JPH06159751A - クリーンルームシステム - Google Patents
クリーンルームシステムInfo
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- JPH06159751A JPH06159751A JP4335482A JP33548292A JPH06159751A JP H06159751 A JPH06159751 A JP H06159751A JP 4335482 A JP4335482 A JP 4335482A JP 33548292 A JP33548292 A JP 33548292A JP H06159751 A JPH06159751 A JP H06159751A
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- Japan
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- equipment
- dust
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 少ない循環空気量で室内の高い清浄度を確保
し、設備の低コスト化、及び省エネルギー化を図る。 【構成】 機器５を包む気流が吹き出される吹出口３２
を機器５に対向させて天井に配設し、この気流が吸い込
まれる吸込口４１を機器周囲のアクセスフロア３９に適
宜に配設する。機器５の発塵部に機器側吸込口６０を配
設し、床下基礎下部の除塵機４５に空気を吸い込み清浄
化した空気を床下に放出する。
し、設備の低コスト化、及び省エネルギー化を図る。 【構成】 機器５を包む気流が吹き出される吹出口３２
を機器５に対向させて天井に配設し、この気流が吸い込
まれる吸込口４１を機器周囲のアクセスフロア３９に適
宜に配設する。機器５の発塵部に機器側吸込口６０を配
設し、床下基礎下部の除塵機４５に空気を吸い込み清浄
化した空気を床下に放出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの空調
システムに関するものである。
システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームにおける空調システム
は、図６に示す如く、機器の発塵等を室外に排出するも
のである。図例の空調システムにおいて、天井１にはＨ
ＥＰＡフィルターが内蔵された吹出口３が複数個設けら
れ、吹出口３は機器５が設置された室内７に清浄空気を
吹き出すようになっている。室内７のアクセスフロア９
の任意の位置にはグレーチング型吸込口１１が取り付け
られ、グレーチング型吸込口１１はアクセスフロア９の
下に配設されたリターンダクト１３に連通している。リ
ターンダクト１３の端部には室外に設けられた空調機１
５の吸込口が開口し、空調機１５の吹出口は吹出ダクト
１７を介して上述の吹出口３に接続されている。
は、図６に示す如く、機器の発塵等を室外に排出するも
のである。図例の空調システムにおいて、天井１にはＨ
ＥＰＡフィルターが内蔵された吹出口３が複数個設けら
れ、吹出口３は機器５が設置された室内７に清浄空気を
吹き出すようになっている。室内７のアクセスフロア９
の任意の位置にはグレーチング型吸込口１１が取り付け
られ、グレーチング型吸込口１１はアクセスフロア９の
下に配設されたリターンダクト１３に連通している。リ
ターンダクト１３の端部には室外に設けられた空調機１
５の吸込口が開口し、空調機１５の吹出口は吹出ダクト
１７を介して上述の吹出口３に接続されている。
【０００３】このように構成されたの空調システムで
は、吹出口３から清浄空気が吹き出されると、機器５周
辺での発塵ダスト、並びに排熱がこの清浄な吹出気流に
より室内７へ拡散される。拡散された室内空気は、アク
セスフロア９のグレーチング型吸込口１１から吸い込ま
れ、リターンダクト１３を介して空調機１５へ吸い込ま
れる。空調機１５へ吸い込まれた室内空気は、所定温湿
度に調節された後、再びＨＥＰＡフィルターが内蔵され
た吹出口３から清浄空気となって吹き出されるのであ
る。この種の空調システムでは、比較的小さい循環風量
でクリーン空調システムを実現させることができる。
は、吹出口３から清浄空気が吹き出されると、機器５周
辺での発塵ダスト、並びに排熱がこの清浄な吹出気流に
より室内７へ拡散される。拡散された室内空気は、アク
セスフロア９のグレーチング型吸込口１１から吸い込ま
れ、リターンダクト１３を介して空調機１５へ吸い込ま
れる。空調機１５へ吸い込まれた室内空気は、所定温湿
