差を超音波の1周期内
の時間で換算して伝播時間の微細値を算出する。そして
この概値と微細値とを加えることにより伝播時間を算出
する。
【0021】このように伝播時間を算出する関係式を式
(4)に示す。ここで波数nは、関数int(τ/T)
により整数で算出される。 t=int(τ/T)・T+dp =n・T+dp …(4) τ:遅延時間 T:超音波の周期(周波数fの逆数:1/f) dp:位相差からの換算時間 n:波数
【0022】更に上記式(4)は、波数nに波数補正値
αを与えて式(5)のように構成することができる。こ
れにより、超音波の受波レベルが変化して結果的に波数
nが変動しても、その波数nが波数補正値αによって補
正され、伝播時間tの値に影響を与えないようにするこ
とができる。 t=(n+α)/f+dp …(5) この波数補正値αは、伝播時間の算出動作時、波数を算
出する毎に与えられ、実際の波数および位相差の変化量
から以下の〔表1〕のように決定される。
【0023】 〔表1〕 ──────────────────────────────────── k回目の算出 波数nk に対する 波数nk に対して補正 波数:nk 波数補正値:αk される波数:nk +αk ──────────────────────────────────── n0 α0 =0 n1 α1 =n0 +α0 −n1 (±1) n0 (±1) n2 α2 =n1 +α1 −n2 (±1) n0 (±1)(±1) ・ ・ ・ ・ ・ ・ nk-1 αk-1 =nk-2 +αk-2 −nk-1 (±1) n0 +Σ(±1) nk αk =nk-1 +αk-1 −nk (±1) n0 +Σ(±1) ────────────────────────────────────
【0024】まず、この波数補正値αを算出するには、
最初に波数および位相差に対する各初期値を決定する必
要がある。各初期値の決定は、伝播時間の算出動作が開
始される前、伝播時間の算出動作と同様な超音波の送受
波が所定回数繰り返されて決定される。まず波数の初期
値n0 は、この送受波の反復時に測定される遅延時間か
ら波数が算出され、その平均値から決定される。次に位
相差の初期値dp0 は、所定回数の送受波の最後に検出
された位相差から決定される。尚、波数補正値自身の初
期値α0 は0である。
【0025】各初期値が決定されると通常の伝播時間の
算出動作が開始され、その算出動作中に波数が算出され
ると同時に波数補正値も算出される。〔表1〕は、1回
目、2回目、…k回目の伝播時間の算出動作時に算出さ
れる波数nk 対してその波数補正値αの算出方法を示し
たものである。第1回目の伝播時間算出の際、算出され
た波数n1 に対する波数補正値α1 は、初期値n0 +α
0 とその波数n1 との差に、初期位相差dp0 に対する
位相変化に従って+1または−1の付加値(表1では
(±1)で示す)が与えられた値となる。
【0026】この付加値(±1)は、伝播時間の算出毎
に検出される位相差の変化が、例えば超音波の1/2周
期以上の場合、全体の位相差が超音波の1周期を越え、
1波数分だけ波数が増減すると見なして付加される。あ
るいは伝播時間の算出毎に検出される位相差の変化の累
積値が超音波の1周期を越えるとき付加される。つま
り、位相差の基準である上記基準信号の起点から1周期
の範囲で位相差の変化を見た場合、位相差の累積値が位
相の遅れる方向に通過するとき(2π側から0側)+1
が付加され、反対に位相が進む方向に通過するとき(0
側から2π側)−1が付加される。また付加値は、伝播
時間の算出毎に検出される計数化された位相差値を基
に、その累積値が判別されることによって付加されても
よい。
【0027】これにより第1回目の伝播時間算出の際、
その波数n1 に対して補正された波数n1 +α1 は、n
0 (±1)となり、これは初期値n0 の波数に、位相の
変化分に相当する(±1)が加えられた値に相当する。
そしてこの補正された波数値n0 (±1)が、上記の式
(5)に適用される。
【0028】その後、波数補正値αは伝播時間の算出毎
に算出される。そしてk回目の波数nk に対する波数補
正値αk は、nk-1 +αk-1 −nk (±1)より算出さ
れる。その結果、k回目の波数nk に対する補正された
波数(nk +αk )は、実際上、n0 +Σ(±1)とな
る。すなわち伝播時間の算出前に決定された波数の初期
値n0 に、それまでの位相変化の付加値(±1)の総和
が加えられた値となる。
【0029】図4は、この波数補正値αを用いて波数n
を補正しながら伝播時間tを算出するタイムチャートの
例を示している。この例は、超音波の周波数が40KH
z、被測定媒体の温度がx0 からx3 の間で低下し、x
3 からx6 の間で上昇する状態を示している。
【0030】図4において、超音波の位相差dpは、x
0 からx3 の間、媒体の温度の低下により超音波の速度
が遅くなるので徐々に増加(位相遅れ方向)し、反対に
x3からx6 の間は、媒体の温度が上昇して超音波の速
度が早くなるので徐々に減少(位相進み方向)してい
る。そして位相差dpが超音波の周期と等しくなる
x1,x2 およびx4 ,x5 の時点では、波数補正値α
に付加値(+1または−1)が与えられている。波数n
は、受波レベル変化により変動しているが波数補正値α
によって補正されているので、補正された波数n+αに
はその変動の影響が現れていない。この結果、算出され
た伝播時間tは、波数n+αと位相差dpの和、すなわ
ち波数n0 +Σ(±1)と位相差dpの和で表され、媒
体の温度の変化に追従されている。
【0031】このように伝播時間tは、波数n0 +Σ
(±1)と位相差dpの和で表されるが、ここで、もし
波数の初期値n0 にズレがあれば、そのズレはそのまま
温度の誤差になってしまう。本実施例では伝播時間の算
出の間、このような初期値n0のズレを評価することが
できる。この初期値n0 の評価は、各波数補正値αの平
均値α*を判別することにより行われる。波数補正値α
は、波数が通常、理想的に算出されていれば初期値(α
0 =0)のままであるが、実際は受波レベルの変動によ
り変動する。しかし上述のように波数補正値αを算出す
れば、その平均値α*は「0」周辺で推移するはずであ
る。したがって、この平均値α*がプラスまたはマイナ
スに偏るとき初期値n0 に異常があると判別することが
できる。
【0032】本実施例では、波数補正値が算出される毎
に波数補正値αをサンプリングし、その平均値α*を判
別している。これにより、もし異常が検出された場合に
は、波数の初期値n0 は再計測され新しい初期値n0 に
