JPH0617880B2 - 電子分光装置 - Google Patents
電子分光装置Info
- Publication number
- JPH0617880B2 JPH0617880B2 JP58048461A JP4846183A JPH0617880B2 JP H0617880 B2 JPH0617880 B2 JP H0617880B2 JP 58048461 A JP58048461 A JP 58048461A JP 4846183 A JP4846183 A JP 4846183A JP H0617880 B2 JPH0617880 B2 JP H0617880B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy
- sweep
- signal
- sample
- peak
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はオージェ電子分光装置等の、試料より発生する
電子のエネルギーを分光する装置に関する。
電子のエネルギーを分光する装置に関する。
［従来技術］ オージェ電子分光装置は、試料に電子線を照射し、その
結果、試料より発生するオージェ電子をエネルギーアナ
ライザーに導いてエネルギー分析する装置であるが、こ
の装置を用いて、試料表面をイオンスパッタにより削り
ながら深さ方向の分析が行なわれている。この装置は、
注目する複数の元素、例えばＡ，Ｂ，Ｃ各々のスペクト
ルピークを含む狭いエネルギー領域Ｅａ，Ｅｂ，Ｅｃ以
外はスキップしてアナライザーを繰り返し掃引し、分析
位置が深くなるに伴なって変化する元素Ａ，Ｂ，Ｃのス
ペクトルピークの強度を記録するようにしたもので、こ
のような各元素のスペクトルピーク強度の変化から、試
料の深さ方向の各元素の濃度分布を記録するようにして
いる。このような装置においては、不要なエネルギー領
域のスペクトルデータを得ることは一回のエネルギー掃
引に要する時間が長くなるため分析時間の長期化，電子
ビーム照射量の増大に伴なう試料損傷の増大をもたら
す。このため、前述したように注目する元素のスペクト
ルデータを含む狭いエネルギー領域以外はスキップして
アナライザーを掃引を行なっている。特に、試料が絶縁
物である場合には、電子線の照射によって試料がチャー
ジアップし、このチャージアップした電荷に基づいて試
料表面に発生した電界により、試料より発生するオージ
ェ電子は、本来有するエネルギーに加えてこの電界によ
り与えられたエネルギーΔＥを獲得してアナライザーに
入射する。言い代えれば、試料よりのオージェ電子は見
掛け上エネルギー軸に沿ってΔＥだけシフトしたスペク
トルに対応するものとなる。そのため、前述したように
特定の領域だけ掃引するように、エネルギー掃引の領域
を固定しておくと、チャージアップが増大するに伴なっ
て、注目する元素のスペクトルデータが前記領域より逸
脱して検出できなくなってしまう。
結果、試料より発生するオージェ電子をエネルギーアナ
ライザーに導いてエネルギー分析する装置であるが、こ
の装置を用いて、試料表面をイオンスパッタにより削り
ながら深さ方向の分析が行なわれている。この装置は、
注目する複数の元素、例えばＡ，Ｂ，Ｃ各々のスペクト
ルピークを含む狭いエネルギー領域Ｅａ，Ｅｂ，Ｅｃ以
外はスキップしてアナライザーを繰り返し掃引し、分析
位置が深くなるに伴なって変化する元素Ａ，Ｂ，Ｃのス
ペクトルピークの強度を記録するようにしたもので、こ
のような各元素のスペクトルピーク強度の変化から、試
料の深さ方向の各元素の濃度分布を記録するようにして
いる。このような装置においては、不要なエネルギー領
域のスペクトルデータを得ることは一回のエネルギー掃
引に要する時間が長くなるため分析時間の長期化，電子
ビーム照射量の増大に伴なう試料損傷の増大をもたら
す。このため、前述したように注目する元素のスペクト
ルデータを含む狭いエネルギー領域以外はスキップして
アナライザーを掃引を行なっている。特に、試料が絶縁
物である場合には、電子線の照射によって試料がチャー
ジアップし、このチャージアップした電荷に基づいて試
料表面に発生した電界により、試料より発生するオージ
ェ電子は、本来有するエネルギーに加えてこの電界によ
り与えられたエネルギーΔＥを獲得してアナライザーに
入射する。言い代えれば、試料よりのオージェ電子は見
掛け上エネルギー軸に沿ってΔＥだけシフトしたスペク
トルに対応するものとなる。そのため、前述したように
特定の領域だけ掃引するように、エネルギー掃引の領域
を固定しておくと、チャージアップが増大するに伴なっ
て、注目する元素のスペクトルデータが前記領域より逸
脱して検出できなくなってしまう。
［発明の目的］ 本発明はこのような従来の欠点を解決し、注目する元素
のピークを含む狭いエネルギー領域にのみ掃引を固定し
た場合にも、自動的に前記エネルギー軸のチャージアッ
プによるシフトに追随して注目するピークの強度を測定
できる電子分光装置を提供することを目的としている。
のピークを含む狭いエネルギー領域にのみ掃引を固定し
た場合にも、自動的に前記エネルギー軸のチャージアッ
プによるシフトに追随して注目するピークの強度を測定
できる電子分光装置を提供することを目的としている。
［発明の構成］ 本発明は試料より発生する電子をエネルギー分析するエ
ネルギー分析器と、該エネルギー分析器を複数の狭いエ
ネルギー領域以外をスキップしながらエネルギー掃引す
る手段と、該掃引によって得られた検出信号を記録する
ための手段とを備えた装置において、試料のチャージア
ップに基づく標的スペクトルピークの掃引軸方向の移動
量を検出する手段を設けると共に、該検出手段の検出信
号に基づいてエネルギー軸の移動を補正した掃引信号を
発生する手段を具備することを特徴としている。
ネルギー分析器と、該エネルギー分析器を複数の狭いエ
ネルギー領域以外をスキップしながらエネルギー掃引す
る手段と、該掃引によって得られた検出信号を記録する
ための手段とを備えた装置において、試料のチャージア
ップに基づく標的スペクトルピークの掃引軸方向の移動
量を検出する手段を設けると共に、該検出手段の検出信
号に基づいてエネルギー軸の移動を補正した掃引信号を
発生する手段を具備することを特徴としている。
［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は、本発明の一実施例を示すためのもので、図
中、１は試料であり、この試料１の分析位置には集束レ
ンズ２により細く集束された電子線３が照射される。
又、試料１の分析位置には図示外のイオンガンより発生
したイオンビーム４が照射されており、試料１の表面
は、一定の速度で削られて行き、それに伴ない電子線３
の照射される分析位置の深さも徐々に深くなって行く。
６は電子線の照射によって試料１より発生するオージェ
電子５をエネルギー分析するためのエネルギー分析器で
あり、このエネルギー分析器６としては、例えばシリン
ドリカルミラー型のアナライザーが使用されている。７
は掃引信号を発生する掃引信号発生器であり、この掃引
信号発生器７よりの掃引信号は加算回路１６に供給され
ていると共に、記録計１１のＸ入力端子に供給されてい
る。８はエネルギーアナライザー６の出射スリットを通
過した電子を検出するため検出器であり、この検出器８
よりの検出信号は、増幅器９を介して位相検波器１０に
供給されている。この位相検波器１０には図示してはい
ないが、前記エネルギー分析器６を変調する信号が参照
信号として供給されている。位相検波器１０の出力信号
は記録計１１のＹ入力端子に供給されている。この位相
検波器１０の出力信号はＡＤ変換器１２を介して演算制
御装置１３の記憶部１３ｂにも供給されている。この演
算制御装置１３は制御部１３ａ，記憶部１３ｂ，ピーク
位置検出部１３ｃ及び補正信号発生部１３ｄ等より成っ
ており、このうち制御部１３ａは掃引信号発生器７にお
ける掃引信号の発生を制御すると共に、記憶部１３ｂ，
ピーク位置検出部１３ｃ及び補正信号発生部１３ｄを制
御する。演算制御装置１３の補正信号発生部１３ｄの出
力信号はＤＡ変換器１４を介して前記加算回路１６に供
給されており、この加算回路１６の出力信号がエネルギ
ー分析器６を掃引するために供給される。１５は演算制
御装置１３に種々の指令を与えるための入力装置であ
る。
中、１は試料であり、この試料１の分析位置には集束レ
ンズ２により細く集束された電子線３が照射される。
又、試料１の分析位置には図示外のイオンガンより発生
したイオンビーム４が照射されており、試料１の表面
は、一定の速度で削られて行き、それに伴ない電子線３
の照射される分析位置の深さも徐々に深くなって行く。
６は電子線の照射によって試料１より発生するオージェ
電子５をエネルギー分析するためのエネルギー分析器で
あり、このエネルギー分析器６としては、例えばシリン
ドリカルミラー型のアナライザーが使用されている。７
は掃引信号を発生する掃引信号発生器であり、この掃引
信号発生器７よりの掃引信号は加算回路１６に供給され
ていると共に、記録計１１のＸ入力端子に供給されてい
る。８はエネルギーアナライザー６の出射スリットを通
過した電子を検出するため検出器であり、この検出器８
よりの検出信号は、増幅器９を介して位相検波器１０に
供給されている。この位相検波器１０には図示してはい
ないが、前記エネルギー分析器６を変調する信号が参照
信号として供給されている。位相検波器１０の出力信号
は記録計１１のＹ入力端子に供給されている。この位相
検波器１０の出力信号はＡＤ変換器１２を介して演算制
御装置１３の記憶部１３ｂにも供給されている。この演
算制御装置１３は制御部１３ａ，記憶部１３ｂ，ピーク
位置検出部１３ｃ及び補正信号発生部１３ｄ等より成っ
ており、このうち制御部１３ａは掃引信号発生器７にお
ける掃引信号の発生を制御すると共に、記憶部１３ｂ，
ピーク位置検出部１３ｃ及び補正信号発生部１３ｄを制
御する。演算制御装置１３の補正信号発生部１３ｄの出
力信号はＤＡ変換器１４を介して前記加算回路１６に供
給されており、この加算回路１６の出力信号がエネルギ
ー分析器６を掃引するために供給される。１５は演算制
御装置１３に種々の指令を与えるための入力装置であ
る。
このような構成において、まず入力装置１５を操作して
制御装置１３に指令を与え、注目元素Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの
スペクトルピークを含む狭いエネルギー領域Ｅａ，Ｅ
ｂ，Ｅｃと、Ｅｄのみエネルギー掃引し、他の領域はス
キップするための第２図（ａ）に示す如き掃引信号を掃
引信号発生器７より発生される。ここで、狭いエネルギ
ー領域Ｅｄはチャージアップによるエネルギー軸の移動
をモニターするためのピーク（標的ピーク）を含む領域
である。この標的ピークとしては、試料１に一様に分布
していることが既知である元素Ｄのピークが使用されて
いる。そこで、試料１に電子線を照射すれば、試料１よ
り発生したオージェ電子５はエネルギー分析器６に入射
してエネルギーに応じて振り分けられ、エネルギー分析
器６を通過した電子は検出器８により検出される。この
検出器８よりの検出信号は位相検波器１０において検波
され、記録計１１に導かれるが、エネルギー分析器６及
び記録計１１は前記掃引信号によって掃引されているた
め、記録計１１には、第２図（ｂ）に示す如き位相検波
器１０の出力信号が記録される。この掃引に伴なって得
られる位相検波器１０よりの信号はＡＤ変換器１２を介
して制御装置１３の記憶部１３ｂに供給されるが、この
記憶部１３ｂは制御部１３ａよりの制御信号に基づい
て、エネルギー分析器６が前記元素Ｄのピークを含む領
域Ｅｄを掃引する際の信号のみ記憶する。ピーク位置検
出部１３ｃは制御部１３ａよりの制御信号に基づいて記
憶部１３ｂに記憶された元素Ｄのスペクトル波形信号を
読み出し、波形信号が最小（又は最大）になるエネルギ
ー値Ｅ１を算出し、この値を記憶部１３ｂに記憶させ
る。次に一定時間τ経過した後、制御部１３ａは掃引信
号発生器７を制御して第２図（ａ）に示した掃引信号を
発生させる。その結果、試料１のチャージアップに起因
して位相検波器１０より第２図（ｃ）に示すような最初
の信号よりエネルギー軸方向にΔＥ１（時間軸方向にΔ
Ｔ１）だけ移動した信号が検波されたとする。制御部１
３ａは１回の掃引が行なわれる毎に記憶部１３ｂに制御
信号を送ってエネルギー領域Ｅｄにおける検波器１０の
出力信号を新たに記憶させると共に、ピーク位置検出部
１３ｃに前述したピーク位置のエネルギー値を算出させ
る。ピーク位置検出部１３ｃは算出した２回目のピーク
のエネルギー値Ｅ２を記憶部１３ｂに記憶する。次い
で、制御部１３ａよりの制御信号に基づいて補正信号発
生部１３ｄは記憶部１３ｂに最初に記憶されていた標的
ピークのエネルギー値Ｅ１と２回目に求められたエネル
ギー値Ｅ２を表わす信号を読み出し、両値の差Ｅ２−Ｅ
１即ちΔＥ１を算出し、この算出した値に基づいてエネ
ルギー軸方向の移動ΔＥ１を相殺するための第２図
（ｄ）に示す如き補正信号を発生する。補正信号発生部
１３ｄよりの補正信号はＤＡ変換器１４においてアナロ
グ信号に変換された後、加算回路１６において掃引信号
発生器７よりの掃引信号と加算され、エネルギー分析器
６に供給される。そのため、前記所定時間τだけ経過し
た後、制御部１３ａより掃引信号発生器７に制御信号を
送って、掃引信号を発生させれば、第３回目の掃引にお
いては、エネルギー分析器６には第２図（ｄ）に示す如
き補正信号分だけレベルシフトした掃引信号が供給され
る。そのため、第３回目の掃引においては、第２回目ま
での試料のチャージアップに基づくエネルギー軸方向の
移動を補正してエネルギー分析器６を掃引できる。同様
に、第３回目の掃引においても、この掃引によって得ら
れた位相検波器１０よりのスペクトル信号のうち前記モ
ニター用元素Ｄのスペクトルピークを有する狭いスペク
トル領域の信号は、記憶部１３ｂに記憶され、この記憶
された信号に基づいてピーク位置検出部１３ｃは元素Ｄ
のスペクトルピークを検出して、そのエネルギー値Ｅ３
を記憶部１３ｂに記憶させる。補正信号発生部１３ｄ
は、この記憶部１３ｂに記憶された標的ピークのエネル
ギーＥ３と、最初のエネルギー値Ｅ１との差に対応した
補正信号を発生し、この補正信号は第４回目の掃引のた
めに掃引信号発生器よりの掃引信号と加算されてエネル
ギー分析器６に供給される。このように、掃引を行なう
都度、標的ピーク位置の移動をモニターすることによ
り、その掃引までのチヤージアップに基づくエネルギー
軸方向の移動量を検出して、この移動を相殺する補正信
号を発生しているため、注目する元素のピークを含む狭
いエネルギー領域のみ掃引を固定した場合にも、各注目
元素のピークを逃がすことなく、掃引を行なうことがで
き、掃引を繰り返すことにより、第３回以降例えば、第
２図（ｅ），（ｆ）に示すようなスペクトルを記憶し
て、この記憶されたスペクトルから第３図に示すよう
な、試料の深さ方向の各元素の濃度分布を測定すること
ができる。
制御装置１３に指令を与え、注目元素Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの
スペクトルピークを含む狭いエネルギー領域Ｅａ，Ｅ
ｂ，Ｅｃと、Ｅｄのみエネルギー掃引し、他の領域はス
キップするための第２図（ａ）に示す如き掃引信号を掃
引信号発生器７より発生される。ここで、狭いエネルギ
ー領域Ｅｄはチャージアップによるエネルギー軸の移動
をモニターするためのピーク（標的ピーク）を含む領域
である。この標的ピークとしては、試料１に一様に分布
していることが既知である元素Ｄのピークが使用されて
いる。そこで、試料１に電子線を照射すれば、試料１よ
り発生したオージェ電子５はエネルギー分析器６に入射
してエネルギーに応じて振り分けられ、エネルギー分析
器６を通過した電子は検出器８により検出される。この
検出器８よりの検出信号は位相検波器１０において検波
され、記録計１１に導かれるが、エネルギー分析器６及
び記録計１１は前記掃引信号によって掃引されているた
め、記録計１１には、第２図（ｂ）に示す如き位相検波
器１０の出力信号が記録される。この掃引に伴なって得
られる位相検波器１０よりの信号はＡＤ変換器１２を介
して制御装置１３の記憶部１３ｂに供給されるが、この
記憶部１３ｂは制御部１３ａよりの制御信号に基づい
て、エネルギー分析器６が前記元素Ｄのピークを含む領
域Ｅｄを掃引する際の信号のみ記憶する。ピーク位置検
出部１３ｃは制御部１３ａよりの制御信号に基づいて記
憶部１３ｂに記憶された元素Ｄのスペクトル波形信号を
読み出し、波形信号が最小（又は最大）になるエネルギ
ー値Ｅ１を算出し、この値を記憶部１３ｂに記憶させ
る。次に一定時間τ経過した後、制御部１３ａは掃引信
号発生器７を制御して第２図（ａ）に示した掃引信号を
発生させる。その結果、試料１のチャージアップに起因
して位相検波器１０より第２図（ｃ）に示すような最初
の信号よりエネルギー軸方向にΔＥ１（時間軸方向にΔ
Ｔ１）だけ移動した信号が検波されたとする。制御部１
３ａは１回の掃引が行なわれる毎に記憶部１３ｂに制御
信号を送ってエネルギー領域Ｅｄにおける検波器１０の
出力信号を新たに記憶させると共に、ピーク位置検出部
１３ｃに前述したピーク位置のエネルギー値を算出させ
る。ピーク位置検出部１３ｃは算出した２回目のピーク
のエネルギー値Ｅ２を記憶部１３ｂに記憶する。次い
で、制御部１３ａよりの制御信号に基づいて補正信号発
生部１３ｄは記憶部１３ｂに最初に記憶されていた標的
ピークのエネルギー値Ｅ１と２回目に求められたエネル
ギー値Ｅ２を表わす信号を読み出し、両値の差Ｅ２−Ｅ
１即ちΔＥ１を算出し、この算出した値に基づいてエネ
ルギー軸方向の移動ΔＥ１を相殺するための第２図
（ｄ）に示す如き補正信号を発生する。補正信号発生部
１３ｄよりの補正信号はＤＡ変換器１４においてアナロ
グ信号に変換された後、加算回路１６において掃引信号
発生器７よりの掃引信号と加算され、エネルギー分析器
６に供給される。そのため、前記所定時間τだけ経過し
た後、制御部１３ａより掃引信号発生器７に制御信号を
送って、掃引信号を発生させれば、第３回目の掃引にお
いては、エネルギー分析器６には第２図（ｄ）に示す如
き補正信号分だけレベルシフトした掃引信号が供給され
る。そのため、第３回目の掃引においては、第２回目ま
での試料のチャージアップに基づくエネルギー軸方向の
移動を補正してエネルギー分析器６を掃引できる。同様
に、第３回目の掃引においても、この掃引によって得ら
れた位相検波器１０よりのスペクトル信号のうち前記モ
ニター用元素Ｄのスペクトルピークを有する狭いスペク
トル領域の信号は、記憶部１３ｂに記憶され、この記憶
された信号に基づいてピーク位置検出部１３ｃは元素Ｄ
のスペクトルピークを検出して、そのエネルギー値Ｅ３
を記憶部１３ｂに記憶させる。補正信号発生部１３ｄ
は、この記憶部１３ｂに記憶された標的ピークのエネル
ギーＥ３と、最初のエネルギー値Ｅ１との差に対応した
補正信号を発生し、この補正信号は第４回目の掃引のた
めに掃引信号発生器よりの掃引信号と加算されてエネル
ギー分析器６に供給される。このように、掃引を行なう
都度、標的ピーク位置の移動をモニターすることによ
り、その掃引までのチヤージアップに基づくエネルギー
軸方向の移動量を検出して、この移動を相殺する補正信
号を発生しているため、注目する元素のピークを含む狭
いエネルギー領域のみ掃引を固定した場合にも、各注目
元素のピークを逃がすことなく、掃引を行なうことがで
き、掃引を繰り返すことにより、第３回以降例えば、第
２図（ｅ），（ｆ）に示すようなスペクトルを記憶し
て、この記憶されたスペクトルから第３図に示すよう
な、試料の深さ方向の各元素の濃度分布を測定すること
ができる。
上述した実施例は、本発明の一実施例に過ぎず、実施に
あたっては他の態様を取り得る。
あたっては他の態様を取り得る。
例えば、上述した実施例においては、掃引信号発生器よ
りの掃引信号に補正信号を加算するようにしたが、補正
を施した掃引信号を電子計算機よりソフト的に作成し
て、エネルギー分析器に供給するようにしても良い。
りの掃引信号に補正信号を加算するようにしたが、補正
を施した掃引信号を電子計算機よりソフト的に作成し
て、エネルギー分析器に供給するようにしても良い。
又、上述した実施例は、オージェ電子分光装置に本発明
を適用した例について説明したが、本発明は光電子分光
装置等にも同様に適用できる。
を適用した例について説明したが、本発明は光電子分光
装置等にも同様に適用できる。
更に又、標的ピークはピーク強度が余り変化しないもの
が望ましいが、注目元素のピークを標的ピークとしても
良い。
が望ましいが、注目元素のピークを標的ピークとしても
良い。
［効果］ 上述したように、本発明により、注目する元素のピーク
を含む狭いエネルギー領域にのみ掃引を固定した場合
に、試料のチャージアップにより元素のピークがシフト
しても、標的ピークのシフトを検出するだけで、注目す
る各元素のピークを逃すことなく高速測定することがで
きる。
を含む狭いエネルギー領域にのみ掃引を固定した場合
に、試料のチャージアップにより元素のピークがシフト
しても、標的ピークのシフトを検出するだけで、注目す
る各元素のピークを逃すことなく高速測定することがで
きる。
第１図は、本発明の一実施例を示すための図、第２図は
エネルギー分析器に供給される掃引信号と位相検波器に
よって検出された信号を例示するための図、第３図は試
料の深さ方向の各元素の濃度分布を例示するための図で
ある。 １：試料、２：集束レンズ、３：電子線、４：イオンビ
ーム、５：オージェ電子、６：エネルギー分析器、８：
検出器、９：増幅器、１０：位相検波器、１１：記録
計、１２：ＡＤ変換器、１３：演算制御装置、１３ａ：
制御部、１３ｂ：記憶部、１３ｃ：ピーク位置検出部、
１３ｄ：補正信号発生部、１４：ＤＡ変換器、１５：入
力装置、１６：加算回路。
エネルギー分析器に供給される掃引信号と位相検波器に
よって検出された信号を例示するための図、第３図は試
料の深さ方向の各元素の濃度分布を例示するための図で
ある。 １：試料、２：集束レンズ、３：電子線、４：イオンビ
ーム、５：オージェ電子、６：エネルギー分析器、８：
検出器、９：増幅器、１０：位相検波器、１１：記録
計、１２：ＡＤ変換器、１３：演算制御装置、１３ａ：
制御部、１３ｂ：記憶部、１３ｃ：ピーク位置検出部、
１３ｄ：補正信号発生部、１４：ＤＡ変換器、１５：入
力装置、１６：加算回路。
Claims (1)
- 【請求項１】試料より発生する電子をエネルギー分析す
るエネルギー分析器と、該エネルギー分析器を複数の狭
いエネルギー領域以外をスキップしながらエネルギー掃
引する手段と、該掃引によって得られた検出信号を記録
するための手段とを備えた電子分光装置において、試料
のチャージアップに基づく標的スペクトルピークの掃引
方向の移動量を検出する手段を設けると共に、該検出手
段の検出信号に基づいてエネルギー軸の移動を補正した
掃引信号を発生する手段を具備することを特徴とする電
子分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58048461A JPH0617880B2 (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 電子分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58048461A JPH0617880B2 (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 電子分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59173738A JPS59173738A (ja) | 1984-10-01 |
| JPH0617880B2 true JPH0617880B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=12804001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58048461A Expired - Lifetime JPH0617880B2 (ja) | 1983-03-23 | 1983-03-23 | 電子分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617880B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52147488A (en) * | 1976-06-02 | 1977-12-07 | Hitachi Ltd | X ray spectroscope |
| JPS54163095A (en) * | 1978-06-15 | 1979-12-25 | Nippon Electron Optics Lab | Xxrays spectral diffraction device |
-
1983
- 1983-03-23 JP JP58048461A patent/JPH0617880B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59173738A (ja) | 1984-10-01 |
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