JPH06201501A - 圧力測定装置 - Google Patents
圧力測定装置Info
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- JPH06201501A JPH06201501A JP34825592A JP34825592A JPH06201501A JP H06201501 A JPH06201501 A JP H06201501A JP 34825592 A JP34825592 A JP 34825592A JP 34825592 A JP34825592 A JP 34825592A JP H06201501 A JPH06201501 A JP H06201501A
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- drift
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Abstract
(57)【要約】
【目的】分解能以下の圧力においてブリッジ回路の平衡
からのドリフト量を検知し正確な圧力を測定することの
できる圧力測定装置を提供する。 【構成】圧力の変化に応じて変位するダイヤフラムと該
ダイヤフラムに対向して配設された電極との間にコンデ
ンサ１０，１１が形成され且つ上記ダイヤフラムの変位
の限界以下の圧力において平衡になるように構成されて
なるブリッジ回路３を備えた圧力測定装置において、測
定室内の圧力が上記ダイヤフラムの変位の限界以下の時
上記ブリッジ回路３の平衡からのドリフト量を検知する
ドリフト検知手段２を備える。
からのドリフト量を検知し正確な圧力を測定することの
できる圧力測定装置を提供する。 【構成】圧力の変化に応じて変位するダイヤフラムと該
ダイヤフラムに対向して配設された電極との間にコンデ
ンサ１０，１１が形成され且つ上記ダイヤフラムの変位
の限界以下の圧力において平衡になるように構成されて
なるブリッジ回路３を備えた圧力測定装置において、測
定室内の圧力が上記ダイヤフラムの変位の限界以下の時
上記ブリッジ回路３の平衡からのドリフト量を検知する
ドリフト検知手段２を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧力測定装置に係り、
特に静電容量型の圧力測定装置に関するものである。
特に静電容量型の圧力測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造工程には、減圧ＣＶＤ
（化学気相成長）装置等のように半導体装置を一定の減
圧状態にしてプロセスガスを導入してウェハーを処理す
る工程がある。この時、半導体製造装置内の圧力を所定
の圧力で高精度に維持して、ウェハーを処理することが
歩留り向上のために重要である。そのために通常半導体
装置内には圧力制御装置が備えられている。
（化学気相成長）装置等のように半導体装置を一定の減
圧状態にしてプロセスガスを導入してウェハーを処理す
る工程がある。この時、半導体製造装置内の圧力を所定
の圧力で高精度に維持して、ウェハーを処理することが
歩留り向上のために重要である。そのために通常半導体
装置内には圧力制御装置が備えられている。
【０００３】図４は半導体製造装置の構成図である。図
４に示すように、半導体製造装置には、反応室であるチ
ャンバー１０４内の圧力を測定するための圧力測定装置
１００とチャンバー１０４内を排気するための真空ポン
プ１０３と、チャンバー１０４の排気を制御するための
コンダクタンスバルブ１０２と、コンダクタンスバルブ
１０２の開閉を制御するための圧力制御装置１０１とが
配設されている。圧力測定装置１００で測定したチャン
バー１０４内の圧力を直流の０〜１０Ｖの電圧に変換
し、圧力制御装置１０１に出力する。圧力制御装置１０
１では、入力された電圧に応じてコンダクタンスバルブ
１０２の開閉量を制御し、所定の電圧に維持することに
よりチャンバー１０４内の圧力を所望の圧力に保持す
る。そしてチャンバー１０４内にプロセスガスを導入し
ながらウェハーに対して処理を行う。
４に示すように、半導体製造装置には、反応室であるチ
ャンバー１０４内の圧力を測定するための圧力測定装置
１００とチャンバー１０４内を排気するための真空ポン
プ１０３と、チャンバー１０４の排気を制御するための
