JPH06178571A - 搬送用リニアモータのアクセス制御装置 - Google Patents

搬送用リニアモータのアクセス制御装置

Info

Publication number
JPH06178571A
JPH06178571A JP4331383A JP33138392A JPH06178571A JP H06178571 A JPH06178571 A JP H06178571A JP 4331383 A JP4331383 A JP 4331383A JP 33138392 A JP33138392 A JP 33138392A JP H06178571 A JPH06178571 A JP H06178571A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
access
offset
linear motor
speed
gain
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4331383A
Other languages
English (en)
Inventor
Harushige Nakagaki
春重 中垣
Junji Shiokawa
淳司 塩川
Hiromi Tanaka
大幹 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP4331383A priority Critical patent/JPH06178571A/ja
Publication of JPH06178571A publication Critical patent/JPH06178571A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Moving Of Head For Track Selection And Changing (AREA)
  • Control Of Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】速度制御を掛けながら目標位置をアクセスする
リニアモータのアクセス制御装置において、駆動回路の
電源電圧の制約などによってモータの立ち上げ速度が制
約を受けるような場合でも、アクセスの高速化が可能な
制御装置を提供する。 【構成】正規のアクセス指令入力に対してオフセット入
力重畳手段10により固定のオフセットを重畳し、正規
の目標位置よりも固定距離だけ遠い位置をアクセスする
ように系の動作を開始させる。次いで、正規のアクセス
目標位置よりも固定距離手前を検出する位置検出手段1
4の制御信号により、オフセット入力を除去すると同時
に利得切換手段15により速度制御系の利得を低めるよ
う切替え制御する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、搬送用リニアモータの
アクセス制御装置に係り、特にアクセス時間を短縮する
のに好適な制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】最近では、リニアモータを用いた搬送シ
ステムが工業用機器、民生用機器分野等において随所に
広く用いられている。
【0003】図5は、従来のリニアモータのアクセス制
御に用いられている一般的なサーボ系のブロック構成を
示したものである。同図において1はアクセス指令入力
と位置検出器9の出力(光エンコーダ等を用い、パルス
数をカウントして位置を検出)を比較する比較器、2は
比較器1の出力を電圧に変換する位置誤差−電圧変換
器、3は2の出力とリニアモータの速度検出器8の検出
出力を比較しリニアモータ駆動用の制御信号を発生する
比較器、4はリニアモータの推力定数、5はリニアモー
タの負荷重量、6及び7はそれぞれ積分器を示す。
【0004】図5の装置は、アクセス指令入力として距
離を位置検出用のエンコーダパルス数に換算した数値N
0として与え、速度検出器8のル−プで速度ダンピング
を掛けながら位置検出器9からの総検出パルス数が
0、即ちリニアモータの移動距離が所要の目標値とな
るようフィ−ドバック制御するものである。この系の伝
達関数(指令入力パルスN0に対するリニアモータの移動
距離xの応答特性)H(S)を数1に、また数1より求め
た系のステップ応答を図6に示した。
【0005】
【数1】
【0006】図6の(a)は速度v、(b)は移動距離xの
応答特性であり、両図とも横軸はwntで正規化して表
してある。アクセス開始と同時にリニアモータは最大の
位置誤差信号で加速され、速度の上昇に伴って速度検出
信号が上昇してくるとダンピングが始まり速度の応答は
緩やかなものとなる。速度の傾斜が正から負に変わる変
化点は、図5中に示した位置誤差信号ΔVpと速度検出
信号ΔVvが等しくなる時点である。
【0007】移動距離xは速度vを積分したものである
が、ダンピング係数ζが大きい程、速度制御系が強く作
用して速度の減速開始が早まるため、最大速度は低下、
特性自体も緩やかなものとなってアクセスの収束時間は
延びる方向にあるものの、系は必ず自動的に収束すると
いう特徴を有している。因に、ζを略1に設定したとき
移動距離xが目標値に対して1エンコーダの範囲内に到
達する理論上のwnt値は略17である。即ち、例えば
リニアモータのアクセス精度を1エンコーダ分解能以
内、アクセス時間を0.2sec の目標に定めたならばwn
値は85であり、この値を基準に数1より各パラメータ
を設定すれば良く、設計の簡便さも兼ね備えた制御装置
でもある。
【0008】なお、この種の関連する公知例としては特
開平1−320647、特開平2−179975などが
挙げられる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5の
アクセス制御装置では、前記のように理論上1エンコー
ダ分解能以内を0.2secでアクセスするように系を設計
したとしても、実際のアクセス時間は0.2secを超えて
しまうという欠点がある。
【0010】以下、この点について説明する。
【0011】具体例として、推力定数6.4N/V、重量3
0Kgの負荷を担ったリニアモータで距離20mmを0.
