JPH06194230A - 分光器スリット機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スリット幅によって光量が大きく変化して
も、狭いダイナミックレンジのモニタ用検出器で正しく
モニタできる分光器スリット機構を提供することを目的
とする。 【構成】 外周に複数対の幅の異なる入出射スリット対
を透設したスリット円板を有し、出射スリットから出射
した光をビームスプリッタで分割し、その一方の光をモ
ニタ用検出器に導く分光器スリット機構であって、出射
スリット幅に反比例してその開口の大きさが設定された
絞り孔を各幅の出射スリットに対応させてスリット円板
に併設し、ビームスプリッタで分割した一方の光をこの
絞り孔を通じてモニタ用検出器に導くようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、分光器のスリット幅を
切り換える機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】測定光をモニタするため出射スリットか
ら出射した光の一部をビームスプリッタで分割してモニ
タ用検出器に導くことが行われている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、出射スリット
から出射した光の一部を分割してモニタ用検出器に導く
場合、切り換えられるスリット幅によって光量が大きく
変化するので、モニタ用検出器のダイナミックレンジを
広くする必要があった。

【０００４】本発明は、スリット幅によって光量が大き
く変化しても、狭いダイナミックレンジのモニタ用検出
器で正しくモニタできる、スリット幅切換え機構を提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のスリット機構は、外周に複数対の幅の異な
る入出射スリット対を透設したスリット円板を有し、出
射スリットから出射した光をビームスプリッタで分割
し、その一方の光をモニタ用検出器に導く分光器スリッ
ト機構であって、出射スリット幅に反比例してその開口
の大きさが設定された絞り孔を各幅の出射スリットに対
応させてスリット円板に併設し、ビームスプリッタで分
割した一方の光をこの絞り孔を通じてモニタ用検出器に
導くようにしたことを特徴とするものである。

【０００６】

【作 用】上記のように構成された本発明のスリット機
構にあっては、出射スリットから出射され、分割されて
モニタ用検出器に導かれる光の光量を絞り孔が加減する
ように作用する。

【０００７】

【実施例】実施例について図面を参照して説明するに、
１はスリット円板で、幅の異なる多数のスリット２が円
周に沿って透設されている。３は凹面回折格子、４はパ
ルスモータで、円板１は同パルスモータの軸に直結され
ている。この実施例は回折格子への入射光と出射光の各
光軸と回折格子中心に立てた法線とを含む平面が回折格
子３の回転軸Ｚと直交しているインプレーン型分光器で
あって、円板１上で一つの直径の両端側に設けられたス
リットが同一幅で一対となって入射スリットと出射スリ
ットとなり、幅の異なるこのようなスリット対が複数組
透設されていて、円板１を回すことによって幅の異なる
スリットを選択することができる。

【０００８】円板１の円周上にはまた、一個の小透孔５
が設けられており、円板１を挟んでフォトカプラ６が配
置してあって、このフォトカプラにより小孔５が検出さ
れる位置がパルスモータ４のスタート位置となる。

【０００９】７はコンピュータで、パルスモータ４の回
転を制御している。８は操作パネルで、スリット幅指定
キーＫ１〜Ｋｎが並んでいる。Ｓはスタートキーであっ
て、これを押すとパルスモータ４にパルスが送られ、パ
ルスモータ４は一方向に回転させられ、小孔５がフォト
カプラ６によって検出された所で停止する。

【００１０】次に任意のスリット幅指定キーＫｉを押す
と、円板１がスタートのときと同じ方向に駆動され、指
定した幅のスリット対が所定位置（図の２、２の位置）
に来たときパルスモータ４は停止する。以後、他のスリ
ット幅指定キーを押せば指定幅のスリット対が所定位置
に来るようにパルスモータ４が回転させられる。

【００１１】いま、図２に示すフローチャートのような
プログラムによって、任意幅のスリットを指定すると、
先ずそのスリットの隣のスリットが所定位置に来るよう
に円板１を正回転（スタート時の回転方向）或いは逆回
転いずれか回転量の少ない方向に回転させ、その位置か
ら指定幅スリットが所定位置に来るように正回転方向に
円板１を回転させる。即ち、ｉ番スリットを指定（イ）
すると、ｉから現在のスリット番号を引算（ロ）し、
（ロ）の答の正負を判定（ハ）して、答が正ならｉ番ス
リットが所定位置に来るまでパルスモータ４を正回転
（ニ）（ホ）させ、（ロ）の答が負ならｉ−１番のスリ
ットが所定位置に来るまでパルスモータ４を逆回転
（ヘ）（ト）させてフローはＡ点に戻り、ｉ番スリット
が所定位置に来るまでパルスモータ４を正回転させる。
このプログラムでは（ロ）の答が負のとき一つ手前のス
リットが所定の位置に来るまで円板を逆回転させている
が、そのようにたくさん逆転させる必要はなくて、指定
のスリットをパルスモータの一乃至数ステップ分だけ所
定位置より負方向側に戻った位置まで逆回転させればよ
い。このように、所定位置に円板１を停止させるにあた
っては、つねに正方向回転させるのは、次の理由によ
る。即ち、円板１とパルスモータ４とは直結であるから
両者間の結合にはスリップもバックラッシュもないが、
パルスモータ自身の各停止位置はどちら向の回転からそ
の位置に停止したかで僅かではあるが停止位置にずれが
あるため、指定した幅のスリットが所定位置に来る場合
のパルスモータの回転方向はスタートの時と同じにして
いるのである。

【００１２】図３は回折格子への入射光と出射光の光軸
が回折格子の中心を通り、回折格子の回転軸と垂直な平
面の上下に分かれているオフプレーン型分光器における
スリット円板１の一例を示す。この型においては、対を
なす入射スリットと出射スリット２、２は一つの直径の
両端側でその直径線ｄの上下に位置して設けられてい
る。

【００１３】図４は本発明の分光器スリット機構であっ
て、スリット円板１に光源モニタ用の絞り孔ａ、ｂ、ｃ
等が併設されている。出射スリット２から出射した光を
ビームスプリッタ９で分割し、絞り孔ａ、ｂ、ｃ等を通
してモニタ用光検出器10に入射させる。絞り孔ａ、ｂ、
ｃ等は各幅の出射スリットに対応させて設けられてお
り、幅の狭いスリットに対応するものは開口が大で、幅
の広いスリットに対応するものは開口が小になってい
る。スリット幅を変えると分光器の出射光の強さが大幅
に変わるので、それをそのまま受光してモニタしようと
すると、モニタ用光検出器10は広いダイナミックレンジ
を有するものを用いねばならないが、このようにスリッ
ト切り換えと共に切り換えられる絞り孔を通してモニタ
光を受光するようにすれば、モニタ用光検出器10はダイ
ナミックレンジの狭いものでよい。

【００１４】上記実施例では、スリット円板はパルスモ
ータに直結であるが、両者間をベルトで連結してもバッ
クラッシュレスの連結ができ、適当な設計によればスリ
ップレスも実現可能であり、殊に歯型のついたスリップ
レスベルトを用いればスリップもバックラッシュも共に
完全に防いでスリット円板とパルスモータとを連結する
ことができる。

【００１５】

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおり構成され
ているので、スリット幅によって光量が大きく変化して
も、狭いダイナミックレンジのモニタ用検出器で正しく
モニタできる、という効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】分光器スリット機構の一実施例を示す斜視図で
ある。

【図２】図１実施例のパルスモータ駆動制御プログラム
のフローチャートである。

【図３】他のスリット円板の正面図である。

【図４】本発明の実施例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１……スリット円板 ２……スリット ３……回折格子 ４……パルスモータ ５……小孔 ６……フォトカプラ ７……コンピュータ ８……操作パネル

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外周に複数対の幅の異なる入出射スリッ
   ト対を透設したスリット円板を有し、出射スリットから
   出射した光をビームスプリッタで分割し、分割した一方
   の光をモニタ用検出器に導く分光器スリット機構におい
   て、 出射スリット幅に反比例してその開口の大きさが設定さ
   れた絞り孔を各幅の出射スリットに対応させてスリット
   円板に併設し、ビームスプリッタで分割した一方の光を
   この絞り孔を通じてモニタ用検出器に導くようにしたこ
   とを特徴とする分光器スリット機構。