JPH06163761A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPH06163761A JPH06163761A JP4331003A JP33100392A JPH06163761A JP H06163761 A JPH06163761 A JP H06163761A JP 4331003 A JP4331003 A JP 4331003A JP 33100392 A JP33100392 A JP 33100392A JP H06163761 A JPH06163761 A JP H06163761A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- insulating substrate
- magnetic sensor
- heat dissipation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/015—Manufacture or treatment of bond wires
- H10W72/01515—Forming coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡易な構成で、磁気センサにおける磁気感度
のばらつきを小さくすることを可能にする。 【構成】 絶縁基板１１における磁性薄膜１２の形成面
とは反対側の面に、非磁性金属からなる放熱部材１３を
当接配置し、熱伝導が良好でない絶縁基板１１に蓄えら
れようとする磁性薄膜１２からの熱を、放熱部材１３を
通して外部に放熱させ、磁性薄膜１２の感磁パターンを
ほぼ均質な温度すなわち均質な熱抵抗に維持するように
したもの。
のばらつきを小さくすることを可能にする。 【構成】 絶縁基板１１における磁性薄膜１２の形成面
とは反対側の面に、非磁性金属からなる放熱部材１３を
当接配置し、熱伝導が良好でない絶縁基板１１に蓄えら
れようとする磁性薄膜１２からの熱を、放熱部材１３を
通して外部に放熱させ、磁性薄膜１２の感磁パターンを
ほぼ均質な温度すなわち均質な熱抵抗に維持するように
したもの。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板上に磁性薄膜
を備えた磁気センサに関する。
を備えた磁気センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ロータリエンコーダーや回転
検出器等において、磁気センサが広く用いられている。
磁気センサは、絶縁基板上に磁性薄膜を形成したもので
あり、例えば図３に示されているように、絶縁基板とし
てのガラス基板１上に、磁気検出用の磁性薄膜としての
磁気抵抗薄膜２が、所定の感磁パターンを構成するよう
に形成されている。この磁気抵抗薄膜２は、保護膜３に
より被覆されている。また上記磁気抵抗薄膜２の一端部
（図示左端）からは、ハンダ４を介して導電端子５が引
き出されており、上記ハンダ４は、端子塗料６により被
覆され保護されている。
検出器等において、磁気センサが広く用いられている。
磁気センサは、絶縁基板上に磁性薄膜を形成したもので
あり、例えば図３に示されているように、絶縁基板とし
てのガラス基板１上に、磁気検出用の磁性薄膜としての
磁気抵抗薄膜２が、所定の感磁パターンを構成するよう
に形成されている。この磁気抵抗薄膜２は、保護膜３に
より被覆されている。また上記磁気抵抗薄膜２の一端部
（図示左端）からは、ハンダ４を介して導電端子５が引
き出されており、上記ハンダ４は、端子塗料６により被
覆され保護されている。
【０００３】さらに図３中の二点鎖線で示されているよ
うに、樹脂材等の非磁性部材からなる支持枠（センサホ
ルダー）７に、上述した構成の磁気センサを取り付ける
構成がしばしば採用されている。
うに、樹脂材等の非磁性部材からなる支持枠（センサホ
ルダー）７に、上述した構成の磁気センサを取り付ける
構成がしばしば採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところがこのような構
成を有する従来の磁気センサでは、絶縁基板１及び支持
枠（センサホルダー）７の熱伝導が良好でなく、そのた
め磁性薄膜の感磁パターンのそれぞれに温度差が発生す
ることがある。このような温度差を生じると、温度差に
対応して感磁パターンの抵抗値が変化してしまい、磁気
感度をばらつかせる原因となる。
成を有する従来の磁気センサでは、絶縁基板１及び支持
枠（センサホルダー）７の熱伝導が良好でなく、そのた
め磁性薄膜の感磁パターンのそれぞれに温度差が発生す
ることがある。このような温度差を生じると、温度差に
対応して感磁パターンの抵抗値が変化してしまい、磁気
感度をばらつかせる原因となる。
【０００５】そこで本発明は、簡易な構造で磁気感度を
均質に維持することができるようにした磁気センサを提
供することを目的とする。
均質に維持することができるようにした磁気センサを提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明にかかる第１の手段は、絶縁基板上に磁性薄膜を