更正される。また、このように初期値n0 を評価するこ
とにより、被測定媒体の温度が一時的に極めて急激な変
化をしても、その変化に対して初期値n0 が適応され得
る。
【0033】図5および図6は、上記マイクロコンピュ
ータ・ユニット21において、上記波数補正値αを用い
て伝播時間tを算出し、その伝播時間から媒体の平均温
度を算出する動作フローチャートの例を示す。
【0034】図5には、上記フローチャートが開始さ
れ、上記波数補正値αの各初期値を算出するステップが
示されている。まずステップ100は初期設定を示して
いる。装置に電源が投入されると同時に装置全体がリセ
ットされ、その後、超音波の周波数f,伝播距離L等の
基本データが取り込まれる。続いてステップ110で
は、上記各初期値を算出するために超音波の送波制御が
行われ、ステップ120で、その超音波の送受波間の遅
延時間及び位相差が入力される。そしてこの遅延時間か
ら波数が算出される(ステップ130)。この波数と上
記位相差はステップ140において内部の記憶装置に記
憶される。波数補正値αの各初期値を決定するために、
この送受波動作は所定回数(M)繰り返される(ステッ
プ150)。この送受波動作が所定回数が反復される
と、ステップ160において、その平均値から波数補正
値算出に係る波数および位相差の各初期値n0 ,dp0
が決定される。またステップ170では波数補正値自身
の初期値α0 (α=0)が設定される。
【0035】続いて図6には、超音波の伝播時間を算出
して被測定媒体の温度を算出する動作ステップが示され
ている。まずステップ200では超音波の送波制御が行
われる。続いてステップ210ではこの超音波の送受波
に係る遅延時間信号が入力され、この遅延時間から波数
nが算出される。更にステップ220では、同じく位相
差信号が入力され、この位相信号から時間dpおよび位
相角が換算される。、そしてステップ230では上述の
〔表1〕に従って波数補正値αが算出される。ステップ
240では波数補正値αの値が内部の記憶装置に記憶さ
れ、同時に超音波の測定回数がカウントされる。このカ
ウントに基づきステップ250では超音波の測定回数が
調べられ、上記ステップ160で算出した波数の初期値
n0 の妥当性を評価するタイミングが決定される。従っ
て、ステップ250で所定の測定回数(X)が検出され
たときだけ、ステップ260で波数補正値の平均値α*
が判別される。すなわち波数補正値の平均値α*が
「0」近辺の所定範囲以内にあるか否かが判別される。
平均値α*が所定範囲内にあるときには、波数の初期値
n0 にズレがないと判断され、ステップ280において
伝播時間の算出動作が続けられる。反対に波数補正値の
平均値α*が所定範囲から外れているときにはステップ
100に戻され、波数補正値に係る各初期値が再度算出
される。
【0036】ステップ280では、上述の関係式(5)
に従って伝播時間tが算出され、ステップ290では、
上述の関係式(3)に従って上記伝播時間tから温度T
が算出される。この結果、媒体中の平均温度Tが決定さ
れ、決定された媒体の温度Tは、ステップ300で表示
器,レベルメータ等に信号出力される。以上で一回の温
度測定動作が終了し、次の温度測定動作のためにステッ
プ200にリターンされる。上記伝播時間の算出動作
は、本装置の電源スイッチがオフされるまで繰り返され
る。
【0037】以上説明したように、超音波の伝播時間は
波数と位相差とから正確に測定され、その結果、媒体中
の温度が正確に算出される。例えば空気中50cm(L
/2=50)の領域の平均温度を測定する際、例えば超
音波の周波数を40KHz,伝播距離の誤差を50cm
あたり0.8mm以下と設定して実験した場合、従来の
ように算出した遅延時間をそのまま用いて媒体温度を測
定すると、その精度は約±5℃程度であったが、本装置
によれば約±1℃以内の精度で測定することができた。
また、従来のように媒体中の温度を超音波の位相差のみ
から算出した場合、計測温度範囲を100℃とするには
超音波の伝播距離を4.8cm以下にしなければならな
かったが、本装置によれば超音波が安定して受波できる
範囲であれば自由に設定可能である。
【0038】このように本発明に係る一実施例が紹介さ
れたが、これらの各構成は種々の変形が可能である。例
えば送波用超音波素子と受波用超音波素子とを対向させ
て配置しても良いし、あるいは送波/受波兼用の超音波
素子を用いて1つの超音波素子で構成しても良い。ま
た、上記測定装置内の各回路に温度補償回路が組み合わ
されても良い。更に、測定の対象とする媒体は、超音波
の伝播が可能であれば、気体,液体,固体に係わらず適
応され得る。また更に、超音波の送波タイミングを変形
して、受波検知の対象とするキータイミングを適当に設
定することにより、複数の周期を単位とした波数を設定
し、同時にその設定周期の範囲で位相差を検出する構成
が適応されたり、またはこの構成を組み合わせたりする
ことも可能である。尚、本装置において使用され得る超
音波の周波数は特に限定されないが、工業的には、その
用途,コスト等に応じてその指向性とともに適当に組み
合わせて適応され得る。
【0039】
【発明の効果】このように本発明によれば、媒体温度の
測定に係る超音波の伝播時間算出において、超音波の周
期を算出基準として波数および位相差を採用したことに
より、超音波の伝播距離が大きくとれ、且つ受波レベル
の変動に対する影響が低減または回避される。その結
果、媒体中の広い領域の平均温度を広い温度範囲で正確
に測定し得る格別の温度測定装置が提供される。
【0040】本発明の温度測定装置は、これにより温度
制御に係る各種装置に対して広く適用できる。例えば自
動車用オートエアコン等の空調制御、風呂焚き等の燃焼
制御、および火災センサなどに適用することができ、従
来、温度の測定が測定部周辺の「点監視」であったもの
が、測定領域周辺の「線監視」とすることができる。一
例として、自動車のオートエアコンの温度制御に用いた
場合、従来、アスピレータを通して車内の部分的な温度
しか測定できなかったが、本装置によれば、車内全体の
平均温度が直接測定され、効果的なエアコン制御が達成
される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る温度測定装置の一形態を示す構成
図である。
【図2】本発明に係る温度測定装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
【図3】図2の装置の各回路内で生成される信号のタイ
ムチャートの一例を示す。
