JPH08278196A - 赤外線検出器およびその製造方法 - Google Patents
赤外線検出器およびその製造方法Info
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- JPH08278196A JPH08278196A JP7081465A JP8146595A JPH08278196A JP H08278196 A JPH08278196 A JP H08278196A JP 7081465 A JP7081465 A JP 7081465A JP 8146595 A JP8146595 A JP 8146595A JP H08278196 A JPH08278196 A JP H08278196A
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- infrared
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- infrared detecting
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract
(57)【要約】
【目的】赤外線検知素子を精度よく支持することができ
る赤外線検出器を提供する。 【構成】赤外線検出器を構成する赤外線検知素子を支持
するため支持部を、導電ペ−ストを印刷して形成したの
で、支持部の位置精度を高く形成できるようになった。
る赤外線検出器を提供する。 【構成】赤外線検出器を構成する赤外線検知素子を支持
するため支持部を、導電ペ−ストを印刷して形成したの
で、支持部の位置精度を高く形成できるようになった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は赤外線検出器およびそ
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来の赤外線検出器３０を図４の側断
面図、図５の平面図を用いて説明する。
面図、図５の平面図を用いて説明する。
【０００３】赤外線検出器３０は、図４に示すように赤
外線検出素子１と、赤外線検出素子１が載置された基板
２と、赤外線検出素子１と基板２とを接続する支持部
３、３と、赤外線検出素子１に発生した電圧を出力する
ための出力リ−ド線４、４、４とが、ケ−ス５に収納さ
れた構成となっている。
外線検出素子１と、赤外線検出素子１が載置された基板
２と、赤外線検出素子１と基板２とを接続する支持部
３、３と、赤外線検出素子１に発生した電圧を出力する
ための出力リ−ド線４、４、４とが、ケ−ス５に収納さ
れた構成となっている。
【０００４】基板２はアルミナなどのセラミックからな
り、出力リ−ド線４、４、４が取り付けられている。
り、出力リ−ド線４、４、４が取り付けられている。
【０００５】支持部３、３は、セラミックからなり側面
に電極６、６が、半田メッキにより形成されている。支
持部３、３は半田により基板２に取り付けられるととも
に、出力リ−ド線４、４、４と電気的に接続されてい
る。支持部３、３には赤外線検出素子１が導電ペ−スト
により取り付けられ、電気的に接続されている。支持部
３、３が基板２と赤外線検出素子１の間に設けられてい
るので、基板２と赤外線検出素子１との間には間隙が形
成される。なお支持部３、３は電気伝導性を有する金属
から形成されている場合もある。
に電極６、６が、半田メッキにより形成されている。支
持部３、３は半田により基板２に取り付けられるととも
に、出力リ−ド線４、４、４と電気的に接続されてい
る。支持部３、３には赤外線検出素子１が導電ペ−スト
により取り付けられ、電気的に接続されている。支持部
３、３が基板２と赤外線検出素子１の間に設けられてい
るので、基板２と赤外線検出素子１との間には間隙が形
成される。なお支持部３、３は電気伝導性を有する金属
から形成されている場合もある。
【０００６】赤外線検出素子１は有機物である硫酸グリ
シンや、無機物であるタンタル酸リチウム、チタン酸
鉛、ニオブ酸ストロンチウム・バリウムから選ばれる材
料により形成された板状形状を有しており、その表面に
は図５（ａ）に示すように電極８ａが、裏面には図５
（ｂ）に示すように、電極８ｂ、８ｂがそれぞれ形成さ
れている。
シンや、無機物であるタンタル酸リチウム、チタン酸
鉛、ニオブ酸ストロンチウム・バリウムから選ばれる材
料により形成された板状形状を有しており、その表面に
は図５（ａ）に示すように電極８ａが、裏面には図５
（ｂ）に示すように、電極８ｂ、８ｂがそれぞれ形成さ
れている。
【０００７】ケ−ス５には支持部３、３により基板２に
取り付けられた赤外線検出素子１が収納され、赤外線検
出素子１に対向する部分には、波長選択性透過膜が形成
された透光性窓９が形成されている。
取り付けられた赤外線検出素子１が収納され、赤外線検
出素子１に対向する部分には、波長選択性透過膜が形成
された透光性窓９が形成されている。
【０００８】赤外線検出素子１に透光性窓９を透過した
赤外線が照射されると、赤外線検出素子１の温度が変化
することにより、赤外線検出素子１の自発分極が変化し
表面電荷の中和がやぶれて、出力リ−ド線４、４、４に
電圧が出力される。
赤外線が照射されると、赤外線検出素子１の温度が変化
することにより、赤外線検出素子１の自発分極が変化し
表面電荷の中和がやぶれて、出力リ−ド線４、４、４に
電圧が出力される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】 従来の赤外線検出器
の製造工程において、赤外線検出素子と支持部や、ある
いは支持部と基板との位置関係がずれることがあった。
その場合、赤外線検出素子に形成された電極の近傍の熱
流がばらつく。したがって、赤外線検出器に赤外線が入
射したとき、熱流のバラツキにより赤外線検出素子の温
度が変動し、赤外線検出器の出力が赤外線の入射量に対
して一定にならなかった。その問題を解決するために、
支持部と電極との間隔を十分に広くして、赤外線検出素
子の熱が支持部から基板にほとんど逃げなくし、多少支
持部と電極との位置関係にバラツキが生じても、赤外線
検出素子の温度が位置バラツキの影響を受けなくする方
法も考えられるが、この方法では赤外線検出器が大きく
なるという別の問題があった。さらに基板に窪みや穴を
形成して熱容量を小さくし、赤外線検出素子から熱が逃
げにくくする方法では、基板形状が複雑になるという問
題があった。
の製造工程において、赤外線検出素子と支持部や、ある
いは支持部と基板との位置関係がずれることがあった。
その場合、赤外線検出素子に形成された電極の近傍の熱
流がばらつく。したがって、赤外線検出器に赤外線が入
射したとき、熱流のバラツキにより赤外線検出素子の温
度が変動し、赤外線検出器の出力が赤外線の入射量に対
して一定にならなかった。その問題を解決するために、
支持部と電極との間隔を十分に広くして、赤外線検出素
子の熱が支持部から基板にほとんど逃げなくし、多少支
持部と電極との位置関係にバラツキが生じても、赤外線
検出素子の温度が位置バラツキの影響を受けなくする方
法も考えられるが、この方法では赤外線検出器が大きく
なるという別の問題があった。さらに基板に窪みや穴を
形成して熱容量を小さくし、赤外線検出素子から熱が逃
げにくくする方法では、基板形状が複雑になるという問
題があった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】 本発明の請求項１に係
る赤外線検出器は、焦電体からなり表裏両面に電極が形
成された赤外線検出素子が、支持部により基板と間隔を
設けて配置され、透光性窓を有するケ−スに収納された
赤外線検出器において、支持部が導電性粉末を含有した
有機化合物により形成され、前記赤外線検出素子の電極
と電気的に接続されていることを特徴とする。
る赤外線検出器は、焦電体からなり表裏両面に電極が形
成された赤外線検出素子が、支持部により基板と間隔を
設けて配置され、透光性窓を有するケ−スに収納された
赤外線検出器において、支持部が導電性粉末を含有した
有機化合物により形成され、前記赤外線検出素子の電極
と電気的に接続されていることを特徴とする。
【００１１】本発明の請求項２に係る赤外線検出器の製
造方法は、焦電体からなり表裏両面に電極が形成された
赤外線検出素子に、導電性粉末を含有する流動性有機化
合物を印刷し、さらに熱処理あるいは乾燥処理により固
化し、前記赤外線検出素子の電極と電気的に接続する支
持部を形成する工程と、該支持部を基板に固定する工程
とを含むことを特徴とする。
造方法は、焦電体からなり表裏両面に電極が形成された
赤外線検出素子に、導電性粉末を含有する流動性有機化
合物を印刷し、さらに熱処理あるいは乾燥処理により固
化し、前記赤外線検出素子の電極と電気的に接続する支
持部を形成する工程と、該支持部を基板に固定する工程
とを含むことを特徴とする。
【００１２】
【作用】 本発明に係る赤外線検出器は、焦電体からな
り表裏両面に電極が形成された赤外線検出素子が、導電
性粉末を含有する流動性有機化合物を印刷し、さらに熱
処理あるいは乾燥処理により固化して形成された支持部
を介して基板に接続されているので、電極に対する支持
部を、その位置を正確に保って形成できる。さらにまた
赤外線検出素子と、支持部と、基板との接続を同一の条
件で達成できる。
り表裏両面に電極が形成された赤外線検出素子が、導電
性粉末を含有する流動性有機化合物を印刷し、さらに熱
処理あるいは乾燥処理により固化して形成された支持部
を介して基板に接続されているので、電極に対する支持
部を、その位置を正確に保って形成できる。さらにまた
赤外線検出素子と、支持部と、基板との接続を同一の条
件で達成できる。
【００１３】
【実施例】 本発明の一実施例に係る赤外線検知器２０
を図１、２を用いて説明する。図１は赤外線検出器２０
の側断面図、図２は赤外線検出素子の裏面に形成された
電極の形状を示す平面図である。なお従来例と同一の部
分については同一の符号を用い、その説明を省略する。
を図１、２を用いて説明する。図１は赤外線検出器２０
の側断面図、図２は赤外線検出素子の裏面に形成された
電極の形状を示す平面図である。なお従来例と同一の部
分については同一の符号を用い、その説明を省略する。
【００１４】図において、赤外線検出器２０は、赤外線
検出素子１が基板２に載置され、透光性窓９を有するケ
−ス５に収納されている。
検出素子１が基板２に載置され、透光性窓９を有するケ
−ス５に収納されている。
【００１５】赤外線検出素子１の、透光性窓９に対向す
る面には電極８ａが、透光性窓９と反対側の面には電極
８ｂ、８ｂが形成されている。電極８ｂ、８ｂの形成面
には、導電性粉末を含有した有機化合物からなる支持部
３、３が、電極８ｂ、８ｂと接続するように形成されて
いる。基板２の支持部３、３と接続する部分には、接続
部１０、１０が形成されている。赤外線検出素子１の電
極８ａ、８ｂ、８ｂは、支持部３、３を介して、出力リ
−ド線４、４、４とそれぞれ電気的に接続されている。
る面には電極８ａが、透光性窓９と反対側の面には電極
８ｂ、８ｂが形成されている。電極８ｂ、８ｂの形成面
には、導電性粉末を含有した有機化合物からなる支持部
３、３が、電極８ｂ、８ｂと接続するように形成されて
いる。基板２の支持部３、３と接続する部分には、接続
部１０、１０が形成されている。赤外線検出素子１の電
極８ａ、８ｂ、８ｂは、支持部３、３を介して、出力リ
−ド線４、４、４とそれぞれ電気的に接続されている。
【００１６】次に本発明に係る赤外線検出器２０の製造
方法を説明する。
方法を説明する。
【００１７】赤外線検出器２０を構成する焦電性を有す
る赤外線検出素子１には、スパッタリング法およびドラ
イエッチング法により電極８ａ、８ｂ、８ｂが形成され
る。図２に示すように、赤外線検出素子１の電極８ｂ、
８ｂに電気的に接続するように支持部３、３が形成され
る。支持部３、３は、導電ペ−ストをスクリ−ン印刷法
により印刷し、その後、１１０℃で１時間熱処理するこ
とにより、乾燥固化して形成される。基板２にはスクリ
−ン印刷法により導電ペ−ストが接続部１０、１０とし
て形成される。そして赤外線検出素子１が支持部３、３
により、導電ペ−ストを用いて基板２の接続部１０、１
０に接続される。さらに赤外線検出素子１は、赤外線検
出素子１と電気的に接続し、電解効果トランジスタや抵
抗体から構成される回路（図示せず）が載置された基板
２とともにケ−ス５に収納されて、赤外線検出器２０が
完成する。
る赤外線検出素子１には、スパッタリング法およびドラ
イエッチング法により電極８ａ、８ｂ、８ｂが形成され
る。図２に示すように、赤外線検出素子１の電極８ｂ、
８ｂに電気的に接続するように支持部３、３が形成され
る。支持部３、３は、導電ペ−ストをスクリ−ン印刷法
により印刷し、その後、１１０℃で１時間熱処理するこ
とにより、乾燥固化して形成される。基板２にはスクリ
−ン印刷法により導電ペ−ストが接続部１０、１０とし
て形成される。そして赤外線検出素子１が支持部３、３
により、導電ペ−ストを用いて基板２の接続部１０、１
０に接続される。さらに赤外線検出素子１は、赤外線検
出素子１と電気的に接続し、電解効果トランジスタや抵
抗体から構成される回路（図示せず）が載置された基板
２とともにケ−ス５に収納されて、赤外線検出器２０が
完成する。
【００１８】赤外線検出素子１の支持部３、３は、上述
したようにスクリ−ン印刷法により形成されるので、そ
の位置を正確に形成することができる。なお支持部３、
３の高さを高くする場合は、複数回の印刷工程および乾
燥固化工程により形成される。
したようにスクリ−ン印刷法により形成されるので、そ