形成した磁気センサにおいて、上記絶縁基板における磁
性薄膜形成面と反対側の面に、非磁性金属からなる放熱
部材を当接して配置した構成を有している。また本発明
にかかる第２の手段は、上記第１の手段において、磁性
薄膜が磁気抵抗薄膜からなる構成を有している。さらに
本発明にかかる第３の手段は、上記第１の手段におい
て、放熱部材が非磁性の板状金属からなる構成を有して
いる。さらにまた本発明にかかる第４の手段は、上記第
１の手段において、放熱部材が非磁性の厚膜ペーストか
らなる構成を有している。本発明にかかる第５の手段
は、上記第１の手段において、絶縁基板及び放熱部材が
非磁性部材からなる支持枠に取り付けらた構成を有して
いる。
本発明にかかる第１の手段は、絶縁基板上に磁性薄膜を
形成した磁気センサにおいて、上記絶縁基板における磁
性薄膜形成面と反対側の面に、非磁性金属からなる放熱
部材を当接して配置した構成を有している。また本発明
にかかる第２の手段は、上記第１の手段において、磁性
薄膜が磁気抵抗薄膜からなる構成を有している。さらに
本発明にかかる第３の手段は、上記第１の手段におい
て、放熱部材が非磁性の板状金属からなる構成を有して
いる。さらにまた本発明にかかる第４の手段は、上記第
１の手段において、放熱部材が非磁性の厚膜ペーストか
らなる構成を有している。本発明にかかる第５の手段
は、上記第１の手段において、絶縁基板及び放熱部材が
非磁性部材からなる支持枠に取り付けらた構成を有して
いる。
【０００７】
【作用】このような構成を有する各手段においては、熱
伝導が良好でない絶縁基板及びホルダーに蓄えられよう
とする磁性薄膜からの熱が、放熱部材を通して外部に放
熱され、磁性薄膜の感磁パターンのそれぞれがほぼ均質
な温度に維持されるため、磁気センサの熱抵抗が減少さ
れて均質に維持されるようになっている。
伝導が良好でない絶縁基板及びホルダーに蓄えられよう
とする磁性薄膜からの熱が、放熱部材を通して外部に放
熱され、磁性薄膜の感磁パターンのそれぞれがほぼ均質
な温度に維持されるため、磁気センサの熱抵抗が減少さ
れて均質に維持されるようになっている。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１に示されている実施例は、例えばＭＲ
センサに本発明を適用したものであって、図に示されて
いるように、絶縁基板１１の片面（図示上面）上に、磁
気検出用の磁性薄膜１２が、所定の感磁パターンを構成
するように形成されている。このとき上記絶縁基板１１
としては、ガラス、セラミック、シリコン、サファイ
ア、石英、ガラスセラミック等の材料が用いられるとと
もに、前記磁性薄膜１２は、例えば磁気抵抗薄膜として
形成されている。なお図１中において、上記磁気抵抗薄
膜１２から引き出される導電端子及び磁性薄膜１２に被
覆される保護膜の図示は省略されている。
に説明する。図１に示されている実施例は、例えばＭＲ
センサに本発明を適用したものであって、図に示されて
いるように、絶縁基板１１の片面（図示上面）上に、磁
気検出用の磁性薄膜１２が、所定の感磁パターンを構成
するように形成されている。このとき上記絶縁基板１１
としては、ガラス、セラミック、シリコン、サファイ
ア、石英、ガラスセラミック等の材料が用いられるとと
もに、前記磁性薄膜１２は、例えば磁気抵抗薄膜として
形成されている。なお図１中において、上記磁気抵抗薄
膜１２から引き出される導電端子及び磁性薄膜１２に被
覆される保護膜の図示は省略されている。
【０００９】また上記絶縁基板１１における磁性薄膜１
２の形成面とは反対側の面（図示下面）に、板状の放熱
部材１３が当接するようにして配置されている。この放
熱部材１３は、Cr、Cu、Al、Ag、Au等の非磁性金属ある
いは厚膜ペーストから形成されている。
２の形成面とは反対側の面（図示下面）に、板状の放熱
部材１３が当接するようにして配置されている。この放
熱部材１３は、Cr、Cu、Al、Ag、Au等の非磁性金属ある
いは厚膜ペーストから形成されている。
【００１０】このような実施例にかかる磁気センサにお
いては、磁性薄膜１２からの熱が、熱伝導が良好でない
絶縁基板１１に蓄えられようとしても、図１中の矢印で
示されているように上記熱は、放熱部材１３を通して外
部に放熱される。そのため磁性薄膜１２を構成する感磁
パターンのそれぞれが、ほぼ均質な温度に維持され、そ
れに伴って熱抵抗が均質となるように減少し維持される
ことから、磁気感度が均質化されるようになっている。
いては、磁性薄膜１２からの熱が、熱伝導が良好でない
絶縁基板１１に蓄えられようとしても、図１中の矢印で
示されているように上記熱は、放熱部材１３を通して外
部に放熱される。そのため磁性薄膜１２を構成する感磁
パターンのそれぞれが、ほぼ均質な温度に維持され、そ
れに伴って熱抵抗が均質となるように減少し維持される
ことから、磁気感度が均質化されるようになっている。
【００１１】また図２に示された実施例では、上述した
実施例の磁気センサにおける絶縁基板１１及び放熱部材
