JPH06200372A - スパッタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電極部（カソード部等）の開閉時の危険をな
くし、安全に、かつ作業性良く電極部の開閉を行うこと
ができ、装置メンテナンス時や、ターゲットの交換時等
にカソード部等を開閉する必要のある時も、これを安全
に、かつ作業性良く遂行できるスパッタ装置を提供す
る。 【構成】 カソード部等電極部１を開閉する構造のアル
ミニウム等スパッタ装置であって、電極部の開閉時のシ
ョックアブソーバー機構２を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スパッタ装置に関す
る。本発明は、例えば各種の半導体装置の製造プロセス
等において、配線材料（アルミニウム等）その他の材料
をスパッタ形成する場合に用いるスパッタ装置として利
用することができる。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】半導体装置などの電子材
料等の製造プロセスに用いるスパッタ装置には、電極部
を開閉する構造のものがある。代表的には、カソード部
が開閉される構造のスパッタ装置が一般に採用されてい
る。このような構造のスパッタ装置は、装置のメンテナ
ンス時や、ターゲットの交換時にカソード部を開閉す
る。

【０００３】ところがカソード部は一般に相当の重量が
あり、カソード部の開閉は危険な作業となっている。

【０００４】すなわち、装置メンテナンス時や、ターゲ
ット（アルミニウムターゲット等）の交換時にカソード
部を開閉する必要があるが、その開閉作業は作業員によ
る人手で行っているので、カソード部が重いためその開
閉は危険を伴うおそれがある。かつカソード部が重いこ
とにより、その開閉作業は重労働である。例えば定期メ
ンテナンスは５日に１回程度行うので、この開閉作業は
かなり頻繁になされるものであり、上記問題は現実的に
非常に重要である。

【０００５】図２に示すのは、従来のこの種のスパッタ
装置の一例である。電極部１であるカソード部（スパッ
タのガンの部分）が扉状になって、これが装置本体１０
に対して開閉される構造になっている。図２（ａ）はカ
ソード部扉（電極部１）が閉の状態を示し、図２（ｂ）
はカソード部扉（電極部１）が開の状態を示す。この図
２（ｂ）の状態にカソード部扉（電極部１）を開くとき
に、上述した問題が生ずる。図２中符号１１は把手であ
って、作業者はここを把持して、開閉の操作を行う。

【０００６】

【発明の目的】本発明は、上記従来技術の問題点を解決
して、電極部（カソード部等）を開閉する構造のスパッ
タ装置について、開閉時の危険をなくし、安全に、かつ
作業性良く電極部の開閉を行うことができ、よって装置
メンテナンス時や、ターゲットの交換時等にカソード部
等の電極部を開閉する必要のある時も、これを安全に、
かつ作業性良く遂行することができるようにしたスパッ
タ装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【問題点を解決するための手段】本出願の請求項１の発
明は、電極部を開閉する構造のスパッタ装置において、
該電極部の開閉時のショックアブソーバー機構を設けた
ことを特徴とするスパッタ装置であって、これにより上
記目的を達成するものである。

【０００８】本出願の請求項２の発明は、電極部がカソ
ード部である請求項１に記載のスパッタ装置であって、
これにより上記目的を達成するものである。

【０００９】本出願の請求項３の発明は、アルミニウム
系材料（アルミニウムや、シリコン含有アルミニウムな
どのアルミニウム合金等、アルミニウムが主成分となっ
ているもの）のスパッタ装置である請求項１または２に
記載のスパッタ装置であって、これにより上記目的を達
成するものである。

【００１０】

【作用】本発明のスパッタ装置は、その電極部の開閉時
のショックアブソーバー機構を設けたものであるので、
カソード等の電極部が重く、扱いにくいものである場合
も、電極部の開閉が安全に、かつ作業性良く行われる。

【００１１】

【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
て説明する。なお当然のことではあるが、本発明は実施
例により限定を受けるものではない。

【００１２】実施例１ この実施例は、本発明を、半導体装置の製造プロセスに
用いるスパッタ装置であって、カソード部が開閉される
構造のスパッタ装置に適用した。

【００１３】特にこの実施例のスパッタ装置は、半導体
装置ウェハ表面にアルミニウムをスパッタ方式で堆積す
る装置で、高真空（５×１０^-7Ｔｏｒｒ以下）でアルゴ
ンガスを流し、一定圧力を保ち、ウェハ１枚ずつアルミ
ニウムをスパッタ堆積させる装置である。

【００１４】本実施例のスパッタ装置は、図１に示すよ
うに、電極部１（ここではカソード部）を開閉する構造
のスパッタ装置であって（スパッタ反応室を有する装置
本体を符号１０で示す）、該電極部１の開閉時のショッ
クアブソーバー機構２を設けたものである。

【００１５】本実施例におけるショックアブソーバー機
構２は、筒状部２１（ここでは３センチメートル程度の
径の丸パイプ）とこの筒状部２１内を入り子状にスライ
ド自在になっている棒状部２２（ここでは丸棒あるいは
丸パイプ）とを有し、棒状部２２が筒状部２１内に収ま
って行くときに、ショックの吸収（緩衝）がなされる。
この機構は、ショックアブソーバーとして知られている
機構の適宜のものを選択して構成できる。本実施例のシ
ョックアブソーバー機構２は、図１に示すように、電極
部１であるカソード部の扉状部外面に取り付け部２３で
取り付けられ、床面に固定部２４で固定されている。

【００１６】図１（ａ）は、本実施例においてカソード
部扉（電極部１）が閉の状態を示し、図１（ｂ）はカソ
ード部扉（電極部１）が開の状態を示す。作業者は従来
と同様把手１１を持って開閉の操作を行うが、ショック
アブソーバー機構２があるので、カソード部扉（電極部
１）を開けてこれを前に倒したときの該カソード部扉
（電極部１）の重みは、格段に軽くなる。本実施例で
は、従来の約１／２の重さで開閉できるようになった。

【００１７】具体的な動作は、次のように行うことがで
きる。メンテナンス時にカソード部（電極部１）を開け
る場合を例にとって説明する。 カソード部（電極部１）を取り付けているボルトをは
ずす。通常４本のボルトをはずす。 把手１１を両手で持ってカソード部（電極部１）を水
平に倒す。このときショックアブソーバー機構２が働
く。これで図１（ｂ）に示す状態となる。 メンテナンスを実施する。 メンテナンス終了後、取外し時と同じ要領で逆の操作
を行い、カソード部（電極部１）を垂直にし、取り付け
を行う。

【００１８】本実施例では、ショックアブソーバー機構
２をカソード部（電極部１）の片側（図１の紙面側）に
のみ設けたが、両側に設けて１対にしてもよい。

【００１９】本実施例によれば、半導体装置の製造プロ
セスに用いるアルミニウムスパッタ装置のカソード部が
重く、扱いにくいものでも、その開閉を軽く、安全に、
作業性良く行うことができるようになった。

【００２０】

【発明の効果】本発明のスパッタ装置は、電極部（カソ
ード部等）の開閉時に、危険をなくし、安全に、かつ作
業性良くその開閉を行うことができる。従って、装置メ
ンテナンス時や、ターゲットの交換時等にカソード部等
の電極部を開閉する必要のある時も、これを安全に、か
つ作業性良く遂行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１のスパッタ装置を示す構成図である。

【図２】従来のスパッタ装置を示す構成図である。

【符号の説明】

１ 電極部（カソード部） １０ 装置本体 １１ 把手１１ ２ ショックアブソーバー機構 ２１ 筒状部 ２２ 棒状部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電極部を開閉する構造のスパッタ装置にお
   いて、 該電極部の開閉時のショックアブソーバー機構を設けた
   ことを特徴とするスパッタ装置。
2. 【請求項２】電極部がカソード部である請求項１に記載
   のスパッタ装置。
3. 【請求項３】アルミニウム系材料のスパッタ装置である
   請求項１または２に記載のスパッタ装置。