JPH03113221A - 局所清浄の気流制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、局所清浄の気流制御装置に係り、特に、例え
ば半導体製造工程などで必要な部分だけ高清浄度にして
省エネルギー化を図るのに好適な局所清浄の気流制御装
置に関するものである。

［従来技術］ まず、従来技術を第６図を参照して説明する。

第６図は、従来の局所清浄を示すクリーンルームの略示
構成図である。

一般に、例えば半導体製造工程などのクリーンルームに
おいて、室内の清浄度を高くするには高性能フィルター
を用い、室内循環風量も多くする必要がある。したがっ
て、送風機動力が大きくなり、運動動力費が増大してく
る。そこで、必要な部分だけ高清浄度にする局所清浄の
気流制御装置が開発されるに至った。第６図はその一例
である。

第６図において、ＩＡはクリーンルーム、２は。

室内の天井面、３は天井部空間、４は、室内の床面で、
開孔床５Ａとなっている。６は床下空間、７は、循環気
流を発生する送風機、８は、床下空間６と天井部空間３
とを接続する気流循環用のダクトである。９Ａは、天井
面２に配設したフィルターであり、実線矢印は気流の流
れ方向を示す。

室内に２点鎖線で示した空間が高清浄度領域を形成すべ
き対象域である。この対象域上部の天井面にはフィルタ
ー９Ａおよび独立した送風機１１を有するフィルターユ
ニット１２Ａが設けられている。

高清浄度対象域の循環気流の風速Ｖ工は、対象域外の風
速ｖ２より遅く、Ｖ、＜Ｖ、となっている。

［発明が解決しようとする課題］ 従来、局所清浄を行うには、間仕切りを設けるとか、上
記第６図の例のように高清浄度対象域の気流風速Ｖ工を
他の領域の気流風速ｖ２より遅くして塵埃の巻き込みを
防止している。しかし、この局所清浄の気流制御は、室
内を全面ダウンフローにした場合、つまり天井面２のフ
ィルター９Ａを経て循環気流が床面４（開孔床５）へ向
って全面流下する場合にしか適用できないものであった
。

本発明は、上記従来技術における課題を解決するために
なされたもので、室内全体の清浄度を高くする必要がな
く１周囲風速に関係なく局所の気流制御を可能にし、必
要な対象域のみを高清浄度にして省エネルギー化を図り
うる局所清浄の気流制御装置を提供することを、その目
的とるすものである。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明の局所清浄の気流制
御装置に係る第１の発明の構成は、循環気流によって室
内の局所に高清浄度領域を形成する局所清浄の気流制御
装置において、高清浄度対象域上部の天井面に浄化手段
を設け、この浄化手段の周り域に、高清浄度領域の気流
風速より大きい風速の気流層を形成するように流路を絞
った周り域吹出口を設けたものである。

また、本発明の局所清浄の気流制御装置に係る第２の発
明の構成は、循環気流によって室内の局所に高清浄度領
域を形成する局所清浄の気流制御装置において、高清浄
度対象域上部の天井面に、少なくともフィルターと当該
フィルターに隣接して流路を絞った送風路とを有するフ
ィルターユニットを設けるものとして、異なる形状の複
数組のフィルターユニットを組合わせて、少なくともい
ずれかのフィルターユニットに送風機を有するように構
成して、所望の局部清浄気流流下部を形成したものであ
る。

［作用］ 上記技術的手段による働きは次のとおりである。

高清浄度対象域の上部に浄化手段に係るフィルターを設
け、清浄気流の流下速度をｖ２とする。そして、前記フ
ィルターの周りに、ノズルの如く、あるいはスリット形
状に流路を絞った周り域吹出口を形成し、このように流
路を絞ることによって高清浄度域の周り域の気流風速ｖ
２を前記高清浄度域の気流流速より太きく　（Ｖ工＜ｖ
ｚ）して、塵埃をその周り域の気流へ巻き込ませ、高清
浄度対象域への塵埃の影響を防ぐことができる。

また、前述゛のフィルターと周り域との組合せパターン
を複数種類（例えば６種類）設けてこれを組み合わせる
ことによって所望のフィルターユニットを構成し、高清
浄度対象域面積を任意に選定することができる。

［実施例］ 以下、本発明の各実施例を第１図ないし第５図を参照し
て説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る局所清浄の気流制御
装置を備えたクリーンルームの略示構成図、第２図は、
本発明の一実施例に係るフィルターユニットの略示構成
図、第３図は、本発明の他の実施例に係る局所清浄の気
流制御装置の略示構成図、第４図は、本発明のさらに他
の実施例に係るフィルターユニットの略示構成図、第５
図は、フィルターユニットを構成するフィルタ一部と周
り域との組合せパターンを説明する説明図である。

図中、先の第６図と同一符号のものを、従来技術と同等
部分であるから、その詳細な説明を省略する。

第１図に示すクリーンルーム１は、２点鎖線で示した空
間が高清浄度領域を形成すべき対象域である。この高清
浄度領域の上部の天井面２には、本実施例の局所清浄の
気流制御装置が配設され。

この高清浄度対象域の下部の床面４は開口床５（開口位
置は図示に限らず適宜適正な位置に変えてもよい）とな
っている。

一方、高清浄度対象域外の他の室内は、天井面２の一部
にフィルター９を設け、床面４の一部を開口床とし、高
清浄度を必要としない領域として循環気流が流通してい
る。

次に、本実施例の局所清浄の気流制御装置について第１
図を参照して説明する。

第１図において、１ｏは、高清浄度対象域上部の天井面
に配設された浄化手段に係るフィルター１１は、局所清
浄の気流を送出するための送風機、１３は、前記フィル
ター１０の周り域に、高清浄度領域の気流風速ｖ１より
大きい風速ｖ２の気流層を形成するように、ノズル状あ
るいはスリット形状に流路を絞った周り域吹出口である
。１３ａは、その流路絞り部を示す。そして、１２は、
前記フィルター１０．送風機１１９周り域吹出口１３を
備えてなるフィルターユニットである。

次に、このようなりリーンルームにおける局所清浄の気
流制御の作用を説明する。

クリーンルーム１内には、天井面２から流下する気流が
開口床５から床下空間を経て、送風機７の働きによりダ
クト８を流通して天井部空間３に入り、以下循環する。

高清浄度対象域については、天井部空間３内の空気の一
部は送風機１１によってフィルター１０および周り域吹
出口１３へ送風される。フィルター１０を通過した気流
は、風速Ｖ□で高清浄度領域を流下する。同時に、フィ
ルター１０の周りにある周り域吹出口１３から吹き出す
気流層の風速ｖ２は、高清浄度領域の気流の風速ｖ１よ
り大きい風速で流下しクリーンルーム内の高清浄度対象
域外の領域との間にエヤカーテンを形成した如き状態と
なり、塵埃をその周り域の気流へ巻きこませ高清浄度領
域への塵埃の影響を防止する。

高清浄度領域を流下した気流は開孔床５から床下空間６
に入り、ダクト８から天井部空間３へ入り、以下循環す
る。

本実施例によれば、例えば半導体製造工程などで製造装
置のレイアウト変更等に対応しやすく、室内全体の清浄
度を高くする必要がないので省エネルギー化を図ること
ができる。

次に、本発明の他の実施例を説明する。

第２図に示すフィルターユニット１２Ｂは、第１図に示
したフィルターユニット１２に対して。

周り域吹出口１３の上流側（流路絞り部１３ａと送風機
１１との間）に風量調整装置１４を設けたものである。

この風量調整装置１４は回転羽根を回動することによっ
て流路断面積を制御し風量を調整するものである。

第２図の実施例によれば、風量調整と流路絞り部１３ａ
との相乗作用により高清浄度領域の周り域の気流層の風
速を所望の状態に制御することができる。

次に、第３図に示す装置は、高清浄度対象域上部の天井
面に、フィルター１０と送風機１１Ｃとを有するフィル
ターユニット１２Ｃを設け、このフィルターユニット１
２Ｃの周り域に、流路絞り部１３ａを形成した周り域吹
出口１３を設け、この周り域吹出口１３の上流側にフィ
ルター１５と送風機１６とを設けたものである。

そして、第３図の実施例では、周り域吹出口１３、フィ
ルター１５．送風機１６によってフィルターユニット１
７が構成されており、フィルターユニット１２Ｃ，１７
の組み合わせにより局所清浄の気流制御装置が構成され
ている。

第３図の実施例によれば、先の第１図の実施例で説明し
たものと同様の効果が期待されるほか、周り域の吹出し
空気も清浄になるので、高清浄度領域における塵埃の影
響になるので、高清浄度領域におけ−る塵埃の影響はよ
り少なくなり、清浄度をより高めることができるという
本実施例特有の効果がある。

次に、第４図に示すフィルターユニット１２Ｄは、第２
図に示したフィルターユニット１２Ｂにさらに周り域吹
出口を付加した構成のものである。

すなわち、第４図に示すフィルターユニット１２Ｄは、
高清浄度対象域上部の天井面に位置すべきフィルター１
０と、そのフィルター１０の周り域（第４図ではフィル
ター１０の左右のみを示す）に周り域吹出口１３−１．
１３−２を形成し、その流路絞り部１３ａの上流側に風
量調整装置１４−１．１４−２と、送風機１１Ｄとを有
するものである。

第４図の実施例によれば、先の第１図の実施例で説明し
たものと同様の効果が期待される。

上記各実施例で説明したように、高清浄度対象域上部の
天井面に、少なくともフィルター１０と、当該フィルタ
ー１０に隣接して流路を絞った送風路（周り域吹出口１
３）とを有するフィルターユニットを設けるものとして
、第５図（ａ）ないしくｆ）に示すような異なる形状の
複数組（ここでは６種類）のフィルターユニットを製作
しておき。

これを組合わせて、第５図（ｇ）に示す一例のような高
清浄度対象域面積を任意に選定し、所望の局部清浄気流
流下部を形成することができる。

なお、前述の各実施例は、クリーンルームの清浄度の高
低に関係なく広く採用できるとともに、温湿度精度の要
求される高清浄度領域にも適用できるものである。

［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、本発明によれば、室内全体
の清浄度を高くする必要がなく、周囲風速に関係なく局
所の気流制御を可能にし、必要な対象域のみを高清浄度
にして省エネルギー化を図りうる局所清浄の気流制御装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

以下、本発明の各実施例を第１図ないし第５図を参照し
て説明する。 第１図は、本発明の一実施例に係る局所清浄の気流制御
装置を備えたクリーンルームの略示構成図、第２図は、
本発明の一実施例に係るフィルターユニットの略示構成
図、第３図は１本発明の他の実施例に係る局所清浄の気
流制御装置の略示構成図、第４図は、本発明のさらに他
の実施例に係るフィルターユニットの略示構成図、第５
図は、フィルターユニットを構成するフィルタ一部と周
り域との組合せパターンを説明する説明図、第６図は、
従来の局所清浄を示すクリーンルームの略示構成図であ
る。 １・・・クリーンルーム、２・・・天井面、５・・・開
孔床。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、循環気流によって室内の局所に高清浄度領域を形成
   する局所清浄の気流制御装置において、高清浄度対象域
   上部の天井面に浄化手段を設け、この浄化手段の周り域
   に、高清浄度領域の気流風速より大きい風速の気流層を
   形成するように流路を絞った周り域吹出口を設けたこと
   を特徴とする局所清浄の気流制御装置。 ２、高清浄度対象域上部の天井面に浄化手段を設け、こ
   の浄化手段の周り域に、流路を絞った周り域吹出口を形
   成し、この周り域吹出口の上流側に送風機と風量調整手
   段とを設けたことを特徴とする請求項１記載の局所清浄
   の気流制御装置。 ３、高清浄度対象域上部の天井面に、送風機とフィルタ
   ーとを有するフィルターユニットを設け、このフィルタ
   ーユニットの周り域に、流路を絞った周り域吹出口を形
   成し、この周り域吹出口の上流側に独立した送風機とフ
   ィルターとを設けたことを特徴とする請求項１記載の局
   所清浄の気流制御装置。 ４、循環気流によって室内の局所に高清浄度領域を形成
   する局所清浄の気流制御装置において、高清浄度対象域
   上部の天井面に、少なくともフィルターと当該フィルタ
   ーに隣接して流路を絞った送風路とを有するフィルター
   ユニットを設けるものとして、異なる形状の複数組のフ
   ィルターユニットを組合わせて、少なくともいずれかの
   フィルターユニットに送風機を有するように構成して、
   所望の局部清浄気流下部を形成したことを特徴とする局
   部清浄の気流制御装置。