JPH0618288U - ウェーハカセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ハンドリングに際し、あるいはストックして
いる状態において、ウェーハの表面を傷つけるおそれの
ないウェーハカセットを提供する。 【構成】 相互に平行な多段の溝３を有する一対の側板
２，２とこれを下部で連結する底板４とで箱形を形成し
たウェーハカセット１であって、対向する溝３は垂直面
に対して傾斜して設けられている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造プロセスにおいて、半導体ウェーハを待機状態でストッ クしておくウェーハカセットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

図３及び図４は従来のウェーハカセットの一例である。両図に示すように、こ のウェーハカセット１１は、上面が解放された箱形で、両側板１２と底板１４と で囲まれた内面には相互に平行な多段の溝１３が底板１４に対して垂直に設けら れ、ウェーハＷを一枚ごとに各溝内に差込むようにしてセットするようになって いる。この場合のウェーハＷは、表裏を一方向に向けてウェーハカセット１１に セットされる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

このような従来の構造では、溝が垂直に設けられているため半導体製造プロセ スにおいて、ウェーハＷを真空ピンセットによってハンドリングするとき、ある いは待機状態でストックしているとき、溝の中で容易に前後に倒れる場合があり ウェーハの外周表面が溝内面と接触し、その結果、ウェーハ表面に作成したレジ スト膜が剥離したり、剥離した粉状物が他のウェーハに付着して不良となり、歩 留まりに影響を及ぼしていた。本考案は、ハンドリングに際し、あるいはウェー ハをストットしている状態において、ウェーハの表面周縁を傷付けるおそれのな いウェーハカセットを提供することをその目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成すべく本考案は、相互に平行な多段の溝を有する一対の側板と これを下部で連結する底板とで箱形を形成したウェーハカセットであって、対向 する前記溝は垂直面に対して傾斜して設けられたウェーハカセットである。

【０００５】 また、本考案は、前記の溝の横断面がＶ形をなし、その一辺がウェーハと平行 であることを特徴とするウェーハカセットである。

【０００６】

【作用】

本考案の第１の特長は、溝３が垂直面に対してθだけ傾斜して設けられ、ウェ ーハＷの裏面の外周が溝３の内面と接するように保持されるところにあり、一旦 セットされたらウェーハＷの表面は溝内面と接触することはない。従って、ウェ ーハの表面に形成したレジスト膜が剥離するようなことはない。因みに、図３に 示すように溝１３が垂直に設けられている場合は、ウェーハＷは溝１３の中で容 易に前後に倒れるのでその周縁部のレジスト膜は剥離する。

【０００７】 本考案の第２の特長は、溝３の横断面がＶ形をなしており、その中の一辺はウ ェーハＷと平行になるよう設けられているところにあり、ウェーハＷの面とＶ形 溝の他の辺のなす角αは、図４に示した従来の対応する角度βより大きくなる。 従って、ウェーハＷをセットする場合に、その周縁が溝内面と接触する機会が少 なくなる。また、溝３を形成する一つの面がウェーハＷの面と平行でその面上に セットされるので安定性がよい。

【０００８】

【実施例】

以下、添付の図１及び図２に基づいて、本考案の一実施例のウェーハカセット について説明する。図に示すように、このウェーハカセット１は一対の側板２と 、これを下部で連結する底板４とで箱形に構成している。これらは耐触性の樹脂 で一体に成形されており、その内部にウェーハＷが所定の間隙を存して縦に、か つ表裏を一方向に向けて整列状態でセットされるようになっている。このセット が良好に行われるように両側板２，２の内面には、所定のピッチで溝３が形成さ れている。すなわち、これらは等ピッチで繰返して形成されていて、この対向す る各溝３にウェーハＷの周縁が差込まれるようにセットされる。セットされたウ ェーハＷは両側板２，２の溝部３と底板４とにより３点で保持され、隣接するウ ェーハＷと一定の距離を置き接触しないようになっている。もっともセットされ たウェーハＷ同士の接触は無いが、ウェーハＷをハンドリングするとき、あるい はストック状態においてもウェーハＷの表面周縁と溝とが接触する可能性がある 。この問題を解消するための本実施例では以下のような特徴を備えている。

【０００９】 すなわち、溝３は垂直面に対してθだけ傾斜して設けられ、ウェーハＷの裏面 の外周が溝２の内面と接するようにセットされるので、一旦セットされたウェー ハＷの表面は溝内面と接触することはない。従って、ウェーハＷの表面に形成さ れたレジスト膜が剥離するようなことはない。また、溝３の横断面はＶ形をなし ており、その中の一辺はウェーハＷと平行になるよう設けられているので、ウェ ーハＷの面とＶ形溝の他の辺のなす角度αは、対応する図４に示した角度βより 大きくなる。従って、ウェーハＷを真空ピンセットでセットする場合にウェーハ の周縁が溝内面と接触する機会が少なくなる。さらに、Ｖ形溝３を形成する一つ の面はウェーハＷの面と平行でその面の上にセットされるので安定性がよい。

【００１０】

【考案の効果】

以上のように本考案によれば、ウェーハを保持しているＶ形溝は傾斜して設け られているので、ウェーハが溝の中で前後に倒れることがなく、しかもＶ形溝の なす角度を大きく設けられているので、ハンドリングに際してもウェーハ周縁表 面が溝内面と接触し、その表面に形成したレジスト膜の剥離を防ぐことができる 。さらに、Ｖ形溝を形成する一つの面はウェーハ面と平行に設けられ、その面上 にセットされるので安定性がよく、上記のレジスト膜の剥離を防ぐ効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係るウェーハカセットの構造
を示す斜視図である。

【図２】本考案の実施例に係るウェーハカセットの平面
図である。

【図３】従来のウェーハカセットの斜視図である。

【図４】従来のウェーハカセットの平面図である。

【符号の説明】

１：ウェーハカセット ２：側板 ３：溝 ４：底板 Ｗ：ウェーハ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 相互に平行な多段の溝を有する一対の側
   板とこれを下部で連結する底板とで箱形を形成したウェ
   ーハカセットであって、対向する前記溝は垂直面に対し
   て傾斜して設けられたことを特徴とするウェーハカセッ
   ト。
2. 【請求項２】 溝の横断面がＶ形をなし、その一辺がウ
   ェーハと平行であることを特徴とする請求項１記載のウ
   ェーハカセット。