【図4】図2の装置で行われる伝播時間測定のタイムチ
ャートの一例を示す。
【図5】図2の装置で行われる温度算出動作フローチャ
ートの一例を示す。
【図6】図2の装置で行われる温度算出動作フローチャ
ートの一例を示す。
【符号の説明】
10…センサ部 20…制御演算部 21…マイクロコンピュータ・ユニット(MCU) 30…反射板
フロントページの続き (72)発明者 西沢 一敏 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 媒体中一定距離を伝播する超音波の伝播
    時間から前記媒体中の温度を算出する温度測定装置にお
    いて、 一定周波数の超音波を所定タイミングで送波する送波手
    段(1)と、 前記送波した超音波を受波して受波信号を生成する受波
    手段(2)と、 前記受波信号を受けて、前記超音波が送波されてから受
    波されるまでの遅延時間を検出する手段(3)と、 前記超音波の周期を用いて前記遅延時間を換算し、前記
    遅延時間を整数の波数値で表す手段(4)と、 前記受波信号を前記超音波の周波数より十分高い周波数
    で変調し、前記送波した超音波と前記受波した超音波と
    の間の位相差を検出する手段(5)と、 前記波数と位相差とから前記超音波の伝播時間を算出
    し、この伝播時間から前記媒体中の温度を算出する手段
    (6)とを具備する、 ことを特徴とする温度測定装置。
  2. 【請求項2】 前記送波手段(1)と受波手段(2)と
    が同じ超音波素子を兼用するように構成されていること
    を特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 【請求項3】 更に、前記伝播時間の算出毎に今回算出
    した波数と前回の波数,および今回検出した位相差と前
    回検出した位相差をそれぞれ比較して変化量を算出し、
    この各変化量から前記今回の波数を補正する手段を具備
    することを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
JP29440092A 1992-11-02 1992-11-02 超音波を用いた温度測定装置 Expired - Fee Related JP3224286B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29440092A JP3224286B2 (ja) 1992-11-02 1992-11-02 超音波を用いた温度測定装置
US08/143,883 US5360268A (en) 1992-11-02 1993-11-01 Ultrasonic temperature measuring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29440092A JP3224286B2 (ja) 1992-11-02 1992-11-02 超音波を用いた温度測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06148003A true JPH06148003A (ja) 1994-05-27
JP3224286B2 JP3224286B2 (ja) 2001-10-29

Family

ID=17807252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29440092A Expired - Fee Related JP3224286B2 (ja) 1992-11-02 1992-11-02 超音波を用いた温度測定装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5360268A (ja)
JP (1) JP3224286B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112924051A (zh) * 2021-01-20 2021-06-08 北华大学 一种铜电解槽立体温度测量装置及方法

Families Citing this family (83)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4338743C2 (de) * 1993-11-12 2003-06-26 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb eines Ultraschallsensors
US5624188A (en) * 1994-10-20 1997-04-29 West; David A. Acoustic thermometer
US5597962A (en) * 1995-03-31 1997-01-28 Caldon, Inc. Apparatus for determining fluid flow
US5996415A (en) * 1997-04-30 1999-12-07 Sensys Instruments Corporation Apparatus and method for characterizing semiconductor wafers during processing
ES2352340T3 (es) * 1997-07-05 2011-02-17 Hudson-Sharp Machine Company Aparato para la aplicación de cierres resellables sobre una banda de película.
DE19731329C1 (de) * 1997-07-22 1998-06-10 Daimler Benz Ag Vorrichtung und Verfahren zur Druck- und Temperaturbestimmung eines Gases in einem Hohlraum
US6050943A (en) 1997-10-14 2000-04-18 Guided Therapy Systems, Inc. Imaging, therapy, and temperature monitoring ultrasonic system
US6623430B1 (en) 1997-10-14 2003-09-23 Guided Therapy Systems, Inc. Method and apparatus for safety delivering medicants to a region of tissue using imaging, therapy and temperature monitoring ultrasonic system