2secでアクセスするものとし、エンコーダ分解能は1
μm、アクセス時間の0.2secはエンコーダ分解能1μ
m以内の収束時間とする。この仕様における図5で示し
た各伝達要素の具体設計値は表1である。
【0012】
【表1】
【0013】図7は、表1のパラメータ設計を行った場
合の系のステップ応答の解析結果である。同図にて(a)
は速度v、(b)は移動距離x、(c)は制御電圧ΔVp、Δ
Vv、ΔVcの応答を示す。(a)、(b)図とも破線
で示したカ−ブがアクセス時間0.2secを実現する理
想特性である。速度vの最大値は約0.55m/sに達
し、移動距離xがアクセス目標距離20mmに対しエン
コーダ1分解能の1μm以内に収束する時間は、(b)
から読み取ることは困難であるが、計算上は約0.2sec
である。
【0014】しかしながら、実際の系で速度v、移動距
離xを破線の特性のような理論的な応答特性とすること
は困難である。この理由は、速度が破線の応答をするた
めにはリニアモータの加速度は約15G(約147m/
s2)、発生推力としては約4400Nが必要となり、使
用モータの推力定数6.4N/Vを考慮するとモータ駆動
回路の所要電源電圧は約690Vにも及び、現実性を伴
わない高電源なってしまうためである。結局のところ
は、モータ駆動回路に使用される集積回路などの電圧使
用範囲、装置の経済性などを考慮すれば電源電圧として
は50V前後の設定が妥当な値であり、これによりモー
タの加速度には自ずと制約が生じ破線の特性のような急
激な速度の立ち上げを得ることはできない。
【0015】図7中の実線のカーブは、モータ駆動回路
の電源電圧を46Vに設定した場合の速度、移動距離の
応答である。電源電圧を46Vの設定によりモータの最
大発生推力は約294N、発生加速度は約1G(9.8m
/s2)であり、アクセス開始後モータ速度は加速度約1
Gでしか上昇し得ず、これに応じ移動距離の応答も破線
の理想特性に比べて緩やかなものとなる。(c)図は各
部制御電圧の応答であるが、アクセス開始後(a)図の
モータ速度上昇により速度検出器8からは直線的に増加
する検出信号ΔVvが出力される一方、(b)図の移動
距離変化に応じて位置誤差−電圧変換器2からは時間の
経過と共に減少する検出信号ΔVpが出力され、ΔVv
とΔVpの両者は時間の経過と共に漸近する方向に応答
する。そして比較増幅器3(利得は47倍)で出力され
る両者の差ΔVcがモータ駆動回路の電源電圧46V,
即ち比較増幅器3の入力換算差である約1V以内になっ
た時点からはサーボ系が能動状態となるため本来設計し
た系の応答が始まり,モータ速度のダンピングが始ま
る。(c)図のΔVcは比較増幅器3の入力換算差で表
現したものであるが、ΔVcが約1Vとなる時間T0
約0.039secである。 以上、図5のアクセス制御装
置を用いた具体設計例について説明した。
【0016】図7(b)の応答特性より類推されるよう
に、破線の理論特性によるアクセス時間に対して実線の
実制御によるアクセス時間は長くなり、厳密には1エン
コーダ分解能である1μm以内の収束時間で比べると理
論特性の約0.2secに対し実制御では約0.25secに延
びてしまう。
【0017】本発明の目的は、上記問題点を解決し、図
7の実線の応答特性のように電源電圧の制約などによっ
てモータ立ち上げ速度が制約を受けた場合でも、破線で
示した理論応答と同等なアクセス時間を得ることが可能
なアクセス制御装置を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、正規のアクセス指令入力に対して固定
