JPH0619200Y2

JPH0619200Y2 - 透視性制電プレート

Info

Publication number: JPH0619200Y2
Application number: JP1985160632U
Authority: JP
Inventors: 薫山本
Original assignee: Takiron Co Ltd
Current assignee: Takiron Co Ltd
Priority date: 1985-10-18
Filing date: 1985-10-18
Publication date: 1994-05-18
Anticipated expiration: 2000-10-18
Also published as: JPS6269399U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、クリーンルームの壁材等として好適に使用さ
れる合成樹脂製の透視性制電プレートに関する。

（従来の技術）周知のように、半導体等を製造する場合は、塵埃が存在
すると不良品が多発するため、塵埃の殆どないクリーン
ルーム内で行う必要がある。そのため、クリーンルーム
の壁材として、第３図に示す如き合成樹脂基板１００の
表面に導電性フィルム１０１を設けた１０^10〜11Ω程度
の電気抵抗値を有する制電性プレートが使用されてい
る。かかる制電性プレートは、表面の導電性塗膜１０１
を通じて静電気が逃げるので帯電量が僅かであり、従っ
て塵埃の静電気的付着を防止することができるものであ
るが、まだ次のような改良すべき点がある。

（考案が解決しようとする問題点）即ち、上記の制電性プレートは、表面の電気抵抗値が約
１０¹¹Ω以下であると良好な塵埃付着防止効果を発揮す
るが、電気抵抗値が増大するに伴って急激に帯電量が増
し、電気抵抗値が約１０¹²Ω程度になると、後述の灰吸
着試験の結果より明らかなように、もはや塵埃付着を防
止することが困難となる。ところが、上記の制電性プレ
ートは、導電性フィルム１０１が表面に露出している関
係上、エッチング工程で用いる酸や有機溶剤の蒸気によ
って該フィルム１０１が短期間のうちに腐食、劣化し易
く、また作業者の衣服等と接触しても該フィルム１０１
が摩耗するため、この腐食、劣化、摩耗等によって該フ
ィルム１０１の電気抵抗が増大し、短期間のうちに１０
¹²Ω以上となって充分な塵埃付着防止効果を発揮し得な
くなるのである。従って、かかる制電性プレートを例え
ばクリーンルームの壁材等として使用する場合は、かな
りの頻度で新しいものに交換することが必要となり、極
めて不経済であった。

本考案はかかる事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、表面が耐薬品性、耐蝕性に優れ、電気
抵抗値が１０¹⁴Ω未満で良好な塵埃付着防止効果を発揮
でき、長期間にわたってクリーンルームの壁材等として
の使用に耐え得る透視性制電プレートを低することにあ
る。

（問題点を解決するための手段）そのため、本考案に係る透視性制電プレートは、透明合
成樹脂基板の表面に、導電性ネットからなる導電層を介
して３０μｍ以下の厚みを有する弗素系樹脂フィルムを
積層一体化する構成としたことを要旨とするものであ
る。

以下、実施例を挙げて本考案を詳述する。

（実施例）第１図は本考案透視性制電プレートの一実施例を示す端
部拡大断面図であって、このプレートは図示のごとく透
明合成樹脂基板１の表面に、導電性ネットからなる導電
層２を介して３０μｍ以下の厚みを有する弗素系樹脂フ
ィルム３を積層一体化した構造とされている。

合成樹脂基板１としては、例えば塩化ビニル樹脂やアク
リル樹脂等の透明基板或いは着色透明基板が使用され、
クリーンルームの壁材等に用いられる場合はクリーンル
ーム内をよく透視出来る。

この基板１の上の導電層２としては、ポリエステル繊維
にニッケルメッキを施した導電繊維から造ったネット
や、ポリエステル繊維に銅メッキを施し更にメチルメタ
アクリレート等の合成樹脂で被覆してなる導電繊維から
造ったネット等が使用される。前者のネットは後者のネ
ットに比べると安価であるため、これを使用すれば製造
コストの低減を図れる利点があり、また、後者のネット
は導電繊維でメチルメタアクリレート等の樹脂で被覆さ
れているため、合成樹脂基板１の表面の弗素系樹脂フィ
ルム３と密着して耐剥離性が大幅に向上する利点があ
る。殊に、網目形状が方形で、その導電繊維の太さが約
１０〜２５デニール、網目の大きさが約0.1〜0.2mm、電
気抵抗が約１０^０Ω以下、全光線透過率が約５０〜７０
％の条件範囲内にあるものは、頗る好適に使用される。
その理由は、導電繊維の密度をあげて導電性能を高める
と同時に、透過性を維持して透明性と、合成樹脂と弗素
系樹脂フィルムとの密着性の向上を図れるからである。
導電層２としてこのようなネットを使用した透視性制電
プレートは、それを視覚した時に導電繊維でネグレクト
されて背景を良く透視できるので、透明性が要求される
クリーンルームの壁材等として頗る有用である。尚、導
電層２としては、上記以外の例えば銅線等にて製したネ
ットを使用してもよい。

この導電層２の上の弗素系樹脂フィルム３は該導電層２
を被覆保護すると共に耐薬品性と透視性を保たせるため
もので、３０μｍ以下の厚みとなるように積層一体化さ
れ、第１図の実施例では、耐薬品性、耐溶剤性に優れた
弗化ビニリデン樹脂等の弗素系樹脂表面層３１と、合成
樹脂基板１に対する接着性の良好なアクリル樹脂等の裏
面層３２とからなる二層ラミネートフィルムが使用され
ている。かかる弗素系樹脂フィルム３は熱圧着またはラ
ミネート等の手段で積層され、合成樹脂基板１との接着
性に優れた裏面層３２が導電層２ネットの網目を通じて
合成樹脂基板１の表面にまわりこみ、導電層２の上下を
覆うごとく融着または接着し、剥離不能に一体化されて
いる。弗素系樹脂フィルム３としては上記の如き二層ラ
ミノートフィルムの他に弗素系樹脂の単層フィルムも使
用できることは勿論であり、その場合は、第２図（イ）
の実施例に示すように導電層２と弗素系樹脂フィルム３
の間に飽和性の良いアクリル樹脂等の層４を介装しても
よいし、あるいは合成樹脂基板１と導電層２の間に層４
を介装してもよく、いずれの場合も導電層２の網目を通
じて三層が一体化される。

このように弗素樹脂系フィルム３の厚みが３０μｍ以下
であると、後述の試験結果に示されるように表面抵抗が
１０¹⁴Ω未満の値となり、充分な塵埃付着防止効果が発
揮される。また、３０μｍ以下と薄膜であるので、弗素
系樹脂フィルムは透視性を有しており、制電プレートの
透視性を阻害しない。尚、あまり薄い場合には耐薬品性
能が悪く、且つ短期間で磨滅する虞があるので、厚さの
下限については１０μ程度とするのが望ましい。

以上のような構成の透視性制電プレートは、透明基板１
と導電性ネットからなる導電層２と３０μｍ以下の弗素
系樹脂フィルムを積層一体化しているので、透視性を有
している。さらに耐薬品性、耐溶剤性等に優れた弗素系
樹脂フィルム３で導電層２が被覆保護されるので、エッ
チング液の蒸気等によって短期間のうちに腐食、劣化す
ることはなく、且つ導電層２を通じて静電気が逃げるの
で表面の弗素系樹脂フィルム３の帯電量は微量となり、
特に表面抵抗が１０¹⁴Ω未満では後述の灰吸着試験の結
果に示されるように塵埃付着防止効果が顕著となる。第
３図に示す如き合成樹脂基板１００の表面に導電性フィ
ルム１０１を設けた従来の制電性プレートでは、表面抵
抗が１０¹²Ω以上になると満足な塵埃付着防止効果を発
揮できないのに対し、何故に本考案の透視性制電プレー
トでは１０¹⁴Ω未満まで満足な塵埃付着防止効果を発揮
し得るのか、その理由は定かでないが、おそらく弗素系
樹脂フィルム３が３０μｍ以下であれば導電フィルム３
に帯電する静電気を導電層２に放電し逃がすためである
と推測される。

次に実施例と比較例を挙げる。

（実施例）厚さ１mmのポリ塩化ビニル樹脂板の表面に、厚さ５０μ
のあくりる樹脂フィルムを介して導電ネット（ポリエス
テル繊維にニッケルメッキを施した太さ２０デニールの
繊維より造った、網目の大きさが0.16mm、電気抵抗が３
×１０^０Ω、全光線透過率が６５％であるネット）を重
ね、その上に下記第１表に示す厚さの弗化ビニリデン樹
脂フィルムを重ねて熱圧着し、７種類の透視性制電プレ
ート（NO.１〜７）を作製した。これらのプレートにつ
いて、表面抵抗、帯電圧、半減期を測定すると共に、灰
吸着試験を行った。その結果を下記第１表に示す。また
フィルムの厚さと表面抵抗との関係を第４図に示す。
尚、表面抵抗は東亜電波（株）製のＵＬＴＲＡＭＥＧ
ＯＨＭＭＥＴＥＲＭｏｄｅｌＳＭ−１０Ｅで、また帯
電圧、半減期は宍戸商会製のＳＴＡＴＩＣＨＯＮＥＳ
Ｔ−ＭＥＴＥＲＴＹＰＥＳ−５１０９で測定した。
また、灰吸着試験はタバコの灰を基板上に散布し、透視
性制電プレートを綿にこすりつけて静電気を発生させ、
すぐに基板から１mmの距離において灰がプレートに吸着
するか否かを観察した。

（比較例）比較のために、厚さ２mmのポリ塩化ビニル板の表面に市
販の厚さが0.25mmの制電性フィルムを熱圧一体化して従
来の制電性プレートを数枚作製した。そのうち、製作条
件の差異によって表面抵抗がそれぞれ１０¹¹Ω未満の
値、１０¹²Ωより大きい値を示した二枚の制電性プレー
トを試験片として選択し、これらの帯電圧、半減期を測
定すると共に、灰吸着試験を行った。その結果を下記第
１表に併せて示す。

上記実験例の結果から、本考案の透視性制電プレートは
表面抵抗が１０¹²〜１０¹³Ωの範囲でも灰を吸着せず、
充分な塵埃付着防止効果を発揮することが判る。また、
第４図から、弗化ビニリデン樹脂フィルムの厚さを３０
μｍ以下に設定すれば、表面抵抗を１０¹⁴Ω未満にする
ことができ、充分な塵埃付着防止効果が得られることが
判る。

（考案の効果）以上の説明から理解できるように、本考案の透視性制電
プレートは、３０μｍの厚みの弗素系樹脂フィルムで導
電層が被覆保護されているので、この導電層が酸や有機
溶剤の蒸気等によって短期間のうちに腐蝕、劣化したり
物理的に磨滅したりすることもなく、耐薬品性、耐溶剤
性に優れたものとなり、しかも、上記弗素系樹脂フィル
ムが３０μｍ以下の厚みであれば、従来プレートでは塵
埃付着防止が不可能な１０¹²〜１０¹³Ω程度の表面抵抗
を有しているにもかかわらず、満足な塵埃付着防止効果
を発揮することができる。また、基板として透明合成樹
脂を、導電層としてネットを、弗素系樹脂フィルムとし
て３０μｍ以下の薄膜を用いたので、制電プレートは透
視性を備えている。従って本考案の透視性制電プレート
は、従来プレートにみられるような電気抵抗値増大によ
る帯電量の増加は殆どなく、長期間にわたって良好な塵
埃付着防止効果を維持し得るので、透視性を必要とする
クリーンルームの壁材、間仕切材等として頗る好適に使
用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す端部拡大断面図、第２
図（イ）（ロ）はそれぞれ本考案の他の実施例を示す部
分断面図、第３図は従来例の部分断面図、第４図は弗化
ビニリデン樹脂フィルムの厚さと表面抵抗との関係を示
すグラフである。１……合成樹脂基板、２……導電層、３……弗素系樹脂
フィルム。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】透明合成樹脂基板の表面に導電性ネットか
らなる導電層を介して３０μｍ以下の厚みを有する弗素
系樹脂フィルムを積層一体化して成る透視性制電プレー
ト。