JPH0619336B2 - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH0619336B2 JPH0619336B2 JP10820582A JP10820582A JPH0619336B2 JP H0619336 B2 JPH0619336 B2 JP H0619336B2 JP 10820582 A JP10820582 A JP 10820582A JP 10820582 A JP10820582 A JP 10820582A JP H0619336 B2 JPH0619336 B2 JP H0619336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- circuit
- signal
- detection counter
- length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 この発明は、金属圧延板の表面欠陥を検出する場合等に
用いられる表面検査装置に関するものである。
用いられる表面検査装置に関するものである。
従来この種の装置として第１図に示すものがあった。第
１図において、１はレーザを用いた光学系センサー、２
は光学系センサー１から被検査板３に照射されるレーザ
ビーム、４は被検査板３の移動距離をパルス数に変換す
るパルスジェネレータ、５は光学系センサー１からの出
力信号を増幅する増幅器、６は波形整形回路、７は欠陥
信号を抽出する比較回路、８は検査領域を決めるゲート
回路、９は第１フリップフロップ回路、１０は欠陥切れ
目判定用の第１設定値１１の値ｌを参照して欠陥の途切
れ部分の長さを検出する欠陥切れ目検出カウンター回
路、１２は欠陥長さ検出カウンター回路、１３は欠陥長
さ検出カウンタ回路１２の欠陥データをとり出して累積
する第１ラッチ回路、１４は第１ラッチ回路１３の欠陥
データを収集して欠陥の程度を判定するマイクロコンピ
ュータ回路である。
１図において、１はレーザを用いた光学系センサー、２
は光学系センサー１から被検査板３に照射されるレーザ
ビーム、４は被検査板３の移動距離をパルス数に変換す
るパルスジェネレータ、５は光学系センサー１からの出
力信号を増幅する増幅器、６は波形整形回路、７は欠陥
信号を抽出する比較回路、８は検査領域を決めるゲート
回路、９は第１フリップフロップ回路、１０は欠陥切れ
目判定用の第１設定値１１の値ｌを参照して欠陥の途切
れ部分の長さを検出する欠陥切れ目検出カウンター回
路、１２は欠陥長さ検出カウンター回路、１３は欠陥長
さ検出カウンタ回路１２の欠陥データをとり出して累積
する第１ラッチ回路、１４は第１ラッチ回路１３の欠陥
データを収集して欠陥の程度を判定するマイクロコンピ
ュータ回路である。
次に動作について説明する。なお、ここでは被検査板３
の走行方向と平行な方向に生じた縦傷を検査する場合に
ついて述べる。
の走行方向と平行な方向に生じた縦傷を検査する場合に
ついて述べる。
光学系センサー１の内部で高速に振られたレーザビーム
が、走行中の圧延金属板等の被検査板３の板幅方向に走
査され、その反射光が光学系センサー１の内部で収束さ
れた後、光電変換されて電気信号が出力される。この電
気信号は被検査板３の正常面に対しては定常レベルを示
し、被検査板３に何らかの欠陥（ここでは縦傷）存在す
ると異常レベルとして現われる。この異常レベルの信号
を検出して欠陥の存在を認知するが、単に欠陥の存在の
みでなく欠陥の長さも検出し、欠陥の程度を判定する。
光学系センサー１から出力された信号は、増幅器５によ
り増幅され、波形整形回路６により欠陥信号の抽出を容
易にするために波形整形された後、比較回路７で所定レ
ベルと比較されることによりパルス状の欠陥信号が取出
される。
が、走行中の圧延金属板等の被検査板３の板幅方向に走
査され、その反射光が光学系センサー１の内部で収束さ
れた後、光電変換されて電気信号が出力される。この電
気信号は被検査板３の正常面に対しては定常レベルを示
し、被検査板３に何らかの欠陥（ここでは縦傷）存在す
ると異常レベルとして現われる。この異常レベルの信号
を検出して欠陥の存在を認知するが、単に欠陥の存在の