US6500121B1 (en) 1997-10-14 2002-12-31 Guided Therapy Systems, Inc. Imaging, therapy, and temperature monitoring ultrasonic system
GB9809375D0 (en) * 1998-05-02 1998-07-01 British Gas Plc Fluid temperature measurement
EP1203936B1 (de) * 2000-11-06 2012-01-04 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Erfassen der Raumtemperatur mit Hilfe von Schallwellen
US7914453B2 (en) 2000-12-28 2011-03-29 Ardent Sound, Inc. Visual imaging system for ultrasonic probe
US6439468B1 (en) * 2001-04-09 2002-08-27 Delphi Technologies, Inc. Acoustic HVAC control system
US6789426B2 (en) 2001-07-31 2004-09-14 Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Microfluidic channels with integrated ultrasonic transducers for temperature measurement and method
KR100501634B1 (ko) * 2003-05-28 2005-07-18 주식회사 하이닉스반도체 온도 검출 회로
US7156551B2 (en) * 2003-06-23 2007-01-02 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Ultrasound transducer fault measurement method and system
JP4412925B2 (ja) * 2003-07-04 2010-02-10 パナソニック株式会社 超音波診断装置
US8235909B2 (en) 2004-05-12 2012-08-07 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for controlled scanning, imaging and/or therapy
US7393325B2 (en) 2004-09-16 2008-07-01 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for ultrasound treatment with a multi-directional transducer
US7824348B2 (en) * 2004-09-16 2010-11-02 Guided Therapy Systems, L.L.C. System and method for variable depth ultrasound treatment
US9011336B2 (en) 2004-09-16 2015-04-21 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for combined energy therapy profile
US20120165848A1 (en) 2010-08-02 2012-06-28 Guided Therapy Systems, Llc System and method for treating cartilage
US20060122508A1 (en) 2004-10-06 2006-06-08 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for noninvasive face lifts and deep tissue tightening
US10864385B2 (en) 2004-09-24 2020-12-15 Guided Therapy Systems, Llc Rejuvenating skin by heating tissue for cosmetic treatment of the face and body
US8444562B2 (en) 2004-10-06 2013-05-21 Guided Therapy Systems, Llc System and method for treating muscle, tendon, ligament and cartilage tissue
US8535228B2 (en) 2004-10-06 2013-09-17 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for noninvasive face lifts and deep tissue tightening
US9694212B2 (en) 2004-10-06 2017-07-04 Guided Therapy Systems, Llc Method and system for ultrasound treatment of skin
US7758524B2 (en) * 2004-10-06 2010-07-20 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for ultra-high frequency ultrasound treatment
US9827449B2 (en) 2004-10-06 2017-11-28 Guided Therapy Systems, L.L.C. Systems for treating skin laxity
EP2279698A3 (en) 2004-10-06 2014-02-19 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for non-invasive cosmetic enhancement of stretch marks
US11235179B2 (en) 2004-10-06 2022-02-01 Guided Therapy Systems, Llc Energy based skin gland treatment