の位置を正確に形成することができる。なお支持部３、
３の高さを高くする場合は、複数回の印刷工程および乾
燥固化工程により形成される。
【００１９】なお本実施例においては、赤外線検出素子
１の両端に支持部３、３が形成された場合について説明
したが、図３に示すように４箇所に形成されていてもよ
い。さらに支持部３、３を形成する材料は、流動性を有
する印刷可能な材料で、しかも固化したあとで電気伝導
性を示すならば、導電ペ−ストに限定されるわけではな
くさまざまな導電性粉末を含有する流動性有機化合物を
用いることができる。このような流動性有機化合物を構
成する電気伝導性を付与する材料としては、金、銀、ニ
ッケル、銅、半田から選ばれる少なくとも一つの金属、
あるいは炭素、導電性金属酸化物、導電性金属炭化物か
ら選ばれる少なくとも一つのセラミックなどを用いるこ
とができる。
１の両端に支持部３、３が形成された場合について説明
したが、図３に示すように４箇所に形成されていてもよ
い。さらに支持部３、３を形成する材料は、流動性を有
する印刷可能な材料で、しかも固化したあとで電気伝導
性を示すならば、導電ペ−ストに限定されるわけではな
くさまざまな導電性粉末を含有する流動性有機化合物を
用いることができる。このような流動性有機化合物を構
成する電気伝導性を付与する材料としては、金、銀、ニ
ッケル、銅、半田から選ばれる少なくとも一つの金属、
あるいは炭素、導電性金属酸化物、導電性金属炭化物か
ら選ばれる少なくとも一つのセラミックなどを用いるこ
とができる。
【００２０】さらにまた基板２は、アルミナなどのセラ
ミック、ガラスエポキシあるいはフェノ−ル樹脂などに
より形成されていてもよい。
ミック、ガラスエポキシあるいはフェノ−ル樹脂などに
より形成されていてもよい。
【００２１】
【発明の効果】 本発明に係る赤外線検出器は、赤外線
検出素子の支持部が、導電性粉末を含有する有機化合物
により形成されているので、支持部を赤外線検出素子上
に印刷し固化する工程により形成することができるの
で、赤外線検出素子と支持部との位置関係を正確に保つ
事ができる。したがって、赤外線検出素子から支持部に
流れる熱流が常に一定となり、赤外線検出器の出力バラ
ツキがほとんど生じない。
検出素子の支持部が、導電性粉末を含有する有機化合物
により形成されているので、支持部を赤外線検出素子上
に印刷し固化する工程により形成することができるの
で、赤外線検出素子と支持部との位置関係を正確に保つ
事ができる。したがって、赤外線検出素子から支持部に
流れる熱流が常に一定となり、赤外線検出器の出力バラ
ツキがほとんど生じない。
【図１】本発明に係る一実施例赤外線検出器の側断面図
である。
である。
【図２】本発明の一実施例赤外線検出器を構成する赤外
線検出素子の平面図である。
線検出素子の平面図である。
【図３】本発明の別の実施例赤外線検出器を構成する赤
外線検出素子の平面図である。
外線検出素子の平面図である。
【図４】従来の赤外線検出器の側断面図である。
【図５】従来の赤外線検出器を構成する赤外線検出素子
の平面図である。
の平面図である。
１ 赤外線検出素子 ２ 基板 ３ 支持部 ４ 出力リ−ド線 ５ ケ−ス ６、８ａ、８ｂ 電極 ９ 透光性窓 １０ 接続部 ２０、３０ 赤外線検出器
Claims (2)
- 【請求項１】 焦電体からなり表裏両面に電極が形成さ
れた赤外線検出素子が、支持部により基板と間隔を設け
て配置され、透光性窓を有するケ−スに収納された赤外
線検出器において、支持部が導電性粉末を含有した有機
化合物により形成され、前記赤外線検出素子の電極と電
気的に接続されていることを特徴とする赤外線検出器。 - 【請求項２】 焦電体からなり表裏両面に電極が形成さ
れた赤外線検出素子に、導電性粉末を含有する流動性有
機化合物を印刷し、さらに熱処理あるいは乾燥処理によ
り固化し、前記赤外線検出素子の電極と電気的に接続す
る支持部を形成する工程と、該支持部を基板に固定する
工程とを含むことを特徴とする赤外線検出器の製造方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08146595A JP3209034B2 (ja) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | 赤外線検出器の製造方法 |
| DE69613503T DE69613503T2 (de) | 1995-04-06 | 1996-03-21 | Verfahren zur Herstellung eines Infrarotdetektors |