のオフセット入力を重畳、或は位置誤差−電圧変換器の
出力に固定のオフセット電圧を重畳して、先ず正規のア
クセス位置よりも固定距離だけ遠い位置をアクセスする
ように系を動作させる。次いで、正規のアクセス目標位
置よりも固定距離だけ手前の位置を検出する位置検出手
段により、目標値の固定距離手前に到達した時点で上記
のオフセット入力、、或はオフセット電圧を除去すると
同時に、速度制御系の利得を低めるよう切り替え制御す
る構成とした。
【0019】
【作用】上記オフセット入力、或はオフセット電圧の重
畳による虚偽の過剰なアクセス指令により、速度ダンピ
ングの開始点は遅れ、モータの最大速度が高まってダン
ピング開始以後の移動距離の応答が早くなるよう系は動
作する。即ち、正規のアクセス目標位置迄のアクセス時
間が相対的に短縮される。また、位置検出手段による識
別結果によって、正規のアクセス目標位置の固定距離手
前で上記オフセット入力、或はオフセット電圧が除去さ
れるが、同時に速度制御系の利得も低下するよう制御さ
れるため、オフセット除去に起因する速度の急激な変化
を伴うことなく、系は正規のアクセス目標位置に向かっ
て収束応答する。
【0020】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
【0021】図1は、本発明によるリニアモータのアク
セス制御装置の一実施例を示す構成図である。同図にお
いて、10はオフセット入力重畳手段、14は正規のア
クセス目標位置の固定距離手前を検出するよう構成され
た位置検出手段、15は速度制御系の利得切換手段であ
り、その他図5と同一符号を付した部分は同一、もしく
は同等な部分を指し、その動作もまた同一である。
【0022】先ず、図5で示した従来のアクセス装置と
異なる10、14および15の構成、動作について説明
する。
【0023】オフセット入力重畳手段10は、正規のア
クセス指令入力N0に対して固定のオフセットΔN0を発
生するオフセット入力源11、スイッチ12および加算
器13より構成され、正規のアクセス指令入力N0にΔ
0を重畳して、N0+ΔN0のアクセス指令を出力する
よう動作する。例えば、既述のように位置検出用のエン
コーダ分解能が1μmの場合、20mmの距離をアクセ
スする場合のアクセス指令入力のN0は20×103なる
値が入力されるが、これに対しΔN0は2000なる値に
設定され、N0+ΔN0として22×103を出力するよ
う動作する。またスイッチ12は、位置検出手段14か
らの制御信号Esによって制御されEsが“L”の時に
ON、Esが“H”の時にOFFとなるよう作動する。
【0024】位置検出手段14は、アクセス開始後のモ
ータの移動距離xを監視して正規のアクセス目標位置の
固定距離手前を検出するよう構成されており、正規のア
クセス目標位置の固定距離手前を検出した時点で“L”
から“H”に反転する制御信号Esを出力し、Esによ
りオフセット入力重畳手段10および利得切換手段15
を制御するよう動作する。正規のアクセス目標位置の固
定距離手前の時点とは、アクセス目標位置が上記の20
mm(アクセス指令入力N0=20×103)の場合、例
えば18mm(位置エンコダのカウント数=18×10
3)等に設定されるものである。
【0025】利得切換手段15は、位置検出手段14か
らの制御信号Esにより、Esが“L”から“H”に反
転した時点で利得が低下するように働く。図2はその具
体構成例を示したものであり、同図にて16は減衰器、
17は切替えスイッチである。切替えスイッチ17は、
制御信号Esが“L”の時には接点がA側に、またEs
が“H”の時にはB側に閉じるように構成されており、
従って位置検出手段14により正規のアクセス目標位置
の固定距離手前が検出されるまでは利得は高く(利得=
1)、正規のアクセス目標位置の固定距離手前が検出さ
れた以後は利得は低く(利得=1/k)動作する。
【0026】以下、係る構成による全体動作について図
3を参照しながら説明する。
【0027】ここでは、図7で示した従来のアクセス装
置の具体設計例と同一条件の基に、本発明を適用した場
合の系の応答について説明をする。即ち、サーボ系の各
伝達要素は表1の設定で、距離20mmを0.2sec(エ
ンコーダ分解能1μm以内の収束時間)でアクセスする
ものとし、オフセット入力重畳手段10による重畳オフ
セットΔN0値は2000(距離換算2mm)、位置検
出手段14による移動距離検出点は目標値の2mm手前
の18mm(位置エンコダのカウント数=18×1
3)、利得切換手段15の減衰器16の利得は0.9
(k=1.1)に設定した場合の動作を説明する。な
お、図3の特性で実線のカーブが本発明の場合、破線の
カーブは図7で示した従来装置の場合のものであり、比
較のために併記した。
【0028】アクセス開始指令としてN0=20×103
が入力されると、オフセット入力重畳手段10よりオフ
セットΔN0=2000が重畳され、比較器1には22×
103の位置誤差信号が加わる。この時、速度、移動距
離はゼロのためモータは最大の制御信号ΔVcで加速を
始めるが、モータ駆動回路の電源電圧は46Vで発生推
力は約294Nに制約されるため、モータ速度は加速度
約1G(9.8m/s)で上昇を始める。この動作は、図7
で示した従来のアクセス装置と変わりはなく、従って図
3(a)、(b)の速度v、移動距離xの応答に差はなく、
また(c)図のように速度検出器8および利得切換手段1
5を介した速度検出信号ΔVvも同じである。
【0029】しかしながら、位置誤差−電圧変換器2よ
り出力される制御信号ΔVpは図7で示した従来のアク
セス装置の場合に比べ高くなる。これは、移動距離特性
は同じでもオフセット入力重畳手段10により重畳され
たオフセット距離2mm(ΔN0=2000)に相当する分
が上積みされて動作するからである。これに応じ比較増
幅器3より出力される制御信号ΔVc(比較増幅器3の
入力換算値で表現)も図7で示した従来のアクセス装置
の場合に比べ高い状態で変化する。
【0030】次いで、モータ速度の上昇によりΔVvと
ΔVpが漸近し、その差が約1V以内(比較増幅器3の
出力は約47V)となった時点To以後では、サーボ系
が能動状態となるため本来のサーボ制御が始まる。この
場合のToは、ΔVvとΔVpの交差点が時間軸上右方
向にシフトするため、図7で示した従来のアクセス装置
の場合の0.039secより遅れ約0.042secである。
アクセス目標位置にオフセットを持たせたことにより、
速度サーボ、即ち速度ダンピングの開始点は遅れ、しか
も2mmのオフセットを含んだ22mmなる虚偽の大き
な目標位置へ向けてアクセスが始まるため、速度は実線
のように従来装置より上昇し、移動距離の応答も実線の
ように従来装置(破線と特性)より早くなるよう動作す
る。
【0031】次いで、モータの走行により移動距離が本
来のアクセス目標である20mmの2mm手前、即ち1
8mmの位置に到達するTs時点(計算上約0.07sec)
では、位置検出手段14の制御信号Esは“L”から
“H”に反転し、これによりオフセット入力重畳手段の
スイッチ12は開放、利得切換手段の切替えスイッチ1
7の接点はA側からB側に切り替わる。即ち、Ts時点
で初期に重畳したオフセットが除去されると同時に速度
制御系の利得が低い値に切り替わる。これにより、時刻
Ts以後では本来のアクセス目標距離20mmに対して
の残り距離である2mmをアクセスする収束応答に移行
するが、速度制御系の利得も低下させるためオフセット
除去に起因する速度の急激な変化を伴うことなく速度、
移動距離の応答は緩やかなものとなる。
【0032】以上、図1の実施例について説明した。図
3(b)の応答特性からも類推されるように本実施例によ
るアクセス時間は図7の従来アクセス装置に比べて早
く、計算上約0.19sec(エンコーダ分解能である1μ
m以内の収束時間)であり、既述の理論特性によるアク
セス時間約0.2secとほぼ同等な性能を得ることが出来
る。
【0033】図4は、本発明によるリニアモータのアク
セス制御装置の他の実施例を示す構成図である。同図に
て、18はオフセット電圧供給源19、スイッチ20お
よび加算器21より成るオフセット電圧重畳手段であ
り、その他図5および図1と同一符号を付した部分は同
一、もしくは同等な部分を指し、その動作もまた同一で
ある。
【0034】図4は、図1の実施例のようにアクセス指
令入力N0に対してオフセットΔN0を重畳するのに変え
て、位置誤差−電圧変換器2の出力端で図1のΔN0
相当する数値のオフセットを電圧として重畳するもので
ある。スイッチ20は図1の実施例のスイッチ12と同
様、位置検出手段14の制御信号Esで制御され、Es
が“L”の時にはON、“H”の時にはOFFするよう
動作する。従って、図1の実施例の場合のΔN0=20
00なるオフセットに相当する電圧は、表1に示したG
p値を考慮すると1.466Vであるため、オフセット
電圧供給源19の電圧値を1.466Vに設定すること
により、図1の実施例と全く同様な制御を行わせること
が出来、その応答特性は図3で示したものと同一とな
る。
【0035】以上、本発明の実施例について説明した。
図1および図4では、正規のアクセス目標位置の固定距
離手前を検出するために専用の位置検出手段14を設け
る構成としたが、これは特に限定されるものではなく、
例えばサーボ用の位置検出器9にこの機能を持たせる構
成としても良い。また、利得切換手段15も専用に設け
る構成を示したが、これも限定されるものではなく、例
えばサーボ用の速度検出器8がデイジタル回路で構成さ
れるものにあっては、これに利得切換機能を持たせるこ
とは容易である。更に、アクセス指令入力部と位置検出
器出力との誤差を検出する比較部が、例えばマイクロプ
ロセッサ等で構成されるような場合にあっては、オフセ
ットの重畳および除去の制御をソフト処理で行うことも
可能であり、本発明の要旨を変えない範囲で種々変形可
能は容易である。
【0036】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、オフ
セット入力、或はオフセット電圧の重畳による虚偽の過
剰なアクセス指令により速度制御の開始点が遅れ、モー
タの最大速度が高まって速度制御開始以後の移動距離の
応答が早くなるよう系が動作する。これにより、アクセ
ス時間は早くなり、例えば20mmをアクセスする場合
では、従来アクセス装置で約0.25sec(エンコーダ分
解能である1μm以内の収束時間)であったものを約0.
19secに高速化でき、既述の理論特性によるアクセス
時間約0.2secとほぼ同等な性能を得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図2】図1の利得切換手段の具体構成図である。
【図3】図1の実施例の速度、移動距離、各部制御電圧
の応答特性図である。
【図4】本発明の他の一実施例を示す構成図である。
【図5】従来のリニアモータのアクセス制御装置を示す
構成図である。
【図6】図5の装置の速度、移動距離の理論応答特性図
である。
【図7】図5の装置の実制御における速度、移動距離、
制御電圧の応答特性図である。
【符号の説明】
8…速度検出器、 9…位置検出器、 10…オフセット入力重畳手段、 14…位置検出手段、 15…利得切換手段、 18…オフセット電圧重畳手段。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】搬送用リニアモータ装置にあって、光エン
    コーダなどで構成され上記リニアモータの位置を検出す
    る位置検出器、および上記リニアモータの走行速度を検
    出する速度検出器を備え、アクセス指令入力と上記位置
    検出器出力を第1の比較器で比較して位置誤差を検出
    し、この位置誤差を制御増幅器を介した後に第2の比較
    器により上記速度検出器出力と比較して上記リニアモー
    タの制御信号を得るように構成された搬送用リニアモー
    タのアクセス制御装置において、 上記位置誤差にオフセットを重畳するオフセット重畳手
    段、上記アクセス指令入力に対応するアクセス目標位置
    よりも固定距離手前の位置を検出する位置検出手段、上
    記速度検出器出力の利得を切り替える利得切換手段を具
    備し、アクセス開始時に上記オフセット重畳手段により
    位置誤差にオフセットを重畳すると共に、上記リニアモ
    ータの走行によりアクセス位置が目標位置よりも固定距
    離手前に到達した時点で上記位置検出手段の制御信号に
    より上記オフセット重畳手段による重畳オフセットを除
    去すると同時に、上記利得切換手段の利得を下げるよう
    に制御したことを特徴とする搬送用リニアモータのアク
    セス制御装置。
  2. 【請求項2】上記オフセット重畳手段を、上記アクセス
    指令入力対し固定のオフセット指令入力を重畳するオフ
    セット入力重畳手段で構成したことを特徴とする請求項
    1記載の搬送用リニアモータのアクセス制御装置。
  3. 【請求項3】上記オフセット重畳手段を、上記制御増幅
    器出力にオフセット電圧を重畳するオフセット電圧重畳
    手段で構成したことを特徴とする請求項1記載の搬送用
    リニアモータのアクセス制御装置。
JP4331383A 1992-12-11 1992-12-11 搬送用リニアモータのアクセス制御装置 Pending JPH06178571A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4331383A JPH06178571A (ja) 1992-12-11 1992-12-11 搬送用リニアモータのアクセス制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4331383A JPH06178571A (ja) 1992-12-11 1992-12-11 搬送用リニアモータのアクセス制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06178571A true JPH06178571A (ja) 1994-06-24

Family

ID=18243079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4331383A Pending JPH06178571A (ja) 1992-12-11 1992-12-11 搬送用リニアモータのアクセス制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06178571A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4868649A (en) * 1987-06-01 1989-09-19 Framatome Apparatus for the televisual monitoring of an arc welding operation

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4868649A (en) * 1987-06-01 1989-09-19 Framatome Apparatus for the televisual monitoring of an arc welding operation

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Ellis et al. Observer-based resolver conversion in industrial servo systems
JPS5858689B2 (ja) 位置決め方式
JPH06178571A (ja) 搬送用リニアモータのアクセス制御装置
JPH06284515A (ja) 搬送用リニアモータのアクセス制御装置
JPH06302132A (ja) 搬送用リニアモータのアクセス制御装置
JPH0646366B2 (ja) サ−ボモ−タ制御装置
JPH02152899A (ja) バランサの簡易位置決め制御方法
JPH0472475B2 (ja)
JPS6284309A (ja) 機械剛性補償サ−ボ制御方式
JPS6015718A (ja) 速度サ−ボ制御方法
JPS62245311A (ja) サ−ボモ−タ制御装置
JPH04364387A (ja) サーボ制御装置
JP4437371B2 (ja) S字アップダウン設定装置
JP2635759B2 (ja) 減速機付きエレベータの制御装置
JP2595610B2 (ja) 位置決め制御装置
JPH019832Y2 (ja)
JPH07170783A (ja) 搬送用リニアモータのアクセス制御装置
JPH0253117A (ja) サーボ制御装置
JPS6247705A (ja) ロボツト制御方法
JPH0764644A (ja) 位置決めサーボ機構のゲイン切換装置
SU1163450A1 (ru) Электропривод постоянного тока
JPS63111511A (ja) 移動制御装置
JPH04242409A (ja) 位置制御装置
JPH01269108A (ja) 高速位置決め用制御装置
JPS60125186A (ja) 電動機の制御装置