JPH061800B2 - リ−ドフレ−ム - Google Patents

リ−ドフレ−ム

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JPH061800B2
JPH061800B2 JP59059455A JP5945584A JPH061800B2 JP H061800 B2 JPH061800 B2 JP H061800B2 JP 59059455 A JP59059455 A JP 59059455A JP 5945584 A JP5945584 A JP 5945584A JP H061800 B2 JPH061800 B2 JP H061800B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は半導体用のリードフレームに関する。
[発明の技術的背景とその問題点] 従来から、半導体のリードフレームとしては、42アロ
イ(42%Ni−Fe合金)のようなFe−Ni系合金
で形成されたものが知られている。
しかしながら、このようなリードフレームは、硬度が高
く折曲げ性に優れてい半面、半導体の高集積化に伴って
要求されてきている熱放散性が充分でなく、また材料価
格が高いという欠点があった。
近年、このようなFe−Ni系合金に代って値段の安価
なCu合金でリードフレームを形成することが検討され
ているが、Au線とのボディング性、硬化、折曲げ性、
耐酸化性等のリードフレームに要求されるすべての特性
を満足させるものは得られていない。
[発明の目的] 本発明者らはこのような点に対処して鋭意研究を進めた
結果、従来のFe−Ni系合金に析出硬化形のCu合金
をクラッドすることにより前述の特性をすべて満足させ
るリードフレームが得れることを見出した。
本発明はこのような知見に基づいてなされたもので、A
u線のボンディング性、硬度、折曲げ性、耐酸化性およ
び半田付け性に優れ、熱放散性の高いリードフレームを
提供することを目的とする。
[発明の概要] すなわち本発明は、Fe−Ni系合金からなる板状体の
両面に、析出硬化形Cu合金からなる薄板をクラッドし
てなるクラッド材で形成したことを特徴とするリードフ
レームである。
本発明に用いるクラッド材の一例を第1図に示す。同図
において符号1はFe−Ni系合金からなる板状体、符
号2はその両面にクラッドされた析出硬化形Cu合金か
らなる薄板を示す。
ここで板状体1を構成するFe−Ni系合金としては、
例えば42アロイやコバール(Fe−Ni−Co合金)
を使用することができる。また、これらの板状体の両面
にクラッドする薄板2は、20μm以上の厚さのものを
使用するのが望ましく、特に析出硬化形のCu合金で構
成した薄板を使用するのが望ましい。
このような析出硬化形Cu合金は、Cr、Zrのような
析出硬化成分元素とCuを高温で溶解し、連続鋳造法に
より鋳造し、さらに熱間圧延、冷間圧延し、溶体化熱処
理を行なった後、冷間加工を施し、次いで析出硬化処理
を行なうことにより得ることができる。
特にCr0.1〜1重量%とZr0.05〜0.5重量
%を含むCu合金を400〜500℃の温度で析出硬化
処理し、1000〜10000個/mm2の密度で0.5
〜50μmの析出物を析出させたCu合金は、硬度、折
曲げ性、耐熱性、導電性に優れているので使用すること
が望ましい。
また、上記割合のCr、Zr以外にMg、Si、Sn、
Ni、Zn、Mn、P、Agから選ばれた1種または2
種以上の元素を合計量で1重量%以下含有させ、同様に
析出硬化処理を施したCu合金を用いることもできる。
本発明のリードフレームは、このような析出硬化形Cu
合金からなる薄板2を、前述のFe合金からなる板状体
1の両面に全体の厚さが0.15〜0.25mmになるよ
うに常法により冷間でクラッドしてなるクラッド材料を
400〜500℃の温度で析出硬化処理した後、打抜き
加工等の方法で所定形状に成形することにより得られ、
折曲げ性を始めとする種々の特性に極めて優れている。
[発明の実施例] 以下本発明の実施例について記載する。
次表に示す組成のCu合金を連続鋳情し、熱間圧延後、
溶体化熱処理を行なった。次いで冷間圧延により厚さ
0.2mmの板状に仕上げた。
こうして得られた薄板を、42アロイからなる厚さ0.
11mmの板状体の両面に常法によりクラッドし、450
℃で析出硬化処理を施し、これを打抜き加工し、第2図
に示す形状のリードフレーム3を製造した。
次に得られたリードフレームの折曲げ性、表面硬度およ
びAu線とのボンディング性を試験した。結果は同表に
示す通りであった。なお、同表中ボンディング性は第3
図に示すように、実施例のリードフレーム3のチップ搭
載部3aにダイ接着剤4を介してシリコンウェハー5を
接着し、さらにその上にAu蒸着膜6を形成した後、こ
のAu蒸着膜6とこれに対応するリードフレームの接続
部3bをAgめっきを施すことなく、Au線7で直接接
続したときAu線7のA部で破断したものを○印とし
た。符号8は樹脂モールド部を示す。なお、B部で破断
したものはなかった。
[発明の効果] 以上の説明から明らかなように本発明のリードフレーム
は、Au線とのボンディング性、表面硬度、折曲げ性に
優れ、しかも耐酸化性、半田付け性および熱放散性が良
好で安価である。
また、クラッドされたFe−Ni系合金からなる板状体
を析出硬化形Cu合金の薄板とは完全な金属結合により
接合されており剥離することがない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に用いるクラッド材の一例を示す横断面
図、第2図は本発明の一実施例のリードフレームの平面
図、第3図は実施例のリードフレームのAu線とのボン
ディング性の試験方法を示す拡大断面図である。 1…………Fe−Ni系合金からなる板状体 2…………析出硬化形Cu合金からなる薄板 3…………リードフレーム 4…………ダイ接着剤 5…………シリコンウエハー 6…………Au蒸着膜 7…………Au線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−20135(JP,A) 特開 昭58−169947(JP,A) 特開 昭58−141544(JP,A) 特開 昭54−100257(JP,A) 実開 昭56−49154(JP,U) 特公 昭53−42390(JP,B2)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】Fe−Ni系合金からなる板状体の両面
    に、析出硬化形Cu合金からなる薄板をクラッドしてな
    るクラッド材で形成したことを特徴とするリードフレー
    ム。
  2. 【請求項2】析出硬化形Cu合金は、析出効果元素とし
    てCrとZrを含有するCu合金である特許請求の範囲
    第1項記載のリードフレーム。
  3. 【請求項3】析出硬化形Cu合金は、Cr0.1〜1重量
    %とZr0.05〜0.5重量%とを含有したものである特許
    請求の範囲第2項記載のリードフレーム。
  4. 【請求項4】クラッド材は、400〜500℃の温度で析出硬
    化処理がなされたものである特許請求の範囲第1項乃至
    第3項いずれかに記載のリードフレーム。
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JPS60206053A JPS60206053A (ja) 1985-10-17
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