US20060111744A1 (en) * 2004-10-13 2006-05-25 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for treatment of sweat glands
DK3287170T3 (en) * 2004-10-06 2019-02-04 Guided Therapy Systems Llc HUMAN SURFACE TREATMENT CONTROLLED HEAT TREATMENT SYSTEM
US8133180B2 (en) 2004-10-06 2012-03-13 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for treating cellulite
US11883688B2 (en) 2004-10-06 2024-01-30 Guided Therapy Systems, Llc Energy based fat reduction
US8690778B2 (en) 2004-10-06 2014-04-08 Guided Therapy Systems, Llc Energy-based tissue tightening
US20060079868A1 (en) * 2004-10-07 2006-04-13 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for treatment of blood vessel disorders
US11724133B2 (en) 2004-10-07 2023-08-15 Guided Therapy Systems, Llc Ultrasound probe for treatment of skin
US11207548B2 (en) 2004-10-07 2021-12-28 Guided Therapy Systems, L.L.C. Ultrasound probe for treating skin laxity
EP1875327A2 (en) 2005-04-25 2008-01-09 Guided Therapy Systems, L.L.C. Method and system for enhancing computer peripheral saftey
US7434988B1 (en) 2006-05-17 2008-10-14 Enertechnix, Inc. Low pressure acoustic pyrometer signal generator
US9566454B2 (en) 2006-09-18 2017-02-14 Guided Therapy Systems, Llc Method and sysem for non-ablative acne treatment and prevention
EP3103522A1 (en) * 2006-09-19 2016-12-14 Guided Therapy Systems, L.L.C. System for treating muscle, tendon, ligament and cartilage tissue
US9241683B2 (en) 2006-10-04 2016-01-26 Ardent Sound Inc. Ultrasound system and method for imaging and/or measuring displacement of moving tissue and fluid
US7696710B2 (en) * 2006-10-30 2010-04-13 Agc Automotive Americas R&D, Inc. Method of sensing an amount of moisture on a surface of a substrate with temperature compensation
US20080098807A1 (en) * 2006-10-30 2008-05-01 Agc Automotive Americas R&D, Inc. Ultrasonic Phase Shift Moisture Sensing System With Temperature Compensation
US7826813B2 (en) * 2006-12-22 2010-11-02 Orthosoft Inc. Method and system for determining a time delay between transmission and reception of an RF signal in a noisy RF environment using frequency detection
PT2152167T (pt) * 2007-05-07 2018-12-10 Guided Therapy Systems Llc Métodos e sistemas para acoplamento e focagem de energia acústica utilizando um componente acoplador
JP2010526589A (ja) 2007-05-07 2010-08-05 ガイデッド セラピー システムズ, エル.エル.シー. 音響エネルギーを使用してメディカントを調節するための方法およびシステム
US20150174388A1 (en) 2007-05-07 2015-06-25 Guided Therapy Systems, Llc Methods and Systems for Ultrasound Assisted Delivery of a Medicant to Tissue
KR102479936B1 (ko) 2008-06-06 2022-12-22 얼테라, 인크 초음파 치료 시스템
US12102473B2 (en) 2008-06-06 2024-10-01 Ulthera, Inc. Systems for ultrasound treatment
US8194246B2 (en) * 2008-08-11 2012-06-05 UT-Battellle, LLC Photoacoustic microcantilevers
US7961313B2 (en) * 2008-08-11 2011-06-14 Ut-Battelle, Llc Photoacoustic point spectroscopy
