JPH0615224A - 着色樹脂の塗布方法 - Google Patents
着色樹脂の塗布方法Info
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- JPH0615224A JPH0615224A JP17356692A JP17356692A JPH0615224A JP H0615224 A JPH0615224 A JP H0615224A JP 17356692 A JP17356692 A JP 17356692A JP 17356692 A JP17356692 A JP 17356692A JP H0615224 A JPH0615224 A JP H0615224A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 流動性を有する着色樹脂の塗布方法に関し、
樹脂膜厚さの均一化を目的とする。 【構成】 回転円盤１に基板２を固定し、基板２の表面
の複数箇所に流動性着色樹脂滴４b を滴下し、回転円盤
１を回転させて基板２の表面に着色樹脂膜51を形成させ
る。回転円盤１に基板２を固定し、回転円盤１を回転さ
せながら基板２の表面に流動性着色樹脂滴４b を連続的
に滴下し、基板２の表面に着色樹脂膜51を形成させる。
回転円盤１に基板２を固定し、回転円盤１を回転させな
がら基板２の中心部から外方に向けてまたはその逆方向
に流動性着色樹脂滴下用ノズル３を移動させ、移動する
ノズル３から流動性着色樹脂滴４b を連続的に滴下せし
め、基板２の表面に着色樹脂膜51を形成させる。
樹脂膜厚さの均一化を目的とする。 【構成】 回転円盤１に基板２を固定し、基板２の表面
の複数箇所に流動性着色樹脂滴４b を滴下し、回転円盤
１を回転させて基板２の表面に着色樹脂膜51を形成させ
る。回転円盤１に基板２を固定し、回転円盤１を回転さ
せながら基板２の表面に流動性着色樹脂滴４b を連続的
に滴下し、基板２の表面に着色樹脂膜51を形成させる。
回転円盤１に基板２を固定し、回転円盤１を回転させな
がら基板２の中心部から外方に向けてまたはその逆方向
に流動性着色樹脂滴下用ノズル３を移動させ、移動する
ノズル３から流動性着色樹脂滴４b を連続的に滴下せし
め、基板２の表面に着色樹脂膜51を形成させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は流動性を有する着色樹脂
の塗布方法、特に、カラーフィルタを製造するためガラ
ス基板に均一厚さの着色樹脂膜を、スピンコートにより
塗布する方法に関する。
の塗布方法、特に、カラーフィルタを製造するためガラ
ス基板に均一厚さの着色樹脂膜を、スピンコートにより
塗布する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示パネルにおけるカラーフィルタ
の形成方法には、電着法，印刷法，フォトリソ法等があ
るが、画素パターン精度や均一膜厚を得るにはフォトリ
ソ法が最良であり、フォトリソ法における感光性着色樹
脂膜の形成にはスピンコート法が利用されている。
の形成方法には、電着法，印刷法，フォトリソ法等があ
るが、画素パターン精度や均一膜厚を得るにはフォトリ
ソ法が最良であり、フォトリソ法における感光性着色樹
脂膜の形成にはスピンコート法が利用されている。
【０００３】液晶表示パネルにおいて、カラーフィルタ
を形成したパネル基板は、ガラス基板にブラックマスク
パターンを形成し、赤色（Ｒ）画素，緑色（Ｇ）画素，
青色（Ｂ）画素を順次パターン形成し、多数の３色画素
形成に伴う凹凸をトップコート層によって平坦化し、ト
ップコート層の上に透明電極を形成する。
を形成したパネル基板は、ガラス基板にブラックマスク
パターンを形成し、赤色（Ｒ）画素，緑色（Ｇ）画素，
青色（Ｂ）画素を順次パターン形成し、多数の３色画素
形成に伴う凹凸をトップコート層によって平坦化し、ト
ップコート層の上に透明電極を形成する。
【０００４】着色画素の厚さは１〜２μm であり、第１
の画素形成後の第２の画素用樹脂膜および、第１，第２
の画素形成後の第３の画素用樹脂膜は、１〜２μm の多
数の凹凸が形成された基板上に塗布することになる。
の画素形成後の第２の画素用樹脂膜および、第１，第２
の画素形成後の第３の画素用樹脂膜は、１〜２μm の多
数の凹凸が形成された基板上に塗布することになる。
【０００５】図６は従来の着色樹脂塗布方法の説明図で
あり、回転円盤１にガラス基板２を固定し、ガラス基板
２の中心部にディスペンサーノズル３より適量の流動性
着色樹脂４を滴下したのち、回転円盤１を回転させる
と、ガラス基板２の表面には樹脂膜５が形成される。
あり、回転円盤１にガラス基板２を固定し、ガラス基板
２の中心部にディスペンサーノズル３より適量の流動性
着色樹脂４を滴下したのち、回転円盤１を回転させる
と、ガラス基板２の表面には樹脂膜５が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図７は従来方法で塗布
した着色樹脂膜の問題点の説明図であり、(A) は大円と
呼ばれる円形薄肉部が形成された樹脂膜の平面図、(B)
は大円が形成された樹脂膜の断面図、(C) は第１または
第１，第２の画素が形成されたガラス基板に塗布した樹
脂膜の広がりを説明する平面図である。
した着色樹脂膜の問題点の説明図であり、(A) は大円と
呼ばれる円形薄肉部が形成された樹脂膜の平面図、(B)
は大円が形成された樹脂膜の断面図、(C) は第１または
第１，第２の画素が形成されたガラス基板に塗布した樹
脂膜の広がりを説明する平面図である。
【０００７】図７(A),(B) において、５a は樹脂膜の中
心部に発生した突起、５b は樹脂膜５に形成され一般に
大円と呼ばれる円形状の薄肉部である。形成され易いこ
とで問題となる突起５a と大円５b は、樹脂滴下前のノ
ズル３の開口部で樹脂が渇いて高粘度になり、その樹脂
が影響すると考えられる。即ち、ガラス基板２に着色樹
脂４を滴下したとき、図６に示す如く高粘度である最初
の樹脂滴４a はその後の滴下樹脂４で包まれるが、その
ため樹脂滴４a の一部がガラス基板２の中心部に残され
て突起５a となり、樹脂滴４a の他部は樹脂４と共に広
がる，換言すれば樹脂４によって広がりが阻害され大円
５b が形成されることになる。
心部に発生した突起、５b は樹脂膜５に形成され一般に
大円と呼ばれる円形状の薄肉部である。形成され易いこ
とで問題となる突起５a と大円５b は、樹脂滴下前のノ
ズル３の開口部で樹脂が渇いて高粘度になり、その樹脂
が影響すると考えられる。即ち、ガラス基板２に着色樹
脂４を滴下したとき、図６に示す如く高粘度である最初
の樹脂滴４a はその後の滴下樹脂４で包まれるが、その
ため樹脂滴４a の一部がガラス基板２の中心部に残され
て突起５a となり、樹脂滴４a の他部は樹脂４と共に広
がる，換言すれば樹脂４によって広がりが阻害され大円
５b が形成されることになる。
【０００８】図７(C) において、ガラス基板２の中心部
に滴下した樹脂４の広がりは、それ以前に形成され規則
的配列で突出する第１の画素または、第１，第２の画素
に邪魔され、図示するごとく半円状の広がりとなり、そ
の影響が樹脂膜の厚さむらとなる。
に滴下した樹脂４の広がりは、それ以前に形成され規則
的配列で突出する第１の画素または、第１，第２の画素
に邪魔され、図示するごとく半円状の広がりとなり、そ
の影響が樹脂膜の厚さむらとなる。
【０００９】以上説明した突起５a と大円５b および半
円状の厚さむらは、液晶表示パネルの色むらの一因とな
り、表示品質を低下させることになる。
円状の厚さむらは、液晶表示パネルの色むらの一因とな
り、表示品質を低下させることになる。
【００１０】
【課題を解決するための手段】図１は本発明方法の基本
構成の説明図である。図１(A) において、回転円盤１に
ガラス基板２を固定し、ガラス基板２の表面の複数箇所
に流動性を有する着色樹脂滴４b を滴下し、しかるの
ち、回転円盤１を回転させるとガラス基板２の表面には
均一厚さの樹脂膜が形成される。
構成の説明図である。図１(A) において、回転円盤１に
ガラス基板２を固定し、ガラス基板２の表面の複数箇所
に流動性を有する着色樹脂滴４b を滴下し、しかるの
ち、回転円盤１を回転させるとガラス基板２の表面には
均一厚さの樹脂膜が形成される。
【００１１】図１(B) において、回転円盤１にガラス基
板２を固定し、回転円盤１を回転させながら、ディスペ
ンサーノズル３より連続し複数の樹脂滴４b をガラス基
板２の中心部に滴下すると、ガラス基板２の表面には均
一厚さの樹脂膜が形成される。
板２を固定し、回転円盤１を回転させながら、ディスペ
ンサーノズル３より連続し複数の樹脂滴４b をガラス基
板２の中心部に滴下すると、ガラス基板２の表面には均
一厚さの樹脂膜が形成される。
【００１２】図１(C) において、回転円盤１にガラス基
板２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ディス
ペンサーノズル３をガラス基板２の中心部から外方向に
向けて移動させる。ディスペンサーノズル３は、移動し
ながら複数の樹脂滴４b をガラス基板２に滴下すると、
ガラス基板２の表面には均一厚さの樹脂膜が形成され
