JPH0616469B2 - アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 - Google Patents
アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法Info
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- JPH0616469B2 JPH0616469B2 JP59280380A JP28038084A JPH0616469B2 JP H0616469 B2 JPH0616469 B2 JP H0616469B2 JP 59280380 A JP59280380 A JP 59280380A JP 28038084 A JP28038084 A JP 28038084A JP H0616469 B2 JPH0616469 B2 JP H0616469B2
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- 239000011888 foil Substances 0.000 title claims description 25
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/004—Details
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- H01G9/048—Electrodes or formation of dielectric layers thereon characterised by their structure
- H01G9/055—Etched foil electrodes
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチ
ング方法に関するものである。
ング方法に関するものである。
従来の技術 いわゆるアルミニウム電解コンデンサはアルミニウム電
極箔と絶縁紙とを巻回し駆動用電解液を含浸して構成さ
れているが、アルミニウム電極箔には単位面積当りの静
電容量を増すために、その表面をエッチングして凹凸を
形成し表面積を拡大したものが使用されている。
極箔と絶縁紙とを巻回し駆動用電解液を含浸して構成さ
れているが、アルミニウム電極箔には単位面積当りの静
電容量を増すために、その表面をエッチングして凹凸を
形成し表面積を拡大したものが使用されている。
つまり近年ＩＣ，ＬＳＩ等の発達により電解コンデンサ
においても更に小形化・薄型化が要求されており、この
ためには使用される電極箔の単位面積当りの静電容量を
増加することが必要なのである。
においても更に小形化・薄型化が要求されており、この
ためには使用される電極箔の単位面積当りの静電容量を
増加することが必要なのである。
従来よりアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチ
ング方法としては、強度の強い点を生かした第３図ａ，
ｂのような波形の交流電流によるエッチング方法があ
り、交流電流の波形に関する特許も出願されている（例
えば特開昭58-22390号公報）。
ング方法としては、強度の強い点を生かした第３図ａ，
ｂのような波形の交流電流によるエッチング方法があ
り、交流電流の波形に関する特許も出願されている（例
えば特開昭58-22390号公報）。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、ＯＦＦ時間のない従来の波形（正弦波，
矩形波等）では、化成電圧に応じて存在する最適ピット
径（腐食によって生じる凹凸の径）をエッチング時にコ
ントロールすることが難しく、今後さらにアルミニウム
電解コンデンサの小形化を追求して行くためには、拡面
倍率（＝エッチング後の電極箔の単位面積当りの静電容
量／エッチング前の電極箔の単位面積当りの静電容量）
が不十分であるという欠点があった。
矩形波等）では、化成電圧に応じて存在する最適ピット
径（腐食によって生じる凹凸の径）をエッチング時にコ
ントロールすることが難しく、今後さらにアルミニウム
電解コンデンサの小形化を追求して行くためには、拡面
倍率（＝エッチング後の電極箔の単位面積当りの静電容
量／エッチング前の電極箔の単位面積当りの静電容量）
が不十分であるという欠点があった。
本発明は上記に述べた従来の問題点を解決するもので、
塩酸溶液中でエッチングすることにより高い拡面倍率を
有するアルミニウム箔を得ることを目的とするものであ
る。
塩酸溶液中でエッチングすることにより高い拡面倍率を
有するアルミニウム箔を得ることを目的とするものであ
る。
問題点を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明は、塩酸溶液中で、対
向する２枚の極板間に極板と平行にアルミニウム箔を設
置し、アルミニウム箔には直接通電せず枚の極板間に交
流電流を流してアルミニウム箔の表面を電解エッチング
する際に、正及び負の半サイクル毎にエッチング電流が
ゼロになる時間（ＯＦＦ時間）を持ち、かつエッチング
電流が流れる時間（ＯＮ時間）中の電流波形が、正及び
負の半サイクルとも同一で、正弦波、矩形波、台形液ま
たは前記各波形にリップルを含んだ波形のいずれかであ
る電流波形を用いてエッチングするとともに、エッチン
グ電流が流れる時間（ＯＮ時間）を１０〜１００msec、
エッチング電流がゼロになる時間（ＯＦＦ時間）を２〜
３０msecとしたものである。
向する２枚の極板間に極板と平行にアルミニウム箔を設
置し、アルミニウム箔には直接通電せず枚の極板間に交
流電流を流してアルミニウム箔の表面を電解エッチング
する際に、正及び負の半サイクル毎にエッチング電流が
ゼロになる時間（ＯＦＦ時間）を持ち、かつエッチング
電流が流れる時間（ＯＮ時間）中の電流波形が、正及び
