JPH0618442A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 センサーからの波形信号と基準レベル波形と
の時間的整合を図り、被検査物の異常を正確に検出する
こと。 【構成】 基準レベル波形とセンサー８からの波形信号
との位相を合わせるべく波形信号を遅延させる遅延回路
１１を設ける。ローパスフィルタ１３でＣＣＤセンサー
８からの波形信号に含まれるパルスを抑制し、この抑制
した信号をレベル設定部１５にこＣＣＤセンサー８から
の波形信号に対する基準レベル波形を形成する。上記ロ
ーパスフィルタ１３により基準レベル波形がＣＣＤセン
サー８からの波形信号に対して遅れる。そこで波形信号
を遅延回路１１により遅延させて、比較手段４１の入力
側でレベル設定部１５から入力される基準レベル波形と
ＣＣＤセンサー８からの波形信号との時間的な整合をと
る。したがって被検査物Ａの異常を正確に検出すること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はＣＣＤリニアイメージ
センサーを用いて、光ディスクの傷、汚れ、異物等の欠
陥を光学的、電気的に検出する検査装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＣＣＤセンサーを用いてガラス
板、コンパクトディスク等の被検査物からの反射光また
は透過光により異物、ピンホール等を検出する装置が提
供されている。この装置にあっては、ＣＣＤセンサーか
らの波形信号に対するスレッショルトレベル波形を、該
波形信号から形成している。つまりＣＣＤセンサーから
の波形信号に対するスレッショルドを絶対的な一定値と
した場合には、ＣＣＤセンサーの波形信号自体が変動す
るために、該波形信号と同様な変動を伴うスレッショル
ドを用いる必要がある。

【０００３】そこで上記波形信号に所定の係数を加えて
基準レベル波形（スレッショルドレベル波形）を、ＣＣ
Ｄセンサーからの波形信号に対するスレッショルドレベ
ルとしている。そしてＣＣＤセンサーからの波形信号
は、被検査物に傷、ピンホール等を検出した場合にはシ
ャープエッジなパルスを含む信号となるために、このパ
ルスを鈍らせる必要から、基準レベル波形を形成する前
にパルスの高周波成分を除去するためにローパスフィル
タを介在させている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながらかかる従
来例においては、上記ローパスフィルタを設けて基準レ
ベル波形を形成しているために、このローパスフィルタ
の存在により基準レベル波形がＣＣＤセンサーからの波
形信号と位相が合わなくなり、つまり波形信号に対して
基準レベル波形が遅延して、被検査物の傷、ピンホール
等の異常を正確に検出できないという問題があった。

【０００５】この発明は上記従来の欠点を解決するため
になされたものであって、その目的は、センサーからの
波形信号と基準レベル波形との時間的整合を図り、被検
査物の異常を正確に検出することが可能な検査装置に提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】そこで請求項１の検査装
置は、被検査物Ａからの透過光または反射光を受光する
センサー８と、このセンサー８からの波形信号に含まれ
る被検査物Ａの異常検出信号としてのパルス成分を抑制
するローパスフィルタ１３と、このローパスフィルタ１
３からの出力信号に、ある係数を掛けて上記波形信号に
対する基準レベル波形を形成するレベル設定部１５と、
レベル設定部１５からの基準レベル波形とセンサー８か
らの波形信号とを比較する比較手段４１と、この比較手
段４１とセンサー８との間に設けられ、比較手段４１に
おいて上記基準レベル波形とセンサー８からの波形信号
との位相を合わせるべく波形信号を遅延させる遅延手段
１１と、比較手段４１からの信号により被検査物Ａの異
常を判定する判定手段４２とを設けたことを特徴として
いる。

【０００７】また請求項２の検査装置は、上記波形信号
に対して基準レベル波形をさらに遅延させる遅延回路４
３を備えたことを特徴としている。

【０００８】

【作用】請求項１の検査装置においては、図１に示すよ
うに、被検査物Ａからの光をセンサー８で受光し、セン
サー８からの波形信号を遅延手段１１とローパスフィル
タ１３に送る。ローパスフィルタ１３てはセンサー８か
らの波形信号に含まれるパルスを抑制し、この抑制した
信号をレベル設定部１５にてセンサー８からの波形信号
に対する基準レベル波形を形成する。上記ローパスフィ
ルタ１３により基準レベル波形がセンサー８からの波形
信号に対して遅れることになるため、該波形信号を遅延
手段１１により遅延させて、比較手段４１の入力側でレ
ベル設定部１５から入力される基準レベル波形とセンサ
ー８からの波形信号との時間的な整合をとって、比較手
段４１により被検査物Ａの異常の有無を比較検出する。
この比較手段４１からの信号が判定手段４２に送られ、
該判定手段４２により被検査物Ａの傷、ピンホール等の
異常の有無が判定される。このように比較手段４１の入
力側でセンサー８からの波形信号と基準レベル波形との
整合がとられることで、被検査物Ａの異常を正確に検出
することができる。

【０００９】また請求項２の検査装置においては、遅延
回路４３により上記波形信号に対して基準レベル波形を
さらに遅延させることで、ローパスフィルタ１３を介し
た信号にシャープエッジが大きいパルスを含んでいて
も、その部分は比較する波形信号のパルスの部分より遅
れるために、被検査物Ａの異常を正確に検出することが
できる。

【００１０】

【実施例】次にこの発明の検査装置の具体的な実施例に
ついて、図面を参照しつつ詳細に説明する。まず本発明
の表面検査装置の全体の概略構成及び信号処理の原理に
ついて図５〜図７より説明する。

【００１１】図５において、Ａは被検査物であり、この
被検査物Ａは、例えばコンパクトディスクである。この
被検査物Ａは、例えばステップモータから成るモータ１
により回転駆動され、該モータ１はモータ駆動部２によ
り回転制御されるようになっている。本発明は上記被検
査物Ａの表面に光を当てて、その反射光からディスク表
面の傷、汚れ、異物、ピンホール等の欠陥を光学的、電
気的に検出するものである。ランプ３からの光は投光用
光学系４を介して反射ミラー５により全反射して被検査
物Ａの表面に投光している。そして被検査物Ａの表面で
反射した光は反射ミラー６で全反射し、受光用光学系７
を介してＣＣＤセンサー８にて受光される。ここで上記
ランプ３としては、例えばタングステンハロゲンランプ
が用いられ、光学系４、７には、例えばコンデンサレン
ズ系やコリメータレンズ系が用いられる。そしてＣＣＤ
センサー８には、高速駆動タイプのＣＣＤリニアイメー
ジセンサーを用いている。

【００１２】上記ＣＣＤセンサー８の出力はＣＣＤドラ
イバ９により信号増幅されて、次段のＡ／Ｄコンバータ
１０及びローパスフィルタ（ＬＰＦ）１３に入力されて
いる。ＣＣＤドライバ９の出力信号は、異物やピンホー
ル等を検出した場合には、基準レベルに対して信号が上
下に変動する。この上下に変動する信号を検出するのに
スレッショルドレベルを用いて検出するが、検出信号自
体が変動するため、上記スレッショルドレベルを絶対的
な一定値とした場合、誤検出するおそれがあるため、上
記スレッショルドレベルもＣＣＤセンサー８からの検出
信号の変動に応じて変動させるようにしている。

【００１３】上記変動するスレッショルドレベルを生成
するのにローパスフィルタ１３を用いている。つまりＣ
ＣＤセンサー８の出力は、ピンホールや異物を検出した
場合には上下に突出するパルス状の信号を含むので、こ
の急峻な変動を抑えるためにローパスフィルタ１３を用
いて滑らかに変化するスレッショルドレベルを生成して
いる。

【００１４】そしてスレッショルドレベルを生成すべく
ローパスフィルタ１３を用いることにより、スレッショ
ルドレベルが時間的に遅れることになる。したがってＣ
ＣＤセンサー８からの出力信号と、この出力信号と比較
するスレッショルドレベルとが対応できなくなる。

【００１５】そこでＡ／Ｄコンバータ１０の次段に遅延
回路（デジタル・ディレイ・ライン）１１を設けこ、Ｃ
ＣＤセンサー８の出力信号とスレッショルドレベルとの
時間遅れをなくして、両者を正確に対応させている。ま
た上記遅延回路１１の出力のデシタル信号をＤ／Ａコン
バータ１２にてアナログ信号に変換し、Ｄ／Ａコンバー
タ１２の出力信号とローパスフィルタ１３からの信号を
信号処理回路１４に送っている。なお上記各回路１０〜
１４で制御部３１を構成している。

【００１６】マイクロコンピュータ等で構成される信号
処理回路１４は図６に示すような構成となっており、上
記スレッショルドレベルを所定の値のレベルに設定する
レベル設定部１５と、レベル設定部１５により設定され
たスレッショルドレベルとＣＣＤセンサー８からの出力
信号とを比較するコンパレータ１６〜１９と、これらコ
ンパレータ１６〜１９の出力を得て被検査物Ａの傷、ピ
ンホール、異物等に対応した２値化パルスを発生させる
判定部２０と、判定部２０の判定結果や被検査物の傷や
ピンホール等の位置を記憶しておくメモリ２１と、パソ
コン２３との間のデータの入出力を行う入出力インター
フェイス（Ｉ／Ｏ）２２等で構成されている。

【００１７】上記判定部２０の判定結果の２値化パルス
列データはメモリ２１に格納されると共に、逐次パソコ
ン２３で読み出しながらデータの演算処理を行い、カラ
ーＣＲＴ２４により上記判定結果とほぼ同時に欠陥部位
のマッピング表示を行って欠陥のイメージを瞬時に知る
ことができるようにしている。またプリンタ２６により
上記判定結果等を出力可能なようにしている。２５はキ
ーボードである。なお図５のは、図６のと対応
している。

【００１８】次に図５、図６及び図７に基づいて傷、ピ
ンホール、異物等の欠陥を検出する２値化パルスの発生
の信号処理の原理について説明する。まず光学系にてＣ
ＣＤセンサー８上に像が結ばれると、ＣＣＤドライバ９
内の処理によりビデオデータが出力される。このビデオ
データを基に制御部３１にてコンピュータ処理できるレ
ベルまでリアルタイムで信号処理を行う。このビデオデ
ータを取り込んでから２値化パルス（傷２値化パルス）
発生までの原理を以下に説明する。

【００１９】なお具体的な例として、被検査物Ａとして
オーディオコンパクトディスクをモデルとした場合につ
いて説明する。図７（ａ）のＳＨパルス（源信号）は、
ＣＣＤセンサー８の１ライン分のスキャンタイミングを
示す信号であり、制御部３１の入力端での波形である。

【００２０】図７（ｂ）に示すＳＨパルス（補正後）
は、各種の２値化パルス（傷２値化パルス）を取出す過
程でいろいろな波形処理を行う際に、処理するたびにど
うしても波形が遅延するため、最も遅延する遅延時間Ｔ
１相当分をシフトレジスタにて遅延させ、２値化パルス
位置との関係を補正したＳＨパルスである。

【００２１】図７（ｃ）はＣＣＤドライバ９より出力さ
れるビデオ生波形を示し、同図（ａ）と同様に制御部３
１の入力端での波形である。図７（ｄ）はサンプリング
区間パルスを示し、ビデオ波形のバックグラウンドレベ
ルに追従させるために、図７（ｃ）のビデオ生波形をサ
ンプリングする場合に、このサンプリングする区間を決
めるパルスである。

【００２２】また図７（ｅ）はサンプリングビデオ波形
であり、各種のスレッショルド波形を生成する上で基本
となる波形である。そして図７（ｄ）に示すサンプリン
グ区間パルスの出ていない区間は、ホールドレベル区間
として前回のスキャンのサンプリングテイル位置でサン
プリングしたレベルが次のスキャンのサンプリングヘッ
ド位置までホールドされるようになっている。

【００２３】ここで本検査装置は、被検査物Ａの傷やピ
ンホール等の種類に応じて検査方法を３つのモードを有
しており、その検査結果に対応した２値化パルスを発生
する上で３種類のモード（Ａモード、Ｋモード、Ｄモー
ド）に分けて信号処理を行っている。なおこの３種類の
モードは各モード別に検査できると共に、各モード同時
に検査を行うことができるようにもなっている。

【００２４】図７（ｆ）に示す波形は、Ａ・Ｋモード波
形であり、Ａモード２値化パルス及びＫモード２値化パ
ルスを生成する際に、コンパレータに入力される検査対
象となる波形である。そして上記（ｂ）の場合と同様
に、最も遅延するスレッショルド波形の遅延時間Ｔ１相
当分をデジタルディレイライン（遅延回路１１）にて遅
延させ、２値化パルス位置との関係を補正したビデオ波
形である。

【００２５】図７（ｇ）はＫモードスレッショルド波形
であり、Ｋモード２値化パルスを生成する際に、コンパ
レータ１６に入力されるスレッショルドレベル波形であ
る。ここでこのＫモードスレッショルド波形は、Ａ・Ｋ
モードビデオ波形のバッグクラウンドレベルに対して１
００％以上２００％未満の範囲で使用している。このＫ
モードスレッショルド波形は、信号処理回路１４のレベ
ル設定部１５により生成される。そしてコンパレータ１
６で、Ａ・Ｋモードビデオ波形とＫモードスレッショル
ド波形とが比較されて、上述のＫモード２値化パルスを
発生するようになっている。

【００２６】また図７（ｈ）はＡモードスレッショルド
波形を示しており、Ａモード２値化パルスを生成する際
に、コンパレータ１７に入力されるスレッショルドレベ
ル波形である。またこのＡモードスレッショルドレベル
は、Ａ・Ｋモードビデオ波形のバックグラウンドレベル
に対して１００％以下で使用する。このＡモードスレッ
ショルド波形はレベル設定部１５で生成され、コンパレ
ータ１７でＡ・Ｋモードビデオ波形とＡモードスレッシ
ョルド波形とが比較されて、上述のＡモード２値化パル
スを発生するようになっている。

【００２７】図７（ｉ）はＫモード２値化パルスを示
し、Ｋモードスレッショルドレベルに対してＡ・Ｋビデ
オ波形レベルが高くなったときにＨレベルとなるパルス
である。被検査物Ａの表面に傷などにより反射率が高い
部分ではこれが検出されて、Ｋモード２値化パルスが発
生する。なおコンパクトディスクの内外周の鏡面部のよ
うに、反射率の高い部分はＫモードでは傷と見なすた
め、これを防ぐためにＫモードのみサンプリング区間以
外の区間を強制的にマスク（ハードウエア強制的マス
ク）し、傷検査対象範囲より除外している。

【００２８】図７（ｊ）はＡモード２値化パルスを示
し、Ａモードスレッショルドレベルに対してＡ・Ｋビデ
オ波形レベルが低くなったときにＨレベルとなるパルス
である。被検査物Ａにピンホールが存在する場合には光
が反射しないので、このブロック２でＡ・Ｋビデオ波形
レベルが低くなるため、Ａモード２値化パルスか発生す
る。

【００２９】ここでＤモードの２値化パルスを取り出す
際に、スレッショルド波形をホールドさせるが、ホール
ドパルスを発生させるため、Ｄモードよりも先行させた
Ｄ’モードというモードを設けている。したがって図７
（ｋ）に示すＤ’モードビデオ波形は、ホールドパルス
を発生させるためにのみ使用されるものである。

【００３０】また図７（１）に示すＤ’モードスレッシ
ョルド波形は、上記（ｋ）と同様に、ホールドパルスを
発生させるために使用している。

【００３１】図７（ｍ）に示すＤ’モード２値化パルス
（ホールドパルス）は、Ｄ’モードスレッショルドレベ
ルに対して、Ｄ’モードビデオ波形レベルが低くなった
ときにＨレベルとなるパルスである。この場合Ｄモード
スレッショルド波形を一時的にホールド状態にする。こ
のＤ’モードスレッショルドレベルはレベル設定部１５
で生成され、コンパレータ１８に入力されて比較され、
Ｄ’モードビデオ波形よりＤ’モードスレッショルドレ
ベルの方が高い場合に、Ｄ’モード２値化パルスを発生
する。

【００３２】図７（ｎ）に示すＤモードビデオ波形のＤ
モードとは、Ａモードでは検出が困難なビデオ波形の落
ち込みが浅くて広い傷、例えば通称シルバーなどのよう
な傷を検出するためのモードである。この浅くて広い傷
の成分のみを取出すために、図７（ｆ）のＡ・Ｋモード
ビデオ波形に対して、ローパスフィルタ３２（図６）を
通した波形をビデオ波形としている。

【００３３】このローパスフィルタ３２を通したＤモー
ドビデオ波形とレベル設定部１５で形成したＤモードス
レッショルド波形とがコンパレータ１９で比較され、Ｄ
モードスレッショルド波形の方がＤモードビデオ波形よ
り高い場合に、図７（ｐ）に示すＤモード２値化パルス
を発生する。

【００３４】また図７（ｏ）はＤモードスレッショルド
波形を示し、Ｄモードビデオ波形の浅くて広い落ち込み
にスレッショルドを掛けるために、ビデオ波形よりも位
相を遅延させたスレッショルド波形を使用している。他
のスレッショルド波形と異なる点は、一旦ビデオ波形の
落ち込みがスレッショルドレベルより低くなったとき
に、上記のＤ’モードのホールドパルスによりスレッシ
ョルド波形レベルのビデオ波形の追従動作を一時的に中
止し（ホールド）、水平なレベルに維持させる（図７
（ｎ）（ｏ）参照）。そしてビデオ波形の落ち込みが終
わり、スレッショルドレベルより高くなると、次に説明
するホールド解除パルスにより再びスレッショルドレベ
ルはビデオ波形に追従する。なおＤモードスレッショル
ド波形は、Ｄモードビデオ波形のバックグラウンドレベ
ルに対して１００％以下で使用する。

【００３５】図７（ｐ）はＤモード２値化パルス（ホー
ルド解除パルス）を示し、Ｄモードスレッショルドレベ
ルに対して、Ｄモードビデオ波形レベルが低くなったと
きにＨレベルとなるパルスである。またパルスの立ち下
がりが、上記のスレッショルドレベルのホールド解除の
役目をしている。

【００３６】ここで図７に示したソフトウエア強制的マ
スクについて説明する。ＣＣＤセンサー８のビデオ出力
には、ダミー画素といってＳＨパルスの前後にビデオ波
形の全く現れない部分及び現れても信頼できない部分が
必ず存在する。このダミー画素の数はＣＣＤの形式によ
り異なるため、ソフトウエアにより自動的にＣＣＤ型式
を読み取り、型式に応じたダミー画素の区間を強制的に
マスクを掛けている。なおこのマスクエリアは、Ｋモー
ド、Ａモード、Ｄモードに共通している。

【００３７】またユーザーマスクは、以下のマスクをい
う。すなわちディスクの検査対象範囲とする内径寸法及
び外径寸法を、パソコンのキーボードにより入力するこ
とにより、検査対象外のエリアが自動的にマスクされる
ようになっており、これをユーザーマスクという。また
このマスクエリアは、上記と同様にＫモード、Ａモー
ド、Ｄモードに共通している。

【００３８】なお図５に示すブロック図において、被検
査物Ａの光による検査は、いわゆる反射型の場合を示し
ているが透過型で構成してもよい。また被検査物Ａへの
入射角を垂直に対して傾斜させているが（例えば、垂直
に対して１０°）、入射角を垂直にして反射型あるいは
透過型で検査をする構成としてもよい。

【００３９】次に本発明の要旨についてさらに詳述す
る。図１は図５の概略システム図を示し、図１の遅延手
段１１が図５の遅延回路１１に対応し、またコンパレー
タ１６が比較手段４１と対応している。上述のようにＡ
／Ｄコンバータ１０とＤ／Ａコンバータ１２との間にデ
ジタルの遅延回路１１を設けることで、ＣＣＤセンサー
８の出力波形を鈍らせることなく（シャープエッジを特
徴とする欠陥からの信号を維持しながら）信号を遅延
し、ローパスフィルタ１３を通して時間的にシャープエ
ッジの信号を殺したために遅延したスレッショルド波形
（基準レベル波形）との時間的な整合をとることができ
る。

【００４０】図２（ａ）は遅延回路１１の出力信号であ
る波形信号（ビデオ波形）を示し、（ｂ）はＣＣＤセン
サー８からのローパスフィルタ１３を通してシャープエ
ッジの部分を除去したスレッショルド波形（基準レベル
波形）を示している。上記遅延回路１１を設けないと、
図２（ａ）に示す波形信号は、（ｂ）に示す基準レベル
波形よりも時間的に早い信号となる。しかし本発明では
上記遅延回路１１を設けていることで、図２（ａ）の波
形信号と、（ｂ）の基準レベル波形とは位相を同じにし
ている。

【００４１】ここで図２（ｂ）に示す波形に、レベル設
定部１５においてある係数を掛けることで、図２（ｃ）
に示す所定の基準レベル波形を形成し、波形信号に対す
るスレッショルド波形を形成している。

【００４２】図２（ｃ）に示すように、波形信号と基準
レベル波形とは比較されて、波形信号が基準レベル波形
より低い部分で図２（ｄ）に示すような２値化パルスを
発生し、傷、ピンホール等の被検査物Ａの欠陥を検出す
ることになる。

【００４３】（実施例２）図３及び図５は実施例２を示
し、ＣＣＤセンサー８からの波形信号のシャープエッジ
が大きい部分は、ローパスフィルタ１３を通しても図２
（ｂ）に示すようにその影響が残り、元のシャープエッ
ジに対応した凹凸ができてしまう。

【００４４】この場合、図３（ａ）に示すように、ＣＣ
Ｄセンサー８からの波形信号と基準レベル波形とを比較
しても、基準レベル波形もシャープエッジが大きいとこ
ろでは波形信号と同様にレベルが落ち込み、欠陥を正確
に検出することができなくなる。

【００４５】そこで図４に示すように、遅延回路４３を
設けて基準レベル波形を図３（ｂ）の状態から（ｃ）に
示すように時間的に遅延させるようにしている。したが
って図３（ｄ）（ｅ）に示すように、シャープエッジが
大きい箇所においても正確に２値化パルスを発生させる
ことができて、被検査物Ａの欠陥を正確に検出すること
ができるものである。

【００４６】なお図４において遅延回路４３をレベル設
定部１５の後に設けたが、レベル設定部１５の前に設け
てもよい。また遅延回路１１、４３の構成としては、基
準レベル波形と時間的に整合がとれるものであれば、ど
のような回路構成をとってもよい。また本発明では説明
上Ａモードについて説明したが、上述のＫモード、Ｄモ
ードについても全く同様に適用できることはもちろんで
ある。

【００４７】

【発明の効果】請求項１の検査装置によれば、ローパス
フィルタにより基準レベル波形がセンサーからの波形信
号に対して遅れることになるため、該波形信号を遅延手
段により遅延させて、比較手段の入力側でレベル設定部
から入力される基準レベル波形とセンサーからの波形信
号との時間的な整合をとることで、被検査物の異常を正
確に検出することができる。

【００４８】また請求項２の検査装置においては、遅延
回路により上記波形信号に対して基準レベル波形をさら
に遅延させることで、ローパスフィルタを介した信号に
シャープエッジが大きいパルスを含んでいても、その部
分は比較する波形信号のパルスの部分より遅れるため
に、被検査物の異常を一段と正確に検出することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の慨略ブロック図である。

【図２】実施例の動作波形図である。

【図３】実施例２の動作波形図である。

【図４】実施例２の概略ブロック図である。

【図５】実施例の本検査装置の全体の概略システム構成
図である。

【図６】実施例の信号処理回路のブロック図である。

【図７】実施例の２値化パルス発生の信号処理の原理を
説明するためのタイミングチャートである。

【符号の説明】

８ ＣＣＤセンサー １１ 遅延回路（遅延手段） １３ ローパスフィルタ １５ レベル設定部 ４１ 比較手段 ４２ 判定手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物（Ａ）からの透過光または反射
   光を受光するセンサー（８）と、このセンサー（８）か
   らの波形信号に含まれる被検査物（Ａ）の異常検出信号
   としてのパルス成分を抑制するローパスフィルタ（１
   ３）と、このローパスフィルタ（１３）からの出力信号
   に、ある係数を掛けて上記波形信号に対する基準レベル
   波形を形成するレベル設定部（１５）と、レベル設定部
   （１５）からの基準レベル波形とセンサー（８）からの
   波形信号とを比較する比較手段（４１）と、この比較手
   段（４１）とセンサー（８）との間に設けられ、比較手
   段（４１）において上記基準レベル波形とセンサー
   （８）からの波形信号との位相を合わせるべく波形信号
   を遅延させる遅延手段（１１）と、比較手段（４１）か
   らの信号により被検査物（Ａ）の異常を判定する判定手
   段（４２）とを設けたことを特徴とする検査装置。
2. 【請求項２】 上記波形信号に対して基準レベル波形を
   さらに遅延させる遅延回路（４３）を備えたことを特徴
   とする請求項１の検査装置。