みでなく欠陥の長さも検出し、欠陥の程度を判定する。
光学系センサー１から出力された信号は、増幅器５によ
り増幅され、波形整形回路６により欠陥信号の抽出を容
易にするために波形整形された後、比較回路７で所定レ
ベルと比較されることによりパルス状の欠陥信号が取出
される。
欠陥の長さを検出するためには被検査板３の移動距離を
知る必要があり、このためにパルスジェネレータ４を被
検査板３の走行ラインに取り付け、被検査板３が単位長
さ移動する毎に１パルスの信号を出力する。このパルス
信号が来る度にレーザビームの１走査に同期させてゲー
ト回路８を開く。被検査板３が単位長さを移動する毎に
出力される欠陥信号を欠陥長さ検出カウンター回路１２
でカウントする。
知る必要があり、このためにパルスジェネレータ４を被
検査板３の走行ラインに取り付け、被検査板３が単位長
さ移動する毎に１パルスの信号を出力する。このパルス
信号が来る度にレーザビームの１走査に同期させてゲー
ト回路８を開く。被検査板３が単位長さを移動する毎に
出力される欠陥信号を欠陥長さ検出カウンター回路１２
でカウントする。
一方一度欠陥信号が発生すると、第１フリップフロップ
回路９はゲート回路８からの欠陥信号のパルスによりリ
セットされ、パルスジェネレータ４の出力パルスでセッ
トされるように動作する。第１のフリップフロップ回路
９のセットされている間に欠陥切れ目検出カウンター回
路１０はパルスジェネレータ４の出力パルスをカウント
する。欠陥切れ目検出カウンター回路１０はカウント数
が第１設定値１１の値ｌに達すると、信号を出力して欠
陥が途切れたことを判定する。欠陥切れ目検出カウンタ
ー回路１０の出力信号により第１ラッチ回路１３に欠陥
長さ検出カウンター回路１２のデータをラッチさせた
後、欠陥長さ検出カウンター回路１２をクリヤーする。
第１のラッチ回路１３に得られたデータは、ある長さを
持つ欠陥について光学系センサー１で検出された部分の
みの累積長さとなり、このデータをマイクロコンピュー
タ回路１４が取り込み、１つの欠陥についてその程度判
定を行う。
回路９はゲート回路８からの欠陥信号のパルスによりリ
セットされ、パルスジェネレータ４の出力パルスでセッ
トされるように動作する。第１のフリップフロップ回路
９のセットされている間に欠陥切れ目検出カウンター回
路１０はパルスジェネレータ４の出力パルスをカウント
する。欠陥切れ目検出カウンター回路１０はカウント数
が第１設定値１１の値ｌに達すると、信号を出力して欠
陥が途切れたことを判定する。欠陥切れ目検出カウンタ
ー回路１０の出力信号により第１ラッチ回路１３に欠陥
長さ検出カウンター回路１２のデータをラッチさせた
後、欠陥長さ検出カウンター回路１２をクリヤーする。
第１のラッチ回路１３に得られたデータは、ある長さを
持つ欠陥について光学系センサー１で検出された部分の
みの累積長さとなり、このデータをマイクロコンピュー
タ回路１４が取り込み、１つの欠陥についてその程度判
定を行う。
第３図（Ａ）は連続欠陥を検出する場合を示し、２０は
長さＬを有する連続欠陥としての縦傷、Ｐは単位長さ毎
に発生する欠陥信号パルス、ａは被検査板３の走行方向
である。
長さＬを有する連続欠陥としての縦傷、Ｐは単位長さ毎
に発生する欠陥信号パルス、ａは被検査板３の走行方向
である。
第３図（Ｂ）は不連続欠陥を検出する場合を示し、２０
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄは不連続欠陥としての縦傷
であり、それぞれ長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を有し且
つ間隔ｌ１，ｌ２，ｌ３を以って生じている。ここで、
ｌ１，ｌ２，ｌ３は第１設定値１１の値ｌより小さい。
ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄは不連続欠陥としての縦傷
であり、それぞれ長さＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を有し且
つ間隔ｌ１，ｌ２，ｌ３を以って生じている。ここで、
ｌ１，ｌ２，ｌ３は第１設定値１１の値ｌより小さい。
