JPH054484U - ウエーハカセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、ハンドリングに際し、隣接するウ
ェーハの表面側を傷付けるおそれのないウェーハカセッ
トを提供することを目的とする。 【構成】 内面に、ウェーハ（Ｗ）をセットするひだ状
の凹凸を対向して形成したウェーハカセット（１）にお
いて、対向した各凹凸の凸部（７）同士を連結する、上
端がウェーハ（Ｗ）のセット位置より高い隔壁（８）を
備えた。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造プロセスにおいて、半導体ウェーハを待機状態でストッ クしておくウェーハカセットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図４および図５は従来のウェーハカセットの一例である。両図に示すように、 このウェーハカセット４１は、上面が解放された箱形で脚部４２，４２を有して 構成されており、全体が樹脂で一体に形成されている。ウェーハカセット４１の 両側面４３と底面４４とで囲われた内面には、ひだ状の凹凸が均一のピッチで形 成されており、この凹凸の対向する凹部４５に、ウェーハＷの周縁を差し込むよ うにしてこれをセットするようになっている。この場合ウェーハは、表裏を一方 向に向けてウェーハカセット４１にセットされる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

このような従来の構造では、ウェーハカセット４１からウェーハＷをハンドリ ングするとき、特に真空ピンセットを用いてハンドリングするときに、真空ピン セットの先端が隣りにセットされているウェーハＷの表面側に触れるおそれがあ った。真空ピンセットは先端をウェーハＷの裏面側に吸着させてこれをハンドリ ングするようになっており、吸着が良好に行えるように先端部分が可とう性を有 している。一方で、ウェーハカセット４１はウェーハＷを縦に多数収容するよう に構成されている。したがって、ハンドリングの際に作業者が誤って隣接するウ ェーハＷ、すなわち隣接するウェーハＷの表面側に触れ易く、その表面に形成さ れた回路パターンを傷付けるおそれがあった。

【０００４】 本考案は、ハンドリングに際し、隣接するウェーハの表面側を傷付けるおそれ のないウェーハカセットを提供することをその目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成すべく本考案は、内面に、ウェーハをセットするひだ状の凹凸 を対向して形成したウェーハカセットにおいて、対向した各凹凸の凸部同士を連 結する、上端がウェーハのセット位置より高い隔壁を備えたことを特徴とする。

【０００６】

【作用】

上端がウェーハのセット位置より高い隔壁で、対向した各凹凸の凸部同士を連 結することにより、ウェーハカセットの内面の各凹部を区画することができる。 したがって、これに収容される各ウェーハは、隣接する前後隔壁で区画保護され る。ハンドリングの際は、ハンドリング器具がハンドリングされるべきウェーハ と隔壁との間に差し込まれる。

【０００７】

【実施例】

以下添付の図１および図２に基づいて、本考案の一実施例のウェーハカセット について説明する。同図に示すように、このウェーハカセット１は前後長手方向 に延びる一対の脚部２，２と、この脚部２，２に連なり上方へ延びる一対の側板 ３と、脚部２，２を下部で連結する底板４と、側板３，３を上部の前後で連結す る連結枠５とで箱形に構成されている。これらは耐蝕性の樹脂で一体に成型され ており、その内部にウェーハＷが所定の間隙を存して縦に、かつ表裏を一方向に 向けて整列状態でセットされるようになっている。

【０００８】 このセットが良好に行われるように両側板３，３の内面および底板４の内面に は、所定のピッチで凹凸が形成されている。すなわち、これらには等ピッチで凹 部６と凸部７とが連続的に形成されていて、この対向する各凹部６にウェーハＷ の周縁が差し込まれるようにセットされる。セットされたウェーハＷは両側板３ ，３の凹部６と底板４の凹部６とにより３点で保持され、隣接するウェーハＷと 一定の距離を置き接触しないようになっている。もっともセットされたウェーハ Ｗ同士の接触は無いが、ウェーハＷをハンドリングする器具が隣接するウェーハ Ｗに接触する可能性がある。この問題を解消するため本実施例では以下のような 特徴を備えている。

【０００９】 すなわち、両側板３，３の凸部７と底板４の凸部７とを連結する隔壁８が形成 されており、各一枚一枚のウェーハＷのセット領域がこの隔壁８で区画されてい る。隔壁８の上端はセットされたウェーハＷの頂部より幾分高く形成されていて 、ハンドリング用器具（真空ピンセット）が隣接するウェーハＷに確実に接触し ないようになっている。この場合隔壁８の下部は、底板４まで延びていなくても 真空ピンセットが挿入される部位、、すなわち上部の１／３程度までであっても よい。また隔壁８は、両側板３，３や底板４と一体に形成しても良いが、隔壁８ のみそれぞれの凸部７に接着固定しても良い。

【００１０】 次に図３によりウェーハのハンドリングの状態を説明する。同図はウェーハカ セット１がセットされた状態を側面から見たものであり、真空ピンセット１０を 用いたハンドリングを示している。ウェーハＷは間隙を介して隔壁８に挟まれる ようにセットされており、この間隙に真空ピンセット１０が差し込まれる。ウェ ーハＷはその表面側Ｗａに回路パターンが形成されているため、真空ピンセット １０により裏面側Ｗｂが吸着されてハンドリングされる。一方、真空ピンセット １０は真空吸着を行う吸着ヘッド１１と、吸着ヘッド１１を保持するアーム部１ ２と、アーム部１２に可とう性を付与する連結ゴム１３と、グリップ部１４とか ら成る。グリップ部１４には吸着スイッチ１５が取り付けられていて、吸着ヘッ ド１１の部分をウェーハＷと隔壁８の間に差し込んで、吸着ヘッド１１をウェー ハＷの裏面側Ｗｂに接触させたところで、このスイッチ１５を「ＯＮ」すること でウェーハＷの吸着がなされる。吸着後、真空ピンセット１０を上方に持上げる ようにしてウェーハＷが取り出される。

【００１１】 以上のごとくに構成された本実施例に係るウェーハカセット１は、各ウェーハ Ｗが隔壁８で仕切られたセット領域に収容されているので、ハンドリング時に真 空ピンセット１０が隔壁８に触れることがあっても隣接するウェーハＷの表面側 Ｗａに接触することがないので、隣接するウェーハＷの回路パターンを傷付ける 心配がない。また、これにより、作業が円滑かつ迅速に行われる。

【００１２】

【考案の効果】

以上のように本考案によれば、隔壁により隣接するウェーハ同士は仕切られて おり、しかもこの隔壁がウェーハのセット位置より高いので、ハンドリングに際 し、ハンドリング器具が隔壁に邪魔されて該当するウェーハに隣接するウェーハ に触れることがなく、隣接するウェーハを傷付けることがない。また、このため ハンドリングの作業能率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係るウェーハカセットの構造
を示す斜視図である。

【図２】実施例に係るウェーハカセットの平面図であ
る。

【図３】ウェーハのハンドリングの説明図である。

【図４】従来のウェーハカセットの斜視図である。

【図５】従来のウェーハカセットの平面図である。

【符号の説明】

１…ウェーハカセット ３…側板 ４…底板 ６…凹部 ７…凸部 ８…隔壁 Ｗ…ウェーハ

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 内面に、ウェーハをセットするひだ状の
   凹凸を対向して形成したウェーハカセットにおいて、 対向した前記各凹凸の凸部同士を連結する、上端が前記
   ウェーハのセット位置より高い隔壁を備えたことを特徴
   とするウェーハカセット。