JPS5981520A - 分光器スリツト機構 - Google Patents
分光器スリツト機構Info
- Publication number
- JPS5981520A JPS5981520A JP57191582A JP19158282A JPS5981520A JP S5981520 A JPS5981520 A JP S5981520A JP 57191582 A JP57191582 A JP 57191582A JP 19158282 A JP19158282 A JP 19158282A JP S5981520 A JPS5981520 A JP S5981520A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- width
- pulse motor
- disk
- slits
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
- G05B19/21—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
- G05B19/23—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/04—Slit arrangements slit adjustment
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/34—Director, elements to supervisory
- G05B2219/34052—Software counter
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
- G05B2219/41081—Approach position from same direction
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は分光器のスリット幅を切換える機構に関する。
分光器のスリット幅を変えるのには、スリットブレード
を動かしてスリット幅を変える方式と、色々な幅を持っ
た固定幅のスリットを複数種用意しておいて交換する方
式とがあり、固定幅のスリットを交換す、る後者の方式
の方がスリット幅の再現性において優れている。また分
光器でスリット幅を変える場合、ワンタッチで操作でき
、かつ測定条件に関するデータとして選択したスリット
幅が正確、確実に記録されることが望まれる。このだめ
にはスリット幅の変更をコンピュータ制御方式で実現す
るのが便利である。
を動かしてスリット幅を変える方式と、色々な幅を持っ
た固定幅のスリットを複数種用意しておいて交換する方
式とがあり、固定幅のスリットを交換す、る後者の方式
の方がスリット幅の再現性において優れている。また分
光器でスリット幅を変える場合、ワンタッチで操作でき
、かつ測定条件に関するデータとして選択したスリット
幅が正確、確実に記録されることが望まれる。このだめ
にはスリット幅の変更をコンピュータ制御方式で実現す
るのが便利である。
本発明はスリット交換方式でコンピュータ制御によって
スリット幅の切換えを行うようにした装置で、機構的に
一簡単で精度が良く安価なスリット幅切換え機構を提供
しようとするものである。
スリット幅の切換えを行うようにした装置で、機構的に
一簡単で精度が良く安価なスリット幅切換え機構を提供
しようとするものである。
本発明スリット機構は円周に沿って種々な幅のスリット
を透設した円板をパルスモータ、１！ニス！Ｊツブレス
、バックラッシュレスに連結し、パルスモータをコンピ
ュータで制御するようにしたことを４寺徴とするもので
ある。
を透設した円板をパルスモータ、１！ニス！Ｊツブレス
、バックラッシュレスに連結し、パルスモータをコンピ
ュータで制御するようにしたことを４寺徴とするもので
ある。
本発明スリット機構は円板に透設したスリットを円板を
回わして交換するものであるからスリット幅の再現性は
きわめて高く、円板をパルスモータとスリップレス、パ
ックラソンユレスに連結シて１駆動するので、特別な円
板のスｌ”７プ機構を用いなくても、スリット位置が正
確に決まシ、パルスモータをコンピュータ制御している
のでスリット交換はワンタッチで行うことができ、かつ
選択したスリット幅は間違いなく確実に測定条件のデー
タとして記録させることができる等の効果を有する。以
下実施例について説明する。
回わして交換するものであるからスリット幅の再現性は
きわめて高く、円板をパルスモータとスリップレス、パ
ックラソンユレスに連結シて１駆動するので、特別な円
板のスｌ”７プ機構を用いなくても、スリット位置が正
確に決まシ、パルスモータをコンピュータ制御している
のでスリット交換はワンタッチで行うことができ、かつ
選択したスリット幅は間違いなく確実に測定条件のデー
タとして記録させることができる等の効果を有する。以
下実施例について説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す。１けスリット円板で
幅の異る多数のスリット２が円周に沿って透設されてい
る。３は凹面回折格子、４はパルスモータで円板ｌは同
パルスモータの軸に直結されている。この実施例は回折
格子への入射光と出射光の各光軸と回折格子中心に立て
た法線とを含む平面が回折格子３の回転軸２と直交して
いるインプレーン型分光器であって、円板１上で一つの
直径の両端側に設けられたスリットが同一幅で一対とな
って入射スリットと出射スリットとなり、幅の異るこの
ようなスリット対が複数組透設されていて、円板ｌを回
わすことによって幅の異るスリットを選択することがで
きる。円板１の円周上に一個の小透孔５が設けられてお
り、円板１をはさんでフォトカプラ６が配置してあって
、このフォトカプラにより小孔５が検出される位置がパ
ルス％ −夕４４）スタート装置となる。７はコンピュ
ータでパルスモータ４の回転を制御している。８は操作
パネルでスリット幅指定キーＫ］〜Ｋｎが並んでいる。
幅の異る多数のスリット２が円周に沿って透設されてい
る。３は凹面回折格子、４はパルスモータで円板ｌは同
パルスモータの軸に直結されている。この実施例は回折
格子への入射光と出射光の各光軸と回折格子中心に立て
た法線とを含む平面が回折格子３の回転軸２と直交して
いるインプレーン型分光器であって、円板１上で一つの
直径の両端側に設けられたスリットが同一幅で一対とな
って入射スリットと出射スリットとなり、幅の異るこの
ようなスリット対が複数組透設されていて、円板ｌを回
わすことによって幅の異るスリットを選択することがで
きる。円板１の円周上に一個の小透孔５が設けられてお
り、円板１をはさんでフォトカプラ６が配置してあって
、このフォトカプラにより小孔５が検出される位置がパ
ルス％ −夕４４）スタート装置となる。７はコンピュ
ータでパルスモータ４の回転を制御している。８は操作
パネルでスリット幅指定キーＫ］〜Ｋｎが並んでいる。
Ｓはスタートキーであって、これを押ストパルスモータ
４にパルスが送うレ、パルスモータ４は一方向に回転せ
しめられ、小孔５がフ・オドカプラ６によって検出され
た所で停止する。
４にパルスが送うレ、パルスモータ４は一方向に回転せ
しめられ、小孔５がフ・オドカプラ６によって検出され
た所で停止する。
次に任意のスリット幅指定キーに１を押すと円板ｌがス
タートのときと同じ方向に１駆動され、指定１〜だ幅の
スリ・ノド対が所定位置（図の２，２の位置）に来た所
でパルスモータ４が停止する。以後他のスリット幅指定
キーを押せば指定幅のスリット対が所定位置に来るよう
にパルスモータ４が回転せしめられる。円板ｌとパルス
モータ４とは直結であるから両者間の結合にはスリップ
もパックラソ／ユもないが、パルスモータ自身の各停止
位＃はどちら向の回転からその位置に停止したかでわづ
かで（ｄあるが停止位置にずれがある。このだめ指定し
た幅のスリットが所定位置に来る場合のパルスモータの
回転方向はスタートの時と同じてしである。このように
するだめの一番簡単な方式はパルスモータを反対方向に
は回わさないようにしておけばよい。しかしこのように
なっていると成る幅のスリットから隣のスリットに切換
えようと云うとき円板１を略−回転させねばならない場
合か生じスリット交換に時間がか＼る。この実施例では
第２図にフローチャートを示すようなプログラムによっ
て、任意幅のスリットを指定すると、まずそのスリット
の隣のスリットが所定位置に来るように円板〕−を正転
（スタート時の回転方向）或は逆転例れか回転量の少い
方向に回転させ、その位置から指定幅スリットが所定位
置に来るように正方向に円板１を回転させる。即ち１番
スリットを指定（／Ｉ）すると１から現在のスリット番
号を引算（ロ）し、（ロ）の答の正負を判定儒）シ、答
が正なら１番スリットが所定位置に来るまでモータ４を
正転（ニ）、（ホ）させ、（ロ）の答が負ならｉ −１
番のスリットが所定位置に来るまでモータ４を逆転（へ
）、（ト）させてフローはＡ点に戻り、１番スリットが
所定位置に来る甘でモータ４を正転させる。このプログ
ラムでは（ロ）の答が負のとき一つ手前のスリットが所
定位置に来るまで円板を逆転させているが、そのように
たくさん逆転させる必要はなくて、指定のスリットをパ
ルスモータの−乃至数ステップ分だけ所定位置よシ負方
向側に戻った位置まで逆転させればよい。
タートのときと同じ方向に１駆動され、指定１〜だ幅の
スリ・ノド対が所定位置（図の２，２の位置）に来た所
でパルスモータ４が停止する。以後他のスリット幅指定
キーを押せば指定幅のスリット対が所定位置に来るよう
にパルスモータ４が回転せしめられる。円板ｌとパルス
モータ４とは直結であるから両者間の結合にはスリップ
もパックラソ／ユもないが、パルスモータ自身の各停止
位＃はどちら向の回転からその位置に停止したかでわづ
かで（ｄあるが停止位置にずれがある。このだめ指定し
た幅のスリットが所定位置に来る場合のパルスモータの
回転方向はスタートの時と同じてしである。このように
するだめの一番簡単な方式はパルスモータを反対方向に
は回わさないようにしておけばよい。しかしこのように
なっていると成る幅のスリットから隣のスリットに切換
えようと云うとき円板１を略−回転させねばならない場
合か生じスリット交換に時間がか＼る。この実施例では
第２図にフローチャートを示すようなプログラムによっ
て、任意幅のスリットを指定すると、まずそのスリット
の隣のスリットが所定位置に来るように円板〕−を正転
（スタート時の回転方向）或は逆転例れか回転量の少い
方向に回転させ、その位置から指定幅スリットが所定位
置に来るように正方向に円板１を回転させる。即ち１番
スリットを指定（／Ｉ）すると１から現在のスリット番
号を引算（ロ）し、（ロ）の答の正負を判定儒）シ、答
が正なら１番スリットが所定位置に来るまでモータ４を
正転（ニ）、（ホ）させ、（ロ）の答が負ならｉ −１
番のスリットが所定位置に来るまでモータ４を逆転（へ
）、（ト）させてフローはＡ点に戻り、１番スリットが
所定位置に来る甘でモータ４を正転させる。このプログ
ラムでは（ロ）の答が負のとき一つ手前のスリットが所
定位置に来るまで円板を逆転させているが、そのように
たくさん逆転させる必要はなくて、指定のスリットをパ
ルスモータの−乃至数ステップ分だけ所定位置よシ負方
向側に戻った位置まで逆転させればよい。
第３図は回折格子への入射光と出射光の光軸が回折格子
の中心を通シ、回折格子の回転軸と垂直な平面の上下に
分れているオフプレーン型分光器におけるスリ・ノド円
板１の一例を示す。この型においては対をなす入射スリ
ットと出射スリット２．２は一つの直径の両端用でその
直径線ｄの上下に位置して設けられている。
の中心を通シ、回折格子の回転軸と垂直な平面の上下に
分れているオフプレーン型分光器におけるスリ・ノド円
板１の一例を示す。この型においては対をなす入射スリ
ットと出射スリット２．２は一つの直径の両端用でその
直径線ｄの上下に位置して設けられている。
第４図はスリット円板１に光源モニタ用の絞り孔ａ、ｂ
、ｃ等をも併設したものである。出射スリット２から出
射した光をビームスプリッタ９で分割し絞り孔ａ、ｂ等
を通してモニタ用光検出器］−〇に入射させる。絞り孔
ａ、ｂ等は各幅の出射スリットに対応させて設けられて
おり、幅のせまいスリットに対応するものは開口が犬で
、幅の広いスリットに対応するものは開口が小になって
いる。スリット幅を変えると分光器の出射光の強さが大
幅に変るので、それをそのま＼受光してモニタしようと
するとモニタ用光検出器１０は広いダイナミックレンジ
を有するものを用いねばならないが、この例のようにス
リット切換えと共に切換えられる絞り孔を通してモニタ
光を受光するようにすれはモニタ用光検出器１０はダイ
ナミックレンジのせまいものでよい。
、ｃ等をも併設したものである。出射スリット２から出
射した光をビームスプリッタ９で分割し絞り孔ａ、ｂ等
を通してモニタ用光検出器］−〇に入射させる。絞り孔
ａ、ｂ等は各幅の出射スリットに対応させて設けられて
おり、幅のせまいスリットに対応するものは開口が犬で
、幅の広いスリットに対応するものは開口が小になって
いる。スリット幅を変えると分光器の出射光の強さが大
幅に変るので、それをそのま＼受光してモニタしようと
するとモニタ用光検出器１０は広いダイナミックレンジ
を有するものを用いねばならないが、この例のようにス
リット切換えと共に切換えられる絞り孔を通してモニタ
光を受光するようにすれはモニタ用光検出器１０はダイ
ナミックレンジのせまいものでよい。
上の実施例ではスリット円板はパルスモータに直結であ
るが、両者間をベルトで連結してもバックラッシュレス
の連結ができ、適当な設計によればスリップレスも実現
可能であり、殊に歯型のついたスリップレスベルトを用
いればスリッフモハックラッシュも共に完全に防いでス
リット円板とパルスモータとを連結することができる。
るが、両者間をベルトで連結してもバックラッシュレス
の連結ができ、適当な設計によればスリップレスも実現
可能であり、殊に歯型のついたスリップレスベルトを用
いればスリッフモハックラッシュも共に完全に防いでス
リット円板とパルスモータとを連結することができる。
歯車連結を用いるときはスリップレスは実現できるが、
バックラッシュレスは実現に困難性がある。第２図に示
すようなプログラムを用いれば歯車のバックラッシュも
防げるように考えられるが、パルスモータは各ステップ
毎に回転振動しながら停止しており、この振動が歯車に
伝わるので、パルスモータを一方向に回転させた場合で
も、歯車のバックラッシュ分のスリットの位置不定が現
われる可能性がある。
バックラッシュレスは実現に困難性がある。第２図に示
すようなプログラムを用いれば歯車のバックラッシュも
防げるように考えられるが、パルスモータは各ステップ
毎に回転振動しながら停止しており、この振動が歯車に
伝わるので、パルスモータを一方向に回転させた場合で
も、歯車のバックラッシュ分のスリットの位置不定が現
われる可能性がある。
第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は同実施例
におけるパルスモータ駆動制御グログラムのフローチャ
ート、第３図は本発明の他の実施例におけるスリ・ノド
円板の正面図、第４図は本発明の更に他の一実施例の斜
視図である。 ｌ・・スリット円板、２・・・スリット、３・・・回折
格子、４・・パルスモータ、５・・・小孔、６・・フォ
トカプラ、７・・・コンピュータ、８・・操作ハネル。 代理人 弁理士 縣 浩 介
におけるパルスモータ駆動制御グログラムのフローチャ
ート、第３図は本発明の他の実施例におけるスリ・ノド
円板の正面図、第４図は本発明の更に他の一実施例の斜
視図である。 ｌ・・スリット円板、２・・・スリット、３・・・回折
格子、４・・パルスモータ、５・・・小孔、６・・フォ
トカプラ、７・・・コンピュータ、８・・操作ハネル。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (4)
- （１）円板の外周に複数対の幅の異る入出射スリット対
を透設し、このスリット円板をパルスモータとスリップ
レスかつバックラッシュレスニ結合シ、上記パルスモー
タをコンピュータ制御によって回転させて幅の異るスリ
ットが切換え選択できるようにしだ分光器スリット機構
。 - （２） スリット円板トハルスモータとのスリップレ
ス、バノクラノ７ユレスの結合が両者の直結である特許
請求の範囲第１項記載の分光器スリット機構。 - （３） スリンｌ−円板、！：ハルスモータとのスリ
ップレス、バツクラソ／ユレスの結合が両者間のベルト
連結である特許請求の範囲第１項記載の分光器スリット
機構。 - （４）スリット円板の各対のスリットに対応させて絞り
孔を透設し、モニタ光をこの絞り孔を通してモニタ用光
検出器に入射させるようになっている特許請求の範囲第
１項記載の分光器スリブ１４構。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191582A JPS5981520A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 分光器スリツト機構 |
| US06/546,527 US4618260A (en) | 1982-10-30 | 1983-10-28 | Slit changing device for monochromator |
| GB08329045A GB2130758B (en) | 1982-10-30 | 1983-10-31 | Slit changing device for monochrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57191582A JPS5981520A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 分光器スリツト機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981520A true JPS5981520A (ja) | 1984-05-11 |
Family
ID=16277045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57191582A Pending JPS5981520A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 分光器スリツト機構 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4618260A (ja) |
| JP (1) | JPS5981520A (ja) |
| GB (1) | GB2130758B (ja) |
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- 1982-10-30 JP JP57191582A patent/JPS5981520A/ja active Pending
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- 1983-10-28 US US06/546,527 patent/US4618260A/en not_active Expired - Lifetime
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| JPS5767826A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-24 | Hitachi Ltd | Positioning device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6280522A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-14 | Hitachi Ltd | 分光螢光光度計 |
| US5283624A (en) * | 1989-10-18 | 1994-02-01 | Hitachi, Ltd. | Multi-element simultaneous analysis atomic absorption spectroscopy photometer and multi-element simultaneous analytic method |
| US6786637B2 (en) * | 2002-09-13 | 2004-09-07 | The University Of Bristol | Temperature measurement of an electronic device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8329045D0 (en) | 1983-11-30 |
| US4618260A (en) | 1986-10-21 |
| GB2130758A (en) | 1984-06-06 |
| GB2130758B (en) | 1986-07-16 |
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