負の半サイクルとも同一で、正弦波、矩形波、台形液ま
たは前記各波形にリップルを含んだ波形のいずれかであ
る電流波形を用いてエッチングするとともに、エッチン
グ電流が流れる時間（ＯＮ時間）を１０〜１００msec、
エッチング電流がゼロになる時間（ＯＦＦ時間）を２〜
３０msecとしたものである。
作用 このＯＦＦ時間を持った電流波形でエッチングする作用
は以下のようである。
は以下のようである。
まず、ＯＮ時間の際に流れる電流によりアルミニウム箔
には微細な凹凸（ピット）が生ずるが、次のＯＦＦ時間
（電流の流れない時間）を適度にコントロールすること
により塩酸溶液中で進行する化学腐食をコントロール
し、微細な凹凸の径を化学電圧に応じた最適径にするこ
とができ、従来より高い拡面倍率を持ったアルミニウム
箔を得ることができる。またエッチング電流が流れる時
間（ＯＮ時間）とエッチング電流がゼロになる時間（Ｏ
ＦＦ時間）のバランスもピット生成と、ピット径の拡大
を効率よく実施するために非常に重要となるもので、本
発明においてはエッチング電流が流れる時間（ＯＮ時
間）を１０〜１００msec、エッチング電流がゼロになる
時間（ＯＦＦ時間）を２〜３０msecとしているため、ピ
ット生成と、ピット径の拡大を効率よく実施することが
できて、化成後の実効表面積を拡大することができるも
のである。すなわち、ＯＮ時間が１０msecより小さい
と、ピット径が小さすぎて化成後の実効表面積が拡大さ
れず、一方、１００msecより大きいエッチングが不均一
になり、ピットどうしがつぶし合って化成後の実効表面
積が拡大されない。またＯＦＦ時間が２msecより小さい
と、ピット径の最適化の効果はなく、一方、３０msecよ
り大きいと化学溶解が進行してピットの渦溶解が起こ
り、化成後の実効表面積が拡大されないものである。
には微細な凹凸（ピット）が生ずるが、次のＯＦＦ時間
（電流の流れない時間）を適度にコントロールすること
により塩酸溶液中で進行する化学腐食をコントロール
し、微細な凹凸の径を化学電圧に応じた最適径にするこ
とができ、従来より高い拡面倍率を持ったアルミニウム
箔を得ることができる。またエッチング電流が流れる時
間（ＯＮ時間）とエッチング電流がゼロになる時間（Ｏ
ＦＦ時間）のバランスもピット生成と、ピット径の拡大
を効率よく実施するために非常に重要となるもので、本
発明においてはエッチング電流が流れる時間（ＯＮ時
間）を１０〜１００msec、エッチング電流がゼロになる
時間（ＯＦＦ時間）を２〜３０msecとしているため、ピ
ット生成と、ピット径の拡大を効率よく実施することが
できて、化成後の実効表面積を拡大することができるも
のである。すなわち、ＯＮ時間が１０msecより小さい
と、ピット径が小さすぎて化成後の実効表面積が拡大さ
れず、一方、１００msecより大きいエッチングが不均一
になり、ピットどうしがつぶし合って化成後の実効表面
積が拡大されない。またＯＦＦ時間が２msecより小さい
と、ピット径の最適化の効果はなく、一方、３０msecよ
り大きいと化学溶解が進行してピットの渦溶解が起こ
り、化成後の実効表面積が拡大されないものである。
実施例 第１図は本発明によるＯＦＦ時間のある電流波形の例で
あり、第２図は塩酸溶液中で下記条件でエッチング後の
アルミニウム箔の化成電圧と静電容量との関係を示す図
である。
あり、第２図は塩酸溶液中で下記条件でエッチング後の
アルミニウム箔の化成電圧と静電容量との関係を示す図
である。
〔エッチング液〕５％HCl＋２％AlCl3 〔アルミニウム箔〕４Ｎ（９９．９９％）Ｏ材（軟質
材） 〔エッチング温度〕４０℃ 〔エッチング時間〕５min 〔エッチング波形〕ＯＮ……正弦波５０msec ＯＦＦ……(a)なし(b)１０msec(c)２０msec 第２図に示されるようにＯＦＦ時間のない従来波形に比
べ、ＯＦＦ時間のある本発明による波形での静電容量は
２０〜１００％高く、ＯＦＦ時間が増すとピット径が大
きくなるため、化成電圧が高くなる程その差が大きくな
ることがわかる。
材） 〔エッチング温度〕４０℃ 〔エッチング時間〕５min 〔エッチング波形〕ＯＮ……正弦波５０msec ＯＦＦ……(a)なし(b)１０msec(c)２０msec 第２図に示されるようにＯＦＦ時間のない従来波形に比
べ、ＯＦＦ時間のある本発明による波形での静電容量は
２０〜１００％高く、ＯＦＦ時間が増すとピット径が大
きくなるため、化成電圧が高くなる程その差が大きくな
ることがわかる。
発明の効果 以上のように本発明のエッチング方法は、塩酸溶液中
で、対向する２枚の極板間に極板と平行にアルミニウム
箔を設置し、アルミニウム箔には直接通電せず２枚の極
板間に交流電流を流してアルミニウム箔の表面を電解エ
ッチングする際に、正及び負の半サイクル毎にエッチン
グ電流がゼロになる時間（ＯＦＦ時間）を持ち、かつエ
ッチング電流が流れる時間（ＯＮ時間）中の電流波形
が、正及び負の半サイクルとも同一で、正弦波、矩形
波、台形波または前記各波形にリップルを含んだ波形の
いずれかである電流波形を用いてエッチングするととも
に、エッチング電流が流れる時間（ＯＮ時間）を１０〜
１００msec、エッチング電流がゼロになる時間（ＯＦＦ
時間）を２〜３０msecとしているため、塩酸溶液中で進
行する化学腐食のコントロールが行えて、微細なピット
径を化成電圧に応じた最適径にすることができ、その結
果、従来に比べて２０〜１００％拡面倍率が高く、かつ
高強度で単位面積当たりの静電容量が高いアルミニウム
電解コンデンサ用電極箔を製造することができるため、
この電極箔を製品に適用することにより、製品の小形化
及びコストダウンに大きく寄与するものである。
で、対向する２枚の極板間に極板と平行にアルミニウム
箔を設置し、アルミニウム箔には直接通電せず２枚の極
板間に交流電流を流してアルミニウム箔の表面を電解エ
ッチングする際に、正及び負の半サイクル毎にエッチン
グ電流がゼロになる時間（ＯＦＦ時間）を持ち、かつエ
ッチング電流が流れる時間（ＯＮ時間）中の電流波形
が、正及び負の半サイクルとも同一で、正弦波、矩形
波、台形波または前記各波形にリップルを含んだ波形の
いずれかである電流波形を用いてエッチングするととも
に、エッチング電流が流れる時間（ＯＮ時間）を１０〜
１００msec、エッチング電流がゼロになる時間（ＯＦＦ
時間）を２〜３０msecとしているため、塩酸溶液中で進
行する化学腐食のコントロールが行えて、微細なピット
径を化成電圧に応じた最適径にすることができ、その結
果、従来に比べて２０〜１００％拡面倍率が高く、かつ
高強度で単位面積当たりの静電容量が高いアルミニウム
電解コンデンサ用電極箔を製造することができるため、
この電極箔を製品に適用することにより、製品の小形化
及びコストダウンに大きく寄与するものである。
第１図は本発明のエッチング方法によるエッチング波形
例を示す図、第２図は本発明の効果を説明するための化
成電圧と静電容量との関係を示す図、第３図は従来のエ
ッチング方法におけるエッチング波形を示す図である。
例を示す図、第２図は本発明の効果を説明するための化
成電圧と静電容量との関係を示す図、第３図は従来のエ
ッチング方法におけるエッチング波形を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島谷 涼一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 遠山 健二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 神崎 信義 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭52−64660（ＪＰ，Ａ) 米国特許3294666（ＵＳ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】塩酸溶液中で、対向する２枚の極板間に極
板と平行にアルミニウム箔を設置し、アルミニウム箔に
は直接通電せず２枚の極板間に交流電流を流してアルミ
ニウム箔の表面を電解エッチングする際に、正及び負の
半サイクル毎にエッチング電流がゼロになる時間（ＯＦ
Ｆ時間）を持ち、かつエッチング電流が流れる時間（Ｏ
Ｎ時間）中の電流波形が、正及び負の半サイクルとも同
一で、正弦波、矩形波、台形波または前記各波形にリッ
プルを含んだ波形のいずれかである電流波形を用いてエ
ッチングするとともに、エッチング電流が流れる時間
（ＯＮ時間）を１０〜１００msec、エッチング電流がゼ
ロになる時間（ＯＦＦ時間）を２〜３０msecとしたアル
ミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59280380A JPH0616469B2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 |
| US06/813,861 US4681672A (en) | 1984-12-28 | 1985-12-27 | Method for etching electrode foils for an aluminium electrolytic capacitor |
| EP85116587A EP0189595B2 (en) | 1984-12-28 | 1985-12-27 | Method for etching electrode foils for an aluminium electrolytic capacitor |
| DE8585116587T DE3569003D1 (en) | 1984-12-28 | 1985-12-27 | Method for etching electrode foils for an aluminium electrolytic capacitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59280380A JPH0616469B2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61158133A JPS61158133A (ja) | 1986-07-17 |
| JPH0616469B2 true JPH0616469B2 (ja) | 1994-03-02 |
Family
ID=17624209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59280380A Expired - Lifetime JPH0616469B2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4681672A (ja) |
| EP (1) | EP0189595B2 (ja) |
| JP (1) | JPH0616469B2 (ja) |
| DE (1) | DE3569003D1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2847717B2 (ja) * | 1988-09-01 | 1999-01-20 | 松下電器産業株式会社 | アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法 |
| US5264110A (en) * | 1990-03-06 | 1993-11-23 | Dupont-Howson Ltd. Of Coal Road | Electrolytic square wave graining |
| US5500101A (en) * | 1993-12-28 | 1996-03-19 | Nihon Chikudenki Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of etching aluminum foil for electrolytic capacitor |
| US5715133A (en) * | 1995-06-21 | 1998-02-03 | Philips Electronics North America Corporation | Method of producing aluminum foil for electrolytic capacitors and product thereof |
| GB2358194B (en) * | 2000-01-17 | 2004-07-21 | Ea Tech Ltd | Electrolytic treatment |
| US6620306B2 (en) | 2000-11-29 | 2003-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing electrode foil for aluminum electrolytic capacitor and AC power supply unit |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| US3294666A (en) | 1963-07-02 | 1966-12-27 | Kentron Corp | Electrolytic treating apparatus including a pulsating d. c. power source |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US3616343A (en) | 1964-08-08 | 1971-10-26 | Inoue K | Electrochemical machining method |
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| JPS5264660A (en) * | 1975-11-21 | 1977-05-28 | Isaya Nagata | Method of alternatinggcurrent etching for electrolytic capacitor |
| JPS55158298A (en) * | 1979-05-30 | 1980-12-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | Manufacture of support for lithographic plate |
| US4297184A (en) * | 1980-02-19 | 1981-10-27 | United Chemi-Con, Inc. | Method of etching aluminum |
| US4315806A (en) * | 1980-09-19 | 1982-02-16 | Sprague Electric Company | Intermittent AC etching of aluminum foil |
| DE3127330A1 (de) | 1981-07-10 | 1983-01-27 | United Chemi-Con, Inc., 60018 Rosemont, Ill. | Verfahren zum elektrolytischen aetzen von aluminium |
| JPS5822390A (ja) * | 1981-08-02 | 1983-02-09 | ケーデーケー株式会社 | アルミニウムの腐蝕方法 |
| JPS59215500A (ja) * | 1983-05-19 | 1984-12-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 電解処理方法 |
| US4545875A (en) * | 1984-08-06 | 1985-10-08 | Polychrome Corporation | Electrolytic graining |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP59280380A patent/JPH0616469B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-12-27 US US06/813,861 patent/US4681672A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-27 EP EP85116587A patent/EP0189595B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-12-27 DE DE8585116587T patent/DE3569003D1/de not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3294666A (en) | 1963-07-02 | 1966-12-27 | Kentron Corp | Electrolytic treating apparatus including a pulsating d. c. power source |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61158133A (ja) | 1986-07-17 |
| US4681672A (en) | 1987-07-21 |
| EP0189595A2 (en) | 1986-08-06 |
| EP0189595B2 (en) | 1993-02-03 |
| EP0189595B1 (en) | 1989-03-22 |
| EP0189595A3 (en) | 1986-10-08 |
| DE3569003D1 (en) | 1989-04-27 |
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