度に調節された後、再びＨＥＰＡフィルターが内蔵され
た吹出口３から清浄空気となって吹き出されるのであ
る。この種の空調システムでは、比較的小さい循環風量
でクリーン空調システムを実現させることができる。
【０００４】一方、室内空気が攪拌されない空調システ
ムに所謂、一方向流方式がある。図７は一方向流方式の
空調システムを表す説明図である。天井１にはＨＥＰＡ
フィルター２１が全面に亘って設けられ、ＨＥＰＡフィ
ルター２１は室内７に清浄空気を微風速例えば０．２５
〜０．４５ｍ／ｓで吹き出すようになっている。室内７
のアクセスフロアは、全面がグレーチング２３となって
おり、グレーチング２３はアクセスフロアの下に配設さ
れたリターンダクト１３に連通している。リターンダク
ト１３の端部は室外に設けられた送風路２５に連通さ
れ、送風路２５にはリターンダクト１３側からドライコ
イル２７、吸込側サイレンサー２９、軸流ファン３１、
吹出側サイレンサー３３が順次設けられている。吹出側
サイレンサー３３には吹出ダクト３５が接続され、吹出
ダクト３５は上述のＨＥＰＡフィルター２１が取り付け
られた吹出チャンバー３７へと接続されている。
ムに所謂、一方向流方式がある。図７は一方向流方式の
空調システムを表す説明図である。天井１にはＨＥＰＡ
フィルター２１が全面に亘って設けられ、ＨＥＰＡフィ
ルター２１は室内７に清浄空気を微風速例えば０．２５
〜０．４５ｍ／ｓで吹き出すようになっている。室内７
のアクセスフロアは、全面がグレーチング２３となって
おり、グレーチング２３はアクセスフロアの下に配設さ
れたリターンダクト１３に連通している。リターンダク
ト１３の端部は室外に設けられた送風路２５に連通さ
れ、送風路２５にはリターンダクト１３側からドライコ
イル２７、吸込側サイレンサー２９、軸流ファン３１、
吹出側サイレンサー３３が順次設けられている。吹出側
サイレンサー３３には吹出ダクト３５が接続され、吹出
ダクト３５は上述のＨＥＰＡフィルター２１が取り付け
られた吹出チャンバー３７へと接続されている。
【０００５】このように構成された一方向流方式の空調
システムでは、ＨＥＰＡフィルター２１から清浄空気が
吹き出されると、機器５周辺での発塵ダスト、並びに排
熱が吹出気流により拡散されることなく、一方向に流れ
てアクセスフロアであるグレーチング２３から吸い込ま
れる。グレーチング２３から吸い込まれた室内空気は、
リターンダクト１３を介して送風路２５に導かれ、ドラ
イコイル２７、吸込側サイレンサー２９、軸流ファン３
１、吹出側サイレンサー３３を通過した後、吹出ダクト
３５を介して吹出チャンバー３７へと導かれ、ＨＥＰＡ
フィルター２１から清浄空気となって再び吹き出される
のである。この一方向流方式の空調システムでは、発塵
ダスト、並びに排熱が室内７に拡散されることなく、一
方向に流れてグレーチング２３から吸い込まれるため、
高い清浄度を確保することができる。
システムでは、ＨＥＰＡフィルター２１から清浄空気が
吹き出されると、機器５周辺での発塵ダスト、並びに排
熱が吹出気流により拡散されることなく、一方向に流れ
てアクセスフロアであるグレーチング２３から吸い込ま
れる。グレーチング２３から吸い込まれた室内空気は、
リターンダクト１３を介して送風路２５に導かれ、ドラ
イコイル２７、吸込側サイレンサー２９、軸流ファン３
１、吹出側サイレンサー３３を通過した後、吹出ダクト
３５を介して吹出チャンバー３７へと導かれ、ＨＥＰＡ
フィルター２１から清浄空気となって再び吹き出される
のである。この一方向流方式の空調システムでは、発塵
ダスト、並びに排熱が室内７に拡散されることなく、一
方向に流れてグレーチング２３から吸い込まれるため、
高い清浄度を確保することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
空調システムでは、発塵ダスト並びに排熱を室内７に拡
散させてグレーチング型吸込口１１で吸い込むため、拡
散された発塵ダストが室内に残存し、他に与える影響が
高くなり、高い清浄度を確保することが困難であった。
また、一方向流方式の空調システムでは、室内空気を拡
散することなくグレーチング２３から吸い込むため、高
い清浄度は確保できるものの、ＨＥＰＡフィルター２１
を天井全面に亘って設けなくてはならないとともに、ア
クセスフロアもその全面をグレーチング２３としなけれ
ばならず、更には、循環空気量も多量となるため、イニ
シャルコスト、ランニングコストが共に大きくなる欠点
があった。
空調システムでは、発塵ダスト並びに排熱を室内７に拡
散させてグレーチング型吸込口１１で吸い込むため、拡