第３図（Ａ）の連続欠陥の場合は、第１のラッチ回路１
３には縦傷２０の長さＬの値が欠陥データとしてラッチ
される。また、同図（Ｂ）の不連続欠陥の場合は、第１
のラッチ回路１３には、各縦傷２０ａ〜２０ｄの長さの
合計Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４がラッチされる。
３には縦傷２０の長さＬの値が欠陥データとしてラッチ
される。また、同図（Ｂ）の不連続欠陥の場合は、第１
のラッチ回路１３には、各縦傷２０ａ〜２０ｄの長さの
合計Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４がラッチされる。
第４図は、板幅方向に欠陥がずれている場合の動作説明
図、第５図は、第４図に対応する波形整形回路６の出力
信号を示す図である。図中、３０は往方向のビーム走
査、３１は復方向のビーム走査、３２は正常面信号、３
３は欠陥部信号を示し、又、第４図中の(イ)(ロ)(ハ)はそ
れぞれ第５図中の(イ)(ロ)(ハ)に対応している。また、第
５図においてＨは検査幅に相当する。
図、第５図は、第４図に対応する波形整形回路６の出力
信号を示す図である。図中、３０は往方向のビーム走
査、３１は復方向のビーム走査、３２は正常面信号、３
３は欠陥部信号を示し、又、第４図中の(イ)(ロ)(ハ)はそ
れぞれ第５図中の(イ)(ロ)(ハ)に対応している。また、第
５図においてＨは検査幅に相当する。
次に動作について説明する。第４図に示す被検査板３上
を板幅方向にレーザビームを走査し、単位搬送距離に同
期した往方向ビーム走査時３０の光電変換後の信号は、
第５図のようになる。
を板幅方向にレーザビームを走査し、単位搬送距離に同
期した往方向ビーム走査時３０の光電変換後の信号は、
第５図のようになる。
当該信号を比較回路７に通すことにより、欠陥パルス信
号が得られる。そして、前に説明した計測方法と同様に
欠陥部分の最初に検出される欠陥検出パルス信号が基本
となって欠陥部分の長さ、欠陥切れ目長さ等が計測され
る。
号が得られる。そして、前に説明した計測方法と同様に
欠陥部分の最初に検出される欠陥検出パルス信号が基本
となって欠陥部分の長さ、欠陥切れ目長さ等が計測され
る。
このように板幅方向に欠陥がずれている場合であっても
欠陥が検査幅内に発生しているのであれば、一直線上に
欠陥が連続している場合と同一の不連続欠陥として処理
している。さらに厳密に測定する場合には、検査幅を狭
くするか、あるいは欠陥検出パルス信号を電気的に分割
すればよい。
欠陥が検査幅内に発生しているのであれば、一直線上に
欠陥が連続している場合と同一の不連続欠陥として処理
している。さらに厳密に測定する場合には、検査幅を狭
くするか、あるいは欠陥検出パルス信号を電気的に分割
すればよい。
尚、被検査幅は、３０cm位から１５０cm位のものまであ
るが、一般には１ユニット当りの検査幅が３０cmで広幅
の場合は検査ユニットを横幅方向に並べて検査する。従
って、検査幅３０cm位の範囲で多発する不連続欠陥は、
被検査板内部の欠陥の広がりが予想され、有効な検出方
向になる。
るが、一般には１ユニット当りの検査幅が３０cmで広幅
の場合は検査ユニットを横幅方向に並べて検査する。従
って、検査幅３０cm位の範囲で多発する不連続欠陥は、
被検査板内部の欠陥の広がりが予想され、有効な検出方
向になる。
なお、ここでは縦傷の場合について説明したが、傷の種
類は縦傷、横傷ともに検出可能である。しかしながら一
般的に金属圧延板では縦傷が発生しやすく、横傷に相当
するものは表面汚れが多い。縦傷は欠陥の長さで重要度
を判定し、横傷は欠陥の幅および長さで重要度を判断す
るようにしている。従って、本明細書では縦傷の場合に
ついて説明する。
類は縦傷、横傷ともに検出可能である。しかしながら一
般的に金属圧延板では縦傷が発生しやすく、横傷に相当
するものは表面汚れが多い。縦傷は欠陥の長さで重要度
を判定し、横傷は欠陥の幅および長さで重要度を判断す
るようにしている。従って、本明細書では縦傷の場合に
ついて説明する。
従来の装置は以上のように構成されているので、１つの
連続及び不連続欠陥についてセンサーで検出された部分
の累積長さで欠陥の程度が判定され、不連続欠陥の場合