US7924423B2 (en) * 2008-08-11 2011-04-12 Ut-Battelle, Llc Reverse photoacoustic standoff spectroscopy
CA2748362A1 (en) 2008-12-24 2010-07-01 Michael H. Slayton Methods and systems for fat reduction and/or cellulite treatment
US8715186B2 (en) * 2009-11-24 2014-05-06 Guided Therapy Systems, Llc Methods and systems for generating thermal bubbles for improved ultrasound imaging and therapy
US20110231966A1 (en) * 2010-03-17 2011-09-22 Ali Passian Scanning probe microscopy with spectroscopic molecular recognition
US8448261B2 (en) * 2010-03-17 2013-05-21 University Of Tennessee Research Foundation Mode synthesizing atomic force microscopy and mode-synthesizing sensing
US8080796B1 (en) 2010-06-30 2011-12-20 Ut-Battelle, Llc Standoff spectroscopy using a conditioned target
US9504446B2 (en) 2010-08-02 2016-11-29 Guided Therapy Systems, Llc Systems and methods for coupling an ultrasound source to tissue
US8857438B2 (en) 2010-11-08 2014-10-14 Ulthera, Inc. Devices and methods for acoustic shielding
US20130012816A1 (en) 2011-07-10 2013-01-10 Guided Therapy Systems, Llc Methods and systems for controlling acoustic energy deposition into a medium
KR20190080967A (ko) 2011-07-11 2019-07-08 가이디드 테라피 시스템스, 엘.엘.씨. 조직에 초음파원을 연결하는 시스템 및 방법
US9263663B2 (en) 2012-04-13 2016-02-16 Ardent Sound, Inc. Method of making thick film transducer arrays
US9510802B2 (en) 2012-09-21 2016-12-06 Guided Therapy Systems, Llc Reflective ultrasound technology for dermatological treatments
CN204637350U (zh) 2013-03-08 2015-09-16 奥赛拉公司 美学成像与处理系统、多焦点处理系统和执行美容过程的系统
WO2014146022A2 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Guided Therapy Systems Llc Ultrasound treatment device and methods of use
US20170028227A1 (en) 2014-04-18 2017-02-02 Ulthera, Inc. Band transducer ultrasound therapy
US10238369B2 (en) * 2014-06-10 2019-03-26 The Johns Hopkins University Real time ultrasound thermal dose monitoring system for tumor ablation therapy
PT3405294T (pt) 2016-01-18 2023-03-03 Ulthera Inc Dispositivo de ultrassom compacto com matriz anular de ultrassom ligada eletricamente de modo periférico a placa de circuito impresso flexível
CN109562279B (zh) 2016-08-16 2022-03-15 奥赛拉公司 用于皮肤的美容超声治疗的系统和方法
EP3299785B1 (en) * 2016-09-21 2019-03-27 ams International AG Integrated temperature sensor, method for producing an integrated temperature sensor and method for determining a temperature by means of an integrated temperature sensor
TW202529848A (zh) 2018-01-26 2025-08-01 美商奧賽拉公司 用於多個維度中的同時多聚焦超音治療的系統和方法
WO2019164836A1 (en) 2018-02-20 2019-08-29 Ulthera, Inc. Systems and methods for combined cosmetic treatment of cellulite with ultrasound
CA3116332A1 (en) 2018-11-30 2020-06-04 Ulthera, Inc. Systems and methods for enhancing efficacy of ultrasound treatment
JP6898022B2 (ja) * 2018-11-30 2021-07-07 ピクシーダストテクノロジーズ株式会社 計測装置、音波受信装置、プログラム、及び、計測方法
TWI864044B (zh) 2019-07-15 2024-12-01 美商奧賽拉公司 用於利用多維度的超音波多焦點剪切波的成像來測量彈性的系統和方法