散された発塵ダストが室内に残存し、他に与える影響が
高くなり、高い清浄度を確保することが困難であった。
また、一方向流方式の空調システムでは、室内空気を拡
散することなくグレーチング２３から吸い込むため、高
い清浄度は確保できるものの、ＨＥＰＡフィルター２１
を天井全面に亘って設けなくてはならないとともに、ア
クセスフロアもその全面をグレーチング２３としなけれ
ばならず、更には、循環空気量も多量となるため、イニ
シャルコスト、ランニングコストが共に大きくなる欠点
があった。
【０００７】本発明は上記状況に鑑みてなされたもの
で、少ない循環空気量で高い清浄度が確保でき、かつ効
率良く回収処理するクリーンルームシステムを提供し、
もって、設備の低コスト化、及び省エネルギー化を図る
ことを目的とする。
で、少ない循環空気量で高い清浄度が確保でき、かつ効
率良く回収処理するクリーンルームシステムを提供し、
もって、設備の低コスト化、及び省エネルギー化を図る
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係わるクリーンルームシステムは、機器の周
囲に強制的に気流を形成し、この機器の発塵、排熱を効
率良く処理する局所処理ゾーンを有するクリーンルーム
システムである。その機器を包む強制気流を吹き出す吹
出口は、その機器に対向させて配設し、しかもその吹出
口は風速の小さな中央吹出区と風速の大きな外側吹出区
とからなっており、外側吹出区は中央吹出区を完全に囲
むように配置されている。而して該吹出口から形成され
る強制気流は断面に於いて低速、外周部高速となってお
り、当該機器全体を包囲する。且つ当該強制気流が吸い
込まれる吸込口は吹出口に対向させてその下流の当該機
器周囲に配設したことを特徴とするものである。通常斯
くして回収した塵埃排熱を含む空気はろ過、温・湿度調
節を施す経路に導かれ、清浄化且つ調和化された後再び
利用されるが、本発明においては、更に必要に応じて、
機器の架台内に設置した除塵機によって該機器によって
発生した塵埃を専ら処理し除塵効率を高めることをも特
徴とするものである。また、室内全体の空気調和及び清
浄化を高度に達成するために、従来より行なわれている
乱流方式の空調システム或いは一方向流方式の空調シス
テムを併設しさらに効果を高めることも可能である。
の本発明に係わるクリーンルームシステムは、機器の周
囲に強制的に気流を形成し、この機器の発塵、排熱を効
率良く処理する局所処理ゾーンを有するクリーンルーム
システムである。その機器を包む強制気流を吹き出す吹
出口は、その機器に対向させて配設し、しかもその吹出
口は風速の小さな中央吹出区と風速の大きな外側吹出区
とからなっており、外側吹出区は中央吹出区を完全に囲
むように配置されている。而して該吹出口から形成され
る強制気流は断面に於いて低速、外周部高速となってお
り、当該機器全体を包囲する。且つ当該強制気流が吸い
込まれる吸込口は吹出口に対向させてその下流の当該機
器周囲に配設したことを特徴とするものである。通常斯
くして回収した塵埃排熱を含む空気はろ過、温・湿度調
節を施す経路に導かれ、清浄化且つ調和化された後再び
利用されるが、本発明においては、更に必要に応じて、
機器の架台内に設置した除塵機によって該機器によって
発生した塵埃を専ら処理し除塵効率を高めることをも特
徴とするものである。また、室内全体の空気調和及び清
浄化を高度に達成するために、従来より行なわれている
乱流方式の空調システム或いは一方向流方式の空調シス
テムを併設しさらに効果を高めることも可能である。
【０００９】
【作用】中央から吹き出された気流は外側から吹き出さ
れる為、機器全体は中央低速、外周部高速の強制気流に
囲まれる。その結果機器排熱は機器を包んで下方に流れ
る気流により室内空気と遮断され、室内に拡散されるこ
となく、直接吸込口に吸い込まれ、効率良く回収、処理
される。更に床下設置の除塵機より、機器からの発塵を
他に拡散させることなく捕集する。
れる為、機器全体は中央低速、外周部高速の強制気流に
囲まれる。その結果機器排熱は機器を包んで下方に流れ
る気流により室内空気と遮断され、室内に拡散されるこ
となく、直接吸込口に吸い込まれ、効率良く回収、処理
される。更に床下設置の除塵機より、機器からの発塵を
他に拡散させることなく捕集する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る局所高クリーン化システ
ムの好適な実施例を図面を参照して詳細に説明する。図
１は本発明に係る局所高クリーン化システムを表す説明
図である。天井には吹出口３２が取り付けられ、吹出口