は、間隔ｌ１，ｌ２，ｌ３を含む全体の長さより短く判
定され、このため欠陥は軽度であると判定がなされるこ
とがある。金属圧延板の場合、不連続欠陥は内部欠陥を
含んだ重大欠陥の場合が多いが、従来装置はこれを見落
としたり軽度の欠陥として判定してしまう等の欠点があ
った。
連続及び不連続欠陥についてセンサーで検出された部分
の累積長さで欠陥の程度が判定され、不連続欠陥の場合
は、間隔ｌ１，ｌ２，ｌ３を含む全体の長さより短く判
定され、このため欠陥は軽度であると判定がなされるこ
とがある。金属圧延板の場合、不連続欠陥は内部欠陥を
含んだ重大欠陥の場合が多いが、従来装置はこれを見落
としたり軽度の欠陥として判定してしまう等の欠点があ
った。
この発明は上記のような従来の装置の欠点を除去するた
めになされたもので、不連続欠陥の場合でも欠陥の始ま
りから終りまでの総合長さを検出する回路を設け、さら
に総合長さと累積長さの差を算出し、一定値以上ならば
重度欠陥として検査する機能を備え、重大欠陥を正確に
判定できる表面検査装置を提供することを目的としてい
る。
めになされたもので、不連続欠陥の場合でも欠陥の始ま
りから終りまでの総合長さを検出する回路を設け、さら
に総合長さと累積長さの差を算出し、一定値以上ならば
重度欠陥として検査する機能を備え、重大欠陥を正確に
判定できる表面検査装置を提供することを目的としてい
る。
以下この発明の一実施例を図について説明する。第１図
と同一部分を同一符号で示す第２図において、１５は第
２フリップフロップ回路、１６は１つの欠陥（連続欠陥
又は不連続欠陥）の始まりから終りまでの総合長さを検
出する総合長さ検出カウンタ回路、１７は総合長さ検出
カウンター回路１６のデータをとり出す第２ラッチ回
路、１８はマイクロコンピュータ回路１４で欠陥程度を
判定するための第２設定値である。
と同一部分を同一符号で示す第２図において、１５は第
２フリップフロップ回路、１６は１つの欠陥（連続欠陥
又は不連続欠陥）の始まりから終りまでの総合長さを検
出する総合長さ検出カウンタ回路、１７は総合長さ検出
カウンター回路１６のデータをとり出す第２ラッチ回
路、１８はマイクロコンピュータ回路１４で欠陥程度を
判定するための第２設定値である。
第２図において、センサー１で光学的に検出された信号
は第１図で述べたように種々の信号処理が施されて欠陥
信号が得られる。ゲート回路８を通過した欠陥信号は第
２フリップフロップ回路１５をセットし、総合長さ検出
カウンター回路１６のカウントを可能にする。総合長さ
検出カウンター回路１６は第２フリップフロップ回路１
５がセットされている間パルスジェネレータ４の出力パ
ルスをカウントする。
は第１図で述べたように種々の信号処理が施されて欠陥
信号が得られる。ゲート回路８を通過した欠陥信号は第
２フリップフロップ回路１５をセットし、総合長さ検出
カウンター回路１６のカウントを可能にする。総合長さ
検出カウンター回路１６は第２フリップフロップ回路１
５がセットされている間パルスジェネレータ４の出力パ
ルスをカウントする。
一方、欠陥切れ目検出カウンター回路１０が欠陥切れ目
長さｌを判定して信号を出力すると、第２フリップフロ
ップ回路１５がリセットされ、同時に総合長さ検出カウ
ンター回路１６のデータが第２ラッチ回路１７にとり込
まれる。この時、第２ラッチ回路１７にとり込まれたデ
ータは、１つの欠陥の始まりから終りまでの総合長さに
第１設定値１１の値ｌが加算されたデータとなってい
る。欠陥切れ目が判定された時点では、１つの欠陥につ
いての検累積長さのデータが第１ラッチ回路１３に、ま
た総合長さのデータが第２ラッチ回路１７にとり込まれ
ている。
長さｌを判定して信号を出力すると、第２フリップフロ
ップ回路１５がリセットされ、同時に総合長さ検出カウ
ンター回路１６のデータが第２ラッチ回路１７にとり込
まれる。この時、第２ラッチ回路１７にとり込まれたデ
ータは、１つの欠陥の始まりから終りまでの総合長さに
第１設定値１１の値ｌが加算されたデータとなってい
る。欠陥切れ目が判定された時点では、１つの欠陥につ
いての検累積長さのデータが第１ラッチ回路１３に、ま
た総合長さのデータが第２ラッチ回路１７にとり込まれ
ている。