る。
板２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ディス
ペンサーノズル３をガラス基板２の中心部から外方向に
向けて移動させる。ディスペンサーノズル３は、移動し
ながら複数の樹脂滴４b をガラス基板２に滴下すると、
ガラス基板２の表面には均一厚さの樹脂膜が形成され
る。
【００１３】図１(D) において、回転円盤１にガラス基
板２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ディス
ペンサーノズル３をガラス基板２の外方から基板２の中
心部に向けて移動させる。ディスペンサーノズル３は移
動しながら複数の樹脂滴４bをガラス基板２に滴下する
と、ガラス基板２の表面には均一厚さの樹脂膜が形成さ
れる。
板２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ディス
ペンサーノズル３をガラス基板２の外方から基板２の中
心部に向けて移動させる。ディスペンサーノズル３は移
動しながら複数の樹脂滴４bをガラス基板２に滴下する
と、ガラス基板２の表面には均一厚さの樹脂膜が形成さ
れる。
【００１４】
【作用】上記手段において、図１(A) と図１(B) を用い
て説明した着色樹脂膜の形成方法は、平滑基板に樹脂膜
を形成する手段であり、ノズルから最初に滴下した樹脂
滴は、他の位置に滴下さた樹脂滴や後続の樹脂滴に災い
されることなく遠心力が作用し、大きく広がるようにな
る。
て説明した着色樹脂膜の形成方法は、平滑基板に樹脂膜
を形成する手段であり、ノズルから最初に滴下した樹脂
滴は、他の位置に滴下さた樹脂滴や後続の樹脂滴に災い
されることなく遠心力が作用し、大きく広がるようにな
る。
【００１５】従って、図７(A),(B) に示す突起５a が解
消すると同時に、従来方法で問題となった大円が形成さ
れても、その大円は従来の大円５b より大径となり、樹
脂膜の所要領域例えば画素を形成する領域の外側に押し
広げることが可能になる。
消すると同時に、従来方法で問題となった大円が形成さ
れても、その大円は従来の大円５b より大径となり、樹
脂膜の所要領域例えば画素を形成する領域の外側に押し
広げることが可能になる。
【００１６】上記手段において、図１(C) と図１(D) を
用いて説明した着色樹脂膜の形成方法は、図１(A) と図
１(B) を用いて説明した方法と同じ理由で従来の突起５
a を解消し大円を無害にする同時に、ノズルを回転円盤
の半径方向に移動させながら樹脂を滴下するため、ガラ
ス基板表面の凹凸による影響を抑制し、図７(C) に示す
樹脂の広がりむらをなくす効果がある。
用いて説明した着色樹脂膜の形成方法は、図１(A) と図
１(B) を用いて説明した方法と同じ理由で従来の突起５
a を解消し大円を無害にする同時に、ノズルを回転円盤
の半径方向に移動させながら樹脂を滴下するため、ガラ
ス基板表面の凹凸による影響を抑制し、図７(C) に示す
樹脂の広がりむらをなくす効果がある。
【００１７】
【実施例】図２は本発明方法の第１の実施例の説明図、
図３は本発明方法の第２の実施例の平面図、図４は本発
明方法の第３の実施例の説明図、図５は本発明方法の第
４の実施例の説明図である。
図３は本発明方法の第２の実施例の平面図、図４は本発
明方法の第３の実施例の説明図、図５は本発明方法の第
４の実施例の説明図である。
【００１８】図２(A) において、回転円盤１にガラス基
板２を固定し、ガラス基板２の表面の複数箇所に流動性
を有する着色樹脂滴４b を滴下する。しかるのち、回転
円盤１を所定速度で回転させると、樹脂滴４b には遠心
力が作用し、図２(B) に示す如く、ガラス基板２の表面
には均一厚さの樹脂膜51が形成される。
板２を固定し、ガラス基板２の表面の複数箇所に流動性
を有する着色樹脂滴４b を滴下する。しかるのち、回転
円盤１を所定速度で回転させると、樹脂滴４b には遠心
力が作用し、図２(B) に示す如く、ガラス基板２の表面
には均一厚さの樹脂膜51が形成される。
【００１９】図３(A) において、回転円盤１にガラス基
板２を固定し、回転円盤１を回転させることによってガ
ラス基板２が回転する。そこで、ガラス基板２を回転さ
せながら、ディスペンサーノズル３よりガラス基板２の
中心部に複数の樹脂滴４b を連続にまたは間欠に滴下す
ると、滴下した樹脂滴４b には遠心力が作用し、ガラス
基板２の表面には図３(B) に示す如く、均一厚さの樹脂
膜51が形成される。
板２を固定し、回転円盤１を回転させることによってガ
ラス基板２が回転する。そこで、ガラス基板２を回転さ