１３が、支持枠としてのセンサホルダー１４に取り付け
られている。上記センサホルダー１４は、非磁性の高分
子プラスチックあるいは非磁性金属材料から形成されて
いる。
実施例の磁気センサにおける絶縁基板１１及び放熱部材
１３が、支持枠としてのセンサホルダー１４に取り付け
られている。上記センサホルダー１４は、非磁性の高分
子プラスチックあるいは非磁性金属材料から形成されて
いる。
【００１２】このような第２実施例にかかる磁気センサ
においても、熱伝導が良好でない絶縁基板１１及びセン
サホルダー１４に蓄えられようとする磁性薄膜１２から
の熱が、放熱部材１３を通して外部に放熱され、上記第
１実施例と同様な作用・効果が得られる。
においても、熱伝導が良好でない絶縁基板１１及びセン
サホルダー１４に蓄えられようとする磁性薄膜１２から
の熱が、放熱部材１３を通して外部に放熱され、上記第
１実施例と同様な作用・効果が得られる。
【００１３】なお本発明は、ＭＲセンサ以外の磁気セン
サに対しても同様に適用することができ、さらに磁気抵
抗薄膜以外の磁性薄膜を有するあらゆるタイプの磁気セ
ンサに対しても同様に適用することができる。
サに対しても同様に適用することができ、さらに磁気抵
抗薄膜以外の磁性薄膜を有するあらゆるタイプの磁気セ
ンサに対しても同様に適用することができる。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように本発明にかかる磁気セ
ンサは、絶縁基板における磁性薄膜形成面とは反対側の
面に、非磁性金属からなる放熱部材を当接配置し、熱伝
導が良好でない絶縁基板に蓄えられようとする磁性薄膜
からの熱を、放熱部材を通して外部に放熱させるように
したものであるから、簡易な構成で、磁性薄膜の感磁パ
ターンをほぼ均質な温度すなわち均質な熱抵抗に維持し
て、磁気センサにおける磁気感度のばらつきを小さくす
ることができ、磁気センサの信頼性を向上させることが
できる。
ンサは、絶縁基板における磁性薄膜形成面とは反対側の
面に、非磁性金属からなる放熱部材を当接配置し、熱伝
導が良好でない絶縁基板に蓄えられようとする磁性薄膜
からの熱を、放熱部材を通して外部に放熱させるように
したものであるから、簡易な構成で、磁性薄膜の感磁パ
ターンをほぼ均質な温度すなわち均質な熱抵抗に維持し
て、磁気センサにおける磁気感度のばらつきを小さくす
ることができ、磁気センサの信頼性を向上させることが
できる。
【図１】本発明の一実施例における磁気センサの構造を
表した縦断面説明図である。
表した縦断面説明図である。
【図２】本発明の他の実施例における磁気センサの構造
を表した縦断面説明図である。
を表した縦断面説明図である。
【図３】従来における磁気センサの構造例を表した縦断
面説明図である。
面説明図である。
１１ 絶縁基板 １２ 磁性薄膜 １３ 放熱部材 １４ センサホルダー
Claims (5)
- 【請求項１】 絶縁基板上に磁性薄膜を形成した磁気セ
ンサにおいて、 上記絶縁基板における磁性薄膜形成面と反対側の面に、
非磁性金属からなる放熱部材を当接して配置したことを
特徴とする磁気センサ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気センサにおいて、 磁性薄膜が、磁気抵抗薄膜からなることを特徴とする磁
気センサ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の磁気センサにおいて、 放熱部材が、非磁性の板状金属からなることを特徴とす
る磁気センサ。 - 【請求項４】 請求項１に記載の磁気センサにおいて、 放熱部材が、非磁性の厚膜ペーストからなることを特徴
とする磁気センサ。 - 【請求項５】 請求項１に記載の磁気センサにおいて、 絶縁基板及び放熱部材が、非磁性部材からなる支持枠に
取り付けられていることを特徴とする磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4331003A JPH06163761A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4331003A JPH06163761A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06163761A true JPH06163761A (ja) | 1994-06-10 |
Family
ID=18238745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4331003A Withdrawn JPH06163761A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06163761A (ja) |
-
1992
- 1992-11-17 JP JP4331003A patent/JPH06163761A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |