JPH06187626A - 磁気ヘッドスライダ及びその支持体及びその製造方法及び磁気ディスク装置 - Google Patents
磁気ヘッドスライダ及びその支持体及びその製造方法及び磁気ディスク装置Info
- Publication number
- JPH06187626A JPH06187626A JP33577992A JP33577992A JPH06187626A JP H06187626 A JPH06187626 A JP H06187626A JP 33577992 A JP33577992 A JP 33577992A JP 33577992 A JP33577992 A JP 33577992A JP H06187626 A JPH06187626 A JP H06187626A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】磁気トランスジューサ３を搭載し、ラビングコ
ンタクト状態を保持させるスライダ面１ａを設けた第１
のスライダ１と空気軸受面になりうるスライダ面２ａ，
２ｂを設けた第２のスライダ２とをスライダの厚さ方向
に動くように連結させ、それぞれに別々の所定の荷重を
加える。 【効果】磁気ヘッドスライダを、高速回転した記録媒体
面の長波長及び短波長のうねりに対して同時に追従させ
ながらラビングコンタクト状態を保持させることができ
る。
ンタクト状態を保持させるスライダ面１ａを設けた第１
のスライダ１と空気軸受面になりうるスライダ面２ａ，
２ｂを設けた第２のスライダ２とをスライダの厚さ方向
に動くように連結させ、それぞれに別々の所定の荷重を
加える。 【効果】磁気ヘッドスライダを、高速回転した記録媒体
面の長波長及び短波長のうねりに対して同時に追従させ
ながらラビングコンタクト状態を保持させることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドスライダ及び
その支持体及びその製造方法及び磁気ディスク装置に係
わり、特に、高記録密度化，高信頼性化，低コスト化に
優れた磁気ヘッドスライダ及びその支持体及びその製造
方法及び磁気ディスク装置に関する。
その支持体及びその製造方法及び磁気ディスク装置に係
わり、特に、高記録密度化，高信頼性化，低コスト化に
優れた磁気ヘッドスライダ及びその支持体及びその製造
方法及び磁気ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の磁気ディスク装置に使用されてい
る磁気ヘッドスライダは従来の空気軸受を応用したもの
で、磁気記録媒体が回転中に空気力学的に発生する浮上
力と、磁気ヘッドスライダを支持する支持体から加えら
れた所定の荷重とが釣り合うように、磁気記録媒体面と
の距離が微小で、かつ、一定に保ちながら安定浮上して
いる。
る磁気ヘッドスライダは従来の空気軸受を応用したもの
で、磁気記録媒体が回転中に空気力学的に発生する浮上
力と、磁気ヘッドスライダを支持する支持体から加えら
れた所定の荷重とが釣り合うように、磁気記録媒体面と
の距離が微小で、かつ、一定に保ちながら安定浮上して
いる。
【０００３】また、走行する記録媒体面上には、ランナ
ウトのような長波長なうねりからスライダ長・面粗さ程
度の短波長のうねりまであらゆる波長が存在し、それら
のうねりに追従させるために、スライダは上下方向，ピ
ッチング(前後)方向，ローリング(横)方向の３自由度の
運動に対して復元力が働き、動的に安定になるようなス
ライダ・支持系になっている。この振動系は空気膜の剛
性・減衰係数をばねとダンパでモデル化できるため、う
ねりに対する追従特性を向上させるには、スライダの軽
質量化，スライダ寸法の微小化，高空気膜剛性化，高減
衰係数化が必要である。さらに、エレクトロニック デ
ザイン ５ マーチ １，１９８０（Electronic Desig
n，５，March，１，１９８０年，６０〜６３ページ）に
論じられているような、磁界を印加したり、残留磁界を
検出する磁気トランスデューサが、最小な浮上量となり
うる一方のスライダレールの流出端側面に、薄膜素子と
してリソグラフィ技術で形成されている。
ウトのような長波長なうねりからスライダ長・面粗さ程
度の短波長のうねりまであらゆる波長が存在し、それら
のうねりに追従させるために、スライダは上下方向，ピ
ッチング(前後)方向，ローリング(横)方向の３自由度の
運動に対して復元力が働き、動的に安定になるようなス
ライダ・支持系になっている。この振動系は空気膜の剛
性・減衰係数をばねとダンパでモデル化できるため、う
ねりに対する追従特性を向上させるには、スライダの軽
質量化，スライダ寸法の微小化，高空気膜剛性化，高減
衰係数化が必要である。さらに、エレクトロニック デ
ザイン ５ マーチ １，１９８０（Electronic Desig
n，５，March，１，１９８０年，６０〜６３ページ）に
論じられているような、磁界を印加したり、残留磁界を
検出する磁気トランスデューサが、最小な浮上量となり
うる一方のスライダレールの流出端側面に、薄膜素子と
してリソグラフィ技術で形成されている。
【０００４】最近の磁気ディスク装置の高性能化に対す
る要求は高記録密度化及び記録媒体の小径化である。そ
れらの磁気ヘッドスライダに対する要求は、スライダ寸
法を極力小さくして、かつ、浮上量を微小化することで
ある。特に、記録媒体とラビングコンタクト状態を保持
させながら記録再生する場合、記録密度は飛躍的に向上
する。
る要求は高記録密度化及び記録媒体の小径化である。そ
れらの磁気ヘッドスライダに対する要求は、スライダ寸
法を極力小さくして、かつ、浮上量を微小化することで
ある。特に、記録媒体とラビングコンタクト状態を保持
させながら記録再生する場合、記録密度は飛躍的に向上
する。
【０００５】１９９０年電子情報通信学会秋季全国大会
予講集ＳＣ−５−１，５−２６８ページに記載されてい
る、接触走行しながら記録再生する方式は、主磁極励磁
形の単磁極ヘッドを上下に自由にスライドする可動部の
先端に取り付け、自重あるいはばねで可動部の先端を押
して支えている。この問題点は、面粗さ程度の微小なう
ねりに対しては接触走行が可能であるが、ランナウトの
ような長波長及びスライダ長程度の波長のうねりに追従
させるためのスライダ・支持系になってない。このた
め、回転数およびうねり振幅が大きくなると、スライダ
が長波長のうねりに追従できなくなり、記録媒体と接触
し、損傷する磁気ディスク装置の信頼性に関する問題が
生じる。
予講集ＳＣ−５−１，５−２６８ページに記載されてい
る、接触走行しながら記録再生する方式は、主磁極励磁
形の単磁極ヘッドを上下に自由にスライドする可動部の
先端に取り付け、自重あるいはばねで可動部の先端を押
して支えている。この問題点は、面粗さ程度の微小なう
ねりに対しては接触走行が可能であるが、ランナウトの
ような長波長及びスライダ長程度の波長のうねりに追従
させるためのスライダ・支持系になってない。このた
め、回転数およびうねり振幅が大きくなると、スライダ
が長波長のうねりに追従できなくなり、記録媒体と接触
し、損傷する磁気ディスク装置の信頼性に関する問題が
生じる。
【０００６】特開昭62−167610号公報に記載されている
従来方式の磁気ヘッドスライダは、接触走行するスライ
ダ面と空気軸受面になりうるスライダ面を設け、記録媒
体面との接触力を微小化している。この問題点は、ラン
ナウトのような長波長及びスライダ長程度の波長のうね
りを追従させるためのスライダ支持系になっているが、
常時接触状態を保持させることは難しく、間欠接触を許
容してしまうことである。
従来方式の磁気ヘッドスライダは、接触走行するスライ
ダ面と空気軸受面になりうるスライダ面を設け、記録媒
体面との接触力を微小化している。この問題点は、ラン
ナウトのような長波長及びスライダ長程度の波長のうね
りを追従させるためのスライダ支持系になっているが、
常時接触状態を保持させることは難しく、間欠接触を許
容してしまうことである。
【０００７】特開昭63−306514号公報に記載されている
従来方式の磁気ヘッドスライダは、従来の磁気ヘッドス
ライダに、そり状可撓性の支持体を介して磁気トランス
デューサを有する微小なスライダを搭載し、記録媒体面
のあらゆるうねりに対して追従特性を向上させている
が、接触走行しながら記録再生する方式ではない。
従来方式の磁気ヘッドスライダは、従来の磁気ヘッドス
ライダに、そり状可撓性の支持体を介して磁気トランス
デューサを有する微小なスライダを搭載し、記録媒体面
のあらゆるうねりに対して追従特性を向上させている
が、接触走行しながら記録再生する方式ではない。
【０００８】以上のように、磁気ヘッドスライダを、ラ
ンナウトのような長波長なうねりとスライダ長・面粗さ
程度の短波長のうねりとを同時に追従させながらラビン
グコンタクト状態を保持させるのは非常に難しい。
ンナウトのような長波長なうねりとスライダ長・面粗さ
程度の短波長のうねりとを同時に追従させながらラビン
グコンタクト状態を保持させるのは非常に難しい。
【０００９】アイイーイーイー トランザクションズ
オン マグネティクス エムエージー２７（IEEE Tran
s.MAG.,ＭＡＧ−２７），６（１９９１）４９２１ペー
ジに記載されている方式は、無潤滑の記録媒体面上を、
マイクロメカトロニクス，リソグラフィ技術を適用し
て、スライダとジンバルを一体化した超小型ヘッドを軽
荷重で接触走行させる方式であるが、高速アクセスは難
しく、かつ高コストとなる。
オン マグネティクス エムエージー２７（IEEE Tran
s.MAG.,ＭＡＧ−２７），６（１９９１）４９２１ペー
ジに記載されている方式は、無潤滑の記録媒体面上を、
マイクロメカトロニクス，リソグラフィ技術を適用し
て、スライダとジンバルを一体化した超小型ヘッドを軽
荷重で接触走行させる方式であるが、高速アクセスは難
しく、かつ高コストとなる。
【００１０】特開平4−113568 号公報に記載されている
方式は、磁気ヘッドスライダを潤滑剤によって液体浮上
させる方式であるが、メニスカスが形成可能になるまで
潤滑剤を厚くする必要があり、潤滑剤の回転飛散が問題
となる。また、潤滑剤は数分子層程度に薄膜化すると、
粘性係数が数１０4〜１０7倍にもなり、固体的に振る舞
うため、本方式は使用不可となり、磁気記録的浮上量の
限界値を持つ。
方式は、磁気ヘッドスライダを潤滑剤によって液体浮上
させる方式であるが、メニスカスが形成可能になるまで
潤滑剤を厚くする必要があり、潤滑剤の回転飛散が問題
となる。また、潤滑剤は数分子層程度に薄膜化すると、
粘性係数が数１０4〜１０7倍にもなり、固体的に振る舞
うため、本方式は使用不可となり、磁気記録的浮上量の
限界値を持つ。
【００１１】従来の磁気ヘッドスライダの支持体は、特
開昭55−22296 号公報に記載されたように、段状をなす
低可撓性横枠によって互いに連結される二つの外側可撓
性指部を形成する矩形切欠部と、横枠から矩形切欠部へ
向けて延設される可撓性中央舌状部とを有する可撓体
と、可撓体を支持する弾性部と荷重用ビーム部を兼用し
た部材と、兼用部材と中央舌状部との間に設置された荷
重用突起部とを具備する磁気ヘッドスライダの支持体で
ある。これらの構成によって、磁気ヘッドスライダが高
速回転した記録媒体面上のうねりに追従できるように、
荷重用突起部を支点として、スライダを上下，ピッチン
グ，ローリングの３自由度の動きを可能にしている。同
時に、磁気記録媒体が回転中に空気力学的に発生する浮
上力と、荷重用ビーム部から荷重用突起部を介して加え
られた所定の荷重とが釣り合うようにしている。しか
し、後に本発明において開示するような、スライダ１及
び２をそれぞれ別々の荷重を加える支持体ではない。
開昭55−22296 号公報に記載されたように、段状をなす
低可撓性横枠によって互いに連結される二つの外側可撓
性指部を形成する矩形切欠部と、横枠から矩形切欠部へ
向けて延設される可撓性中央舌状部とを有する可撓体
と、可撓体を支持する弾性部と荷重用ビーム部を兼用し
た部材と、兼用部材と中央舌状部との間に設置された荷
重用突起部とを具備する磁気ヘッドスライダの支持体で
ある。これらの構成によって、磁気ヘッドスライダが高
速回転した記録媒体面上のうねりに追従できるように、
荷重用突起部を支点として、スライダを上下，ピッチン
グ，ローリングの３自由度の動きを可能にしている。同
時に、磁気記録媒体が回転中に空気力学的に発生する浮
上力と、荷重用ビーム部から荷重用突起部を介して加え
られた所定の荷重とが釣り合うようにしている。しか
し、後に本発明において開示するような、スライダ１及
び２をそれぞれ別々の荷重を加える支持体ではない。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の接触走行し
ながら記録再生する方式の磁気ヘッドスライダでは、ラ
ンナウトのような長波長なうねりとスライダ長・面粗さ
程度の短波長のうねりとを同時に追従させながらラビン
グコンタクト状態を保持させるのが難しかった。
ながら記録再生する方式の磁気ヘッドスライダでは、ラ
ンナウトのような長波長なうねりとスライダ長・面粗さ
程度の短波長のうねりとを同時に追従させながらラビン
グコンタクト状態を保持させるのが難しかった。
【００１３】本発明の目的は、磁気ヘッドスライダを高
速回転した記録媒体面の長波長及び短波長のあらゆるう
ねりに対して同時に追従させながらラビングコンタクト
状態を保持させることである。
速回転した記録媒体面の長波長及び短波長のあらゆるう
ねりに対して同時に追従させながらラビングコンタクト
状態を保持させることである。
【００１４】本発明の他の目的は、磁気ヘッドスライダ
を支持する支持体を提供することである。
を支持する支持体を提供することである。
【００１５】本発明の他の目的は、磁気ヘッドスライダ
の製造方法を低コストで製造する製造方法を提供するこ
とである。
の製造方法を低コストで製造する製造方法を提供するこ
とである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】磁気トランスジューサを
搭載し、ラビングコンタクト状態を保持させるスライダ
面を設けた第１のスライダと空気軸受面になりうるスラ
イダ面を設けた第２のスライダとをスライダの厚さ方向
に動くように連結させた。
搭載し、ラビングコンタクト状態を保持させるスライダ
面を設けた第１のスライダと空気軸受面になりうるスラ
イダ面を設けた第２のスライダとをスライダの厚さ方向
に動くように連結させた。
【００１７】第１のスライダ及び第２のスライダを支え
る支持体では、荷重用ビーム部に矩形状切欠部を設け
て、第１のスライダ及び第２のスライダに対してそれぞ
れ別々の荷重を加える支持体にした。
る支持体では、荷重用ビーム部に矩形状切欠部を設け
て、第１のスライダ及び第２のスライダに対してそれぞ
れ別々の荷重を加える支持体にした。
【００１８】
【作用】第２のスライダ及びその支持体では、空気軸受
面になりうるスライダ面とスライダを上下，ピッチン
グ，ローリングの３自由度の動きを可能にした支持体と
を設けているため、ランナウトのような長波長及びスラ
イダ長程度の波長のうねりが追従できる。
面になりうるスライダ面とスライダを上下，ピッチン
グ，ローリングの３自由度の動きを可能にした支持体と
を設けているため、ランナウトのような長波長及びスラ
イダ長程度の波長のうねりが追従できる。
【００１９】磁気トランスジューサを搭載した第１のス
ライダ及びその支持体は、ラビングコンタクト状態を保
持させるスライダ面とそのスライダに負荷できる支持体
を設けているため、面粗さ程度の短波長のうねりを追従
させながらラビングコンタクト状態を保持できる。さら
に、第１のスライダは第２のスライダとピッチング・ロ
ーリング方向の２自由度に関しては一体に動き、上下方
向に関しては第２のスライダと独立に動くため、ランナ
ウトのような長波長なうねりに対してもラビングコンタ
クト状態を保持できる。
ライダ及びその支持体は、ラビングコンタクト状態を保
持させるスライダ面とそのスライダに負荷できる支持体
を設けているため、面粗さ程度の短波長のうねりを追従
させながらラビングコンタクト状態を保持できる。さら
に、第１のスライダは第２のスライダとピッチング・ロ
ーリング方向の２自由度に関しては一体に動き、上下方
向に関しては第２のスライダと独立に動くため、ランナ
ウトのような長波長なうねりに対してもラビングコンタ
クト状態を保持できる。
【００２０】
【実施例】図１は本発明の一実施例の磁気ヘッドスライ
ダを示す。第１のスライダ１にラビングコンタクト状態
を保持させるスライダ面１ａが設けてあり、薄膜素子３
は、最小浮上量となりうる第１のスライダ１の流出端側
面に搭載する。第２のスライダ２に、従来技術である空
気軸受面になりうるテーパフラットスライダレール２
ａ，２ｂが両側に沿って平行に設けられている。
ダを示す。第１のスライダ１にラビングコンタクト状態
を保持させるスライダ面１ａが設けてあり、薄膜素子３
は、最小浮上量となりうる第１のスライダ１の流出端側
面に搭載する。第２のスライダ２に、従来技術である空
気軸受面になりうるテーパフラットスライダレール２
ａ，２ｂが両側に沿って平行に設けられている。
【００２１】第１のスライダのスライダ面１ａが空気軸
受面になりうる可能性がある場合、加える荷重及びスラ
イダ形状を空気膜の減衰係数が負になるように選定する
ことによって、空気膜潤滑を不安定領域で動作させ、安
定浮上させないようにする。
受面になりうる可能性がある場合、加える荷重及びスラ
イダ形状を空気膜の減衰係数が負になるように選定する
ことによって、空気膜潤滑を不安定領域で動作させ、安
定浮上させないようにする。
【００２２】第１及び第２のスライダとの連結部４の形
状は台形状になっており、スライダの厚さ方向に動き、
スライダの長さ方向に拘束するように動作する。
状は台形状になっており、スライダの厚さ方向に動き、
スライダの長さ方向に拘束するように動作する。
【００２３】図２に従来の磁気ヘッドスライダを示す。
従来の磁気ヘッドスライダ５の薄膜素子３は、テーパフ
ラットスライダレール２本２ａ′，２ｂ′のいずれか一
方の流出端に搭載されている。
従来の磁気ヘッドスライダ５の薄膜素子３は、テーパフ
ラットスライダレール２本２ａ′，２ｂ′のいずれか一
方の流出端に搭載されている。
【００２４】図３，図４に本発明の実施例の磁気ヘッド
スライダの製造方法を示す。
スライダの製造方法を示す。
【００２５】（１）薄膜素子付ブロック６を切り出す
(図３ａ参照)。
(図３ａ参照)。
【００２６】（２）従来の機械加工で、第１のスライダ
のスライダ面１ａとテーパフラットスライダレール２
ａ，２ｂを形成する(図３ｂ〜図４ａ参照）。
のスライダ面１ａとテーパフラットスライダレール２
ａ，２ｂを形成する(図３ｂ〜図４ａ参照）。
【００２７】（３）従来の放電加工あるいはレーザ加工
で、第１のスライダと第２のスライダとを、その連結部
４の形状が台形になるように切り離す（図４ｂ参照）。
で、第１のスライダと第２のスライダとを、その連結部
４の形状が台形になるように切り離す（図４ｂ参照）。
【００２８】（４）第１のスライダと第２のスライダと
の連結部表面７に二硫化モリブデン，カーボンなどの固
体潤滑剤、あるいはＫＲＹＴＯＸ１４３フッ素化オイル
(デュポン社製)，ＦｏｎｂｉｎＺなどの液体潤滑剤を付
着させる(図４ｃ参照)。
の連結部表面７に二硫化モリブデン，カーボンなどの固
体潤滑剤、あるいはＫＲＹＴＯＸ１４３フッ素化オイル
(デュポン社製)，ＦｏｎｂｉｎＺなどの液体潤滑剤を付
着させる(図４ｃ参照)。
【００２９】このように、本発明の磁気ヘッドスライダ
は従来方法の機械加工・放電加工あるいはレーザ加工で
加工するため、マイクロメカトロニクス，リソグラフィ
加工方法に比べて低コストで製造できる。
は従来方法の機械加工・放電加工あるいはレーザ加工で
加工するため、マイクロメカトロニクス，リソグラフィ
加工方法に比べて低コストで製造できる。
【００３０】図５に本発明の実施例の磁気ヘッドスライ
ダの支持体を示す。第１のスライダ１及び第２のスライ
ダ２にそれぞれ荷重用突起部８を設け、さらに荷重用ビ
ーム部９に矩形状切欠部１０を設けて、第１のスライダ
１に対しては矩形状切欠部１０で、第２のスライダ２に
対しては荷重用ビーム部９で荷重をそれぞれ独立に加え
る。
ダの支持体を示す。第１のスライダ１及び第２のスライ
ダ２にそれぞれ荷重用突起部８を設け、さらに荷重用ビ
ーム部９に矩形状切欠部１０を設けて、第１のスライダ
１に対しては矩形状切欠部１０で、第２のスライダ２に
対しては荷重用ビーム部９で荷重をそれぞれ独立に加え
る。
【００３１】図６に従来の磁気ヘッドスライダの支持体
を示す。従来の磁気ヘッドスライダの支持体では、磁気
ヘッドスライダ５に一つの荷重用突起部８を介して荷重
用ビーム部９で荷重を加える。
を示す。従来の磁気ヘッドスライダの支持体では、磁気
ヘッドスライダ５に一つの荷重用突起部８を介して荷重
用ビーム部９で荷重を加える。
【００３２】図７に本発明の実施例の磁気ヘッドスライ
ダが磁気記録媒体面上に追従する様子を示す。本発明の
実施例の磁気ヘッドスライダは、ランナウトのような長
波長なうねり１３や面粗さ程度の短波長のうねり１２に
対して同時に追従しながらラビングコンタクト状態を保
持可能である。
ダが磁気記録媒体面上に追従する様子を示す。本発明の
実施例の磁気ヘッドスライダは、ランナウトのような長
波長なうねり１３や面粗さ程度の短波長のうねり１２に
対して同時に追従しながらラビングコンタクト状態を保
持可能である。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、磁気ヘッドスライダ
を、高速回転した記録媒体面の長波長なうねりと短波長
のうねりに対して追従させながらラビングコンタクト状
態を保持可能となり、高密度記録化，高信頼性化，低コ
スト化が図れる。
を、高速回転した記録媒体面の長波長なうねりと短波長
のうねりに対して追従させながらラビングコンタクト状
態を保持可能となり、高密度記録化，高信頼性化，低コ
スト化が図れる。
【図１】本発明の実施例の磁気ヘッドスライダを示す斜
視図。
視図。
【図２】従来の磁気ヘッドスライダを示す斜視図。
【図３】本発明の実施例の磁気ヘッドスライダの製造方
法を示す説明図。
法を示す説明図。
【図４】本発明の実施例の磁気ヘッドスライダの製造方
法を示す説明図。
法を示す説明図。
【図５】本発明の実施例の磁気ヘッドスライダの支持体
を示す説明図。
を示す説明図。
【図６】従来の磁気ヘッドスライダの支持体を示す説明
図。
図。
【図７】本発明の実施例の磁気ヘッドスライダが磁気記
録媒体面上で追従する様子を示す説明図。
録媒体面上で追従する様子を示す説明図。
１…第１のスライダ、２…第２のスライダ、１ａ…第１
のスライダのスライダ面、２ａ，２ｂ…テーパフラット
スライダレール、３…薄膜素子、４…第１のスライダと
第２のスライダとの連結部。
のスライダのスライダ面、２ａ，２ｂ…テーパフラット
スライダレール、３…薄膜素子、４…第１のスライダと
第２のスライダとの連結部。
Claims (9)
- 【請求項１】磁気記録媒体に記録信号の記録あるいは再
生可能な磁気トランスジューサを搭載し、回転する前記
磁気記録媒体の面上で接触あるいは間欠接触状態を保持
させる磁気ヘッドスライダにおいて、前記磁気トランス
ジューサを搭載し、回転する前記磁気記録媒体の面上で
接触状態を保持させるスライダ面を設けた第１のスライ
ダと空気軸受面になりうるスライダ面を設けた第２のス
ライダとがスライダの厚さ方向に動くように連結したこ
とを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】請求項１において、回転する前記磁気記録
媒体の面上で前記第１のスライダは、前後方向及び横方
向に対しては前記第２のスライダと一体に動き、上下方
向に対しては前記第２のスライダと独立に動くように構
成した磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項３】磁気記録媒体に記録信号の記録あるいは再
生可能な磁気トランスジューサを搭載した磁気ヘッドス
ライダを回転する前記磁気記録媒体上に空気力学的に安
定浮上させるために、前記磁気ヘッドスライダに荷重用
突起部を介して荷重を加える荷重用ビーム部を設けた磁
気ヘッドスライダの支持体において、複数の磁気ヘッド
スライダに別々の荷重を加えることを特徴とする磁気ヘ
ッドスライダの支持体。 - 【請求項４】請求項１において、前記第１のスライダと
前記第２のスライダとの連結部の形状を台形にした磁気
ヘッドスライダ。 - 【請求項５】請求項１において、前記第１のスライダと
前記第２のスライダとの連結部表面に固体潤滑剤あるい
は液体潤滑剤を付着させた磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項６】請求項１または３において、前記第１のス
ライダのスライダ面の空気潤滑膜を不安定領域で動作さ
せ、前記第２のスライダのスライダ面の空気潤滑膜を安
定領域で動作させる磁気ヘッドスライダ及びその支持
体。 - 【請求項７】請求項３において、前記荷重用ビーム部に
矩形状切欠部を設けた磁気ヘッドスライダの支持体。 - 【請求項８】請求項１において、磁気トランスジューサ
を搭載したブロックから前記第１のスライダのスライダ
面及び前記第２のスライダのスライダ面を機械加工で作
製する工程と前記第１のスライダと前記第２のスライダ
をレーザ加工あるいは放電加工で切り離す工程を有する
磁気ヘッドスライダの製造方法。 - 【請求項９】請求項１または３において、前記磁気ヘッ
ドスライダ及び前記磁気ヘッドスライダの支持体を使用
した磁気ディスク装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33577992A JPH06187626A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 磁気ヘッドスライダ及びその支持体及びその製造方法及び磁気ディスク装置 |
| DE19934342079 DE4342079C2 (de) | 1992-12-09 | 1993-12-09 | Aufzeichnungsplattensystem |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33577992A JPH06187626A (ja) | 1992-12-16 | 1992-12-16 | 磁気ヘッドスライダ及びその支持体及びその製造方法及び磁気ディスク装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06187626A true JPH06187626A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18292357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33577992A Pending JPH06187626A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-16 | 磁気ヘッドスライダ及びその支持体及びその製造方法及び磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06187626A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764432A (en) * | 1995-01-24 | 1998-06-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Recording and reproducing head slider and recording and reproducing apparatus using same |
-
1992
- 1992-12-16 JP JP33577992A patent/JPH06187626A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764432A (en) * | 1995-01-24 | 1998-06-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Recording and reproducing head slider and recording and reproducing apparatus using same |
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