マイクロコンピュータ回路１４はこれらのデータをとり
出し欠陥程度を判定する。欠陥程度の判定においては総
合長さから第１設定値１１の値ｌを差引いた値と検出部
累積長さの差を演算し、この値が第２設定値１８の値ｋ
と比較して値ｋより大きければ不連続欠陥として重度欠
陥の判定を行い、また総合長さの値によって欠陥の程度
判定を行う。
出し欠陥程度を判定する。欠陥程度の判定においては総
合長さから第１設定値１１の値ｌを差引いた値と検出部
累積長さの差を演算し、この値が第２設定値１８の値ｋ
と比較して値ｋより大きければ不連続欠陥として重度欠
陥の判定を行い、また総合長さの値によって欠陥の程度
判定を行う。
この実施例によれば、第３図（Ａ）の場合は第１ラッチ
回路１３にＬの値がラッチされ、第２ラッチ回路１７に
Ｌ＋ｌの値がラッチされることになる。また、同図
（Ｂ）の場合は、第１ラッチ回路１３にＬ１＋Ｌ２＋Ｌ
３＋Ｌ４の値がラッチされ、第２ラッチ回路１７にＬ１
＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４＋ｌ１＋ｌ２＋ｌ３＋ｌ＝Ｌ０の値
がラッチされる。従って、 Ｌ０−ｌ−（Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４）≧ｋ のとき、不連続欠陥であると判定される。
回路１３にＬの値がラッチされ、第２ラッチ回路１７に
Ｌ＋ｌの値がラッチされることになる。また、同図
（Ｂ）の場合は、第１ラッチ回路１３にＬ１＋Ｌ２＋Ｌ
３＋Ｌ４の値がラッチされ、第２ラッチ回路１７にＬ１
＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４＋ｌ１＋ｌ２＋ｌ３＋ｌ＝Ｌ０の値
がラッチされる。従って、 Ｌ０−ｌ−（Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４）≧ｋ のとき、不連続欠陥であると判定される。
ここで第６図の欠陥につき第７図のタイミングチャート
を用いて詳細に説明する。なお、このタイミングチャー
トでは単位長さ毎に同期して選択された信号部のみを示
している。図において６１はきず等の欠陥であって長さ
５を有するもの、６２はきず等の欠陥であって長さ４を
有するもの、６３はきず等の欠陥であって長さ３を有す
るもの、７１は欠陥発生からの距離を数値換算した値、
７２は波形整形回路６の出力波形、７３はゲート回路８
の出力波形、７４はパルスジェネレータ４の出力波形、
７５はフリップフロップ９の出力波形、７６は欠陥切れ
目検出カウンタ１０の出力波形、７７は欠陥長さ検出カ
ウンタ１２の出力波形、７８は本発明による追加機能に
よるフリップフロップ１５の出力波形、７９は同じく本
発明による追加機能による総合長さ検出カウンタ１６の
出力波形である。
を用いて詳細に説明する。なお、このタイミングチャー
トでは単位長さ毎に同期して選択された信号部のみを示
している。図において６１はきず等の欠陥であって長さ
５を有するもの、６２はきず等の欠陥であって長さ４を
有するもの、６３はきず等の欠陥であって長さ３を有す
るもの、７１は欠陥発生からの距離を数値換算した値、
７２は波形整形回路６の出力波形、７３はゲート回路８
の出力波形、７４はパルスジェネレータ４の出力波形、
７５はフリップフロップ９の出力波形、７６は欠陥切れ
目検出カウンタ１０の出力波形、７７は欠陥長さ検出カ
ウンタ１２の出力波形、７８は本発明による追加機能に
よるフリップフロップ１５の出力波形、７９は同じく本
発明による追加機能による総合長さ検出カウンタ１６の
出力波形である。
欠陥は第６図に示すように３個生じているが、これに対
応格した位置にまず出力波形７２に示すようにひげが生
じる。さらに比較回路７、ゲート回路８を経て出力波形
７３に示すように欠陥に対応したタイミングでパルス状
の欠陥信号が取り出される。このような出力に応じ出力
波形７５に示すようにフリップフロップ９では欠陥を有
するタイミングでのみパルスを発生することになる。そ
してこのフリップフロップ９の出力より欠陥切れ目検出
カウンタ１０では出力波形７６に示すようにフリップフ
ロップ９の出力のパルス波形の途切れている間、即ち欠
陥の切れ目の距離に対応する数のパルス３，２，１ほど
カウントすることなる。一方、欠陥長さ検出カウンタ１
２ではゲート回路８の出力をカウントすることにより出
力波形７７に示すように欠陥の長さを加算した値を導か
れる。この場合欠陥１、欠陥２、欠陥３の各々の長さに
応じた値の和である値１２がカウントされる。また、総
合長さ検出カウンタ１６では予め設定された値１＝７を
欠陥切れ目検出カウンタ回路１０が判定すると出力波形
７８に示すように第２フリップフロップ回路１５がリセ
ットされ、同時に総合長さ検出カウンタ１６のデータ値
２４が第２ラッチ回路１７に取り込まれる。この値２４
より初期設定値７を引くことで１７という欠陥部のトー
タル長さが求める。
応格した位置にまず出力波形７２に示すようにひげが生
じる。さらに比較回路７、ゲート回路８を経て出力波形
７３に示すように欠陥に対応したタイミングでパルス状
の欠陥信号が取り出される。このような出力に応じ出力
波形７５に示すようにフリップフロップ９では欠陥を有
するタイミングでのみパルスを発生することになる。そ
してこのフリップフロップ９の出力より欠陥切れ目検出
カウンタ１０では出力波形７６に示すようにフリップフ
ロップ９の出力のパルス波形の途切れている間、即ち欠
陥の切れ目の距離に対応する数のパルス３，２，１ほど
カウントすることなる。一方、欠陥長さ検出カウンタ１
２ではゲート回路８の出力をカウントすることにより出
力波形７７に示すように欠陥の長さを加算した値を導か
れる。この場合欠陥１、欠陥２、欠陥３の各々の長さに
応じた値の和である値１２がカウントされる。また、総
合長さ検出カウンタ１６では予め設定された値１＝７を
欠陥切れ目検出カウンタ回路１０が判定すると出力波形
７８に示すように第２フリップフロップ回路１５がリセ
ットされ、同時に総合長さ検出カウンタ１６のデータ値
２４が第２ラッチ回路１７に取り込まれる。この値２４
より初期設定値７を引くことで１７という欠陥部のトー
タル長さが求める。
このようにして欠陥部の累積長さ１２、欠陥部のトータ
ル長さ１７が求められ、この差をとり設定値ｋと比較す
ることで不連続欠陥か否かが判定される。従って欠陥部
の累積長さ１２のみをもって判定していた従来の手法に
比べて不連続欠陥に対しても正確な欠陥の程度を判定す
ることができる。
ル長さ１７が求められ、この差をとり設定値ｋと比較す
ることで不連続欠陥か否かが判定される。従って欠陥部
の累積長さ１２のみをもって判定していた従来の手法に
比べて不連続欠陥に対しても正確な欠陥の程度を判定す
ることができる。
なお、上記実施例では欠陥の総合長さ検出回路としてカ
ウンター及びその付属コントロール回路で示したが、こ
れに限定することなく、この回路としてマイクロコンピ
ュータ，メモリー，加算回路，演算回路等を用いても良
い。また、欠陥程度判定部分にマイクロコンピュータ回
路を用いているが、論理回路の組合せでも同様の効果を
有する。
ウンター及びその付属コントロール回路で示したが、こ
れに限定することなく、この回路としてマイクロコンピ
ュータ，メモリー，加算回路，演算回路等を用いても良
い。また、欠陥程度判定部分にマイクロコンピュータ回
路を用いているが、論理回路の組合せでも同様の効果を
有する。
また、上記実施例ではレーザを用いた疵検査装置につい
て説明したが、センサー部分は一般の光学的検出センサ
ーでもよく上記実施例と同様の効果が得られる。
て説明したが、センサー部分は一般の光学的検出センサ
ーでもよく上記実施例と同様の効果が得られる。
以上記載のように、この発明によれば、１つの欠陥の長
さを検出するためにセンサー部分で検出される欠陥の累
積長さの他に総合長さを検出できる回路構成を付加した
ので、このデータを組合せることにより、一続きの金属
板等に生じた不連続欠陥に対しても正確な欠陥程度を判
定することができる。即ち、小欠陥が欠陥切れ目検出長
さ以内の間隔で不連続欠陥連続に多発し、不連続部分の
累積長さが一定値以上の場合に重要欠陥を判断する機能
が付加されたことになり、これによって信頼度の高い表
面検査装置が得られる効果がある。
さを検出するためにセンサー部分で検出される欠陥の累
積長さの他に総合長さを検出できる回路構成を付加した
ので、このデータを組合せることにより、一続きの金属
板等に生じた不連続欠陥に対しても正確な欠陥程度を判
定することができる。即ち、小欠陥が欠陥切れ目検出長
さ以内の間隔で不連続欠陥連続に多発し、不連続部分の
累積長さが一定値以上の場合に重要欠陥を判断する機能
が付加されたことになり、これによって信頼度の高い表
面検査装置が得られる効果がある。
第１図は従来のレーザ式表面検査装置の構成を示すブロ
ック図、第２図はこの発明の一実施例によるレーザ式表
面検査装置の構成を示すブロック図、第３図は従来及び
この発明装置の動作の説明図、第４図は従来及びこの発
明装置の動作の説明図、第５図は従来及びこの発明装置
の動作の説明図、第６図は欠陥の一例を示す簡略図、第
７図はこの発明装置の動作を示すタイミングチャートで
ある。 １……光学系センサー、４……パルスジェネレータ、７
……比較回路、８……ゲート回路、１０……欠陥切れ目
検出カウンター回路、１２……欠陥長さ検出カウンター
回路、１４……マイクロコンピュータ回路、１６……欠
陥総合長さ検出カウンター回路、３０……往方向のビー
ム走査、３１……復方向のビーム走査、３２……正常面
信号、３３……欠陥部信号。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
ック図、第２図はこの発明の一実施例によるレーザ式表
面検査装置の構成を示すブロック図、第３図は従来及び
この発明装置の動作の説明図、第４図は従来及びこの発
明装置の動作の説明図、第５図は従来及びこの発明装置
の動作の説明図、第６図は欠陥の一例を示す簡略図、第
７図はこの発明装置の動作を示すタイミングチャートで
ある。 １……光学系センサー、４……パルスジェネレータ、７
……比較回路、８……ゲート回路、１０……欠陥切れ目
検出カウンター回路、１２……欠陥長さ検出カウンター
回路、１４……マイクロコンピュータ回路、１６……欠
陥総合長さ検出カウンター回路、３０……往方向のビー
ム走査、３１……復方向のビーム走査、３２……正常面
信号、３３……欠陥部信号。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】一続きの金属板等の表面を光学的に走査し
その反射光の変化を検出するセンサーと、前記金属板等
の移動量をパルス数に変換するパルスジェネレータと、
前記センサーの出力と所定レベルとを比較して欠陥信号
を抽出する比較回路と、前記比較回路からの欠陥信号と
上記パルスジェネレータの出力パルスとに基いて検査タ
イミングを決めるゲート回路と、前記ゲート回路を通過
した欠陥信号をカウントする欠陥長さ検出カウンター回
路と、前記ゲート回路を通過した欠陥信号が途切れた期
間に上記パルスジェネレータの出力パルスをカウントし
所定の設定値以上カウントすると信号を出力する欠陥切
れ目検出カウンター回路と、前記ゲート回路を欠陥信号
が通過した時から上記欠陥切れ目検出カウンター回路か
ら信号が出力されるまでの期間に前記パルスジェネレー
タの出力パルスをカウントする欠陥総合長さ検出カウン
ター回路と、前記欠陥総合長さ検出カウンター回路のデ
ータと欠陥長さ検出カウンター回路のデータとを比較し
両者に一定以上の差があれば不連続欠陥として欠陥程度
判定に重みをつけるマイクロコンピュータ回路とを備え
た表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10820582A JPH0619336B2 (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10820582A JPH0619336B2 (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58223045A JPS58223045A (ja) | 1983-12-24 |
| JPH0619336B2 true JPH0619336B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=14478680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10820582A Expired - Lifetime JPH0619336B2 (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619336B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5725779B2 (ja) | 2010-09-24 | 2015-05-27 | 新日鐵住金株式会社 | 新幹線車両用連結装置及び取外し方法 |
-
1982
- 1982-06-21 JP JP10820582A patent/JPH0619336B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5725779B2 (ja) | 2010-09-24 | 2015-05-27 | 新日鐵住金株式会社 | 新幹線車両用連結装置及び取外し方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58223045A (ja) | 1983-12-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR850000855B1 (ko) | 흠(hurt)검사 장치 | |
| EP0008353B1 (en) | Method of detection and classification of flaws on metallic surfaces | |
| US7569843B2 (en) | Method for processing receiver signal and optical sensor | |
| US3779649A (en) | Method of and an electro-optical system for inspecting material | |
| US4219277A (en) | Method of detecting flaws on surfaces | |
| JPH0619336B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| US5166535A (en) | Surface inspecting apparatus with surface inspection width adjustment | |
| JP2002372499A (ja) | 周期性欠陥検査方法及び装置 | |
| JP4160593B2 (ja) | 欠陥検出方法及び欠陥検査装置 | |
| JPH0531101B2 (ja) | ||
| JP3229122B2 (ja) | 光線式物体検知装置 | |
| JPH01262447A (ja) | 周期性欠陥弁別処理回路 | |
| JPH01253641A (ja) | 筋状欠陥弁別処理回路 | |
| JP3091276B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| RU1777007C (ru) | Устройство регистрации дефектов полированной поверхности | |
| JPS5890141A (ja) | 光学検出系の障害診断装置 | |
| JPS5892938A (ja) | 傷測定装置 | |
| JPS633256B2 (ja) | ||
| JP2000321214A (ja) | 欠陥検出方法および装置 | |
| JPH0718814B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPS63215953A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| GB2072333A (en) | Edge Determination in Image Analysis | |
| JPH0229964B2 (ja) | Sunhosokuteisochi | |
| JPH08219734A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPS6217696B2 (ja) |