せながら、ディスペンサーノズル３よりガラス基板２の
中心部に複数の樹脂滴４b を連続にまたは間欠に滴下す
ると、滴下した樹脂滴４b には遠心力が作用し、ガラス
基板２の表面には図３(B) に示す如く、均一厚さの樹脂
膜51が形成される。
【００２０】図４(A) において、回円盤１にガラス基板
２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ガラス基
板２の中心部に位置したディスペンサーノズル３は、樹
脂滴４b を滴下しながらガラス基板２の外方に向けて移
動させる。
２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ガラス基
板２の中心部に位置したディスペンサーノズル３は、樹
脂滴４b を滴下しながらガラス基板２の外方に向けて移
動させる。
【００２１】すると、滴下された樹脂滴４b には遠心力
が作用し、ガラス基板２の表面には図４(B) に示す如
く、均一厚さの樹脂膜51が形成される。なお、図４を用
いて説明した本発明方法の第３の実施例において、ガラ
ス基板２には第１または第１，第２の画素が形成済みで
あり、２μm 程度の凹凸があるとき、該凹凸の影響を低
減させるため樹脂塗布の初期には樹脂液の乾燥を抑制す
ることが望ましい。
が作用し、ガラス基板２の表面には図４(B) に示す如
く、均一厚さの樹脂膜51が形成される。なお、図４を用
いて説明した本発明方法の第３の実施例において、ガラ
ス基板２には第１または第１，第２の画素が形成済みで
あり、２μm 程度の凹凸があるとき、該凹凸の影響を低
減させるため樹脂塗布の初期には樹脂液の乾燥を抑制す
ることが望ましい。
【００２２】そこで、回転円盤１の回転速度をスピンコ
ート時より低速にし、樹脂滴４b を滴下しながら移動す
るディスペンサーノズル３をガラス基板２の中心部から
樹脂膜所要領域の1/3 程度の距離まで移動させたのち、
回転円盤１の回転速度を樹脂膜形成に必要な高速回転に
切り換え、好結果が得られた。
ート時より低速にし、樹脂滴４b を滴下しながら移動す
るディスペンサーノズル３をガラス基板２の中心部から
樹脂膜所要領域の1/3 程度の距離まで移動させたのち、
回転円盤１の回転速度を樹脂膜形成に必要な高速回転に
切り換え、好結果が得られた。
【００２３】図５(A) において、回円盤１にガラス基板
２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ガラス基
板２の外方に位置したディスペンサーノズル３は、望ま
しくは最初の樹脂滴４b をガラス基板２より外位置に滴
下してから、樹脂滴４b を滴下しながらガラス基板２の
中心部に向けて移動する。
２を固定し、回転円盤１を回転させると共に、ガラス基
板２の外方に位置したディスペンサーノズル３は、望ま
しくは最初の樹脂滴４b をガラス基板２より外位置に滴
下してから、樹脂滴４b を滴下しながらガラス基板２の
中心部に向けて移動する。
【００２４】すると、滴下された樹脂滴４b には遠心力
が作用し、ガラス基板２の表面には図５(B) に示す如
く、均一厚さの樹脂膜51が形成される。
が作用し、ガラス基板２の表面には図５(B) に示す如
く、均一厚さの樹脂膜51が形成される。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明方法によれ
ば、従来方法において基板の中心部に形成される突起を
なくし大円を無害にすると共に、樹脂の広がりむらによ
る影響をなくすことを可能とし、液晶表示パネルのカラ
ーフィルタの製造に適用して表示品質を改善した効果が
ある。
ば、従来方法において基板の中心部に形成される突起を
なくし大円を無害にすると共に、樹脂の広がりむらによ
る影響をなくすことを可能とし、液晶表示パネルのカラ
ーフィルタの製造に適用して表示品質を改善した効果が
ある。
【図１】 本発明方法の基本構成の説明図である。
【図２】 本発明方法の第１の実施例の説明図である。
【図３】 本発明方法の第２の実施例の平面図である。
【図４】 本発明方法の第３の実施例の説明図である。
【図５】 本発明方法の第４の実施例の説明図である。
【図６】 従来の着色樹脂塗布方法の説明図である。
【図７】 従来方法で塗布した着色樹脂膜の問題点の説
明図である。
明図である。
１はスピンコート用の回転円盤 ２は着色樹脂膜を形成する基板 ３は流動性着色樹脂を滴下するノズル ４b は流動性着色樹脂滴 51は着色樹脂膜
Claims (4)
- 【請求項１】 回転円盤(1) に基板(2) を固定し、該基
板(2) の表面の複数箇所に流動性着色樹脂滴(4b)を滴下
し、該回転円盤(1) を回転させて該基板(2)の表面に着
色樹脂膜(51)を形成せしめることを特徴とする着色樹脂
の塗布方法。 - 【請求項２】 回転円盤(1) に基板(2) を固定し、該回
転円盤(1) を回転させながら該基板(2) の表面に流動性
着色樹脂滴(4b)を連続的に滴下し、該基板(2) の表面に
着色樹脂膜(51)を形成せしめることを特徴とする着色樹
脂の塗布方法。 - 【請求項３】 回転円盤(1) に基板(2) を固定し、該回
転円盤(1) を回転させながら該基板(2) の中心部から外
方に向けて流動性着色樹脂滴下用ノズル(3)を移動さ
せ、移動する該ノズル(3) から流動性着色樹脂滴(4b)を
連続的に滴下せしめ、該基板(2) の表面に着色樹脂膜(5
1)を形成せしめることを特徴とする着色樹脂の塗布方
法。 - 【請求項４】 回転円盤(1) に基板(2) を固定し、該回
転円盤(1) を回転させながら該基板(2) の外方から中心
部に向けて流動性着色樹脂滴下用ノズル(3)を移動さ
せ、移動する該ノズル(3) から着色樹脂滴(4b)を連続的
に滴下せしめ、該基板(2) の表面に着色樹脂膜(51)を形
成せしめることを特徴とする着色樹脂の塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17356692A JPH0615224A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 着色樹脂の塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17356692A JPH0615224A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 着色樹脂の塗布方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0615224A true JPH0615224A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=15962934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17356692A Withdrawn JPH0615224A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 着色樹脂の塗布方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0615224A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1157582A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-02 | Tokyo Electron Ltd | 塗布膜形成装置 |
| US7770535B2 (en) | 2005-06-10 | 2010-08-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Chemical solution application apparatus and chemical solution application method |
-
1992
- 1992-07-01 JP JP17356692A patent/JPH0615224A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1157582A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-02 | Tokyo Electron Ltd | 塗布膜形成装置 |
| US7770535B2 (en) | 2005-06-10 | 2010-08-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Chemical solution application apparatus and chemical solution application method |
| US8722135B2 (en) | 2005-06-10 | 2014-05-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for discharging chemical solution |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |