JPH06165465A - モータおよびモータ回転検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ブラシレスモータのＦＧ（速度検出）信号，
ＰＧ（位置検出）信号の検出精度の向上を図る。 【構成】 駆動用マグネット１０１の多極着磁に対し
て、その奇数倍（２ｎ＋１）の多極着磁１０３を内周ま
たは外周に施し、さらにその１／２ピッチでＰＧ部１０
４を着磁している。これと対面する基板１０５上に、Ｆ
Ｇパターン１０６とＰＧパターン１０７の取り出しパタ
ーン部が奇数倍着磁部１０３にオーバーラップするよう
にして形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はモータおよびモータ回転
検出装置に関する。さらに詳しくは、本発明は扁平型ブ
ラシレスモータの速度および位相の検出、速度検出用周
波数発生機構、ならびに磁気記録再生装置のシリンダ駆
動用ブラシレスモータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、モータの速度検出（以下、ＦＧと
略する）は、モータ出力軸と同軸に回転してモータとは
別のＦＧ専用のマグネット（以下、ＭＧと略する）と検
出のパターンまたは磁界検知センサ等により構成されて
いたが、近年扁平のブラシレスモータ等では、特開昭５
２−５１５１２号公報等に示されるように、モータ駆動
用ロータＭＧの円板状の多極着磁に対向して検出パター
ンを設けて誘起電圧を発生させモータと一体にＦＧ装置
を構成する場合が多くなってきている。さらに、モータ
の回転位相を検知するための位置検出（以下、ＰＧと略
する）も同様に、従来モータにＰＧ用ＭＧを取り付けて
このＭＧを検出コイルや磁界検知センサ等で検出してい
たものが、特開昭６３−１８８７１７号公報に示される
ように、モータ駆動用ロータＭＧの一部にＰＧ用突起を
突出させて、この突起を検出パターンや検出コイルで検
出するようなモータと一体の構成が多くなってきてい
る。このようなモータ一体型の形態の中でＰＧ，ＭＧの
突起の代りに駆動ＭＧの多極着磁の中に１極の角度の１
／２角度の着磁を入れて、この着磁をＰＧ検出パターン
により検出する方法が提案されている。

【０００３】一方、従来、駆動用ＭＧがフェライト材の
場合には抗磁力が低いため、着磁した場合に、Ｎ極とＳ
極の境界が明確で線状であるため、図１に示すように、
発生した信号のＨｉｇｈ（ハイレベル），Ｌｏｗ（ロー
レベル）の立上り，立下りは直線状になる。だが、近年
モータの小型化として、より磁力の高い希土類やネオジ
系ＭＧを使用する傾向にあり、小型モータではほとんど
ネオジ系ＭＧを使用する傾向にある。

【０００４】また従来、磁気記録再生装置（以下、ＶＴ
Ｒと称する）のシリンダ装置は、特開昭５６−９８７１
５号公報に示されているように、回転上シリンダと固定
の下シリンダが同軸に配置され、駆動用モータは下シリ
ンダの下側に配置されていたが、近年ＶＴＲの小型化・
薄型化に伴い、下シリンダの下に配置していたモータを
上シリンダ側に内蔵して薄型化する場合が増加してい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような提案のＰＧ検出方法では、例えば多極着磁に対
してその着磁数の奇数倍の検出パターンを設けて、ＦＧ
周波数として通常得られるＦＧ周波数の奇数倍を得よう
としている場合において、ＰＧ信号の位置がうまく検出
できないという欠点があった。これは、ＰＧの着磁が図
２の符号１１０で示すように、多極着磁の１／２角度の
着磁で行う方法のため、図３に示すように、奇数倍のＦ
Ｇの１波長に対してＰＧの出力の波長の方が長くなって
しまい、ＰＧ位置とＦＧ位置の位相誤差が大きくなって
しまうためである。

【０００６】また、希土類やネオジ系ＭＧは磁力が高い
ため、着磁を行うためには、従来のフェライト材に比較
して着磁力を大幅に増大することが必要であるが、モー
タの小型化のため着磁ヨークが小さくなり、完全な飽和
着磁が困難な状態であった。このため、図４に示すよう
にＮ極とＳ極の境界２０９が不明確となり、場合によっ
ては無着磁領域の幅がかなり大きくなったりしてしまっ
た。

【０００７】このような状態で図５に示すような通常の
ＦＧ検出でのＦＧ出力では、図６に示すようにＨｉｇ
ｈ，Ｌｏｗの立上り・立下りが直線状にならず、歪が生
じて傾きが中心電位付近で大幅にゆるくなってしまうこ
ととなった。速度検出として使用する場合には、ＦＧ信
号の立上り，立下りの中心部を使用するので、この部分
の傾きが上記のようにゆるいと、時間間隔の精度が低下
し、ＦＧの精度が低下してしまうという問題があった。

【０００８】さらにまた、磁気記録再生装置のシリンダ
装置においては、モータの配線を引出すために、図７に
示すように、回転上シリンダ等があるので配線用フレキ
シブルケーブル３１９を折り曲げてステータヨーク３１
５の裏面側に出したり、図８に示すように端子３２０を
ステータ基板３１１から出してそこにフレキシブルケー
ブル３２１を半田付をする等、配線処理が非常に複雑で
あった。

【０００９】この配線部をコネクタ化しようとすると、
一度裏面にフレキシブルケーブルで配線した後になるの
で、製造コストの上昇を招くだけで複雑性はあまり変わ
らない。ステータ基板からコネクタ化した場合は、従来
のステータ基板のみではコネクタ挿入時に大きな力が加
わるので、強度的に問題があった。

【００１０】そこで、本発明の第１の目的は、上述の点
に鑑み、従来の問題点を解消して、精度よくモータの回
転位置検出等が行えるブラシレスモータのモータ回転検
出装置を提供することにある。

【００１１】また、本発明の第２の目的は、上述の点に
鑑み、モータの速度検出出力信号の歪を除去してモータ
の回転検出精度を向上したブラシレスモータのモータ回
転検出装置を提供することにある。

【００１２】さらに、本発明の第３の目的は、上述の点
に鑑み、ステータの剛性を大幅に向上してコネクタの挿
入力に対して強度を十分に図ったシリンダ駆動用モータ
を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るため、本発明の第１の形態は、多極着磁された扁平円
板状の多極マグネットと、該多極マグネットに対面する
複数個の駆動コイルとを有するブラシレスモータにおい
て、前記多極マグネットの内周または外周に配置されて
該多極マグネットの奇数倍の着磁部と、該奇数倍の着磁
部の１部にさらに配置された１／２ピッチの着磁部と、
前記多極マグネットの各磁極と前記奇数倍の着磁部とに
相対する速度検出信号発生用の検出パターンと、前記１
／２ピッチの着磁部と同一ピッチの位置検出信号発生用
の検出パターンとを具備したことを特徴とする。

【００１４】また、上記第２の目的を達成するため、本
発明の第２の形態は、多極着磁された扁平円板状の多極
マグネットと、該多極マグネットに対面する複数個の駆
動コイルとを有するブラシレスモータにおいて、前記多
極マグネットの各磁極に対応して設けられたそれぞれ複
数本の速度検出用の線素を並列に接続してなる複数の検
出線束を有し、該複数の検出線束を直列に接続して前記
多極マグネットの回転にともない誘起電圧を該検出線束
に発生させることを特徴とする。

【００１５】また、上記第３の目的を達成するため、本
発明の第３の形態は回転する上シリンダと固定の下シリ
ンダとが同軸に配置され、該上シリンダ内に駆動用のモ
ータを配置したシリンダ装置において、前記上シリンダ
にロータヨークを介して固定された多極の駆動用マグネ
ットと、該駆動用マグネットに対向して配置されたステ
ータ基板と、該ステータ基板の前記駆動用マグネットと
反対側の面上に固定された駆動用コイルと配線用コネク
タとスペーサと、前記ステータ基板に対向して前記駆動
用コイルとスペーサをはさんで固着されたステータヨー
クとを有し、該ステータヨークを固定する固定部材に対
し、前記ステータ基板、前記スペーサ、前記ステータヨ
ークがとも締めされていることを特徴とする。

【００１６】

【作用】本発明の第１の形態では、多極着磁されたモー
タ駆動用ＭＧの内周または外周に奇数倍（２ｎ＋１）の
検出パターンと同数（２ｎ＋１）の多極着磁を行い、そ
の中にＰＧ検出用の着磁を上記奇数倍着磁のピッチのさ
らに１／２ピッチで設けるようにしたので、精度よくＰ
Ｇ検出ができる。

【００１７】また、本発明の第２の形態では、検出用パ
ターンを分割し、極あたりの本数を複数本として各々の
検出パターンを並列接続とすることにより、出力を平均
化しＮ極からＳ極への境界の無着磁領域による影響を分
散するようにしたのでＦＧ出力信号の歪を除去して精度
を向上することができる。

【００１８】さらに、本発明の第３の形態では、ステー
タ基板とステータヨークの間に所定のギャップを形成す
るスペーサを配置し、駆動用コイル間に放射状に腕を伸
ばして各々接着もしくはネジ固定するようにしたので、
ステータの剛性を大幅に向上し、コネクタの挿入力に対
して強度的に保てる。

【００１９】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００２０】（第１実施例）図９は本発明の第１実施例
の扁平型ブラシレスモータのロータ側を示し、図１０に
はこのモータからＦＧ（速度検出）信号とＰＧ（位置検
出）信号を検出するパターンを示す。図９の１０１は駆
動用ＭＧであり、Ｎ極，Ｓ極の８極の着磁がなされてい
る。このＭＧ１０１により発生する磁界で不図示の駆動
コイルに電流を流して、モータを回転させる。

【００２１】上記駆動用ＭＧ１０１の内周側に奇数倍の
着磁１０３がなされている。本実施例では３倍の周波数
を得る例であり、３倍の着磁がなされている。ＰＧ部１
０４がさらにその１／２ピッチで着磁されている。この
ＰＧ部１０４を検出するＦＧ−ＰＧ用の基板１０５上に
ＦＧパターン１０６とＰＧパターン１０７が形成されて
いる。ＦＧパターン１０６は等価的に２本の検出パター
ンで一対となり、８極に対し４８本で３倍の２４対とな
り、３倍のＦＧ信号が発生する。

【００２２】ＰＧパターン１０７はピッチがＰＧ着磁部
１０４のピッチと同一に設定されており、ＰＧ着磁部１
０４がＰＧパターン１０７を通過するときに出力が発生
し、図１１に示すようなＦＧ−ＰＧ信号が取り出せる。

【００２３】（第１実施例の変形例）図１２は本発明の
第１実施例の変形例におけるモータのロータ側を示す。
図９の場合と同様に３倍のＦＧ信号周波数を得るものに
対し、外周側に１／３倍のピッチの着磁１０８を施し、
１０９の位置にさらにその１／２ピッチのＰＧ着磁が施
されている。

【００２４】この場合の検出パターンは図１０と同様で
あり、ＰＧ検出パターンがＦＧパターンに対して外周側
へ配置されるようになる。また、ＦＧ−ＰＧ信号出力は
図１１と同様になる。

【００２５】本実施例では３倍のＦＧ信号を得る場合を
示したが、５倍，７倍と奇数倍のＦＧ信号を得る場合
も、同様に可能である。

【００２６】上述のように、本発明の第１実施例によれ
ば、駆動用ＭＧの多極着磁に対してその奇数倍（２ｎ＋
１）の多極着磁を内周または外周に施し、さらにその１
／２ピッチでＰＧ信号検出部を着磁したので、従来の駆
動用ＭＧに対して奇数倍の周波数のＦＧ信号を得るシス
テムに比べてＰＧ信号をパターン検出によってはるかに
精度よく得ることができる。さらに、奇数倍のＦＧ周波
数のＦＧ信号を使用する場合、従来ではＦＧ信号出力に
対して取り出しパターン部で基本着磁成分が乗ってしま
い精度が著しく悪化していたが、本実施例では取り出し
パターン部が奇数倍着磁部にオーバーラップするので、
この基本着磁成分が著しく軽減されＦＧ信号の精度がよ
くなる。さらに、本実施例ではＰＧ信号としてピッチ精
度等が不要のため、内周または外周に施す奇数倍着磁が
わずかで済み、さらに駆動用ＭＧの多極着磁に対しトル
ク効果の最も大きい中央部に同極性を配置しているの
で、この奇数倍着磁によるトルク降下の影響はほとんど
ない。また、本実施例ではＰＧ−ＭＧ突起等がないた
め、動的バランスがよいという利点もある。

【００２７】（第２実施例）図１３は本発明の第２の実
施例の検出パターンを示すものであり、前述の図４に示
した駆動用ＭＧの着磁パターンに対して構成したもので
ある。１２極のＮ，Ｓ極に対して基板２０１上にＦＧ信
号検出用のＦＧパターン２０２が形成されており、図４
の駆動用ＭＧ２０７の回転に伴い、磁束の変化により誘
起電圧の発生が起る検出線素２０３ａ，２０３ｂ，２０
３ｃの束２０３が１２ケ所等分割で配置されている。ま
た、線素２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃの間隔について
は２０３ａの線素を中心に２０３ｂ，２０３ｃの線素が
等間隔で配置されている。

【００２８】これにより、線素２０３ａ，２０３ｂ，２
０３ｃで各々発生する誘起電圧が時間平均されるので、
従来図６のようにＨｉｇｈ，Ｌｏｗの立上り，立下りで
歪んでいたものが、図１４に示すように、平均化されて
なめらかな曲線状になり、検出精度が著しく向上する。

【００２９】（第２実施例の変形例）図１５は本発明の
第２実施例の変形例を示し、この場合は中心の線素２０
４ａに対して等間隔に２０４ｂ，２０４ｃの線素を配置
し、しかも２０４ａの線素よりも線長を短くこれらの線
素２０４ｂ，２０４ｃを構成している。本例の検出波形
としては図１４に示すものと同等であるが、さらに駆動
用ＭＧとＦＧパターンの位置関係が明確になるという利
点がある。すなわち、立上り，立下りの部分は、駆動用
ＭＧの無着磁領域である図４の２０９の部分が、中心線
素２０４ａに位置した時になるが、基板の取付けや精度
上の目安として２０４ａが明確になるので、取付け位相
の精度向上になる。また、内径側は無着磁領域が同一幅
のため相対的に広くなり、また出力も小さいので、平均
化した場合にこの部分を減少させると波形の立上り・立
下りの傾きがさらに立ってくるので精度がさらに向上す
る。

【００３０】図１６は本発明の第２実施例のさらに他の
変形例を示す。本例では駆動用ＭＧの着磁の極の境界線
２０９に対して検出線素２０５ａ，２０５ｂ，２０５ｃ
を角度をもたせた場合であり、これによりさらに平均化
の程度が向上する。また、ＦＧパターンの位置が不明確
となって取付け時の位相誤差をなくするために、等分割
となっているポイントを円周上のパターン２０６と線素
２０５ａとで検知する。

【００３１】上述のように、本発明の第２実施例によれ
ば、ＦＧ用パターンを各磁極に対して複数本設け、並列
に接続するようにしたので、ＦＧ用として使用している
駆動用ＭＧの磁束分布を平均化することが可能となり、
無着磁領域の広い場合にも精度のよいＦＧ出力波形が得
られる。

【００３２】（第３実施例）図１７は本発明の第３実施
例の扁平ブラシレスモータのシリンダ装置の断面構造を
示し、図１８はその上方からみた構造を示す。

【００３３】ここで、３０１は回転上シリンダであり、
３０２は固定の下シリンダであり、それぞれ同軸に配置
されている。固定の中心軸３０３は軸付軸受であり、こ
れにトランス台３０４が軸支されている。このトランス
台３０４に上シリンダ３０１がネジ止め固定されて、軸
受により下シリンダに対して回転自在に保持される。

【００３４】３０５は磁気ヘッドであり、通常記録再生
用の２個の上シリンダ３０１に固定されており、信号消
去用のヘッドがそれとは別に固定されるものである。３
０６，３０７は各々ロータ，ステータのロータリトラン
スであり、３０８はロータリトランスに対しての信号の
入出を行う配線基板である。

【００３５】３０９は中心軸３０３に固定され、駆動用
モータのロータとステートとのギャプを所定の寸法に決
めるモータ台座である。モータ台座３０９にモータのス
テータユニットがネジ止め固定される。モータ台座３０
９の側面には溝が加工されており、アース３１０の端子
が溝の中を摺動している。

【００３６】次に、モータ部の構成を説明する。上シリ
ンダにはロータ側のロータヨーク３１８と駆動用ＭＧが
固定されており、上記モータ台座３０９に対してステー
タ側が固定される。ステータ側は配線およびＦＧ−ＰＧ
パターンを有する配線基板３１１とこの基板３１１上に
駆動コイル３１２と配線コネクタ３１４が半田付固定さ
れる。駆動用ＭＧ３１７と所定のギャップをもって配置
され磁気回路を形成するステータヨーク３１５はスペー
サ３１３をはさみ込む形でモータ台座３０９にステータ
基板３１１とともにとも締固定される。

【００３７】図１８に示すように、駆動コイル３１２が
基板３１１上に配置され、配線コネクタ３１４がコイル
とコイルの間に配置され半田付固定される。スペーサ３
１３は中心のモータ台座に固定される部分から放射状に
腕が伸びており、外周部で段が付いている。スペーサ３
１６も同様に外周部で段が付いている。すなわち、ステ
ータヨーク３１５の接着面３１３ａ，３１６ａが若干最
外周よりも低くなっている。最外周部はステータヨーク
３１５の略々の外周位置決めとなっている。

【００３８】スペーサ３１６の最外周部はスペーサ３１
３の最外周部よりも高く設定されており、コネクタ３１
４に挿入固定されるフレキシブルケーブルが上シリンダ
３０１に接触しないように保護するために高くなってい
る。また、コネクタ３１４の位置は軸３０３を基準にし
て磁気テープカセットが配置される側と逆の側に配置さ
れている。

【００３９】上述のように本発明の第３実施例によれ
ば、ステータ基板とステータヨークの間にスペーサ３１
３を配置し、これを放射状に腕を伸ばして接着またはネ
ジ止め固定してモータ台座３０９にとも締構造としたの
で、従来配線フレキシブルケーブルとコネクタの挿入時
に加わる力がステータ基板３１１のみの状態からスペー
サ３１３を介してステータヨーク３１５の鉄板で受ける
ようになり、そのためコネクタ化が容易に実現できる。
また、ステータ基板のみに比較して、平面精度がよくな
り、駆動用ＭＧとのギャップも安定して狭くすることが
可能となり、このためさらなるモータの小型化ができ
る。また、ステータヨークとスペーサ３１３，ステータ
３１１をとも締結合にしたので、駆動用ＭＧに対してコ
イルの位置とステータヨークの位置、すなわちコアギャ
ップが安定して、モータ特性としても安定する利点が生
ずる。

【００４０】さらに、スペーサ３１６の外周部を高くし
たので、配線フレキシブルケーブルをコネクタ３１４に
挿入した後に、上シリンダ３０１にフレキシブルケーブ
ルが接触することもなくなった。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば以
下のような効果が得られる。

【００４２】（１） 本発明の第１形態においては、Ｐ
Ｇ信号をパターン検出によって精度よく得ることがで
き、パターン部の基本着磁成分が著しく軽減されてＦＧ
信号の精度がよくなり、さらに奇数倍着磁もわずかで済
み、この奇数倍着磁によるトルク降下の影響はほとんど
なく、動的バランスもよい。

【００４３】（２） 本発明の第２形態においては、Ｆ
Ｇ用として使用している駆動用ＭＧの磁束分布を平均化
することが可能となり、Ｎ極からＳ極への境界の無着磁
領域による影響を分散して、無着磁領域の広い場所にも
精度のよいＦＧ出力波形が得られる。

【００４４】（３） 本発明の第３形態においては、コ
ネクタ化が容易に実現でき、平面精度がよくなってモー
タの小型化が達成されコアギャップが安定してモータ特
性も安定する。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のフェライト材を使用した時のＦＧ出力信
号の波形例を示す波形図である。

【図２】従来のモータのロータ側の一例を示す平面図で
ある。

【図３】従来のＦＧ信号とＰＧ信号の波形とタイミング
を示す波形図である。

【図４】従来のモータのロータ側の他の例を示す平面図
である。

【図５】ＦＧ信号の検出パターンの従来例を示す平面図
である。

【図６】従来のネオジ材を使用した時のＦＧ出力信号の
波形例を示す波形図である。

【図７】従来の磁気記録再生装置のシリンダ装置の構成
例を示す縦断面図である。

【図８】従来の磁気記録再生装置のシリンダ装置の他の
構成例を示す縦断面図である。

【図９】本発明の第１実施例の扁平型ブラシレスモータ
のロータ側の構成を示す平面図である。

【図１０】本発明の第１実施例のＦＧ信号およびＰＧ信
号の検出パターンを示す平面図である。

【図１１】本発明の第１実施例で得られるＦＧ信号とＰ
Ｇ信号の波形とタイミングを示す波形図である。

【図１２】本発明の第１実施例の変形例におけるモータ
のロータ側の構成を示す平面図である。

【図１３】本発明の第２実施例のＦＧ信号の検出パター
ンを示す平面図である。

【図１４】本発明の第２実施例によるＦＧ出力信号の波
形を示す波形図である。

【図１５】本発明の第２実施例の変形例におけるＦＧ信
号の検出パターンを示す平面図である。

【図１６】本発明の第２実施例のさらに他の変形例にお
けるＦＧ信号の検出パターンを示す平面図である。

【図１７】本発明の第３実施例のシリンダ装置の断面構
造を示す縦断面図である。

【図１８】本発明の第３実施例のシリンダ装置の上方か
ら見た外観構成を示す上面図である。

【符号の説明】

１０１ 駆動用ＭＧ １０３ 着磁 １０４ ＰＧ部 １０５ 基板 １０６ ＦＧパターン １０７ ＰＧパターン １０８ 着磁 ２０１ 基板 ２０２ ＦＧパターン ２０３，２０４，２０５ 検出線束（検出線素の束） ２０６ パターン ２０７ 駆動用ＭＧ ２０９ 無着磁領域（境界線） ３０１ 回転上シリンダ ３０２ 固定下シリンダ ３０３ 中心軸 ３０４ トランス台 ３０５ 磁気ヘッド ３０６ ロータリトランス ３０７ ロータリトランス ３０８ 配線基板 ３０９ モータ台座 ３１０ アース ３１１ 配線基板（ステータ基板） ３１２ 駆動コイル ３１３ スペーサ ３１４ 配線コネクタ ３１５ ステータヨーク ３１６ スペーサ ３１７ 駆動用ＭＧ ３１８ ロータヨーク

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多極着磁された扁平円板状の多極マグネ
   ットと、該多極マグネットに対面する複数個の駆動コイ
   ルとを有するブラシレスモータにおいて、 前記多極マグネットの内周または外周に配置されて該多
   極マグネットの奇数倍の着磁部と、 該奇数倍の着磁部の１部にさらに配置された１／２ピッ
   チの着磁部と、 前記多極マグネットの各磁極と前記奇数倍の着磁部とに
   相対する速度検出信号発生用の検出パターンと、 前記１／２ピッチの着磁部と同一ピッチの位置検出信号
   発生用の検出パターンとを具備したことを特徴とするモ
   ータ回転検出装置。
2. 【請求項２】 多極着磁された扁平円板状の多極マグネ
   ットと、該多極マグネットに対面する複数個の駆動コイ
   ルとを有するブラシレスモータにおいて、 前記多極マグネットの各磁極に対応して設けられたそれ
   ぞれ複数本の速度検出用の線素を並列に接続してなる複
   数の検出線束を有し、 該複数の検出線束を直列に接続して前記多極マグネット
   の回転にともない誘起電圧を該検出線束に発生させるこ
   とを特徴とするモータ回転検出装置。
3. 【請求項３】 回転する上シリンダと固定の下シリンダ
   とが同軸に配置され、該上シリンダ内に駆動用のモータ
   を配置したシリンダ装置において、 前記上シリンダにロータヨークを介して固定された多極
   の駆動用マグネットと、 該駆動用マグネットに対向して配置されたステータ基板
   と、 該ステータ基板の前記駆動用マグネットと反対側の面上
   に固定された駆動用コイルと配線用コネクタとスペーサ
   と、 前記ステータ基板に対向して前記駆動用コイルとスペー
   サをはさんで固着されたステータヨークとを有し、 該ステータヨークを固定する固定部材に対し、前記ステ
   ータ基板、前記スペーサ、前記ステータヨークがとも締
   めされていることを特徴とするシリンダ装置駆動用のモ
   ータ。
4. 【請求項４】 前記スペーサの外周部を高くしたことを
   特徴とする請求項３に記載のモータ。
5. 【請求項５】 前記スペーサは放射状に配置されている
   ことを特徴とする請求項３または４に記載のモータ。