３２にはＨＥＰＡフィルター３４が内蔵されている。一
方機器５は、アクセスフロア３９の下部に設けたベース
８０上の架台８１に載置されている。そしてこの機器５
は吹出口３２が当該機器５の丁度真上となるように配置
される。すなわち吹出口３２は当該機器５に対向した状
態で配置される。吹出口３２の吹き出し面である下面に
はパンチング孔３６が穿設され、よってパンチング孔３
６からは強制的に清浄空気（以下単に気流という）が機
器５方向に吹き出すようになっている。また、吹出口３
２の下面周囲にはパンチング孔３６を囲んでグリル３８
が設けられる。このグリル３８によってパンチング孔３
６からは気流を囲むように、風速の異なる気流が吹き出
されるようになっている。つまり、吹出口３２の中央を
低速の吹出区とし、外周を高速の吹出区にすることでパ
ンチング孔３６からは０．８５ｍ／ｓ程度の風速で強制
的に気流を流下させる。一方グリル３８からはこれより
早い２．５ｍ／ｓ程度の風速で強制的に気流を流下させ
る構造となっている。
ムの好適な実施例を図面を参照して詳細に説明する。図
１は本発明に係る局所高クリーン化システムを表す説明
図である。天井には吹出口３２が取り付けられ、吹出口
３２にはＨＥＰＡフィルター３４が内蔵されている。一
方機器５は、アクセスフロア３９の下部に設けたベース
８０上の架台８１に載置されている。そしてこの機器５
は吹出口３２が当該機器５の丁度真上となるように配置
される。すなわち吹出口３２は当該機器５に対向した状
態で配置される。吹出口３２の吹き出し面である下面に
はパンチング孔３６が穿設され、よってパンチング孔３
６からは強制的に清浄空気（以下単に気流という）が機
器５方向に吹き出すようになっている。また、吹出口３
２の下面周囲にはパンチング孔３６を囲んでグリル３８
が設けられる。このグリル３８によってパンチング孔３
６からは気流を囲むように、風速の異なる気流が吹き出
されるようになっている。つまり、吹出口３２の中央を
低速の吹出区とし、外周を高速の吹出区にすることでパ
ンチング孔３６からは０．８５ｍ／ｓ程度の風速で強制
的に気流を流下させる。一方グリル３８からはこれより
早い２．５ｍ／ｓ程度の風速で強制的に気流を流下させ
る構造となっている。
【００１１】アクセスフロア３９の機器５の周囲には吸
込口であるグレーチング吸込口４１が前記吹出口３２と
略対向した位置に配設され、グレーチング吸込口４１は
アクセスフロア３９下に設けられたリターンダクト４３
に連通している。従って、機器５を包みアクセスフロア
３９側に流れた気流は、グレーチング吸込口４１に吸い
込まれることになる。つまり、吹出口３２とグレーチン
グ吸込口４１との間には、機器５を包む空気流（所謂、
エアカーテン）が形成されるのである。そしてこの空気
流は機器５の架台内部に設置され且つ内部にＨＥＰＡフ
ィルターと送風機とを一体化してなる除塵機４５により
清浄化つまり前段ろ過処理されてリターンダクト４３に
放出される。
込口であるグレーチング吸込口４１が前記吹出口３２と
略対向した位置に配設され、グレーチング吸込口４１は
アクセスフロア３９下に設けられたリターンダクト４３
に連通している。従って、機器５を包みアクセスフロア
３９側に流れた気流は、グレーチング吸込口４１に吸い
込まれることになる。つまり、吹出口３２とグレーチン
グ吸込口４１との間には、機器５を包む空気流（所謂、
エアカーテン）が形成されるのである。そしてこの空気
流は機器５の架台内部に設置され且つ内部にＨＥＰＡフ
ィルターと送風機とを一体化してなる除塵機４５により
清浄化つまり前段ろ過処理されてリターンダクト４３に
放出される。
【００１２】リターンダクト４３の端部には送風機４７
へと連通するダクト４９が接続され、ダクト４９内には
フィルター５１、冷却コイル５３が設けられている。送
風機４７のダクト４９側の吸込口には消音器５５が取り
付けられる一方、送風機４７の吹き出し側にはサプライ
チャンバー５７が取り付けられている。サプライチャン
バー５７には天井内に配設されるメインダクト５９が接
続され、メインダクト５９は上述の吹出口３２へと接続
されている。図２はアクセスフロア３９内における機器
５の載置状態と、除塵機４５の配置状態を説明する図で
あり、図３は同状態を示す平面図である。図例の如く、
アクセスフロア３９内部のベース８０上には図４に示す
架台８１が配置されている。そしてこの架台８１上に機
器５が設置される。この架台８１は四本の脚台を有する
所謂中空テーブル状を成し、その中空内に除塵機４５が
設けられる。この除塵機４５としては送風機４５ａ，Ｈ
ＥＰＡフィルター４５ｂ，消音器４５ｃを一体的にユニ