コンダクタンスバルブ１０２と、コンダクタンスバルブ
１０２の開閉を制御するための圧力制御装置１０１とが
配設されている。圧力測定装置１００で測定したチャン
バー１０４内の圧力を直流の０〜１０Ｖの電圧に変換
し、圧力制御装置１０１に出力する。圧力制御装置１０
１では、入力された電圧に応じてコンダクタンスバルブ
１０２の開閉量を制御し、所定の電圧に維持することに
よりチャンバー１０４内の圧力を所望の圧力に保持す
る。そしてチャンバー１０４内にプロセスガスを導入し
ながらウェハーに対して処理を行う。
【０００４】図５は圧力測定装置１００の圧力センサの
構成図である。図５に示すように、圧力センサは十分に
張力を与えた金属からなるダイヤフラム３０で仕切られ
た２つの部屋から構成されている。測定側３５はプロセ
スガスを導入するため、耐腐食性の優れた金属だけでで
きている。もう一方のリファレンス側３６はダイヤフラ
ム３０の変位を感知するために電極３１，３２が配設さ
れており、ゲッタポンプ３４により高真空（１０-6Ｔｏ
ｒｒ）で排気・密封し、高真空状態を保持している。導
入端子３３には高周波交流電圧が印加される。
構成図である。図５に示すように、圧力センサは十分に
張力を与えた金属からなるダイヤフラム３０で仕切られ
た２つの部屋から構成されている。測定側３５はプロセ
スガスを導入するため、耐腐食性の優れた金属だけでで
きている。もう一方のリファレンス側３６はダイヤフラ
ム３０の変位を感知するために電極３１，３２が配設さ
れており、ゲッタポンプ３４により高真空（１０-6Ｔｏ
ｒｒ）で排気・密封し、高真空状態を保持している。導
入端子３３には高周波交流電圧が印加される。
【０００５】圧力センサは絶対圧力の変化によりダイヤ
フラム３０が動くと、ダイヤフラム３０と電極３１と３
２の間の静電容量が変化し、その信号を電圧の変化とし
て取り出し信号処理し０〜１０Ｖとの電圧に変換して、
圧力制御装置１０１へ出力する。
フラム３０が動くと、ダイヤフラム３０と電極３１と３
２の間の静電容量が変化し、その信号を電圧の変化とし
て取り出し信号処理し０〜１０Ｖとの電圧に変換して、
圧力制御装置１０１へ出力する。
【０００６】図６は従来の圧力測定装置の回路構成図で
ある。図６に示すコンデンサ１０，１１は図５に示した
ダイヤフラム３０と電極３１，３２との間で形成される
コンデンサである。コンデンサ１０，１１と抵抗１２，
１３との間ではブリッジ回路が構成されている。ブリッ
ジ回路にはコントローラ１４の交流基準電圧発生器１５
により高周波交流電圧が供給され、ブリッジ回路から出
力される交流電圧を検波・増幅回路１６により０〜１０
Ｖの直流電圧に変換し、圧力制御装置１０１へ出力す
る。
ある。図６に示すコンデンサ１０，１１は図５に示した
ダイヤフラム３０と電極３１，３２との間で形成される
コンデンサである。コンデンサ１０，１１と抵抗１２，
１３との間ではブリッジ回路が構成されている。ブリッ
ジ回路にはコントローラ１４の交流基準電圧発生器１５
により高周波交流電圧が供給され、ブリッジ回路から出
力される交流電圧を検波・増幅回路１６により０〜１０
Ｖの直流電圧に変換し、圧力制御装置１０１へ出力す
る。
【０００７】次にブリッジ回路の動作を説明する。ブリ
ッジ回路は図５に示した測定側３５の圧力がダイヤフラ
ム３０の変位の限界（以下分解能と呼ぶ）以下の圧力に
なったとき、平衡状態（Ｃ２×Ｒ２＝Ｃ１×Ｒ１）とな
り、ブリッジ回路Ａ，Ｂ間の電圧が０（以下基準電圧と
呼ぶ）となるように設計されている。測定側３５が圧力
センサの分解能以上の圧力になると、ブリッジ回路は平
衡状態からずれ、Ａ，Ｂ間に交流電圧が発生する。この
交流電圧を基準電圧からの差として、検波・増幅回路１
６に入力して、信号処理を行うことにより測定側３５の
圧力が求められる。
ッジ回路は図５に示した測定側３５の圧力がダイヤフラ
ム３０の変位の限界（以下分解能と呼ぶ）以下の圧力に
なったとき、平衡状態（Ｃ２×Ｒ２＝Ｃ１×Ｒ１）とな
り、ブリッジ回路Ａ，Ｂ間の電圧が０（以下基準電圧と
呼ぶ）となるように設計されている。測定側３５が圧力
センサの分解能以上の圧力になると、ブリッジ回路は平
衡状態からずれ、Ａ，Ｂ間に交流電圧が発生する。この
交流電圧を基準電圧からの差として、検波・増幅回路１
６に入力して、信号処理を行うことにより測定側３５の
圧力が求められる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、図４
に示したチャンバー１０４内の圧力は、ブリッジ回路か
ら出力される交流電圧を検波・増幅回路１６により信号
処理して求められるが、ダイヤフラム３０がプロセスガ
スによるチャンバー１０４内の温度変化あるいは湿度変
化等により変形し、測定側３５の分解能以下の圧力にお
いて基準電圧が０でなくなる、いわゆるゼロポイントの
ドリフト（drift）現象が起こる。ゼロポイントがドリ
フトすると、ドリフトした分チャンバー１０４内の圧力
測定に誤差が発生し、正確な圧力がモニタできなくなり
問題となる。ダイヤフラム３０の温度変化によるゼロポ
イントのドリフトに対しては温度補正する方法が一般的
に用いられているが、フィードバックによる遅延制御で
あり、しかも湿度等の他の環境要因およびランニングに
よるダイヤフラム３０の歪によるゼロポイントの補正は
行われず、正確な圧力をモニタすることが困難である。
に示したチャンバー１０４内の圧力は、ブリッジ回路か
ら出力される交流電圧を検波・増幅回路１６により信号
処理して求められるが、ダイヤフラム３０がプロセスガ
スによるチャンバー１０４内の温度変化あるいは湿度変
化等により変形し、測定側３５の分解能以下の圧力にお
いて基準電圧が０でなくなる、いわゆるゼロポイントの
ドリフト（drift）現象が起こる。ゼロポイントがドリ
フトすると、ドリフトした分チャンバー１０４内の圧力
測定に誤差が発生し、正確な圧力がモニタできなくなり
問題となる。ダイヤフラム３０の温度変化によるゼロポ
イントのドリフトに対しては温度補正する方法が一般的
に用いられているが、フィードバックによる遅延制御で
あり、しかも湿度等の他の環境要因およびランニングに
よるダイヤフラム３０の歪によるゼロポイントの補正は
行われず、正確な圧力をモニタすることが困難である。
【０００９】そこで本発明は、分解能以下の圧力におい
てブリッジ回路の平衡からのドリフト量を検知し正確な
圧力を測定することのできる圧力測定装置を提供するこ
とを目的とする。
てブリッジ回路の平衡からのドリフト量を検知し正確な
圧力を測定することのできる圧力測定装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によれ
ば、圧力の変化に応じて変位するダイヤフラムと該ダイ
ヤフラムに対向して配設された電極との間にコンデンサ
が形成され且つ前記ダイヤフラムの変位の限界以下の圧
力において平衡になるように構成されてなるブリッジ回
路を備えた圧力測定装置において、測定室内の圧力が前
記ダイヤフラムの変位の限界以下の時前記ブリッジ回路
の平衡からのドリフト量を検知するドリフト検知手段を
備えてなることを特徴とする圧力測定装置によって解決
される。
ば、圧力の変化に応じて変位するダイヤフラムと該ダイ
ヤフラムに対向して配設された電極との間にコンデンサ
が形成され且つ前記ダイヤフラムの変位の限界以下の圧
力において平衡になるように構成されてなるブリッジ回
路を備えた圧力測定装置において、測定室内の圧力が前
記ダイヤフラムの変位の限界以下の時前記ブリッジ回路
の平衡からのドリフト量を検知するドリフト検知手段を
備えてなることを特徴とする圧力測定装置によって解決
される。
【００１１】また上記課題は本発明によれば、前記ドリ
フト検知手段が、前記ブリッジ回路の平衡からのドリフ
ト量が所定の範囲にあるか否かを判定するドリフト量判
別手段と、前記ドリフト量が所定の範囲を越えたとき、
前記ブリッジ回路からの出力をカットしあるいは異常を
指示する異常報知手段とを備えてなることを特徴とする
圧力測定装置によって好適に解決される。
フト検知手段が、前記ブリッジ回路の平衡からのドリフ
ト量が所定の範囲にあるか否かを判定するドリフト量判
別手段と、前記ドリフト量が所定の範囲を越えたとき、
前記ブリッジ回路からの出力をカットしあるいは異常を
指示する異常報知手段とを備えてなることを特徴とする
圧力測定装置によって好適に解決される。
【００１２】
【作用】本発明によれば、図１に示すように圧力測定装
置は図５に示すダイヤフラム３０の変位の限界（分解
能）以下の圧力におけるドリフト量を検知するためのド
リフト検知回路２を備えている。
置は図５に示すダイヤフラム３０の変位の限界（分解
能）以下の圧力におけるドリフト量を検知するためのド
リフト検知回路２を備えている。
【００１３】ブリッジ回路３からドリフト検知回路２に
交流電圧が入力され、図２または図３に示す比較器５
２，５３により電圧値が所定の許容範囲内にあるか否か
が判定される。交流電圧値が許容範囲内にあれば、図２
に示すようにスイッチ５７がオンしブリッジ回路３から
の出力が出力され、許容範囲外であればスイッチ５７が
オフしブリッジ回路３からの出力がカットされ、圧力制
御することが不可能となりドリフト異常を報知すること
ができる。同様に、交流電圧の電圧値が許容範囲外であ
れば、図３に示すように表示灯５９を点灯することによ
ってドリフト異常を報知することができる。
交流電圧が入力され、図２または図３に示す比較器５
２，５３により電圧値が所定の許容範囲内にあるか否か
が判定される。交流電圧値が許容範囲内にあれば、図２
に示すようにスイッチ５７がオンしブリッジ回路３から
の出力が出力され、許容範囲外であればスイッチ５７が
オフしブリッジ回路３からの出力がカットされ、圧力制
御することが不可能となりドリフト異常を報知すること
ができる。同様に、交流電圧の電圧値が許容範囲外であ
れば、図３に示すように表示灯５９を点灯することによ
ってドリフト異常を報知することができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１５】図１は本発明に係る圧力測定装置の一実施
例による回路構成図である。図１に示すように、圧力測
定装置は、図５に示す圧力センサのダイヤフラム３０と
電極３１，３２との間に形成されるコンデンサ１０，１
１と抵抗１２，１３とから構成されるブリッジ回路３と
コントローラ１とから構成される。
例による回路構成図である。図１に示すように、圧力測
定装置は、図５に示す圧力センサのダイヤフラム３０と
電極３１，３２との間に形成されるコンデンサ１０，１
１と抵抗１２，１３とから構成されるブリッジ回路３と
コントローラ１とから構成される。
【００１６】ブリッジ回路３には、コントローラ１内の
交流基準電圧発生器１５により高周波電圧が供給され
る。ブリッジ回路３のＡ，Ｂ間の交流電圧がコントロー
ラ１内のドリフト検知回路２に入力される。ドリフト検
知回路２では、図５に示す測定側３５内の圧力が分解能
以下において、ゼロポイントのドリフト量ｘ（ｍＶ）を
検出し、このドリフト量が許容範囲（−ｙ（ｍＶ）〜ｙ
（ｍＶ））に入るか否かを判断し、許容範囲外であれば
ブリッジ回路３から検波・増幅回路１６への出力をカッ
トするかもしくは異常を表示するように構成されてい
る。コントローラ１内の検波・増幅回路１６ではブリッ
ジ回路３から出力された交流電圧を検波および増幅し０
〜１０Ｖの直流電圧に変換して図４に示す圧力制御装置
１０１へ出力する。
交流基準電圧発生器１５により高周波電圧が供給され
る。ブリッジ回路３のＡ，Ｂ間の交流電圧がコントロー
ラ１内のドリフト検知回路２に入力される。ドリフト検
知回路２では、図５に示す測定側３５内の圧力が分解能
以下において、ゼロポイントのドリフト量ｘ（ｍＶ）を
検出し、このドリフト量が許容範囲（−ｙ（ｍＶ）〜ｙ
（ｍＶ））に入るか否かを判断し、許容範囲外であれば
ブリッジ回路３から検波・増幅回路１６への出力をカッ
トするかもしくは異常を表示するように構成されてい
る。コントローラ１内の検波・増幅回路１６ではブリッ
ジ回路３から出力された交流電圧を検波および増幅し０
〜１０Ｖの直流電圧に変換して図４に示す圧力制御装置
１０１へ出力する。
【００１７】そして、従来例で示したように図４に示す
圧力制御装置１０１では入力された電圧値に従って、コ
ンダクタンスバルブ１０２の開閉量を制御し、真空ポン
プ１０３によりチャンバー１０４内を排気しながら所望
の圧力に保持する。
圧力制御装置１０１では入力された電圧値に従って、コ
ンダクタンスバルブ１０２の開閉量を制御し、真空ポン
プ１０３によりチャンバー１０４内を排気しながら所望
の圧力に保持する。
【００１８】図２は第１実施例によるドリフト検知回路
２の構成図である。図２に示すように、ブリッジ回路３
のＡ，Ｂ（図１）から差動器５１に入力される。差動器
５１ではブリッジ回路Ａ，Ｂ間の交流電圧が得られる。
差動器５１は比較器５２，５３に入力される。比較器５
２では、交流電圧の最大値が−ｙ（ｍＶ）以上ｙ（ｍ
Ｖ）以下の時、Ｌｏｗ電圧‘０’を出力し、それ以外の
時Ｈｉｇｈ電圧‘１’を出力する。比較器５３では交流
電圧の最小値が−ｙ（ｍＶ）以上ｙ（ｍＶ）以下の時、
Ｌｏｗ電圧‘０’を出力し、それ以外の時Ｈｉｇｈ電圧
‘１’を出力する。比較器５２，５３はＮＯＲ５４に入
力され、以下表１に示す値を出力する。
２の構成図である。図２に示すように、ブリッジ回路３
のＡ，Ｂ（図１）から差動器５１に入力される。差動器
５１ではブリッジ回路Ａ，Ｂ間の交流電圧が得られる。
差動器５１は比較器５２，５３に入力される。比較器５
２では、交流電圧の最大値が−ｙ（ｍＶ）以上ｙ（ｍ
Ｖ）以下の時、Ｌｏｗ電圧‘０’を出力し、それ以外の
時Ｈｉｇｈ電圧‘１’を出力する。比較器５３では交流
電圧の最小値が−ｙ（ｍＶ）以上ｙ（ｍＶ）以下の時、
Ｌｏｗ電圧‘０’を出力し、それ以外の時Ｈｉｇｈ電圧
‘１’を出力する。比較器５２，５３はＮＯＲ５４に入
力され、以下表１に示す値を出力する。
【００１９】
【表１】
【００２０】従ってブリッジ回路３のＡ，Ｂ間の電圧の
最大電圧値と最小電圧値がそれぞれ−ｙ（ｍＶ）以上ｙ
（ｍＶ）以下の時にＮＯＲ５４からＨｉｇｈ‘１’が出
力され、それ以外の時にＬｏｗ‘０’が出力される。
最大電圧値と最小電圧値がそれぞれ−ｙ（ｍＶ）以上ｙ
（ｍＶ）以下の時にＮＯＲ５４からＨｉｇｈ‘１’が出
力され、それ以外の時にＬｏｗ‘０’が出力される。
【００２１】つまり、ＮＯＲ５４から‘１’が出力され
る時はゼロポイントのドリフト量が許容範囲内として正
常であることを意味し、‘０’が出力される時は異常で
あることを意味する。ＮＯＲ５４はラッチ回路５５に接
続され、ＮＯＲ５４からの出力が保持される。ラッチ回
路５５はスイッチ回路５６に接続され、ラッチ回路５５
の出力が‘０’である時にスイッチ５７がオフし、差動
器５１と検波・増幅回路１６とが分離され、ラッチ回路
５５の出力が‘１’である時スイッチ５７がオンし差動
器５１と検波・増幅回路１６が接続される。スイッチ回
路５６はゼロポイントのドリフト量の検出の前後を識別
するためのモード入力端子５８に接続され、ゼロポイン
トのドリフト量の検出前であればスイッチ５７がオン
し、ゼロポイントのドリフト量の検出後であればスイッ
チ５７がオフするようになされている。
る時はゼロポイントのドリフト量が許容範囲内として正
常であることを意味し、‘０’が出力される時は異常で
あることを意味する。ＮＯＲ５４はラッチ回路５５に接
続され、ＮＯＲ５４からの出力が保持される。ラッチ回
路５５はスイッチ回路５６に接続され、ラッチ回路５５
の出力が‘０’である時にスイッチ５７がオフし、差動
器５１と検波・増幅回路１６とが分離され、ラッチ回路
５５の出力が‘１’である時スイッチ５７がオンし差動
器５１と検波・増幅回路１６が接続される。スイッチ回
路５６はゼロポイントのドリフト量の検出の前後を識別
するためのモード入力端子５８に接続され、ゼロポイン
トのドリフト量の検出前であればスイッチ５７がオン
し、ゼロポイントのドリフト量の検出後であればスイッ
チ５７がオフするようになされている。
【００２２】次に、上述のドリフト検知回路の動作を説
明する。
明する。
【００２３】まずモード入力端子５８によりゼロポイン
トのドリフト量検知前モードを入力する。スイッチ５７
がオンし、ブリッジ回路３からの出力が検波・増幅回路
１６に入力され、圧力制御装置１０１に０〜１０Ｖの電
圧が出力され、コンダクタンスバルブ１０２が全開され
チャンバー１０４内が分解能以下の圧力になるまで真空
ポンプ１０３により真空排気される。図２に示したよう
に、差動器５１により比較器５２，５３に出力され、Ｎ
ＯＲ５４によりゼロポイントのドリフト異常がなければ
‘１’が、あれば‘０’が出力される。ＮＯＲ５４に接
続されたラッチ回路５５によりＮＯＲ５４の出力が保持
される。チャンバー１０４内の圧力が分解能以下の圧力
になるとモード入力端子５８によりゼロポイントのドリ
フト量検知後モードが入力され、スイッチ５７はラッチ
回路５５の出力に応じてオンまたはオフする。
トのドリフト量検知前モードを入力する。スイッチ５７
がオンし、ブリッジ回路３からの出力が検波・増幅回路
１６に入力され、圧力制御装置１０１に０〜１０Ｖの電
圧が出力され、コンダクタンスバルブ１０２が全開され
チャンバー１０４内が分解能以下の圧力になるまで真空
ポンプ１０３により真空排気される。図２に示したよう
に、差動器５１により比較器５２，５３に出力され、Ｎ
ＯＲ５４によりゼロポイントのドリフト異常がなければ
‘１’が、あれば‘０’が出力される。ＮＯＲ５４に接
続されたラッチ回路５５によりＮＯＲ５４の出力が保持
される。チャンバー１０４内の圧力が分解能以下の圧力
になるとモード入力端子５８によりゼロポイントのドリ
フト量検知後モードが入力され、スイッチ５７はラッチ
回路５５の出力に応じてオンまたはオフする。
【００２４】次に、チャンバー１０４内にプロセスガス
を導入し圧力を上げてゆく。この時、スイッチ５７がオ
フしているときは検波・増幅回路１６への出力がカット
され、圧力制御装置１０１へは何も出力されないのでゼ
ロポイントのドリフト異常が判別される。
を導入し圧力を上げてゆく。この時、スイッチ５７がオ
フしているときは検波・増幅回路１６への出力がカット
され、圧力制御装置１０１へは何も出力されないのでゼ
ロポイントのドリフト異常が判別される。
【００２５】図３は第２実施例によるドリフト検知回路
構成図である。本第２実施例はゼロポイントのドリフト
異常の有無を表示灯５９の点灯により判別するものであ
る。図３に示すように、第１実施例と同様に差動器５
１，比較器５２，５３，およびラッチ回路５５が配設さ
れている。ＯＲ６３によりゼロポイントのドリフト異常
があれば‘１’，なければ‘０’が出力される。ＯＲ６
３はラッチ回路５５に接続されている。ラッチ回路５５
はスイッチ回路６０に入力されている。スイッチ回路６
０には、ゼロポイントのドリフト量検出の前後を識別す
るためのモード入力端子６２が接続され、ゼロポイント
のドリフト量検出前の時はスイッチ６１がオフし、ドリ
フト量検出後においてスイッチ６１がオンし、ラッチ回
路５５と表示灯５９が接続されラッチ回路５５から
‘１’が出力されたとき、つまりゼロポイントのドリフ
ト異常が出力された時、初めて表示灯５９が点灯し、そ
れ以外のときは表示灯５９は点灯しないので表示灯５９
の点灯によりゼロポイントのドリフト異常が判別され
る。
構成図である。本第２実施例はゼロポイントのドリフト
異常の有無を表示灯５９の点灯により判別するものであ
る。図３に示すように、第１実施例と同様に差動器５
１，比較器５２，５３，およびラッチ回路５５が配設さ
れている。ＯＲ６３によりゼロポイントのドリフト異常
があれば‘１’，なければ‘０’が出力される。ＯＲ６
３はラッチ回路５５に接続されている。ラッチ回路５５
はスイッチ回路６０に入力されている。スイッチ回路６
０には、ゼロポイントのドリフト量検出の前後を識別す
るためのモード入力端子６２が接続され、ゼロポイント
のドリフト量検出前の時はスイッチ６１がオフし、ドリ
フト量検出後においてスイッチ６１がオンし、ラッチ回
路５５と表示灯５９が接続されラッチ回路５５から
‘１’が出力されたとき、つまりゼロポイントのドリフ
ト異常が出力された時、初めて表示灯５９が点灯し、そ
れ以外のときは表示灯５９は点灯しないので表示灯５９
の点灯によりゼロポイントのドリフト異常が判別され
る。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればゼ
ロポイントのドリフト異常が検出できるので正確な測定
ができるようになり、また圧力センサの交換のタイミン
グが予測できるようになり Preventive Maintenane が
可能となる。
ロポイントのドリフト異常が検出できるので正確な測定
ができるようになり、また圧力センサの交換のタイミン
グが予測できるようになり Preventive Maintenane が
可能となる。
【図１】実施例による圧力測定装置回路構成図である。
【図２】第１実施例によるドリフト検知回路構成図であ
る。
る。
【図３】第２実施例によるドリフト検知回路構成図であ
る。
る。
【図４】半導体製造装置構成図である。
【図５】圧力センサ構成図である。
【図６】従来の圧力測定装置回路構成図である。
１ コントローラ ２ ドリフト検知回路 ３ ブリッジ回路 １０，１１ コンデンサ １２，１３ 抵抗 １４ コントローラ １５ 交流基準電圧発生器 １６，１７ 検波・増幅回路 ３０ ダイヤフラム ３１，３２ 電極 ３３ 導入端子 ３４ ゲッタポンプ ３５ 測定側 ３６ リファレンス側 ５１ 差動器 ５２，５３ 比較器 ５４ ＮＯＲ ５５ ラッチ回路 ５６，６０ スイッチ回路 ５７，６１ スイッチ ５８，６２ モード入力端子 ５９ 表示灯 ６３ ＯＲ １００ 圧力測定装置 １０１ 圧力制御装置 １０２ コンダクタンスバルブ １０３ 真空ポンプ １０４ チャンバー
Claims (2)
- 【請求項１】 圧力の変化に応じて変位するダイヤフラ
ムと該ダイヤフラムに対向して配設された電極との間に
コンデンサが形成され且つ前記ダイヤフラムの変位の限
界以下の圧力において平衡になるように構成されてなる
ブリッジ回路を備えた圧力測定装置において、 測定室内の圧力が前記ダイヤフラムの変位の限界以下の
時前記ブリッジ回路の平衡からのドリフト量を検知する
ドリフト検知手段を備えてなることを特徴とする圧力測
定装置。 - 【請求項２】 前記ドリフト検知手段が、前記ブリッジ
回路の平衡からのドリフト量が所定の範囲にあるか否か
を判定するドリフト量判別手段と、 前記ドリフト量が所定の範囲を越えたとき、前記ブリッ
ジ回路からの出力をカットしあるいは異常を指示する異
常報知手段とを備えてなることを特徴とする請求項１記
載の圧力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34825592A JPH06201501A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34825592A JPH06201501A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 圧力測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201501A true JPH06201501A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=18395804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34825592A Pending JPH06201501A (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201501A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005113969A1 (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Honda Motor Co., Ltd. | 筒内圧センサの故障を判定する装置および方法 |
| JP2009210482A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Ulvac Japan Ltd | 真空処理装置 |
| JP2010525324A (ja) * | 2007-04-16 | 2010-07-22 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 容量マノメータおよび自動ドリフト補正に関する方法 |
| US20200248305A1 (en) * | 2019-02-04 | 2020-08-06 | Tokyo Electron Limited | Exhaust device, processing system, and processing method |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP34825592A patent/JPH06201501A/ja active Pending
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| US11807938B2 (en) * | 2019-02-04 | 2023-11-07 | Tokyo Electron Limited | Exhaust device, processing system, and processing method |
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