JPH06201539A - 遠心エバポレーター - Google Patents
遠心エバポレーターInfo
- Publication number
- JPH06201539A JPH06201539A JP5028383A JP2838393A JPH06201539A JP H06201539 A JPH06201539 A JP H06201539A JP 5028383 A JP5028383 A JP 5028383A JP 2838393 A JP2838393 A JP 2838393A JP H06201539 A JPH06201539 A JP H06201539A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test tube
- solvent medium
- solvent
- materials solvent
- circular motion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 10
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 8
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
[目的]遠心エバポレーターにおいて、気圧、温度、が
同一の場合、資料溶媒の表面積が拡大されれば、その分
蒸発速度を早めることができる。回転方式を変えること
により、試験管内の資料溶媒の蒸発可能面積を大幅に拡
大することが出来、蒸発速度は促進される。 [構成]真空槽(6)内で、偏芯軸(8)に装着された
ローター(3)はベアリング(7)によってフリーに回
転できるようにしておく。回転軸(4)が回転をはじめ
れば、偏芯軸は円運動をし、ローターも円運動をする
が、回転に対してはベアリングによってフリーであり、
且つ、バネ(9)によって固定されているため回転する
ことはない。一方、資料溶媒(10)は試験管の内周に
添って回転し、常に試験管の内壁面を濡らしている。し
たがって、資料溶媒の蒸発可能面(14)は、試験管の
内周全域にわたる。
同一の場合、資料溶媒の表面積が拡大されれば、その分
蒸発速度を早めることができる。回転方式を変えること
により、試験管内の資料溶媒の蒸発可能面積を大幅に拡
大することが出来、蒸発速度は促進される。 [構成]真空槽(6)内で、偏芯軸(8)に装着された
ローター(3)はベアリング(7)によってフリーに回
転できるようにしておく。回転軸(4)が回転をはじめ
れば、偏芯軸は円運動をし、ローターも円運動をする
が、回転に対してはベアリングによってフリーであり、
且つ、バネ(9)によって固定されているため回転する
ことはない。一方、資料溶媒(10)は試験管の内周に
添って回転し、常に試験管の内壁面を濡らしている。し
たがって、資料溶媒の蒸発可能面(14)は、試験管の
内周全域にわたる。
Description
【発明の詳細な説明】 [0001] [産業上の利用分野]この発明は遠心エバポレーターに
関するものである。
関するものである。
[0002] [従来の技術]遠心エバポレーターは試験管を回転させ
ることにより、遠心力によって資料溶媒の泡立ちや、突
出を押さえながら、槽内の空気を真空ポンプによって排
出し、資料の濃縮、乾燥を行なうものである。従来、試
験管の回転は、図1の如く、槽の中央の回転軸にロータ
ーを装着し、ローターの円周上に、回転軸に対してある
角度(一般に15°〜35゜)をもって穿たれた穴に、
試験管を装着して回転させるものであった。この場合、
試験管は回転軸に対して、あたかも回転する開いた傘の
骨にあたるような回転方式であり、回転中の資料溶媒の
表面は図1−5のごとく垂直となる。
ることにより、遠心力によって資料溶媒の泡立ちや、突
出を押さえながら、槽内の空気を真空ポンプによって排
出し、資料の濃縮、乾燥を行なうものである。従来、試
験管の回転は、図1の如く、槽の中央の回転軸にロータ
ーを装着し、ローターの円周上に、回転軸に対してある
角度(一般に15°〜35゜)をもって穿たれた穴に、
試験管を装着して回転させるものであった。この場合、
試験管は回転軸に対して、あたかも回転する開いた傘の
骨にあたるような回転方式であり、回転中の資料溶媒の
表面は図1−5のごとく垂直となる。
[0003] [発明が解決しょうとする課題]従って、回転中におけ
る試験管内の蒸発可能な溶媒の表面積は、ごく限られた
ものとなり、蒸発速度を高めるための障害となってい
た。
る試験管内の蒸発可能な溶媒の表面積は、ごく限られた
ものとなり、蒸発速度を高めるための障害となってい
た。
[0004] [課題を解決するための手段]真空槽(6)内で、試験
管(1)を垂直に立てた状態でローター(3)に挿入
し、ローターを偏芯軸(8)により円運動をさせること
を特徴とする遠心エバポレーター。
管(1)を垂直に立てた状態でローター(3)に挿入
し、ローターを偏芯軸(8)により円運動をさせること
を特徴とする遠心エバポレーター。
[0005] [作用]試験管の中心軸を垂直に立てた状態で、偏芯軸
により円運動をさせることにより、資料溶媒は図3の如
く試験管内壁に添って円運動をおこす。この場合、ある
一瞬を静止状態として捉えれば、図4のごとく資料溶媒
は試験管の内壁の一方に片寄っているが、その直前には
資料溶媒は図4−12の位置を濡らしてをり、また、も
う一つ前には図4−13の位置を濡らしている。したが
って資料溶媒の蒸発可能面は試験管の内壁全周に及んで
いることになり、蒸発可能面積は大幅に拡大する。
により円運動をさせることにより、資料溶媒は図3の如
く試験管内壁に添って円運動をおこす。この場合、ある
一瞬を静止状態として捉えれば、図4のごとく資料溶媒
は試験管の内壁の一方に片寄っているが、その直前には
資料溶媒は図4−12の位置を濡らしてをり、また、も
う一つ前には図4−13の位置を濡らしている。したが
って資料溶媒の蒸発可能面は試験管の内壁全周に及んで
いることになり、蒸発可能面積は大幅に拡大する。
[0006] [実施例]以下、本発明の実施例について説明する。資
料溶媒の蒸発速度は、気圧、温度、表面積によって決定
されるから、資料溶媒の表面積はより大であることが望
ましい。図2にみるように、真空槽(6)内で、偏芯軸
(8)に装着されたローター(3)はベアリング(7)
によってフリーに回転できるようにしておく。回転軸
(4)が回転をはじめれば、偏芯軸は円運動をし、ロー
ターも円運動をするが、回転に対してはベアリングによ
ってフリーであり、且つ、バネ(9)によって固定され
ているため試験管(1)が回転することはない。これを
図3によってみれば、試験管(1)につけられた目印
(11)は、常に一定方向(図では上方)にあり、円運
動をしつつも回転することはない。一方、資料溶媒(1
0)は試験管の内周に添って回転し、常に試験管の内壁
面を濡らしている。したがって、資料溶媒の蒸発可能面
積は、図4−14にみるごとく、試験管の内周全域にわ
たる。また、減圧下における資料溶媒の突出する力は、
溶媒の深さに比例するから、表面積が拡大された分だけ
溶媒は浅くなり、従来の回転方式に比して、遠心力は小
さくてもよく、回転数は低くても突出することはない。
料溶媒の蒸発速度は、気圧、温度、表面積によって決定
されるから、資料溶媒の表面積はより大であることが望
ましい。図2にみるように、真空槽(6)内で、偏芯軸
(8)に装着されたローター(3)はベアリング(7)
によってフリーに回転できるようにしておく。回転軸
(4)が回転をはじめれば、偏芯軸は円運動をし、ロー
ターも円運動をするが、回転に対してはベアリングによ
ってフリーであり、且つ、バネ(9)によって固定され
ているため試験管(1)が回転することはない。これを
図3によってみれば、試験管(1)につけられた目印
(11)は、常に一定方向(図では上方)にあり、円運
動をしつつも回転することはない。一方、資料溶媒(1
0)は試験管の内周に添って回転し、常に試験管の内壁
面を濡らしている。したがって、資料溶媒の蒸発可能面
積は、図4−14にみるごとく、試験管の内周全域にわ
たる。また、減圧下における資料溶媒の突出する力は、
溶媒の深さに比例するから、表面積が拡大された分だけ
溶媒は浅くなり、従来の回転方式に比して、遠心力は小
さくてもよく、回転数は低くても突出することはない。
[0007] [効果]気圧、温度、が同一の場合、資料溶媒の表面積
が拡大されれば、その分蒸発速度を早めることができ
る。回転方式を変えることにより、試験管内の資料溶媒
の蒸発可能面積を大幅に拡大することが出来、蒸発速度
は促進される。
が拡大されれば、その分蒸発速度を早めることができ
る。回転方式を変えることにより、試験管内の資料溶媒
の蒸発可能面積を大幅に拡大することが出来、蒸発速度
は促進される。
[図 1] 従来の遠心エバポレーターの模式図 [図 2] 本発明による遠心エバポレーターの模式
図 [図 3] 本発明による試験管と資料溶媒の円運動
と回転 [図 4] 本発明による資料溶媒の蒸発可能面 [符号の説明] (1) 試験管 (2) チューブ (3) ローター (4) 回転軸 (5) 回転中の溶媒の表面 (6) 真空槽 (7) ベアリング (8) 偏芯軸 (9) バネ (10) 資料溶媒 (11) 目印 (12) 資料溶媒の直前の位置 (13) 資料溶媒の直直前の位置 (14) 本発明による資料溶媒の蒸発面
図 [図 3] 本発明による試験管と資料溶媒の円運動
と回転 [図 4] 本発明による資料溶媒の蒸発可能面 [符号の説明] (1) 試験管 (2) チューブ (3) ローター (4) 回転軸 (5) 回転中の溶媒の表面 (6) 真空槽 (7) ベアリング (8) 偏芯軸 (9) バネ (10) 資料溶媒 (11) 目印 (12) 資料溶媒の直前の位置 (13) 資料溶媒の直直前の位置 (14) 本発明による資料溶媒の蒸発面
Claims (1)
- [請求項 1]真空槽(6)内で、試験管(1)を垂直
に立てた状態でローター(3)に挿入し、ローターを偏
芯軸(8)により円運動をさせることを特徴とする遠心
エバポレーター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5028383A JPH06201539A (ja) | 1993-01-04 | 1993-01-04 | 遠心エバポレーター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5028383A JPH06201539A (ja) | 1993-01-04 | 1993-01-04 | 遠心エバポレーター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201539A true JPH06201539A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=12247136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5028383A Pending JPH06201539A (ja) | 1993-01-04 | 1993-01-04 | 遠心エバポレーター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201539A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7118783B2 (en) * | 2002-06-26 | 2006-10-10 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for vapor processing of micro-device workpieces |
| US7258892B2 (en) | 2003-12-10 | 2007-08-21 | Micron Technology, Inc. | Methods and systems for controlling temperature during microfeature workpiece processing, e.g., CVD deposition |
| US7279398B2 (en) | 2003-09-17 | 2007-10-09 | Micron Technology, Inc. | Microfeature workpiece processing apparatus and methods for controlling deposition of materials on microfeature workpieces |
| US7282239B2 (en) | 2003-09-18 | 2007-10-16 | Micron Technology, Inc. | Systems and methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US7335396B2 (en) | 2003-04-24 | 2008-02-26 | Micron Technology, Inc. | Methods for controlling mass flow rates and pressures in passageways coupled to reaction chambers and systems for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US7344755B2 (en) | 2003-08-21 | 2008-03-18 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for processing microfeature workpieces; methods for conditioning ALD reaction chambers |
| US7422635B2 (en) | 2003-08-28 | 2008-09-09 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for processing microfeature workpieces, e.g., for depositing materials on microfeature workpieces |
| US7427425B2 (en) | 2003-02-11 | 2008-09-23 | Micron Technology, Inc. | Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US7481887B2 (en) | 2002-05-24 | 2009-01-27 | Micron Technology, Inc. | Apparatus for controlling gas pulsing in processes for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US7581511B2 (en) | 2003-10-10 | 2009-09-01 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and methods for manufacturing microfeatures on workpieces using plasma vapor processes |
| US7584942B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-09-08 | Micron Technology, Inc. | Ampoules for producing a reaction gas and systems for depositing materials onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US7588804B2 (en) | 2002-08-15 | 2009-09-15 | Micron Technology, Inc. | Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US9023436B2 (en) | 2004-05-06 | 2015-05-05 | Micron Technology, Inc. | Methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers and systems for depositing materials onto microfeature workpieces |
| CN106975527A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-07-25 | 北京赤帝鸿鹄科技有限责任公司 | 倾斜式消解罐加热回流装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50229A (ja) * | 1973-05-09 | 1975-01-06 | ||
| JPS61164666A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-25 | Hitachi Chem Co Ltd | 遠心分離機の試料容器の取付方法 |
| JPH01270901A (ja) * | 1988-04-21 | 1989-10-30 | Tokyo Rika Kikai Kk | 濃縮乾燥装置 |
-
1993
- 1993-01-04 JP JP5028383A patent/JPH06201539A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50229A (ja) * | 1973-05-09 | 1975-01-06 | ||
| JPS61164666A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-25 | Hitachi Chem Co Ltd | 遠心分離機の試料容器の取付方法 |
| JPH01270901A (ja) * | 1988-04-21 | 1989-10-30 | Tokyo Rika Kikai Kk | 濃縮乾燥装置 |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7481887B2 (en) | 2002-05-24 | 2009-01-27 | Micron Technology, Inc. | Apparatus for controlling gas pulsing in processes for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US7118783B2 (en) * | 2002-06-26 | 2006-10-10 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for vapor processing of micro-device workpieces |
| US7588804B2 (en) | 2002-08-15 | 2009-09-15 | Micron Technology, Inc. | Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US7427425B2 (en) | 2003-02-11 | 2008-09-23 | Micron Technology, Inc. | Reactors with isolated gas connectors and methods for depositing materials onto micro-device workpieces |
| US7335396B2 (en) | 2003-04-24 | 2008-02-26 | Micron Technology, Inc. | Methods for controlling mass flow rates and pressures in passageways coupled to reaction chambers and systems for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US7344755B2 (en) | 2003-08-21 | 2008-03-18 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for processing microfeature workpieces; methods for conditioning ALD reaction chambers |
| US7422635B2 (en) | 2003-08-28 | 2008-09-09 | Micron Technology, Inc. | Methods and apparatus for processing microfeature workpieces, e.g., for depositing materials on microfeature workpieces |
| US7279398B2 (en) | 2003-09-17 | 2007-10-09 | Micron Technology, Inc. | Microfeature workpiece processing apparatus and methods for controlling deposition of materials on microfeature workpieces |
| US7282239B2 (en) | 2003-09-18 | 2007-10-16 | Micron Technology, Inc. | Systems and methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US7581511B2 (en) | 2003-10-10 | 2009-09-01 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and methods for manufacturing microfeatures on workpieces using plasma vapor processes |
| US7258892B2 (en) | 2003-12-10 | 2007-08-21 | Micron Technology, Inc. | Methods and systems for controlling temperature during microfeature workpiece processing, e.g., CVD deposition |
| US7584942B2 (en) | 2004-03-31 | 2009-09-08 | Micron Technology, Inc. | Ampoules for producing a reaction gas and systems for depositing materials onto microfeature workpieces in reaction chambers |
| US9023436B2 (en) | 2004-05-06 | 2015-05-05 | Micron Technology, Inc. | Methods for depositing material onto microfeature workpieces in reaction chambers and systems for depositing materials onto microfeature workpieces |
| CN106975527A (zh) * | 2017-04-01 | 2017-07-25 | 北京赤帝鸿鹄科技有限责任公司 | 倾斜式消解罐加热回流装置 |
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