ット化したものである。一方アクセスフロア３９には、
上記のグレーチング吸込口４１とは別に機器５の近傍に
機器側吸込口６０を設ける。図５はアクセスフロア３９
上に設けた各吸込口を説明する平面図である。すなわ
ち、機器５の周辺にグレーチング吸込口４１を設け、そ
れより機器５に接近したところには機器側吸込口６０を
設ける。機器側吸込口６０は機器５自体からの発塵ダス
トを拡散することなく捕集除去する為のものであり、開
口率はグレーチング吸込口４１に対して倍程度となる。
斯かる機器側吸込口６０から吸い込まれた空気は、ダク
ト４５ｄを経て除塵機４５により吹出口４５ｅからリタ
ーンダクト４３に放出される（図２参照）。そして上述
したと同様に清浄化されて天井の吹出口３１から再び室
内７に吹き出される。
へと連通するダクト４９が接続され、ダクト４９内には
フィルター５１、冷却コイル５３が設けられている。送
風機４７のダクト４９側の吸込口には消音器５５が取り
付けられる一方、送風機４７の吹き出し側にはサプライ
チャンバー５７が取り付けられている。サプライチャン
バー５７には天井内に配設されるメインダクト５９が接
続され、メインダクト５９は上述の吹出口３２へと接続
されている。図２はアクセスフロア３９内における機器
５の載置状態と、除塵機４５の配置状態を説明する図で
あり、図３は同状態を示す平面図である。図例の如く、
アクセスフロア３９内部のベース８０上には図４に示す
架台８１が配置されている。そしてこの架台８１上に機
器５が設置される。この架台８１は四本の脚台を有する
所謂中空テーブル状を成し、その中空内に除塵機４５が
設けられる。この除塵機４５としては送風機４５ａ，Ｈ
ＥＰＡフィルター４５ｂ，消音器４５ｃを一体的にユニ
ット化したものである。一方アクセスフロア３９には、
上記のグレーチング吸込口４１とは別に機器５の近傍に
機器側吸込口６０を設ける。図５はアクセスフロア３９
上に設けた各吸込口を説明する平面図である。すなわ
ち、機器５の周辺にグレーチング吸込口４１を設け、そ
れより機器５に接近したところには機器側吸込口６０を
設ける。機器側吸込口６０は機器５自体からの発塵ダス
トを拡散することなく捕集除去する為のものであり、開
口率はグレーチング吸込口４１に対して倍程度となる。
斯かる機器側吸込口６０から吸い込まれた空気は、ダク
ト４５ｄを経て除塵機４５により吹出口４５ｅからリタ
ーンダクト４３に放出される（図２参照）。そして上述
したと同様に清浄化されて天井の吹出口３１から再び室
内７に吹き出される。
【００１３】このように構成されたクリーンルームシス
テムにおいて、送風機４７が駆動されると、サプライチ
ャンバー５７、メインダクト５９を介して空気が送風さ
れ、吹出口３１から気流が機器５方向に強制的に吹き出
される。吹出口３１から吹き出された気流は内部が低
速、外周が高速な空気流すなわちエアカーテンを形成し
て機器５を包みグレーチング吸込口４１に吸い込まれ
る。機器５がエアカーテンに包まれることで、機器５か
らの発塵、及び排熱はエアカーテンにより室内空気とは
遮断され、室内７に拡散されることなく、直接グレーチ
ング吸込口４１に吸い込まれる。いいかえれば、一方向
流方式の環境が機器５の周囲のみに局所的に形成される
ことになる。グレーチング吸込口４１に吸い込まれた室
内空気は、リターンダクト４３、フィルター５１、冷却
コイル５３を通過し、送風機４７へと吸い込まれ、再び
強制気流となって吹出口３１から吹き出されるのであ
る。一方機器５自体からの発塵したダストを効率良く捕
集除去する為、アクセスフロア３９下において架台８１
の下部に配設された除塵機４５の送風機４５ａを駆動さ
せる。すると機器５周辺のダストは機器側吸込口６０か
ら強く吸引されてダクト４５ｄ，消音器４５ｃを経てＨ
ＥＰＡフィルター４５ｂに捕集される。すなわちダスト
を含む空気は、このＨＥＰＡフィルター４５ｂによる前
段ろ過処理で清浄されてリターンダクト４３に放出され
る。つまり室内７のダストも機器５自体から発塵したダ
ストもすべて捕集除去され、気流は再び天井の吹出口３
１から放出されることになる。
テムにおいて、送風機４７が駆動されると、サプライチ
ャンバー５７、メインダクト５９を介して空気が送風さ
れ、吹出口３１から気流が機器５方向に強制的に吹き出
される。吹出口３１から吹き出された気流は内部が低
速、外周が高速な空気流すなわちエアカーテンを形成し
て機器５を包みグレーチング吸込口４１に吸い込まれ
る。機器５がエアカーテンに包まれることで、機器５か
らの発塵、及び排熱はエアカーテンにより室内空気とは
遮断され、室内７に拡散されることなく、直接グレーチ
ング吸込口４１に吸い込まれる。いいかえれば、一方向
流方式の環境が機器５の周囲のみに局所的に形成される
ことになる。グレーチング吸込口４１に吸い込まれた室
内空気は、リターンダクト４３、フィルター５１、冷却
コイル５３を通過し、送風機４７へと吸い込まれ、再び
強制気流となって吹出口３１から吹き出されるのであ
る。一方機器５自体からの発塵したダストを効率良く捕
集除去する為、アクセスフロア３９下において架台８１
の下部に配設された除塵機４５の送風機４５ａを駆動さ
せる。すると機器５周辺のダストは機器側吸込口６０か
ら強く吸引されてダクト４５ｄ，消音器４５ｃを経てＨ
ＥＰＡフィルター４５ｂに捕集される。すなわちダスト
を含む空気は、このＨＥＰＡフィルター４５ｂによる前
段ろ過処理で清浄されてリターンダクト４３に放出され
る。つまり室内７のダストも機器５自体から発塵したダ
ストもすべて捕集除去され、気流は再び天井の吹出口３
１から放出されることになる。
【００１４】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るクリーンルームシステムは、機器を包む気流が吹き出
される吹出口を、中央の低速気流吹出区と周囲の高速気
流吹出区とに形成し、しかも当該吹出口をこの機器に対
向させて天井に配設し、この気流が吸い込まれる吸込口
を機器下方の床に配設したので、機器周囲は所謂エアー
カーテンで室内空気から遮断され、その結果ダストを室
内に拡散させることなく、直接吸込口に吸い込むことが
できる。更には機器自体から発塵したダストも他に拡散
する事なく効率良く捕集される。この結果、少ない循環
空気量で高い清浄度が確保でき、設備コスト、及びラン
ニングコストを著しく低減させることができる。
るクリーンルームシステムは、機器を包む気流が吹き出
される吹出口を、中央の低速気流吹出区と周囲の高速気
流吹出区とに形成し、しかも当該吹出口をこの機器に対
向させて天井に配設し、この気流が吸い込まれる吸込口
を機器下方の床に配設したので、機器周囲は所謂エアー
カーテンで室内空気から遮断され、その結果ダストを室
内に拡散させることなく、直接吸込口に吸い込むことが
できる。更には機器自体から発塵したダストも他に拡散
する事なく効率良く捕集される。この結果、少ない循環
空気量で高い清浄度が確保でき、設備コスト、及びラン
ニングコストを著しく低減させることができる。
【図１】本発明に係るクリーンルームシステムを表す説
明図である。
明図である。
【図２】アクセスフロア内の各配置状態を示す側面図で
ある。
ある。
【図３】同平面図である。
【図４】架台の説明図である。
【図５】アクセスフロアに設けた吸込口を説明する図で
ある。
ある。
【図６】乱流方式の空調システムを表す説明図である。
【図７】一方向流方式の空調システムを表す説明図であ
る。
る。
５ 機器 ３２ 吹出口 ３９ 床（アクセスフロア） ４１ 吸込口（グレーチング吸込口） ４５ 除塵機 ６０ 機器側吸込口 ８１ 架台
フロントページの続き (72)発明者 幅田 勉 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地信越半導体株式会社白河工場内 (72)発明者 渡部 純三 宮城県仙台市太白区郡山１丁目19−１− 116 (72)発明者 小崎 良男 宮城県仙台市泉区寺岡２丁目９−14 (72)発明者 望月 明 東京都港区元赤坂一丁目２番７号 鹿島建 設株式会社内 (72)発明者 長屋 善雄 東京都港区元赤坂一丁目２番７号 鹿島建 設株式会社内 (72)発明者 小川 泰男 東京都港区元赤坂一丁目２番７号 鹿島建 設株式会社内 (72)発明者 牟田 惟義 東京都港区元赤坂一丁目２番７号 鹿島建 設株式会社内 (72)発明者 荒 勇 宮城県仙台市青葉区二日町１番27号 鹿島 建設株式会社東北支店内
Claims (3)
- 【請求項１】 高天井クリーンルームに於いて、機器の
周囲に強制的に気流を形成し、当該気流で機器の発塵排
熱を室外に排出する局所処理ゾーンを有するクリーンル
ームシステムであって、前記機器を包む強制気流が吹き
出される吹出口を当該機器に対向させて配置し、当該吹
出口が中央吹出区と、当該中央吹出区を完全に囲む外側
吹出区とからなり、該吹出口から当該機器全体を囲み且
つ断面において、外周部高速、中央部に該外周部の速度
を超えない強制気流が形成され、当該強制気流が吸い込
まれる吸込口を、当該吹出口に対向させて、その下流の
当該機器周囲に配設したことを特徴とするクリーンルー
ムシステム。 - 【請求項２】 前記機器はアクセスフロアの下部に配置
された架台上に載置され、当該架台の内部にＨＥＰＡフ
ィルターと送風機とを一体化してなる除塵機が配設され
るとともに、当該機器を取り囲み且つ当該機器に接近し
て設けたアクセスフロア上の吸込口から、当該機器周辺
のダストを含む空気を吸い込み、前記除塵機によって前
段ろ過処理することを特徴とする請求項１記載のクリー
ンルームシステム。 - 【請求項３】 室内空気を攪拌し、室内の塵埃、排熱を
室外に排出する乱流方式あるいは室内空気を一方向気流
によって室内の塵埃、排熱を室外に排出する一方向流方
式の空調システムとを併設する請求項１及び請求項２記
載のクリーンルームシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4335482A JP2780235B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | クリーンルームシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4335482A JP2780235B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | クリーンルームシステム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159751A true JPH06159751A (ja) | 1994-06-07 |
| JP2780235B2 JP2780235B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=18289069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4335482A Expired - Lifetime JP2780235B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | クリーンルームシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780235B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1163577A (ja) * | 1997-08-14 | 1999-03-05 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリーンルーム用局所冷却装置 |
| JP2002138620A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 引上げ室 |
| US6454177B1 (en) * | 2000-09-18 | 2002-09-24 | Hitachi, Ltd. | Air-conditioning controlling system |
| JP2008297046A (ja) * | 2007-05-30 | 2008-12-11 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 気流制御方法および保管倉庫設備 |
| US20100112926A1 (en) * | 2007-06-25 | 2010-05-06 | Unitec Inc. | Unit type clean room |
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| JPH0252032U (ja) * | 1988-10-03 | 1990-04-13 | ||
| JPH03113221A (ja) * | 1989-09-28 | 1991-05-14 | Hitachi Reinetsu Kk | 局所清浄の気流制御装置 |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP4335482A patent/JP2780235B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US8371912B2 (en) * | 2007-06-25 | 2013-02-12 | Unitec Inc. | Unit type clean room |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2780235B2 (ja) | 1998-07-30 |
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