JPH06199418A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH06199418A JPH06199418A JP36050192A JP36050192A JPH06199418A JP H06199418 A JPH06199418 A JP H06199418A JP 36050192 A JP36050192 A JP 36050192A JP 36050192 A JP36050192 A JP 36050192A JP H06199418 A JPH06199418 A JP H06199418A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 清浄空気の流れに乱流を発生させることとが
なく、製品その他設備を清浄に保つことができる搬送装
置を提供すること。 【構成】 搬送装置（Ａ）の横断面形状を略台形とし、
略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になるよう
に、かつ略台形の平行面のうち長辺側（Ａ１）をワーク
の主なる搬入、搬出側に構成する。さらに、搬送装置
（Ｂ）の走行方向に対する先端部にアール部（Ｂ２）を
形成する。また、搬送装置（Ｃ）の走行方向に対する前
面及び後面を吸気面（Ｃ２）とし、下部に排気孔を設け
る。
なく、製品その他設備を清浄に保つことができる搬送装
置を提供すること。 【構成】 搬送装置（Ａ）の横断面形状を略台形とし、
略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になるよう
に、かつ略台形の平行面のうち長辺側（Ａ１）をワーク
の主なる搬入、搬出側に構成する。さらに、搬送装置
（Ｂ）の走行方向に対する先端部にアール部（Ｂ２）を
形成する。また、搬送装置（Ｃ）の走行方向に対する前
面及び後面を吸気面（Ｃ２）とし、下部に排気孔を設け
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウエハ、磁気ディ
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（以下単に「ワーク」という。）をクリーンな環境の
下で搬送するのに適した搬送装置に関するものである。
スク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造
等の工程で半導体ウエハ等を収納するカセット等のワー
ク（以下単に「ワーク」という。）をクリーンな環境の
下で搬送するのに適した搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体工場において使用
されている半導体ウエハ搬送装置は、走行体と該走行体
に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカセッ
トを把持するチャック部からなり、複数の工程の各製造
装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収納し
たカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から半導
体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置等の
所定位置まで搬送する機能を有している。また、半導体
ウエハ搬送装置が走行するいわゆるクリーンルームは、
一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下し、床下か
ら排気されるようになっているため、発塵した微細粒子
は、この気流によって速やかに排出されるようになって
いる。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送装置の走行
中において、半導体ウエハ搬送装置自体が複雑な形状を
していたり、高速で走行すると、半導体ウエハ搬送装置
の走行動作により、清浄空気の流れに乱流を発生させる
こととなり、この乱流によって、半導体ウエハ表面のほ
か、走行路付近の設備の表面に塵埃が付着する不都合が
あった。
されている半導体ウエハ搬送装置は、走行体と該走行体
に連設されたアーム部と半導体ウエハを収納したカセッ
トを把持するチャック部からなり、複数の工程の各製造
装置に設けられた受渡口において半導体ウエハを収納し
たカセットを把持及び開放する機能と、受渡口から半導
体ウエハを収納したカセットを他の工程の製造装置等の
所定位置まで搬送する機能を有している。また、半導体
ウエハ搬送装置が走行するいわゆるクリーンルームは、
一般的には、天井から清浄空気が噴出、流下し、床下か
ら排気されるようになっているため、発塵した微細粒子
は、この気流によって速やかに排出されるようになって
いる。しかしながら、前記半導体ウエハ搬送装置の走行
中において、半導体ウエハ搬送装置自体が複雑な形状を
していたり、高速で走行すると、半導体ウエハ搬送装置
の走行動作により、清浄空気の流れに乱流を発生させる
こととなり、この乱流によって、半導体ウエハ表面のほ
か、走行路付近の設備の表面に塵埃が付着する不都合が
あった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の問
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つことができる搬
送装置を提供することを目的とする。
題点を解決し、清浄空気の流れに乱流を発生させること
とがなく、製品その他設備を清浄に保つことができる搬
送装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明は、搬送装置の横断面形状を略台形と
し、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になる
ように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主
なる搬入、搬出側に構成してなることを要旨とする。
め、本第１発明は、搬送装置の横断面形状を略台形と
し、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になる
ように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主
なる搬入、搬出側に構成してなることを要旨とする。
【０００５】また、本第２発明は、本第１発明におい
て、搬送装置の走行方向に対する先端部にアール部を形
成してなることを要旨とする。
て、搬送装置の走行方向に対する先端部にアール部を形
成してなることを要旨とする。
【０００６】さらに、本第３発明は、搬送装置の走行方
向に対する前面及び後面を吸気面とし、下部に排気孔を
設けたことを要旨とする。
向に対する前面及び後面を吸気面とし、下部に排気孔を
設けたことを要旨とする。
【０００７】
【作用】本第１発明によれば、搬送装置の横断面形状を
略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平
行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワ
ークの主なる搬入、搬出側に構成したので、ワークの主
なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生
を低減でき、製品その他設備を清浄に保ちながらワーク
を搬送する。
略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と平
行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワ
ークの主なる搬入、搬出側に構成したので、ワークの主
なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生
を低減でき、製品その他設備を清浄に保ちながらワーク
を搬送する。
【０００８】さらに、本第２発明によれば、搬送装置の
走行方向に対する先端部にアール部を形成したので、搬
送装置の先端部における境界層の剥離する位置が後方に
ずれるため、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気の
流れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
走行方向に対する先端部にアール部を形成したので、搬
送装置の先端部における境界層の剥離する位置が後方に
ずれるため、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気の
流れに対する乱流の発生をより有効に防止する。
【０００９】また、本第３発明によれば、搬送装置が走
行する際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込むこ
とにより、清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止す
る。
行する際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込むこ
とにより、清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止す
る。
【００１０】なお、本第１発明〜本第３発明は、それぞ
れ清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止することを
目的とするものであり、また、相互には抵触し合わない
ものであるので、必要に応じて各発明を組み合わせて用
いることにより、清浄空気の流れに対する乱流の発生を
より有効に防止することが可能である。
れ清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止することを
目的とするものであり、また、相互には抵触し合わない
ものであるので、必要に応じて各発明を組み合わせて用
いることにより、清浄空気の流れに対する乱流の発生を
より有効に防止することが可能である。
【００１１】
【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。図１は、本第１発明〜本第３発明の搬送装置の横断
面の概念図を、図２は、それぞれの搬送装置の横断面方
向の気流シュミレーションを示す。なお、図２に示す気
流シュミレーションの解析条件は以下のとおりである。 ・搬送装置の走行速度：１ｍ／ｓ ・搬送装置の前面及び後面からの空気の吸込速度：０．
４ｍ／ｓ
る。図１は、本第１発明〜本第３発明の搬送装置の横断
面の概念図を、図２は、それぞれの搬送装置の横断面方
向の気流シュミレーションを示す。なお、図２に示す気
流シュミレーションの解析条件は以下のとおりである。 ・搬送装置の走行速度：１ｍ／ｓ ・搬送装置の前面及び後面からの空気の吸込速度：０．
４ｍ／ｓ
【００１２】図１及び図２の（ａ）は、本第１発明の実
施例である搬送装置Ａを示したもので、搬送装置Ａの横
断面形状を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走
行方向と平行になるように、かつ略台形の平行面のうち
長辺側Ａ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成する。
この場合、図２（ａ）に示すとおり、先端部で若干の境
界層の剥離が生じ、境界層の成長により略台形の平行面
のうち長辺側Ａ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出
側にわずかではあるが乱流域が生じていることがわか
る。なお、ワークの搬入、搬出は、略台形の平行面のう
ち長辺側Ａ１に限定する必要のないことはいうまでもな
く、例えば、清浄空気の流れに乱流を発生させるおそれ
のない場所でワークの搬入、搬出を行う場合には、搬送
装置の他の面からワークの搬入、搬出を行うように搬送
装置を構成することも可能である。
施例である搬送装置Ａを示したもので、搬送装置Ａの横
断面形状を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走
行方向と平行になるように、かつ略台形の平行面のうち
長辺側Ａ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成する。
この場合、図２（ａ）に示すとおり、先端部で若干の境
界層の剥離が生じ、境界層の成長により略台形の平行面
のうち長辺側Ａ１、すなわちワークの主なる搬入、搬出
側にわずかではあるが乱流域が生じていることがわか
る。なお、ワークの搬入、搬出は、略台形の平行面のう
ち長辺側Ａ１に限定する必要のないことはいうまでもな
く、例えば、清浄空気の流れに乱流を発生させるおそれ
のない場所でワークの搬入、搬出を行う場合には、搬送
装置の他の面からワークの搬入、搬出を行うように搬送
装置を構成することも可能である。
【００１３】図１及び図２の（ｂ）は、本第２発明の実
施例である搬送装置Ｂを示したもので、上記本第１発明
の実施例の搬送装置Ａを改良し、搬送装置Ｂの走行方向
に対する先端部にアール部Ｂ２を形成する。ここで、略
台形の平行面のうち長辺側Ｂ１をワークの主なる搬入、
搬出側に構成することは上記の例と同様である。この場
合、図２（ｂ）に示すとおり、搬送装置Ａと比べて境界
層の剥離する位置が後方にずれ、これにより略台形の平
行面のうち長辺側Ｂ１、すなわちワークの主なる搬入、
搬出側の乱流域が減少していることがわかる。なお、ア
ール部Ｂ２の曲率は、本実施例に示されているものの
０．２〜３倍程度の範囲で設定することにより、略台形
の平行面のうち長辺側Ｂ１、すなわちワークの主なる搬
入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生をより
有効に防止することができる。
施例である搬送装置Ｂを示したもので、上記本第１発明
の実施例の搬送装置Ａを改良し、搬送装置Ｂの走行方向
に対する先端部にアール部Ｂ２を形成する。ここで、略
台形の平行面のうち長辺側Ｂ１をワークの主なる搬入、
搬出側に構成することは上記の例と同様である。この場
合、図２（ｂ）に示すとおり、搬送装置Ａと比べて境界
層の剥離する位置が後方にずれ、これにより略台形の平
行面のうち長辺側Ｂ１、すなわちワークの主なる搬入、
搬出側の乱流域が減少していることがわかる。なお、ア
ール部Ｂ２の曲率は、本実施例に示されているものの
０．２〜３倍程度の範囲で設定することにより、略台形
の平行面のうち長辺側Ｂ１、すなわちワークの主なる搬
入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発生をより
有効に防止することができる。
【００１４】図１及び図２の（ｃ）は、本第３発明の実
施例である搬送装置Ｃを示したもので、搬送装置Ｃの走
行方向に対する前面及び後面を吸気面Ｃ２とし、下部に
排気孔（図示せず）を設ける。ここで、略台形の平行面
のうち長辺側Ｃ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成
することは上記の例と同様である。この場合、図２
（ｃ）に示すとおり、搬送装置Ｂと比べて略台形の平行
面のうち長辺側Ｃ１、すなわちワークの主なる搬入、搬
出側の乱流域が減少していることがわかる。なお、本実
施例は、本第２発明の実施例である搬送装置Ｂに本第３
発明を適用したものであるが、本第３発明単独でも清浄
空気の流れに対する乱流の発生を防止するのに十分効果
を奏するものであり、例えば、搬送装置の横断面形状が
略矩形のものに適用することも可能である。
施例である搬送装置Ｃを示したもので、搬送装置Ｃの走
行方向に対する前面及び後面を吸気面Ｃ２とし、下部に
排気孔（図示せず）を設ける。ここで、略台形の平行面
のうち長辺側Ｃ１をワークの主なる搬入、搬出側に構成
することは上記の例と同様である。この場合、図２
（ｃ）に示すとおり、搬送装置Ｂと比べて略台形の平行
面のうち長辺側Ｃ１、すなわちワークの主なる搬入、搬
出側の乱流域が減少していることがわかる。なお、本実
施例は、本第２発明の実施例である搬送装置Ｂに本第３
発明を適用したものであるが、本第３発明単独でも清浄
空気の流れに対する乱流の発生を防止するのに十分効果
を奏するものであり、例えば、搬送装置の横断面形状が
略矩形のものに適用することも可能である。
【００１５】次に、本第１発明〜本第３発明を組み合わ
せてより具体化した実施例を図３〜図５に示す。図３は
搬送装置をワークの搬入、搬出側、すなわち各種の製造
装置（図示せず）側から見た外観斜視図、図２はその逆
側から見た外観斜視図であり、図３はロボット部の外観
斜視図である。搬送装置は、走行体１と、走行体１の上
部に設けた昇降部２と昇降部２に連設したアーム部３と
ワーク４を把持するチャック部５からなるロボット部
と、ロボット部を覆い、搬送装置の外郭を形成するカバ
ー６で構成される。
せてより具体化した実施例を図３〜図５に示す。図３は
搬送装置をワークの搬入、搬出側、すなわち各種の製造
装置（図示せず）側から見た外観斜視図、図２はその逆
側から見た外観斜視図であり、図３はロボット部の外観
斜視図である。搬送装置は、走行体１と、走行体１の上
部に設けた昇降部２と昇降部２に連設したアーム部３と
ワーク４を把持するチャック部５からなるロボット部
と、ロボット部を覆い、搬送装置の外郭を形成するカバ
ー６で構成される。
【００１６】走行部１は、複数の工程の各製造装置等の
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。昇降部２は走行体
１の上部に設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミン
グベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及
び昇降枠２６よりなる。アーム部３は昇降部２の昇降枠
２６に連設され、アーム部駆動モータ３１、アーム部リ
ンク３２，３３及び傾転用モータ３４よりなる。ワーク
４を把持するチャック部５はアーム部３の先端に設けら
れ、チャック部材５１及び係止爪５２よりなる。カバー
６は昇降部２、アーム部３及びチャック部５からなるロ
ボット部全体をを覆い、走行部１と一体化されている。
カバー６の上部には、上面フィルター付ファン６１ａ、
前面フィルター付ファン６１ｂ、後面フィルター付ファ
ン６１ｃをそれぞれ設け、下部には、排気孔６２ａ，６
２ｂ，６２ｃを設けてなる。また、カバー６は、横断面
形状を角部にアールを形成した略台形に形成するととも
に、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるように
し、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側とす
ることによって、ワークの搬入、搬出側をほぼ平坦面と
するとともに、このワークの搬入、搬出側には、スライ
ド方式等により開閉可能とした扉６３を設ける。なお、
図１は、この扉６３を開放した状態を示しているが、扉
６３を開放した場合の開口の６４の大きさは、ワーク６
の大きさ等に応じて適宜変更することができる。
設備を連絡するように施設されたレール７上をガイドさ
れ、走行駆動装置（図示せず）の牽引等によって矢印方
向に走行するように構成されている。昇降部２は走行体
１の上部に設けられ、昇降部駆動モータ２１、タイミン
グベルト２２、減速機２３、昇降部リンク２４，２５及
び昇降枠２６よりなる。アーム部３は昇降部２の昇降枠
２６に連設され、アーム部駆動モータ３１、アーム部リ
ンク３２，３３及び傾転用モータ３４よりなる。ワーク
４を把持するチャック部５はアーム部３の先端に設けら
れ、チャック部材５１及び係止爪５２よりなる。カバー
６は昇降部２、アーム部３及びチャック部５からなるロ
ボット部全体をを覆い、走行部１と一体化されている。
カバー６の上部には、上面フィルター付ファン６１ａ、
前面フィルター付ファン６１ｂ、後面フィルター付ファ
ン６１ｃをそれぞれ設け、下部には、排気孔６２ａ，６
２ｂ，６２ｃを設けてなる。また、カバー６は、横断面
形状を角部にアールを形成した略台形に形成するととも
に、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるように
し、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側とす
ることによって、ワークの搬入、搬出側をほぼ平坦面と
するとともに、このワークの搬入、搬出側には、スライ
ド方式等により開閉可能とした扉６３を設ける。なお、
図１は、この扉６３を開放した状態を示しているが、扉
６３を開放した場合の開口の６４の大きさは、ワーク６
の大きさ等に応じて適宜変更することができる。
【００１７】上記のように構成された搬送装置を半導体
ウエハ搬送装置として使用する場合について以下説明す
る。この場合、ワーク４として、半導体ウエハ（図示せ
ず）を直立して挿置するカセットを使用する。ワーク４
は、複数の工程の各製造装置に設けられた受渡口に半導
体ウエハを収納した状態で整列されている。受渡口の前
面に半導体ウエハ搬送装置を停止させ、扉を開き、昇降
部駆動モータ２１を駆動し、タイミングベルト２２、減
速機２３、昇降部リンク２４，２５及び昇降枠２６を介
してアーム部３の水準を調節し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５をワーク４の受渡口に移
動し、チャック部材５１及び係止爪５２によりワーク４
を把持し、アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３
４を駆動し、アーム部リンク３２，３３を介してチャッ
ク部５、すなわちをワーク４をカバー６内部に収容した
後、扉を閉じる。その後、半導体ウエハ搬送装置は、次
の工程の製造装置までレール７上をガイドされながら走
行駆動装置に牽引されて走行し、上記と同様の作業を繰
り返す。なお、上記使用方法は、製造装置に設けられた
受渡口に整列されているワーク４を半導体ウエハ搬送装
置内部に収容する工程についてのみ説明したが、半導体
ウエハ搬送装置内部に収容されているワーク４を製造装
置に設けられた受渡口に放出する場合も、昇降部２、ア
ーム部３及びチャック部５を順に作動させることにより
行うが、この操作は、ワーク４を収容する工程とほぼ同
様であるので、説明は省略する。
ウエハ搬送装置として使用する場合について以下説明す
る。この場合、ワーク４として、半導体ウエハ（図示せ
ず）を直立して挿置するカセットを使用する。ワーク４
は、複数の工程の各製造装置に設けられた受渡口に半導
体ウエハを収納した状態で整列されている。受渡口の前
面に半導体ウエハ搬送装置を停止させ、扉を開き、昇降
部駆動モータ２１を駆動し、タイミングベルト２２、減
速機２３、昇降部リンク２４，２５及び昇降枠２６を介
してアーム部３の水準を調節し、アーム部駆動モータ３
１及び傾動用モータ３４を駆動し、アーム部リンク３
２，３３を介してチャック部５をワーク４の受渡口に移
動し、チャック部材５１及び係止爪５２によりワーク４
を把持し、アーム部駆動モータ３１及び傾動用モータ３
４を駆動し、アーム部リンク３２，３３を介してチャッ
ク部５、すなわちをワーク４をカバー６内部に収容した
後、扉を閉じる。その後、半導体ウエハ搬送装置は、次
の工程の製造装置までレール７上をガイドされながら走
行駆動装置に牽引されて走行し、上記と同様の作業を繰
り返す。なお、上記使用方法は、製造装置に設けられた
受渡口に整列されているワーク４を半導体ウエハ搬送装
置内部に収容する工程についてのみ説明したが、半導体
ウエハ搬送装置内部に収容されているワーク４を製造装
置に設けられた受渡口に放出する場合も、昇降部２、ア
ーム部３及びチャック部５を順に作動させることにより
行うが、この操作は、ワーク４を収容する工程とほぼ同
様であるので、説明は省略する。
【００１８】また、半導体ウエハ搬送装置が走行するい
わゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清浄空
気が噴出、流下し、床下から排気されるようになってい
るため、発塵した微細粒子は、この気流によって速やか
に排出されるようになっているが、この半導体ウエハ搬
送装置が走行する際、カバー６により、また、カバーの
走行方向に対する前面及び後面に設けたフィルター付フ
ァン６１ｂ，６１ｃによりカバーの前面及び後面の空気
を吸込むことにより、また、カバー６は、横断面形状を
走行方向先端角部にアールを形成した略台形に形成する
とともに、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるよ
うにし、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側
とすることによって、カバー６のワークの搬入、搬出側
をほぼ平坦面としたことから、半導体ウエハ搬送装置、
特にワークの搬入、搬出側周辺の気流はカバー６に沿っ
てほぼ層流状態となり、半導体ウエハ搬送装置の走行に
よる清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止する。
わゆるクリーンルームは、一般的には、天井から清浄空
気が噴出、流下し、床下から排気されるようになってい
るため、発塵した微細粒子は、この気流によって速やか
に排出されるようになっているが、この半導体ウエハ搬
送装置が走行する際、カバー６により、また、カバーの
走行方向に対する前面及び後面に設けたフィルター付フ
ァン６１ｂ，６１ｃによりカバーの前面及び後面の空気
を吸込むことにより、また、カバー６は、横断面形状を
走行方向先端角部にアールを形成した略台形に形成する
とともに、平行面が搬送装置の走行方向と平行になるよ
うにし、さらに平行面の長辺側をワークの搬入、搬出側
とすることによって、カバー６のワークの搬入、搬出側
をほぼ平坦面としたことから、半導体ウエハ搬送装置、
特にワークの搬入、搬出側周辺の気流はカバー６に沿っ
てほぼ層流状態となり、半導体ウエハ搬送装置の走行に
よる清浄空気の流れに対する乱流の発生を防止する。
【００１９】なお、ここでは、本発明の搬送装置を半導
体ウエハ搬送装置として使用する場合について説明した
が、本発明の対象は、半導体ウエハのほか、磁気ディス
ク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造等
の工程で対象製品を収納するカセット等のワークをクリ
ーンな環境の下で搬送するために広範囲に使用できるも
のである。
体ウエハ搬送装置として使用する場合について説明した
が、本発明の対象は、半導体ウエハのほか、磁気ディス
ク、光ディスク、コンパクトディスク、液晶等の製造等
の工程で対象製品を収納するカセット等のワークをクリ
ーンな環境の下で搬送するために広範囲に使用できるも
のである。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、搬送装置の横断面形状
を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と
平行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側を
ワークの主なる搬入、搬出側に構成したので、ワークの
主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発
生を低減することができ、製品その他設備を清浄に保ち
ながらワークを搬送することができる。
を略台形とし、略台形の平行面を搬送装置の走行方向と
平行になるように、かつ略台形の平行面のうち長辺側を
ワークの主なる搬入、搬出側に構成したので、ワークの
主なる搬入、搬出側の清浄空気の流れに対する乱流の発
生を低減することができ、製品その他設備を清浄に保ち
ながらワークを搬送することができる。
【００２１】さらに、本第２発明によれば、搬送装置の
走行方向に対する先端部にアール部を形成したので、搬
送装置の先端部における境界層の剥離する位置が後方に
ずれるため、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気の
流れに対する乱流の発生をより有効に防止することがで
きる。
走行方向に対する先端部にアール部を形成したので、搬
送装置の先端部における境界層の剥離する位置が後方に
ずれるため、ワークの主なる搬入、搬出側の清浄空気の
流れに対する乱流の発生をより有効に防止することがで
きる。
【００２２】また、本第３発明によれば、搬送装置が走
行する際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込むこ
とにより、搬送装置周辺の気流は搬送装置に沿ってほぼ
層流状態となり、清清浄空気の流れに対する乱流の発生
を防止することができ、製品その他設備を清浄に保ちな
がらワークを搬送することができる。
行する際、搬送装置の前面及び後面から空気を吸込むこ
とにより、搬送装置周辺の気流は搬送装置に沿ってほぼ
層流状態となり、清清浄空気の流れに対する乱流の発生
を防止することができ、製品その他設備を清浄に保ちな
がらワークを搬送することができる。
【図１】本発明の搬送装置の横断面の概念図。
【図２】本発明の搬送装置の横断面方向の気流シュミレ
ーションを示す図。
ーションを示す図。
【図３】本発明を実施した搬送装置の外観斜視図。
【図４】本発明を実施した搬送装置の他方向から見た外
観斜視図。
観斜視図。
【図５】本発明を実施した搬送装置に用いるロボット部
の外観斜視図。
の外観斜視図。
Ａ 搬送装置 Ａ１ ワークの主なる搬入、搬出側 Ｂ 搬送装置 Ｂ１ ワークの主なる搬入、搬出側 Ｂ２ アール部 Ｃ 搬送装置 Ｃ１ ワークの主なる搬入、搬出側 Ｃ２ 吸気面 １ 走行体 ２ 昇降部 ３ アーム部 ４ ワーク ５ チャック部 ６ カバー ６１ａ 上面フィルター付ファン ６１ｂ 前面フィルター付ファン ６１ｃ 後面フィルター付ファン ６２ａ 排気孔 ６２ｂ 排気孔 ６２ｃ 排気孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊東 徹雄 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292 株式会 社日立画像情報システム内 (72)発明者 関 守 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 搬送装置の横断面形状を略台形とし、略
台形の平行面を搬送装置の走行方向と平行になるよう
に、かつ略台形の平行面のうち長辺側をワークの主なる
搬入、搬出側に構成してなることを特徴とする搬送装
置。 - 【請求項２】 搬送装置の走行方向に対する先端部にア
ール部を形成してなることを特徴とする請求項１記載の
搬送装置。 - 【請求項３】 搬送装置の走行方向に対する前面及び後
面を吸気面とし、下部に排気孔を設けたことを特徴とす
る搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360501A JP2818722B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360501A JP2818722B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06199418A true JPH06199418A (ja) | 1994-07-19 |
| JP2818722B2 JP2818722B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=18469674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4360501A Expired - Fee Related JP2818722B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2818722B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006106760A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Samsung Electronics Co Ltd | 平板表示装置製造システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61175426A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-07 | Nec Corp | 清浄搬送装置 |
| JPS63219135A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Daifuku Co Ltd | クリ−ンル−ム内の荷取扱い設備 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP4360501A patent/JP2818722B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61175426A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-07 | Nec Corp | 清浄搬送装置 |
| JPS63219135A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Daifuku Co Ltd | クリ−ンル−ム内の荷取扱い設備 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006106760A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Samsung Electronics Co Ltd | 平板表示装置製造システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2818722B2 (ja) | 1998-10-30 |
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