WO2021217407A1 (zh) * 2020-04-28 2021-11-04 华为技术有限公司 温度测量系统和方法
CN111982343B (zh) * 2020-08-19 2022-01-04 闽南师范大学 一种适用于河流入海区域的水温声层析方法及其装置
US11656112B2 (en) * 2020-11-19 2023-05-23 International Business Machines Corporation Acoustic fluids monitoring
US12578238B1 (en) * 2022-11-29 2026-03-17 Amazon Technologies, Inc. Ambient temperature and relative humidity sensing using ultrasound signals
CN119374754B (zh) * 2024-12-30 2025-03-28 中国空气动力研究与发展中心计算空气动力研究所 一种基于超声谐波频率测量高温结构内部温度的方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54103087A (en) * 1978-01-31 1979-08-14 Nippon Soken Temperature measuring device
JPS54102181A (en) * 1978-01-27 1979-08-11 Nippon Soken Medium temperature measuring device
JPS54141182A (en) * 1978-04-24 1979-11-02 Nippon Soken Temperature measuring and alarm device
JPS6010249B2 (ja) * 1978-04-26 1985-03-15 株式会社日本自動車部品総合研究所 超音波温度計
DE3031678C2 (de) * 1980-08-22 1984-12-06 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8000 München Verfahren zur Messung der Änderung einer thermischen Zustandsgröße von Fluiden
US4772131A (en) * 1987-03-30 1988-09-20 Thermosonics, Inc. Signal processing apparatus for ultrasonic thermometers
EP0362307B1 (de) * 1988-02-19 1992-12-09 OEHLER, Oscar, Dr. Ultraschall-temperaturmessung und anwendungen in der optischen spektroskopie und der kalorimetrie
US5226730A (en) * 1992-05-27 1993-07-13 The Babcock & Wilcox Company Internal temperature monitor for work pieces

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112924051A (zh) * 2021-01-20 2021-06-08 北华大学 一种铜电解槽立体温度测量装置及方法
CN112924051B (zh) * 2021-01-20 2024-04-26 北华大学 一种铜电解槽立体温度测量装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
US5360268A (en) 1994-11-01
JP3224286B2 (ja) 2001-10-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3224286B2 (ja) 超音波を用いた温度測定装置
US4557148A (en) Ultrasonic flowmeter
EP0733885A1 (en) Ultrasonic flowmeter with temperature and pressure compensation
US11378686B2 (en) Ultrasonic echo processing in presence of Doppler shift
EP0326600A1 (en) Apparatus for measuring distances
CN117782271B (zh) 气体超声波流量计跳波现象校正方法、系统、设备及介质
EP0981201A2 (en) Zero crossing detector and method of determining a zero crossing point
EP0142733A2 (en) Ultrasonic rangefinder
EP1231456B1 (en) Arrangement for and method of acoustic determination of fluid temperature
US4603589A (en) Ultrasonic flowmeter
JP3117372B2 (ja) 超音波距離測定装置
JP3456060B2 (ja) 流量計測装置
JPH1144563A (ja) 流量計測装置
JPH063384B2 (ja) 超音波流量計
JP3224295B2 (ja) 超音波を用いた温度測定装置
JPS62180219A (ja) 超音波流量計の測定値処理方法
JP3291102B2 (ja) 超音波距離測定装置
JPH11344364A (ja) 流量計および流量計の漏洩検出方法
JPS62180221A (ja) 超音波流量計の測定値処理方法およびその装置
JPH0561571B2 (ja)
JPH1010230A (ja) 距離計測装置
JPS57187609A (en) Measuring device for decrease in wall thickness
JP2000258214A (ja) 超音波流量計
US3982435A (en) Air mass flow measuring apparatus
JPH06148316A (ja) 超音波距離センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20010717

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees