JPH06176859A - 高周波処理装置 - Google Patents
高周波処理装置Info
- Publication number
- JPH06176859A JPH06176859A JP19265792A JP19265792A JPH06176859A JP H06176859 A JPH06176859 A JP H06176859A JP 19265792 A JP19265792 A JP 19265792A JP 19265792 A JP19265792 A JP 19265792A JP H06176859 A JPH06176859 A JP H06176859A
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- Japan
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- high frequency
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- voltage
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 30
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- General Induction Heating (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確に電力制御できる高周波処理装置を提供
する。 【構成】 整流回路１からの直流電圧は、高周波発振回
路２へ供給される。発振回路２から発生した高周波出力
は、高周波加熱コイル３ヘ供給される。電圧検出回路９
ｖの検出出力は、整流回路１０ｖを介して誤差検出回路
１１ｖへ送られて基準電圧源１２ｖからの基準電圧との
差が求められる。求められた差信号は、昇圧整流回路１
の出力電圧を調節する制御回路８へ送られる。
する。 【構成】 整流回路１からの直流電圧は、高周波発振回
路２へ供給される。発振回路２から発生した高周波出力
は、高周波加熱コイル３ヘ供給される。電圧検出回路９
ｖの検出出力は、整流回路１０ｖを介して誤差検出回路
１１ｖへ送られて基準電圧源１２ｖからの基準電圧との
差が求められる。求められた差信号は、昇圧整流回路１
の出力電圧を調節する制御回路８へ送られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高周波発振器からの高
周波電力を高周波加熱コイルへ供給して処理を行う高周
波処理装置に関する。
周波電力を高周波加熱コイルへ供給して処理を行う高周
波処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は、従来の高周波処理装置の一例を
示す。図１において、１は三相商用電源から電力を受け
る昇圧整流回路で、例えば、サイリスタによる流通角制
御により出力電圧を調節することができる。昇圧整流回
路１からの直流電圧は、真空管、トランジスター、サイ
リスタなどを用いた高周波発振回路２へ供給される。発
振回路２から発生した高周波出力は、内部に被加熱物４
が配置される高周波加熱コイル３ヘ供給される。５は、
昇圧整流回路１からの直流電圧を検出するための電圧検
出回路であり、その検出出力は、誤差検出回路６へ送ら
れて基準電圧源７からの基準電圧との差が求められる。
求められた差信号は、サイリスタによる流通角を制御し
て昇圧整流回路１の出力電圧を調節する制御回路８へ送
られる。この様な差信号による帰還制御により高周波発
振回路への供給電圧が安定化され、又、基準電圧を変え
ることにより、コイルへの供給電力を調節することがで
きる。
示す。図１において、１は三相商用電源から電力を受け
る昇圧整流回路で、例えば、サイリスタによる流通角制
御により出力電圧を調節することができる。昇圧整流回
路１からの直流電圧は、真空管、トランジスター、サイ
リスタなどを用いた高周波発振回路２へ供給される。発
振回路２から発生した高周波出力は、内部に被加熱物４
が配置される高周波加熱コイル３ヘ供給される。５は、
昇圧整流回路１からの直流電圧を検出するための電圧検
出回路であり、その検出出力は、誤差検出回路６へ送ら
れて基準電圧源７からの基準電圧との差が求められる。
求められた差信号は、サイリスタによる流通角を制御し
て昇圧整流回路１の出力電圧を調節する制御回路８へ送
られる。この様な差信号による帰還制御により高周波発
振回路への供給電圧が安定化され、又、基準電圧を変え
ることにより、コイルへの供給電力を調節することがで
きる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この様に、従来は、高
周波発振回路へ供給される直流電圧を検出した検出出力
に基づいて直流電圧を制御して被加熱物への供給電力を
制御しているが、被加熱物によっては、高周波発振回路
へ供給する直流電圧と被加熱物へ加えられる高周波電力
とが一対一に対応しない場合がある。このため、基準電
圧を一定に保っていても、加熱する対象の性質によっ
て、加熱電力が異なってしまうことがあり、負荷への投
入電力を正確に制御することができなかった。
周波発振回路へ供給される直流電圧を検出した検出出力
に基づいて直流電圧を制御して被加熱物への供給電力を
制御しているが、被加熱物によっては、高周波発振回路
へ供給する直流電圧と被加熱物へ加えられる高周波電力
とが一対一に対応しない場合がある。このため、基準電
圧を一定に保っていても、加熱する対象の性質によっ
て、加熱電力が異なってしまうことがあり、負荷への投
入電力を正確に制御することができなかった。
【０００４】本発明は上述した点に鑑みてなされたもの
であり、負荷への投入電力を正確に制御することのでき
る高周波処理装置を提供することを目的としている。
であり、負荷への投入電力を正確に制御することのでき
る高周波処理装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、直流電源から
の電力にもとづいて発振する高周波発振器からの高周波
電力を高周波加熱コイルへ供給して処理を行う高周波処
理装置において、高周波加熱コイルに供給される高周波
電流又は高周波電圧を検出し電流値又は電圧値に対応し
た出力を発生する検出回路と、該検出回路からの検出出
力に基づいて前記直流電源から高周波発振器への供給電
力を制御する制御手段を設けたことを特徴としている。
の電力にもとづいて発振する高周波発振器からの高周波
電力を高周波加熱コイルへ供給して処理を行う高周波処
理装置において、高周波加熱コイルに供給される高周波
電流又は高周波電圧を検出し電流値又は電圧値に対応し
た出力を発生する検出回路と、該検出回路からの検出出
力に基づいて前記直流電源から高周波発振器への供給電
力を制御する制御手段を設けたことを特徴としている。
【０００６】
【作用】本発明では、高周波加熱コイルに供給される高
周波電流又は高周波電圧を検出し電流値又は電圧値に対
応した出力を発生する検出回路と、該検出回路からの検
出出力に基づいて前記直流電源から高周波発振器への供
給電力を制御する制御手段を設けたことにより、負荷へ
の投入電力を正確に制御することができる。以下、本発
明を図面を参照して詳説する。
周波電流又は高周波電圧を検出し電流値又は電圧値に対
応した出力を発生する検出回路と、該検出回路からの検
出出力に基づいて前記直流電源から高周波発振器への供
給電力を制御する制御手段を設けたことにより、負荷へ
の投入電力を正確に制御することができる。以下、本発
明を図面を参照して詳説する。
【０００７】
【実施例】図２は本発明の一実施例を示しており、図１
の従来例と同一の構成要素には同一番号が付されてい
る。図２において、高周波加熱コイル３と高周波発振回
路２の間には、コイルの両端間の高周波電圧ＲＦｖを検
出するための電圧検出回路９ｖが介挿されている。検出
回路９ｖから得られたＲＦｖを表わす信号は、整流回路
１０ｖへ送られる。整流回路１０ｖから得られたコイル
の両端間の高周波電圧の強度を表わす信号Ｖは、誤差検
出回路１１ｖへ供給される。誤差検出回路１１ｖの参照
入力端子には、基準電圧源１２ｖから基準電圧Ｅv が供
給されており、誤差検出回路１１ｖから得られる差出力
信号は制御回路８へ制御用誤差信号として送られる。
の従来例と同一の構成要素には同一番号が付されてい
る。図２において、高周波加熱コイル３と高周波発振回
路２の間には、コイルの両端間の高周波電圧ＲＦｖを検
出するための電圧検出回路９ｖが介挿されている。検出
回路９ｖから得られたＲＦｖを表わす信号は、整流回路
１０ｖへ送られる。整流回路１０ｖから得られたコイル
の両端間の高周波電圧の強度を表わす信号Ｖは、誤差検
出回路１１ｖへ供給される。誤差検出回路１１ｖの参照
入力端子には、基準電圧源１２ｖから基準電圧Ｅv が供
給されており、誤差検出回路１１ｖから得られる差出力
信号は制御回路８へ制御用誤差信号として送られる。
【０００８】上記構成では、検出回路９ｖにより高周波
加熱コイルの両端の電圧を検出しているため、被加熱物
に供給される高周波電力に対応した情報ＲＦｖを得るこ
とができ、その情報と基準電圧Ｅｖとの誤差に基づいて
制御回路８により整流昇圧回路１を制御すれば、発振回
路からコイルに供給される高周波電圧を基準電圧に対応
した一定値に正確に維持することができる。
加熱コイルの両端の電圧を検出しているため、被加熱物
に供給される高周波電力に対応した情報ＲＦｖを得るこ
とができ、その情報と基準電圧Ｅｖとの誤差に基づいて
制御回路８により整流昇圧回路１を制御すれば、発振回
路からコイルに供給される高周波電圧を基準電圧に対応
した一定値に正確に維持することができる。
【０００９】上記実施例ではコイルの電圧を測定した
が、コイルに流れる電流を検出して誤差検出回路へ供給
すれば、発振回路からコイルへ供給する高周波電流を一
定に維持する制御を行うことができることは言うまでも
ない。
が、コイルに流れる電流を検出して誤差検出回路へ供給
すれば、発振回路からコイルへ供給する高周波電流を一
定に維持する制御を行うことができることは言うまでも
ない。
【００１０】図３は、本発明の更に他の実施例を示して
図２の実施例と同一の構成要素に同一番号が付されてい
る。図３の実施例が図２の実施例と異なるのは、高周波
加熱コイル３と高周波発振回路２の間に、コイルを流れ
る高周波電流ＲＦｉを検出するための電流電圧検出回路
９ｉが介挿されていることと、検出回路９ｉから得られ
たＲＦｉを表わす信号が供給される整流回路１０ｉと、
整流回路１０ｉから得られたコイルを流れる高周波電流
の強度を表わす信号Ｉと基準電源１２ｉから発生する基
準電圧Ｅi の差信号を求める誤差検出回路１１ｉを設け
たこと、及び各誤差検出回路から得られる差出力信号の
内どちらか大きい方の信号を制御回路８へ供給するため
のダイオード１３ｖ，１３ｉを設けたことである。
図２の実施例と同一の構成要素に同一番号が付されてい
る。図３の実施例が図２の実施例と異なるのは、高周波
加熱コイル３と高周波発振回路２の間に、コイルを流れ
る高周波電流ＲＦｉを検出するための電流電圧検出回路
９ｉが介挿されていることと、検出回路９ｉから得られ
たＲＦｉを表わす信号が供給される整流回路１０ｉと、
整流回路１０ｉから得られたコイルを流れる高周波電流
の強度を表わす信号Ｉと基準電源１２ｉから発生する基
準電圧Ｅi の差信号を求める誤差検出回路１１ｉを設け
たこと、及び各誤差検出回路から得られる差出力信号の
内どちらか大きい方の信号を制御回路８へ供給するため
のダイオード１３ｖ，１３ｉを設けたことである。
【００１１】図２の実施例においては、コイルの両端の
電圧を検出して発振回路の出力電圧を一定にする制御が
行われたが、本実施例では、それに加えてコイルに流れ
る電流を一定にする制御も併せて行われる。そして、各
誤差検出回路からの差出力信号がダイオード１３ｖ，１
３ｉにより合成されて制御回路８へ送られているため、
以下に述べるような優れた効果が得られる。図４に示す
ように、発振回路２の出力電圧Ｖと出力電流Ｉをそれぞ
れ横軸と縦軸にとり、発振回路２で許容できる最大値Ｖ
max ，Ｉmax に対応する基準電圧Ｅv ，Ｅi を発生する
ように基準電源１２ｖ，１２ｉを調整した場合を考え
る。負荷は、インピーダンスに応じた傾きを持ち原点を
通る直線で与えられる。今、負荷のインピーダンスが図
４に示す様にＺ1 からＺ2 に増大した場合、本実施例で
は、最初の動作点Ｐ1 では誤差検出回路１１ｉからの差
出力信号が大きいので制御回路８へ送られることによ
り、電流一定の制御が行われ、それによってＰo へ動作
点が移動する。その後は、誤差検出回路１１ｖからの差
出力信号が大きくなって制御回路８へ送られることによ
り電圧一定の制御が行われ、それによって動作点はＰo
からＰ2 へ移動することになる。この様な動作では、出
力電流，電圧が最大値の制御が継続して行なわれるた
め、負荷のインピーダンスの変化が早くても、それに素
早く応答して制御が行われる。
電圧を検出して発振回路の出力電圧を一定にする制御が
行われたが、本実施例では、それに加えてコイルに流れ
る電流を一定にする制御も併せて行われる。そして、各
誤差検出回路からの差出力信号がダイオード１３ｖ，１
３ｉにより合成されて制御回路８へ送られているため、
以下に述べるような優れた効果が得られる。図４に示す
ように、発振回路２の出力電圧Ｖと出力電流Ｉをそれぞ
れ横軸と縦軸にとり、発振回路２で許容できる最大値Ｖ
max ，Ｉmax に対応する基準電圧Ｅv ，Ｅi を発生する
ように基準電源１２ｖ，１２ｉを調整した場合を考え
る。負荷は、インピーダンスに応じた傾きを持ち原点を
通る直線で与えられる。今、負荷のインピーダンスが図
４に示す様にＺ1 からＺ2 に増大した場合、本実施例で
は、最初の動作点Ｐ1 では誤差検出回路１１ｉからの差
出力信号が大きいので制御回路８へ送られることによ
り、電流一定の制御が行われ、それによってＰo へ動作
点が移動する。その後は、誤差検出回路１１ｖからの差
出力信号が大きくなって制御回路８へ送られることによ
り電圧一定の制御が行われ、それによって動作点はＰo
からＰ2 へ移動することになる。この様な動作では、出
力電流，電圧が最大値の制御が継続して行なわれるた
め、負荷のインピーダンスの変化が早くても、それに素
早く応答して制御が行われる。
【００１２】図４における矢印Ｌ1 及び矢印Ｌ2 は、出
力電流一定制御（Ｌ1 ）及び出力電圧一定制御（Ｌ2 ）
によって負荷のインピーダンスのＺ1 からＺ2 への変化
に対応させようとした場合の動作点の移動を示してい
る。各場合とも、図３の実施例におけるＰ1 −Ｐo −Ｐ
2 という動作点の移動にくらべ、電力値が低いところで
移動しているため、負荷インピーダンスの早い変化には
追随することは困難である。
力電流一定制御（Ｌ1 ）及び出力電圧一定制御（Ｌ2 ）
によって負荷のインピーダンスのＺ1 からＺ2 への変化
に対応させようとした場合の動作点の移動を示してい
る。各場合とも、図３の実施例におけるＰ1 −Ｐo −Ｐ
2 という動作点の移動にくらべ、電力値が低いところで
移動しているため、負荷インピーダンスの早い変化には
追随することは困難である。
【００１３】なお、高周波発振回路としては真空管を用
いた自励発信式のものも、トランジスタやサイリスタを
用いたインバータ方式のものも、採用することができ
る。
いた自励発信式のものも、トランジスタやサイリスタを
用いたインバータ方式のものも、採用することができ
る。
【００１４】
【発明の効果】以上詳述の如く、本発明においては、高
周波加熱コイルに供給される高周波電圧又は電流を検出
し、その検出出力を基準信号と比較し、得られた差信号
に基づいて高周波発振回路への供給電力を制御するよう
にしたため、負荷への投入電力を正確に制御することの
できる高周波処理装置が実現される。
周波加熱コイルに供給される高周波電圧又は電流を検出
し、その検出出力を基準信号と比較し、得られた差信号
に基づいて高周波発振回路への供給電力を制御するよう
にしたため、負荷への投入電力を正確に制御することの
できる高周波処理装置が実現される。
【図１】従来例を示す図である。
【図２】本発明の一実施例を示す図である。
【図３】本発明の他の一実施例を示す図である。
【図４】図３の実施例の動作を説明するための図であ
る。
る。
１ 昇圧整流回路 ２ 高周波発振回路 ３ 高周波加熱コイル ４ 被加熱物 ８ 制御回路 ９ｉ 電流検出回路 ９ｖ 電圧検出回路 １０ｉ，１０ｖ 整流回路 １１ｉ，１１ｖ 誤差検出回路 １２ｉ，１２ｖ 基準電源 １３ｉ，１３ｖ ダイオード
Claims (1)
- 【請求項１】 直流電源からの電力にもとづいて発振す
る高周波発振器からの高周波電力を高周波加熱コイルへ
供給して処理を行う高周波処理装置において、高周波加
熱コイルに供給される高周波電流又は高周波電圧を検出
し電流値又は電圧値に対応した出力を発生する検出回路
と、該検出回路からの検出出力に基づいて前記直流電源
から高周波発振器への供給電力を制御する制御手段を設
けたことを特徴とする自励発振式高周波処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19265792A JPH06176859A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 高周波処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19265792A JPH06176859A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 高周波処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176859A true JPH06176859A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=16294880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19265792A Pending JPH06176859A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 高周波処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06176859A (ja) |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP19265792A patent/JPH06176859A/ja active Pending
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