| EP96301949A EP0736911B1 (en) | 1995-04-06 | 1996-03-21 | Method of manufacturing an infrared detector |
| CN96103672.9A CN1076098C (zh) | 1995-04-06 | 1996-04-03 | 红外探测器及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08146595A JP3209034B2 (ja) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | 赤外線検出器の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08278196A true JPH08278196A (ja) | 1996-10-22 |
| JP3209034B2 JP3209034B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=13747155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08146595A Expired - Lifetime JP3209034B2 (ja) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | 赤外線検出器の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0736911B1 (ja) |
| JP (1) | JP3209034B2 (ja) |
| CN (1) | CN1076098C (ja) |
| DE (1) | DE69613503T2 (ja) |
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| US9274006B2 (en) | 2012-08-08 | 2016-03-01 | Nec Tokin Corporation | Infrared sensor |
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| CN101969101B (zh) * | 2010-09-30 | 2012-07-25 | 昆明物理研究所 | 酞菁稀土类有机红外半导体光导型探测器 |
| CN106124067B (zh) * | 2016-07-18 | 2019-01-18 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 红外探测像元结构及其制备方法、混合成像器件 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6018730A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-30 | Murata Mfg Co Ltd | 焦電型検出器 |
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| JPH06103656B2 (ja) * | 1988-09-30 | 1994-12-14 | 昭栄化学工業株式会社 | 積層コンデンサ内部電極用導電性塗料 |
| EP0558766B1 (en) * | 1991-09-24 | 1997-05-02 | Nohmi Bosai Ltd. | Pyroelectric element |
-
1995
- 1995-04-06 JP JP08146595A patent/JP3209034B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-03-21 DE DE69613503T patent/DE69613503T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-21 EP EP96301949A patent/EP0736911B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-03 CN CN96103672.9A patent/CN1076098C/zh not_active Expired - Lifetime
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