JPH062004Y2 - 真空機器用シリンダ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は真空室内の機器を空気圧や油圧などの液体圧に
よって駆動するための真空機器用シリンダに関し、特に
ピストンを任意の位置で中間停止することができるシリ
ンダに関するものである。

（従来の技術） 第２図は、従来の中間停止機構を備えた真空機器用シリ
ンダの構造を示す略断面図である。シリンダ３５内には
ピストン３３が収容され、給排気ポート３４、給排気ポ
ート３６から交互に圧縮空気を送り込むことによりピス
トン３３を前後（同図では左右方向）に作動させる。ピ
ストンロッド３１は真空用ベローズ３２によって気密に
保たれ、ピストン３３の作動に伴い前後進して真空室内
の機器を駆動する。このような真空機器用シリンダでは
ピストンロッド３１を中間の停止位置に保持する必要が
生じるため、ピストン３３に環状の永久磁石３８を取り
付け、所望のピストン３３の中間停止位置に磁気近接ス
イッチ３７をシリンダ３５の外周に取り付けてある。ピ
ストンロッド３１を中間停止するときには、ピストン３
３の運動により永久磁石３８が磁気近接スイッチ３７に
最接近すると、該磁気近接スイッチ３７はオンとなるの
で、該信号を電磁弁３９、同４０に送出することによ
り、該電磁弁を閉じる。給排気ポート３４、給排気ポー
ト３６の空気の流入が遮断されるとピストン３３が平衡
の位置で保持され、その結果ピストンロッド３１は中間
の位置で停止するようになっている。

（考案が解決しようとする問題点） このような従来の真空機器用シリンダの中間停止機構
は、給排気ポート３４、同３６への空気流入を遮断し、
ピストン３３の前後の空気圧を平衡に保つことにより間
接的にピストン３３を中間停止するものであるため、シ
リンダ３５や給排気ポート３４、同３６などからの微少
リークにより、長時間正確な中間停止位置を保持するこ
とが非常に困難であるという問題があった。

更に、該中間停止位置の位置決めもピストン３３に取り
付けた永久磁石３８と磁気近接スイッチ３７による間接
的な方法であるため、精密な中間停止位置の位置決めが
難しく、しかもその調整に長時間を要するという問題も
あった。

（考案の目的） 本考案は従来の技術の問題点を解決し、ピストンを高い
精度で所望の中間停止位置に停止させ、しかも長時間停
止させてもその位置に変化がなく、しかもその中間停止
位置の位置決め調整を極めて簡単に実施できる真空機器
用シリンダを得ることを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 前記の目的を達成するための手段は、真空室内の機器を
駆動するメインピストンを収容したメインシリンダと、
メインシリンダの後方に直列に配置されサブピストンを
収容したサブシリンダとを有し、前記メインシリンダの
後方隔壁には該隔壁を貫通してメインシリンダの軸方向
に気密摺動可能な中間軸を設け、サブピストンロッドの
先端部分にはロッド軸方向に伸縮微調整のできる調整手
段を有し、前記中間軸の一端メインシリンダ内方の端部
はメインピストンの後端部に当接可能でありその他端メ
インシリンダ外方の端部は前記調整手段の先端に当接可
能な構造であることを特徴とする真空機器用シリンダで
ある。

（作用） 上記構成において、サブシリンダが作動し、サブピスト
ンを前進位置に保持するとサブピストンは中間軸（停止
手段）をメインシリンダ内に進入させてメインピストン
の後退位置を制約しメインピストンを中間停止位置に停
止させる。サブシリンダがサブピストンを後退位置に保
持するとメインピストンの後退位置の制約は解除され
る。調整手段は該中間軸（停止手段）のメインシリンダ
内への進入量を微調整してメインピストンの中間停止位
置を正確かつ精密に調整する。

（実施例） 第１図は本考案の実施例の縦断面図である。メインシリ
ンダ５内にはメインピストン３が収容され、給排気ポー
ト４、給排気ポート６から交互に圧縮空気を送り込むこ
とによりメインピストン３を前後（同図左右方向）に作
動させる。ピストンロッド１は真空用ベローズ２により
気密に保たれ、メインピストン３の作動に従い前後進し
て真空室内の機器を駆動する。

メインシリンダ５の後方に直列にサブピストン１２を収
容したサブシリンダ１３が設けられ、給排気ポート１
４、給排気ポート１５に交互に圧縮空気を送り込むこと
によりサブピストン１２を前後に作動させ、サブピスト
ンロッド１１を前後進させる。サブシリンダ１３の内径
はメインシリンダ５の内径より広く、サブピストン１２
の直径はメインピストン３の直径より大きく、前後進方
向のストロークはサブピストン１２の方がメインピスト
ン３より小さく設定されている。メインシリンダ５の後
方隔壁１７の中央部にはメインピストン３の後退位置を
制約するための中間軸９が前後に摺動自在となるよう設
置されている。中間軸９の先端はメインピストン３の後
端部に当接可能となっており、また中間軸９の後端はサ
ブピストンロッド１１の先端に設けられた調整ボルト１
０の先端と当接可能となっている。Ｏリング１６はメイ
ンシリンダ５の気密を保持するためのシール材である。
調整ボルト１０はサブピストンロッド１１の先端部に螺
入されており、サブピストンロッド１１にねじこむこと
により全体の長さを調整することができる。

上記構成において、ピストンロッド１の中間停止を必要
としない場合には、サブピストン１２を後退方向の端部
に停止させておき、給排気ポート４、同６に圧縮空気を
交互に流入させてメインピストン３を動作させる。第１
図はこの状態を示しており、メインピストン３はメイン
シリンダ５内のストローク一杯に前後進することができ
る。

ピストンロッド１を所望の位置で中間停止しようとする
ときには、メインピストン３が前進方向の端部に達した
状態において、給排気ポート１５から圧縮空気を流入さ
せてサブピストン１２を前進方向端に停止させる。この
とき、サブピストンロッド１１に設けられた調整ボルト
１０の先端は、中間軸９に当接してこれをメインシリン
ダ３内に押し込んで進入させている。この状態でメイン
ピストン３を後退方向に作動させるとメインピストン３
の後端部は中間軸９の先端部に当接し、その位置で停止
する。中間停止を解除するときは、サブピストン１２を
後退方向に作動させ、中間軸９を自由にするとメインピ
ストン３が中間軸９を後退方向に押し出し、メインシリ
ンダ５内の後退方向端部まで達して停止する。

以上の実施例では、空気圧を用いた駆動方式について説
明したが、本考案はその他油圧など流体圧を用いるすべ
ての方式に適用できる。

（考案の効果） 本考案では、メインピストンとサブピストンとの間に設
けた中間軸などの停止手段により、メインピストンの後
退を機械的に制約し、任意の位置で中間停止することが
できる。このため、ピストンロッドを精度良く停止する
ことができ、しかもその中間停止位置を長時間保持する
ことができるうえ、該中間停止位置は簡単な操作で微調
整が可能であるなど多くの利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の縦断面図、第２図は従来の真
空機器用シリンダの縦断面図である。 １……ピストンロッド、２……真空用ベローズ、３……
メインピストン、４……給排気ポート、５……メインシ
リンダ、６……給排気ポート、９……中間軸、１０……
調整ボルト、１１……サブピストンロッド、１２……サ
ブピストン、１３……サブシリンダ、１４……給排気ポ
ート、１５……給排気ポート、１６……Ｏリング。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 高橋 信行 東京都府中市四谷５−８−１ 日電アネル バ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭50−127071（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−94008（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】真空室内の機器を駆動するメインピストン
   を収容したメインシリンダと、メインシリンダの後方に
   直列に配置されサブピストンを収容したサブシリンダと
   を有し、前記メインシリンダの後方隔壁には該隔壁を貫
   通してメインシリンダの軸方向に気密摺動可能な中間軸
   を設け、サブピストンロッドの先端部分にはロッド軸方
   向に伸縮微調整のできる調整手段を有し、前記中間軸の
   一端メインシリンダ内方の端部はメインピストンの後端
   部に当接可能でありその他端メインシリンダ外方の端部
   は前記調整手段の先端に当接可能な構造であることを特
   徴とする真空機器用シリンダ。